JP3156755B2 - 電界放出型冷陰極装置 - Google Patents
電界放出型冷陰極装置Info
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/94—Selection of substances for gas fillings; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the tube, e.g. by gettering
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
- H01J1/3042—Field-emissive cathodes microengineered, e.g. Spindt-type
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- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ゲート電極と陰極
との間に電界を生じさせることにより陰極を加熱するこ
となく電子を放出させることができる電界放出型冷陰極
装置に関し、特に、陰極に対するガス吸着を低減するた
めの熱源を備えた電界放出型冷陰極装置、及び該電界放
出型冷陰極装置と該電界放出型冷陰極装置を駆動するた
めの電源を備えた画像処理装置に関する。
との間に電界を生じさせることにより陰極を加熱するこ
となく電子を放出させることができる電界放出型冷陰極
装置に関し、特に、陰極に対するガス吸着を低減するた
めの熱源を備えた電界放出型冷陰極装置、及び該電界放
出型冷陰極装置と該電界放出型冷陰極装置を駆動するた
めの電源を備えた画像処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、電界放出型冷陰極装置では、ゲ
ート電極の電位を基準電位として、陰極に負電圧を印加
することにより、陰極の表面に高電界を生じさせ、陰極
を加熱することなく、トンネル効果によってエミッタの
表面から電子を放出させている。このような、電界放出
型冷陰極装置における陰極及びゲート電極の一般的な構
造としては、以下に示すようなものが挙げられる。
ート電極の電位を基準電位として、陰極に負電圧を印加
することにより、陰極の表面に高電界を生じさせ、陰極
を加熱することなく、トンネル効果によってエミッタの
表面から電子を放出させている。このような、電界放出
型冷陰極装置における陰極及びゲート電極の一般的な構
造としては、以下に示すようなものが挙げられる。
【0003】電子を放出させるために負電圧を印加され
る陰極は、アレイ状に配置された複数のエミッタを有し
ている。ここで、電界放出型冷陰極装置の電子放出電流
は、エミッタ先端部の電界強度によって決まる。一方、
ゲート電極と陰極との間に印加する電圧は、低い方が望
ましい。そこで、陰極の有するエミッタ(電子放出部)
は、尖鋭な先端形状を有している。
る陰極は、アレイ状に配置された複数のエミッタを有し
ている。ここで、電界放出型冷陰極装置の電子放出電流
は、エミッタ先端部の電界強度によって決まる。一方、
ゲート電極と陰極との間に印加する電圧は、低い方が望
ましい。そこで、陰極の有するエミッタ(電子放出部)
は、尖鋭な先端形状を有している。
【0004】ゲート電極は、夫々のエミッタ先端から約
1μm程度の近接した場所に配置される様に、エミッタ
先端を囲むような開口部を有している。
1μm程度の近接した場所に配置される様に、エミッタ
先端を囲むような開口部を有している。
【0005】また、この種の電界放出型冷陰極装置とし
て、ゲート電極の外周部あるいは上方に、ゲート電極の
有する開口部を通過してきた電子の広がりを集束するた
めの集束電極が備えられたものもある。尚、集束電極に
印加される電圧も、ゲート電極の電位を基準電位とする
と、負電圧である。
て、ゲート電極の外周部あるいは上方に、ゲート電極の
有する開口部を通過してきた電子の広がりを集束するた
めの集束電極が備えられたものもある。尚、集束電極に
印加される電圧も、ゲート電極の電位を基準電位とする
と、負電圧である。
【0006】このような電界放出型冷陰極装置における
問題点として、電子放出時にエミッタ表面にガスが吸着
することが知られている。エミッタ表面にガスが吸着す
ると、電子を放出するための仕事関数が増大することに
なり、ガスが吸着していない場合よりも高電界を印加し
なければ、電子を放出することができない。尚、ガスと
しては、低真空度の容器中に残留しているものや、放出
された電子がエミッタ周囲のゲート電極及び絶縁膜、並
びに陽極や真空槽内壁等の構造物に衝突することによ
り、分子やイオンとして飛び出したものが挙げられる。
問題点として、電子放出時にエミッタ表面にガスが吸着
することが知られている。エミッタ表面にガスが吸着す
ると、電子を放出するための仕事関数が増大することに
なり、ガスが吸着していない場合よりも高電界を印加し
なければ、電子を放出することができない。尚、ガスと
しては、低真空度の容器中に残留しているものや、放出
された電子がエミッタ周囲のゲート電極及び絶縁膜、並
びに陽極や真空槽内壁等の構造物に衝突することによ
り、分子やイオンとして飛び出したものが挙げられる。
【0007】このような問題を解決する技術として、特
開平4−370635号公報(従来例1)、特開平4−
22038号公報(従来例2)、特開平5−19825
5号公報(従来例3)、特開平7−182969号公報
(従来例4)、特開平6−223705号公報(従来例
5)、特開昭64−54639号公報(従来例6)、特
開平6−310024号(従来例7)に、夫々、開示さ
れているものが挙げられる。
開平4−370635号公報(従来例1)、特開平4−
22038号公報(従来例2)、特開平5−19825
5号公報(従来例3)、特開平7−182969号公報
(従来例4)、特開平6−223705号公報(従来例
5)、特開昭64−54639号公報(従来例6)、特
開平6−310024号(従来例7)に、夫々、開示さ
れているものが挙げられる。
【0008】まず、従来例1には、負電界の印加により
微小冷陰極(エミッタ)の先端より電子ビームを引き出
し、この電子ビームを蛍光体に照射し画像表示させる画
像表示装置において、上記負電界の無印加時に上記微小
冷陰極に対し正電界を連続的又は間欠的に印加すること
により、ガスのエミッタ表面への吸着を防止する技術が
開示されている。
微小冷陰極(エミッタ)の先端より電子ビームを引き出
