JPS59160556U - イオンプレ−テイング装置 - Google Patents

イオンプレ−テイング装置

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Publication number
JPS59160556U
JPS59160556U JP5549383U JP5549383U JPS59160556U JP S59160556 U JPS59160556 U JP S59160556U JP 5549383 U JP5549383 U JP 5549383U JP 5549383 U JP5549383 U JP 5549383U JP S59160556 U JPS59160556 U JP S59160556U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion
blating
substrate
prevention plate
ion plating
Prior art date
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Pending
Application number
JP5549383U
Other languages
English (en)
Inventor
榎本　貢
Original Assignee
シチズン時計株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by シチズン時計株式会社 filed Critical シチズン時計株式会社
Priority to JP5549383U priority Critical patent/JPS59160556U/ja
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のイオンブレーティング装置の例を示す
模式的な縦断面構成図である。第２図は、この考案の一
実施例を示す第２図と同様な縦断面構成図、第３図は、
同じくその防着板のベルジャへの取り付は状態のみを示
す横断面図、第４図は、同じくその取付部と絶縁部材の
具体的構造例を示す断面図、第５図は、この考案の他の
実施例を示す第２図と同様な縦断面構成図である。 １・・・・・・基台、２・・・・・・ベルジャ（真空容
器）、４・・・・・・蒸発源、５・・・・・・イオン化
電極、６・・・・・・基板（薄膜を形成すべき部材）、
７・・・・・・蒸発材、１０・・・・・・防着板−１１
・・・・・・絶縁部材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　真空容器内に蒸発源とイオン化電極と基板とを間隔
    を置いて配設し、前記蒸発源からの蒸発物質を前記イオ
    ン化電極によってイオン化して、このイオン化電極と逆
    極性の電圧を印加した前記基板に付着させて薄膜を形成
    するようにしたイオンブレーティング装置において、前
    記真空・　　　　容器にその内壁面を覆うように導電体
    からなる防着板を絶縁部材を介して取り付けたことを特
    徴とするイオンブレーティング装置。 ２　防着板にイオン化電極と同極性の低電圧が印加され
    た実用新案登録請求の範囲第１項記載のイオンブレーテ
    ィング装置。
JP5549383U 1983-04-15 1983-04-15 イオンプレ−テイング装置 Pending JPS59160556U (ja)

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JP5549383U JPS59160556U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 イオンプレ−テイング装置

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JP5549383U JPS59160556U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 イオンプレ−テイング装置

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JPS59160556U true JPS59160556U (ja) 1984-10-27

Family

ID=30185820

Family Applications (1)

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JP5549383U Pending JPS59160556U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 イオンプレ−テイング装置

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