JPS5878557U - 電界放出型イオン源 - Google Patents

電界放出型イオン源

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Publication number
JPS5878557U
JPS5878557U JP1981173288U JP17328881U JPS5878557U JP S5878557 U JPS5878557 U JP S5878557U JP 1981173288 U JP1981173288 U JP 1981173288U JP 17328881 U JP17328881 U JP 17328881U JP S5878557 U JPS5878557 U JP S5878557U
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JP
Japan
Prior art keywords
tip
field emission
ion source
heater
substance
Prior art date
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Pending
Application number
JP1981173288U
Other languages
English (en)
Inventor
保 野田
田村　一二三
寛 岡野
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Priority to DE8282110653T priority patent/DE3270023D1/de
Priority to EP82110653A priority patent/EP0080170B1/en
Priority to US06/443,642 priority patent/US4551650A/en
Publication of JPS5878557U publication Critical patent/JPS5878557U/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/26—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field effect ion sources, thermionic ion sources

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第′１図ａ、　　ｂは従来用いられていた高電界放出型
イオンエミッタ構成図、第２図ａ、　　ｂは本考案の高
電界放出型エミッタの構成図、第３図は本考　　、案の
イオン源としての全体構成図である。 １・・・ヒータ、２・・・チップ、３−′・・イオン源
材料、４・・・反応阻止用コーテイング膜、５・・・制
御電極、６・・・イオン引出口電極、７・・・イオンビ
ーム、８・・・イオン加速用高圧電源、９・・・ターゲ
ット、１０・・・イオン電流測定用電流計。 第１図　　　（シ）

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 先端が針状に形成されたチップと、上記チップを加熱す
    るためのヒータと、上記チップと上記ヒータとが接する
    部分に担持されたイオン化すべき物質と、上記チップの
    先端から上記物質のイオンを引出すため上記チップの先
    端前方に配設された引出し電極とを備え、上記チップお
    よび上記ヒータのうち少なくとも上記ヒータの表面に耐
    熱性で、かつ、上記物質と反応しない物質からなる被覆
    層を設けてなることを特徴とする電界放出型イオン源。 （α）
JP1981173288U 1981-11-24 1981-11-24 電界放出型イオン源 Pending JPS5878557U (ja)

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JP1981173288U JPS5878557U (ja) 1981-11-24 1981-11-24 電界放出型イオン源
DE8282110653T DE3270023D1 (en) 1981-11-24 1982-11-18 Field-emission-type ion source
EP82110653A EP0080170B1 (en) 1981-11-24 1982-11-18 Field-emission-type ion source
US06/443,642 US4551650A (en) 1981-11-24 1982-11-22 Field-emission ion source with spiral shaped filament heater

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JPS5878557U true JPS5878557U (ja) 1983-05-27

Family

ID=15957665

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US (1) US4551650A (ja)
EP (1) EP0080170B1 (ja)
JP (1) JPS5878557U (ja)
DE (1) DE3270023D1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0080170B1 (en) 1986-03-19
EP0080170A1 (en) 1983-06-01
DE3270023D1 (en) 1986-04-24
US4551650A (en) 1985-11-05

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