し、この電子ビームを蛍光体に照射し画像表示させる画
像表示装置において、上記負電界の無印加時に上記微小
冷陰極に対し正電界を連続的又は間欠的に印加すること
により、ガスのエミッタ表面への吸着を防止する技術が
開示されている。
【0009】従来例2には、エミッタアレイを例えば2
つのエミッタ群に分けて、一方のエミッタ群から電子を
放出する際に、他方のエミッタ群の電位を高く(一方の
エミッタ群に対応するゲート電極の電位以上に)するこ
とにより、一方のエミッタ群から放出された電子を他方
のエミッタ群に衝突させて、他方のエミッタ群をクリー
ニングする技術が開示されている。
つのエミッタ群に分けて、一方のエミッタ群から電子を
放出する際に、他方のエミッタ群の電位を高く(一方の
エミッタ群に対応するゲート電極の電位以上に)するこ
とにより、一方のエミッタ群から放出された電子を他方
のエミッタ群に衝突させて、他方のエミッタ群をクリー
ニングする技術が開示されている。
【0010】従来例3には、2つのエミッタ群に分けら
れたエミッタアレイにおいて、一方のエミッタ群から放
出された電子を他方のエミッタ群に衝突させることによ
り、他方のエミッタ群をクリーニングする際に、放出さ
れた電子がアノードに衝突せず、他方のエミッタ群に有
効に衝突する様に、アノードに対して負電圧を印加する
技術が開示されている。
れたエミッタアレイにおいて、一方のエミッタ群から放
出された電子を他方のエミッタ群に衝突させることによ
り、他方のエミッタ群をクリーニングする際に、放出さ
れた電子がアノードに衝突せず、他方のエミッタ群に有
効に衝突する様に、アノードに対して負電圧を印加する
技術が開示されている。
【0011】上記した従来例1乃至従来例3のいずれも
電界放出型冷陰極装置に設けられた本来備えられている
電極を用いて、ガスの吸着を防止している。しかしなが
ら、これら本来の電極を利用しただけでは、ガス吸着防
止及びガス吸着抑制に関して限界がある。このような観
点から従来例4乃至従来例7において、ヒータで加熱す
ることにより、エミッタ表面に対するガス吸着の防止又
は抑制をより効果的に行う提案がされている。
電界放出型冷陰極装置に設けられた本来備えられている
電極を用いて、ガスの吸着を防止している。しかしなが
ら、これら本来の電極を利用しただけでは、ガス吸着防
止及びガス吸着抑制に関して限界がある。このような観
点から従来例4乃至従来例7において、ヒータで加熱す
ることにより、エミッタ表面に対するガス吸着の防止又
は抑制をより効果的に行う提案がされている。
【0012】具体的に言えば、従来例4には、複数のエ
ミッタを有するエミッタ電極の下部にヒータを備え、該
ヒータにより、複数のエミッタを加熱して、エミッタ表
面にに吸着したガス分子を乖離する技術が開示されてい
る。
ミッタを有するエミッタ電極の下部にヒータを備え、該
ヒータにより、複数のエミッタを加熱して、エミッタ表
面にに吸着したガス分子を乖離する技術が開示されてい
る。
【0013】従来例5には、基板のエミッタ下部に位置
する領域の厚さを、他の領域と比較して薄くして、該基
板に電流を流すことにより、基板における厚さの薄い領
域を発熱させて複数のエミッタを加熱して、エミッタ表
面に吸着したガス分子を乖離する技術が開示されてい
る。
する領域の厚さを、他の領域と比較して薄くして、該基
板に電流を流すことにより、基板における厚さの薄い領
域を発熱させて複数のエミッタを加熱して、エミッタ表
面に吸着したガス分子を乖離する技術が開示されてい
る。
【0014】従来例6には、ゲート電極と同じ層に、エ
ミッタ領域を囲むようにして設けられたヒータを備え、
エミッタを加熱して、エミッタ表面に吸着したガス分子
を乖離する技術が開示されている。
ミッタ領域を囲むようにして設けられたヒータを備え、
エミッタを加熱して、エミッタ表面に吸着したガス分子
を乖離する技術が開示されている。
【0015】従来例7には、エミッタを有するフィラメ
ント構造物を基板より電気的に絶縁された状態で形成
し、エミッタを挟むようにしてフィラメント構造物に設
けられた2つの電極間に電流を流すことにより、エミッ
タを加熱して、エミッタ表面に吸着したガス分子を乖離
する技術が開示されている。
ント構造物を基板より電気的に絶縁された状態で形成
し、エミッタを挟むようにしてフィラメント構造物に設
けられた2つの電極間に電流を流すことにより、エミッ
タを加熱して、エミッタ表面に吸着したガス分子を乖離
する技術が開示されている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
4乃至従来例7に開示された技術には、夫々、以下に示
すような問題点があった。
4乃至従来例7に開示された技術には、夫々、以下に示
すような問題点があった。
【0017】即ち、従来例4においては、ヒータが、他
の構成要素と関連もなく、独立した電源により駆動され
ていることから、後述するように、他の従来例と共通の
問題点を有していた。
の構成要素と関連もなく、独立した電源により駆動され
ていることから、後述するように、他の従来例と共通の
問題点を有していた。
【0018】更に、従来例5は、従来の工程に対して、
基板の裏面を大きく掘り込むための工程が更に必要とな
ることから、全体として工程が複雑になりコストアップ
につながるといった問題点を有していた。
基板の裏面を大きく掘り込むための工程が更に必要とな
ることから、全体として工程が複雑になりコストアップ
につながるといった問題点を有していた。
【0019】また、従来例6においては、エミッタエリ
アの周囲に設けられたヒータが、良好な集束効果を生じ
させるための構造を形成する際に妨げとなるといった問
題が生じていた。一般に良好な集束効果を生じさせるた
めには、ゲート電極の外周部あるいは上方であって、エ
ミッタエリアの周囲に、エミッタから放出された電子の
広がりを集束するための集束電極が設けられる。ここ
で、集束電極の作用、即ち集束効果は、集束電極に印加
された電圧によって生じる電界により、放出された電子
の軌道が曲げられることにより生じるものであるから、
集束電極はエミッタエリアの近傍に配置されることが望
ましい。しかしながら、従来例6においては、エミッタ
エリアの周囲にヒータが設けられていることから、集束
電極等の形成に制限が設けられることになり、結果とし
て、所望の集束効果を得ることが困難となっていた。
アの周囲に設けられたヒータが、良好な集束効果を生じ
させるための構造を形成する際に妨げとなるといった問
題が生じていた。一般に良好な集束効果を生じさせるた
