JPS5878557U - 電界放出型イオン源 - Google Patents
電界放出型イオン源Info
- Publication number
- JPS5878557U JPS5878557U JP1981173288U JP17328881U JPS5878557U JP S5878557 U JPS5878557 U JP S5878557U JP 1981173288 U JP1981173288 U JP 1981173288U JP 17328881 U JP17328881 U JP 17328881U JP S5878557 U JPS5878557 U JP S5878557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- field emission
- ion source
- heater
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/26—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field effect ion sources, thermionic ion sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第′1図a、 bは従来用いられていた高電界放出型
イオンエミッタ構成図、第2図a、 bは本考案の高
電界放出型エミッタの構成図、第3図は本考 、案の
イオン源としての全体構成図である。 1・・・ヒータ、2・・・チップ、3−′・・イオン源
材料、4・・・反応阻止用コーテイング膜、5・・・制
御電極、6・・・イオン引出口電極、7・・・イオンビ
ーム、8・・・イオン加速用高圧電源、9・・・ターゲ
ット、10・・・イオン電流測定用電流計。 第1図 (シ)
イオンエミッタ構成図、第2図a、 bは本考案の高
電界放出型エミッタの構成図、第3図は本考 、案の
イオン源としての全体構成図である。 1・・・ヒータ、2・・・チップ、3−′・・イオン源
材料、4・・・反応阻止用コーテイング膜、5・・・制
御電極、6・・・イオン引出口電極、7・・・イオンビ
ーム、8・・・イオン加速用高圧電源、9・・・ターゲ
ット、10・・・イオン電流測定用電流計。 第1図 (シ)
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 先端が針状に形成されたチップと、上記チップを加熱す
るためのヒータと、上記チップと上記ヒータとが接する
部分に担持されたイオン化すべき物質と、上記チップの
先端から上記物質のイオンを引出すため上記チップの先
端前方に配設された引出し電極とを備え、上記チップお
よび上記ヒータのうち少なくとも上記ヒータの表面に耐
熱性で、かつ、上記物質と反応しない物質からなる被覆
層を設けてなることを特徴とする電界放出型イオン源。 (α)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981173288U JPS5878557U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放出型イオン源 |
DE8282110653T DE3270023D1 (en) | 1981-11-24 | 1982-11-18 | Field-emission-type ion source |
EP82110653A EP0080170B1 (en) | 1981-11-24 | 1982-11-18 | Field-emission-type ion source |
US06/443,642 US4551650A (en) | 1981-11-24 | 1982-11-22 | Field-emission ion source with spiral shaped filament heater |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981173288U JPS5878557U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放出型イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5878557U true JPS5878557U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=15957665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1981173288U Pending JPS5878557U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放出型イオン源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4551650A (ja) |
EP (1) | EP0080170B1 (ja) |
JP (1) | JPS5878557U (ja) |
DE (1) | DE3270023D1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0622094B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1994-03-23 | 株式会社日立製作所 | 液体金属イオン源 |
DE3502902A1 (de) * | 1984-01-31 | 1985-08-08 | Futaba Denshi Kogyo K.K., Mobara, Chiba | Ionenstrahl-aufdampfvorrichtung |
US4617203A (en) * | 1985-04-08 | 1986-10-14 | Hughes Aircraft Company | Preparation of liquid metal source structures for use in ion beam evaporation of boron-containing alloys |
FR2722333B1 (fr) * | 1994-07-07 | 1996-09-13 | Rech Scient Snrs Centre Nat De | Source d'ions de metaux liquides |
EP0706199B1 (en) * | 1994-10-07 | 2003-07-02 | International Business Machines Corporation | Novel high brightness point ion sources using liquid ionic compounds |
US5727978A (en) * | 1995-12-19 | 1998-03-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of forming electron beam emitting tungsten filament |
JP3156755B2 (ja) * | 1996-12-16 | 2001-04-16 | 日本電気株式会社 | 電界放出型冷陰極装置 |
EP2263248B1 (en) * | 2008-03-03 | 2016-05-04 | Carl Zeiss Microscopy, LLC | Gas field ion source with coated tip |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1574611A (en) * | 1976-04-13 | 1980-09-10 | Atomic Energy Authority Uk | Ion sources |
US4328667A (en) * | 1979-03-30 | 1982-05-11 | The European Space Research Organisation | Field-emission ion source and ion thruster apparatus comprising such sources |
JPS56112058A (en) * | 1980-02-08 | 1981-09-04 | Hitachi Ltd | High brightness ion source |
US4318030A (en) * | 1980-05-12 | 1982-03-02 | Hughes Aircraft Company | Liquid metal ion source |
US4367429A (en) * | 1980-11-03 | 1983-01-04 | Hughes Aircraft Company | Alloys for liquid metal ion sources |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP1981173288U patent/JPS5878557U/ja active Pending
-
1982
- 1982-11-18 EP EP82110653A patent/EP0080170B1/en not_active Expired
- 1982-11-18 DE DE8282110653T patent/DE3270023D1/de not_active Expired
- 1982-11-22 US US06/443,642 patent/US4551650A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0080170B1 (en) | 1986-03-19 |
DE3270023D1 (en) | 1986-04-24 |
EP0080170A1 (en) | 1983-06-01 |
US4551650A (en) | 1985-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE62564T1 (de) | Flaches elektronensteuergeraet als virtuelle kathode unter ausnutzung einer gleichmaessigen raumladungswolke aus freien elektronen. | |
JPS5878557U (ja) | 電界放出型イオン源 | |
JPS53121454A (en) | Electron source of thin film electric field emission type and its manufacture | |
JPS5911400Y2 (ja) | 電界放射型イオン源 | |
JPS6139156U (ja) | 薄膜形成装置 | |
JPS6292550U (ja) | ||
JPS5883145U (ja) | 試料加熱機構 | |
JPS5879844U (ja) | 液体金属イオン源 | |
JPS5957850U (ja) | 四重極質量分析計 | |
JPS5928952U (ja) | イオン源 | |
JPS6130069U (ja) | 被膜形成装置 | |
JPS58125353U (ja) | 負イオン検出装置 | |
JPS5823156U (ja) | 電界放出型電子銃 | |
JPS58110949U (ja) | イオン銃 | |
JPS6059998U (ja) | 放射性ガスの固定化処分装置 | |
JPS5841970U (ja) | X線管用陰極構体 | |
JPS5955848U (ja) | 電界放射型イオン源 | |
JPS59152555U (ja) | イオン源装置 | |
JPS59103756U (ja) | 高周波プラズマ励起用電極 | |
JPS58120959U (ja) | 固体電解質酸素濃度計 | |
JPS5910842U (ja) | 金属イオン源 | |
JPS60151295U (ja) | 低温プラズマ発生用電極 | |
JPS60143770U (ja) | 電子衝撃型蒸着装置 | |
JPS598150U (ja) | 酸素濃度検出器 | |
JPS5887253U (ja) | 電子ビ−ム源 |