めには、ゲート電極の外周部あるいは上方であって、エ
ミッタエリアの周囲に、エミッタから放出された電子の
広がりを集束するための集束電極が設けられる。ここ
で、集束電極の作用、即ち集束効果は、集束電極に印加
された電圧によって生じる電界により、放出された電子
の軌道が曲げられることにより生じるものであるから、
集束電極はエミッタエリアの近傍に配置されることが望
ましい。しかしながら、従来例6においては、エミッタ
エリアの周囲にヒータが設けられていることから、集束
電極等の形成に制限が設けられることになり、結果とし
て、所望の集束効果を得ることが困難となっていた。
【0020】更に、従来例7は、構造が複雑であり、従
来から存する構造等を利用することができないという問
題点を有していた。
来から存する構造等を利用することができないという問
題点を有していた。
【0021】また、上述した従来例4乃至従来例6に共
通の問題として、エミッタを加熱するためのヒータを設
けるために、端子数が増加することになり、それに伴っ
て、以下に示すデメリット生じていた。
通の問題として、エミッタを加熱するためのヒータを設
けるために、端子数が増加することになり、それに伴っ
て、以下に示すデメリット生じていた。
【0022】電界放出型冷陰極装置は、言うまでもな
く、真空中で動作させる装置である。従って、電界放出
型冷陰極装置を実際に使用する際には、該装置を真空中
に保持するための何らかの外囲器が必要であり、また、
外囲器の外部から各電極に電源を供給するためには、当
然、端子を外囲器の外側へ引き出すことが必要である。
一方、例えば、CRT等ではバルブの形状及び寸法等に
より、端子ピンを配置するためのスペースが限られてい
ることは、良く知られていることである。従って、電界
放出型冷陰極装置から引き出される端子の数が増えると
言うことは、上記の限られたスペースに配置される端子
ピンの数が増えることであり、各端子ピン間の間隔が狭
まることになる。このように各端子ピン間の間隔が狭ま
ると、その結果、ピン間の耐圧が劣化することになるた
め、実際には、限られたスペースに起因して引き出せる
端子数が制限されることになる。しかしながら、上述し
た従来例4乃至従来例6のいずれも端子数等には言及し
ておらず、従って実施不能であり、無理に実施をしよう
とすれば、上記のように、ピン間の耐圧劣化によるショ
ートが生じ得るといった問題を有していた。
く、真空中で動作させる装置である。従って、電界放出
型冷陰極装置を実際に使用する際には、該装置を真空中
に保持するための何らかの外囲器が必要であり、また、
外囲器の外部から各電極に電源を供給するためには、当
然、端子を外囲器の外側へ引き出すことが必要である。
一方、例えば、CRT等ではバルブの形状及び寸法等に
より、端子ピンを配置するためのスペースが限られてい
ることは、良く知られていることである。従って、電界
放出型冷陰極装置から引き出される端子の数が増えると
言うことは、上記の限られたスペースに配置される端子
ピンの数が増えることであり、各端子ピン間の間隔が狭
まることになる。このように各端子ピン間の間隔が狭ま
ると、その結果、ピン間の耐圧が劣化することになるた
め、実際には、限られたスペースに起因して引き出せる
端子数が制限されることになる。しかしながら、上述し
た従来例4乃至従来例6のいずれも端子数等には言及し
ておらず、従って実施不能であり、無理に実施をしよう
とすれば、上記のように、ピン間の耐圧劣化によるショ
ートが生じ得るといった問題を有していた。
【0023】また、一般に端子数が増大することは、コ
スト的な観点から見て、好ましいものではない。特に、
セラミック製の外囲器を有するような電子管において
は、端子を引き出すために手間のかかる工程が必要とな
ることから、端子数が増大することは、コストを大きく
引き上げる要因となるといった問題が生じていた。
スト的な観点から見て、好ましいものではない。特に、
セラミック製の外囲器を有するような電子管において
は、端子を引き出すために手間のかかる工程が必要とな
ることから、端子数が増大することは、コストを大きく
引き上げる要因となるといった問題が生じていた。
【0024】更に、端子数が増大するということは、引
き出された端子に配線するための配線本数が増えること
になり、結果として、配線するための工程(ワイヤボン
ディング、溶接等)に関してもコストの増大を招くこと
になる。
き出された端子に配線するための配線本数が増えること
になり、結果として、配線するための工程(ワイヤボン
ディング、溶接等)に関してもコストの増大を招くこと
になる。
【0025】尚、参考までに、マイクロ波領域での増幅
または発振等に用いられるTWT(Traveling-Wave Tub
e )を例にとると、一端子増加する毎に数万円のオーダ
ーでのコスト上昇を引き起こすことになる。
または発振等に用いられるTWT(Traveling-Wave Tub
e )を例にとると、一端子増加する毎に数万円のオーダ
ーでのコスト上昇を引き起こすことになる。
【0026】そこで、本発明の目的は、エミッタを加熱
するためのヒータを備えた上で、ヒータを備えない場合
と比較して、端子ピン数の増加が抑えられた電界放出型
冷陰極装置を提供することにある。
するためのヒータを備えた上で、ヒータを備えない場合
と比較して、端子ピン数の増加が抑えられた電界放出型
冷陰極装置を提供することにある。
【0027】また、本発明の目的は、従来の製造工程と
比較して、工程の複雑化が防止された電界放出型冷陰極
装置を提供することにある。
比較して、工程の複雑化が防止された電界放出型冷陰極
装置を提供することにある。
【0028】更に、本発明の目的は、エミッタを駆動す
る駆動パルス間の空き時間を利用して、効率的にヒータ
を駆動することにより、クリーニングの効率を上昇させ
た電界放出型冷陰極装置を提供することにある。
る駆動パルス間の空き時間を利用して、効率的にヒータ
を駆動することにより、クリーニングの効率を上昇させ
た電界放出型冷陰極装置を提供することにある。
【0029】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するために、ヒータと他の構成要素とで端子を共
有したり、従来から存する構成要素をヒータとして兼用
したりすることとした。
を解決するために、ヒータと他の構成要素とで端子を共
有したり、従来から存する構成要素をヒータとして兼用
したりすることとした。
【0030】より具体的には、以下に示す第1乃至第2
3の電界放出型冷陰極装置を提供することとした。
3の電界放出型冷陰極装置を提供することとした。
【0031】即ち、本発明によれば、第1の電界放出型
冷陰極装置として、尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッ
タを有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出さ
れたエミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与
えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽
出するためゲート電極、該ゲート電極から引き出された
ゲート端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源
を備えており、前記熱源は、二つの熱源端部を備えてお
り、該二つの熱源端部の一方は、前記エミッタ端子又は
前記ゲート端子の一方と、共通に接続されていることを
特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
冷陰極装置として、尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッ
タを有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出さ
れたエミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与
えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽
出するためゲート電極、該ゲート電極から引き出された
ゲート端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源
を備えており、前記熱源は、二つの熱源端部を備えてお
り、該二つの熱源端部の一方は、前記エミッタ端子又は
前記ゲート端子の一方と、共通に接続されていることを
特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0032】また、本発明によれば、第2の電界放出型
冷陰極装置として、前記第1の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、抵抗体
を備えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が
得られる。
冷陰極装置として、前記第1の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、抵抗体
を備えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が
得られる。
【0033】また、本発明によれば、第3の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記熱源は、前記二つの熱源端部間において、
前記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備えて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
冷陰極装置として、前記第2の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記熱源は、前記二つの熱源端部間において、
前記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備えて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
【0034】また、本発明によれば、第4の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記熱源は、前記エミッタ
電極及び前記ゲート電極を備える電界放出型冷陰極素子
内部に、設けられていることを特徴とする電界放出型冷
陰極装置が得られる。
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記熱源は、前記エミッタ
電極及び前記ゲート電極を備える電界放出型冷陰極素子
内部に、設けられていることを特徴とする電界放出型冷
陰極装置が得られる。
【0035】また、本発明によれば、第5の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記エミッタ電極の少なく
とも一部の領域は、抵抗体で構成されており、前記エミ
ッタ電極の有する該抵抗体は、前記熱源の備える抵抗体
を兼ねていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が
得られる。
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記エミッタ電極の少なく
とも一部の領域は、抵抗体で構成されており、前記エミ
ッタ電極の有する該抵抗体は、前記熱源の備える抵抗体
を兼ねていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が
得られる。
【0036】また、本発明によれば、第6の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記エミッタ端子及び前記
ゲート端子は、前記エミッタ電極及び前記ゲート電極を
備える電界放出型冷陰極素子を固定するための支持構体
に、設けられており、前記熱源は、前記二つの熱源端部
の内、一方の熱源端部を前記エミッタ端子に接続され、
他方の熱源端部を前記ゲート端子に接続される様にし
て、前記支持構体内部に設けられていることを特徴とす
る電界放出型冷陰極装置が得られる。
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記エミッタ端子及び前記
ゲート端子は、前記エミッタ電極及び前記ゲート電極を
備える電界放出型冷陰極素子を固定するための支持構体
に、設けられており、前記熱源は、前記二つの熱源端部
の内、一方の熱源端部を前記エミッタ端子に接続され、
他方の熱源端部を前記ゲート端子に接続される様にし
て、前記支持構体内部に設けられていることを特徴とす
る電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0037】また、本発明によれば、第7の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2乃至第5のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記熱源の備える二つの熱
源端部の内、一方は、前記エミッタ端子に共通に接続さ
れており、他方は、前記ゲート端子に共通に接続されて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
冷陰極装置として、前記第2乃至第5のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記熱源の備える二つの熱
源端部の内、一方は、前記エミッタ端子に共通に接続さ
れており、他方は、前記ゲート端子に共通に接続されて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
【0038】また、本発明によれば、第8の電界放出型
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記抵抗体は、前記複数の
エミッタがアレイ状に配されてなるエミッタアレイを取
り囲むようにして、且つ、二つの端部を備えるようにし
て、前記ゲート電極と異なる層であって、前記ゲート電
極よりも前記エミッタ電極により近い位置に形成されて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
冷陰極装置として、前記第2又は第3のいずれかの電界
放出型冷陰極装置において、前記抵抗体は、前記複数の
エミッタがアレイ状に配されてなるエミッタアレイを取
り囲むようにして、且つ、二つの端部を備えるようにし
て、前記ゲート電極と異なる層であって、前記ゲート電
極よりも前記エミッタ電極により近い位置に形成されて
いることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られ
る。
【0039】更に、本発明によれば、第9の電界放出型
冷陰極装置として、前記第3の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記エミッタ電極は、半導体基板を備えてお
り、前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配
されてなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且
つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と
異なる層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ
電極により近い位置に形成されており、前記ダイオード
は、前記半導体基板内に設けられ、一端を前記抵抗体の
備える二つの端部の内の一方に接続されていることを特
徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
冷陰極装置として、前記第3の電界放出型冷陰極装置に
おいて、前記エミッタ電極は、半導体基板を備えてお
り、前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配
されてなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且
つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と
異なる層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ
電極により近い位置に形成されており、前記ダイオード
は、前記半導体基板内に設けられ、一端を前記抵抗体の
備える二つの端部の内の一方に接続されていることを特
徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0040】また、本発明によれば、第10の電界放出
型冷陰極装置として、尖鋭な先端形状を持つ複数のエミ
ッタを有するエミッタ電極、前記エミッタ電極と異なる
電位を与えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電
子群を抽出するためゲート電極、該ゲート電極から引き
出されたゲート端子、該ゲート電極と異なる電位を与え
られて抽出された前記電子群の広がりを集束するための
集束電極、該集束電極から引き出された集束端子、前記
複数のエミッタを加熱するための熱源を備えた電界放出
型冷陰極装置において、前記熱源は、二つの熱源端部を
備えており、該二つの熱源端部の一方は、前記ゲート端
子又は前記集束端子の一方と、共通に接続されているこ
とを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、尖鋭な先端形状を持つ複数のエミ
ッタを有するエミッタ電極、前記エミッタ電極と異なる
電位を与えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電
子群を抽出するためゲート電極、該ゲート電極から引き
出されたゲート端子、該ゲート電極と異なる電位を与え
られて抽出された前記電子群の広がりを集束するための
集束電極、該集束電極から引き出された集束端子、前記
複数のエミッタを加熱するための熱源を備えた電界放出
型冷陰極装置において、前記熱源は、二つの熱源端部を
備えており、該二つの熱源端部の一方は、前記ゲート端
子又は前記集束端子の一方と、共通に接続されているこ
とを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0041】また、本発明によれば、第11の電界放出
型冷陰極装置として、前記第10の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、抵
抗体を備えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装
置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第10の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、抵
抗体を備えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装
置が得られる。
【0042】また、本発明によれば、第12の電界放出
型冷陰極装置として、前記第11の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、前
記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備えてい
ることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第11の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、前
記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備えてい
ることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0043】また、本発明によれば、第13の電界放出
型冷陰極装置として、前記第11又は第12のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記集束電極は、二
つの集束端部を備えており、該二つの集束端部の内、一
方は、前記集束端子と接続されており、他方は、前記二
つの熱源端部の一方と接続されていることを特徴とする
電界放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第11又は第12のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記集束電極は、二
つの集束端部を備えており、該二つの集束端部の内、一
方は、前記集束端子と接続されており、他方は、前記二
つの熱源端部の一方と接続されていることを特徴とする
電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0044】また、本発明によれば、第14の電界放出
型冷陰極装置として、前記第13の電界放出型冷陰極装
置において、前記集束電極の備える前記二つ集束端部の
内の一方の電位と、該二つの集束端部の内の他方におけ
る電位とが実質的に等しくなるように、前記抵抗体の抵
抗値が調整されていることを特徴とする電界放出型冷陰
極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第13の電界放出型冷陰極装
置において、前記集束電極の備える前記二つ集束端部の
内の一方の電位と、該二つの集束端部の内の他方におけ
る電位とが実質的に等しくなるように、前記抵抗体の抵
抗値が調整されていることを特徴とする電界放出型冷陰
極装置が得られる。
【0045】また、本発明によれば、第15の電界放出
型冷陰極装置として、前記第13又は第14のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記二つの熱源端部
の内、前記集束端部に接続されていない他方は、前記ゲ
ート端子と共通に接続されていることを特徴とする電界
放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第13又は第14のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記二つの熱源端部
の内、前記集束端部に接続されていない他方は、前記ゲ
ート端子と共通に接続されていることを特徴とする電界
放出型冷陰極装置が得られる。
【0046】また、本発明によれば、第16の電界放出
型冷陰極装置として、前記第11乃至第15のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記熱源は、前記エ
ミッタ電極、前記ゲート電極及び前記集束電極を備える
電界放出型冷陰極素子内部に設けられていることを特徴
とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第11乃至第15のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記熱源は、前記エ
ミッタ電極、前記ゲート電極及び前記集束電極を備える
電界放出型冷陰極素子内部に設けられていることを特徴
とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0047】また、本発明によれば、第17の電界放出
型冷陰極装置として、前記第11乃至第15のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記抵抗体は、前記
複数のエミッタがアレイ状に配されてなるエミッタアレ
イを取り囲むようにして、且つ二つの端部を備えるよう
にして、前記ゲート電極と異なる層であって、前記ゲー
ト電極よりも前記エミッタ電極により近い位置に形成さ
れていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
型冷陰極装置として、前記第11乃至第15のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記抵抗体は、前記
複数のエミッタがアレイ状に配されてなるエミッタアレ
イを取り囲むようにして、且つ二つの端部を備えるよう
にして、前記ゲート電極と異なる層であって、前記ゲー
ト電極よりも前記エミッタ電極により近い位置に形成さ
れていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
【0048】また、本発明によれば、第18の電界放出
型冷陰極装置として、前記第15の電界放出型冷陰極装
置において、前記エミッタ電極は、半導体基板を備えて
おり、前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に
配されてなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且
つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と
異なる層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ
電極により近い位置に形成されており、前記ダイオード
は、前記半導体基板内に設けられ、一端を前記抵抗体の
備える二つの端部の内の一方に接続されていることを特
徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第15の電界放出型冷陰極装
置において、前記エミッタ電極は、半導体基板を備えて
おり、前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に
配されてなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且
つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と
異なる層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ
電極により近い位置に形成されており、前記ダイオード
は、前記半導体基板内に設けられ、一端を前記抵抗体の
備える二つの端部の内の一方に接続されていることを特
徴とする電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0049】また、本発明によれば、第19の電界放出
型冷陰極装置として、前記第10の電界放出型冷陰極装
置において、前記集束電極は、少なくとも一部が抵抗体
で構成されるものであり、前記二つの熱源端部の内、一
方は、前記集束端子と共通に接続されており、前記熱源
は、前記二つの熱源端部間に、前記集束電極の一部を構
成する抵抗体を備えていることを特徴とする電界放出型
冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第10の電界放出型冷陰極装
置において、前記集束電極は、少なくとも一部が抵抗体
で構成されるものであり、前記二つの熱源端部の内、一
方は、前記集束端子と共通に接続されており、前記熱源
は、前記二つの熱源端部間に、前記集束電極の一部を構
成する抵抗体を備えていることを特徴とする電界放出型
冷陰極装置が得られる。
【0050】また、本発明によれば、第20の電界放出
型冷陰極装置として、前記第19の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間におい
て、前記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備
えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
型冷陰極装置として、前記第19の電界放出型冷陰極装
置において、前記熱源は、前記二つの熱源端部間におい
て、前記抵抗体に直列に接続されたダイオードを更に備
えていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
【0051】また、本発明によれば、第21の電界放出
型冷陰極装置として、前記第20の電界放出型冷陰極装
置において、前記ダイオードは、カソードを前記ゲート
端子と共通に接続され、アノードを前記抵抗体と接続さ
れていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
型冷陰極装置として、前記第20の電界放出型冷陰極装
置において、前記ダイオードは、カソードを前記ゲート
端子と共通に接続され、アノードを前記抵抗体と接続さ
れていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置が得ら
れる。
【0052】また、本発明によれば、第22の電界放出
型冷陰極装置として、前記第20又は第21のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記エミッタ電極
は、半導体基板を備えており、前記ダイオードは、前記
半導体基板内に設けられ、一端を前記集束電極の備える
前記抵抗体に接続されていることを特徴とする電界放出
型冷陰極装置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第20又は第21のいずれか
の電界放出型冷陰極装置において、前記エミッタ電極
は、半導体基板を備えており、前記ダイオードは、前記
半導体基板内に設けられ、一端を前記集束電極の備える
前記抵抗体に接続されていることを特徴とする電界放出
型冷陰極装置が得られる。
【0053】更に、本発明によれば、第23の電界放出
型冷陰極装置として、前記第19の電界放出型冷陰極装
置において、前記二つの熱源端部の内、前記集束端子と
共通に接続されていない他方は、前記ゲート端子と共通
に接続されていることを特徴とする電界放出型冷陰極装
置が得られる。
型冷陰極装置として、前記第19の電界放出型冷陰極装
置において、前記二つの熱源端部の内、前記集束端子と
共通に接続されていない他方は、前記ゲート端子と共通
に接続されていることを特徴とする電界放出型冷陰極装
置が得られる。
【0054】また、上記した本発明の第1乃至第23の
電界放出型冷陰極装置は、電源と組合わせて電子源とし
て使用され得る。特に、本発明によれば、以下に示す第
1乃至第4の電子源が得られる。
電界放出型冷陰極装置は、電源と組合わせて電子源とし
て使用され得る。特に、本発明によれば、以下に示す第
1乃至第4の電子源が得られる。
【0055】即ち、本発明によれば、第1の電子源とし
て、前記第6又は第7のいずれかの電界放出型冷陰極装
置と、前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に電圧
を印加するための電源であって、二極性の電源である両
極出力電源とを備えることを特徴とする電子源が得られ
る。
て、前記第6又は第7のいずれかの電界放出型冷陰極装
置と、前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に電圧
を印加するための電源であって、二極性の電源である両
極出力電源とを備えることを特徴とする電子源が得られ
る。
【0056】また、本発明によれば、第2の電子源とし
て、前記第1の電子源において、前記両極出力電源は、
前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に印加される
電圧の内、エミッタ駆動に関係しない電圧であって、熱
源を駆動するようにして印加する電圧に関して、電圧量
を調整することができるものであり、該電圧量の調整に
より、前記熱源の発熱量を制御することができることを
特徴とする電子源が得られる。
て、前記第1の電子源において、前記両極出力電源は、
前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に印加される
電圧の内、エミッタ駆動に関係しない電圧であって、熱
源を駆動するようにして印加する電圧に関して、電圧量
を調整することができるものであり、該電圧量の調整に
より、前記熱源の発熱量を制御することができることを
特徴とする電子源が得られる。
【0057】また、本発明によれば、第3の電子源とし
て、前記第15又は第23のいずれかの電界放出型冷陰
極装置と、前記ゲート端子と前記集束端子との間に電圧
を印加するための電源であって、二極性の電源である両
極出力電源とを備えることを特徴とする電子源が得られ
る。
て、前記第15又は第23のいずれかの電界放出型冷陰
極装置と、前記ゲート端子と前記集束端子との間に電圧
を印加するための電源であって、二極性の電源である両
極出力電源とを備えることを特徴とする電子源が得られ
る。
【0058】更に、本発明によれば、第4の電子源とし
て、前記第3の電子源において、前記両極出力電源は、
前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に印加される
電圧の内、エミッタ駆動に関係しない電圧であって、熱
源を駆動するようにして印加する電圧に関して、電圧量
を調整することができるものであり、該電圧量の調整に
より、前記熱源の発熱量を制御することができることを
特徴とする電子源が得られる。
て、前記第3の電子源において、前記両極出力電源は、
前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に印加される
電圧の内、エミッタ駆動に関係しない電圧であって、熱
源を駆動するようにして印加する電圧に関して、電圧量
を調整することができるものであり、該電圧量の調整に
より、前記熱源の発熱量を制御することができることを
特徴とする電子源が得られる。
【0059】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態の電
界放出型冷陰極装置について、図面を参照して説明す
る。
界放出型冷陰極装置について、図面を参照して説明す
る。
【0060】本発明の電界放出型冷陰極装置の特徴は、
従来から存する構成要素の内、特に電圧が印加されるも
のと、ヒータ(熱源)の一端とが、一つの端子に共通に
接続されることである。以下に示す実施の形態において
は、大別して、次の二つの形態を挙げて説明する。一方
の形態は、ヒータの一端が、エミッタ端子又はゲート端
子の一方と共通に接続されるものであり、その中には、
更に、ヒータの他端が、エミッタ端子又はゲート端子の
他方と共通に接続されているものも含む。また、他方の
形態は、ヒータの一端が、集束端子又はゲート端子の一
方と共通に接続されるものであり、その中には、ヒータ
の他端が、エミッタ端子又はゲート端子の他方と共通に
接続されているものも含む。前者は、第1乃至第6の実
施の形態として説明し、後者は、第7乃至第10の実施
の形態として説明する。尚、後述する第1乃至第10の
実施の形態において、ヒータとして、全て抵抗体を備え
るものを例に挙げて説明するが、端部を少なくとも二つ
有しているヒータであれば同様の原理に基づいて、以下
に説明する効果を得られることは言うまでもない。
従来から存する構成要素の内、特に電圧が印加されるも
のと、ヒータ(熱源)の一端とが、一つの端子に共通に
接続されることである。以下に示す実施の形態において
は、大別して、次の二つの形態を挙げて説明する。一方
の形態は、ヒータの一端が、エミッタ端子又はゲート端
子の一方と共通に接続されるものであり、その中には、
更に、ヒータの他端が、エミッタ端子又はゲート端子の
他方と共通に接続されているものも含む。また、他方の
形態は、ヒータの一端が、集束端子又はゲート端子の一
方と共通に接続されるものであり、その中には、ヒータ
の他端が、エミッタ端子又はゲート端子の他方と共通に
接続されているものも含む。前者は、第1乃至第6の実
施の形態として説明し、後者は、第7乃至第10の実施
の形態として説明する。尚、後述する第1乃至第10の
実施の形態において、ヒータとして、全て抵抗体を備え
るものを例に挙げて説明するが、端部を少なくとも二つ
有しているヒータであれば同様の原理に基づいて、以下
に説明する効果を得られることは言うまでもない。
【0061】(第1の実施の形態)本発明の第1の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図1に示される様
に、エミッタ電極10と、ゲート電極20と、ヒータ3
0とを備えている。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図1に示される様
に、エミッタ電極10と、ゲート電極20と、ヒータ3
0とを備えている。
【0062】エミッタ電極10は、尖鋭な先端形状を持
つエミッタ11を複数個有している。また、エミッタ電
極10から装置外部(装置と外部との境界を破線40で
示す;以下、各実施の形態においても同じ。)には、エ
ミッタ端子12が引き出されている。このエミッタ端子
12からエミッタ電極10には、電子放出動作をする際
に、後述する様に、ゲート電極20を基準とした場合に
負の値を有する電圧が供給されている。
つエミッタ11を複数個有している。また、エミッタ電
極10から装置外部(装置と外部との境界を破線40で
示す;以下、各実施の形態においても同じ。)には、エ
ミッタ端子12が引き出されている。このエミッタ端子
12からエミッタ電極10には、電子放出動作をする際
に、後述する様に、ゲート電極20を基準とした場合に
負の値を有する電圧が供給されている。
【0063】ゲート電極20は、夫々のエミッタ11の
先端に高電界を生じさせるための複数の開口部21を有
している。また、ゲート電極20から装置外部には、ゲ
ート端子22が引き出されている。このゲート端子22
からゲート電極20には、基準電圧が印加されている。
例えば、エミッタ動作時において、エミッタ端子12に
供給される電圧は、基準電圧を0Vとすると、まさに負
の電圧であり、基準電圧を50Vとすると、50V以下
の電圧である。逆に、エミッタ動作時において、エミッ
タ端子12に供給される電圧を0Vとすると、基準電圧
は、まさに正の電圧である。尚、ゲート電極20が絶縁
膜(図示せず)を介してエミッタ電極10上に設けられ
ていることは、従来と同じである。
先端に高電界を生じさせるための複数の開口部21を有
している。また、ゲート電極20から装置外部には、ゲ
ート端子22が引き出されている。このゲート端子22
からゲート電極20には、基準電圧が印加されている。
例えば、エミッタ動作時において、エミッタ端子12に
供給される電圧は、基準電圧を0Vとすると、まさに負
の電圧であり、基準電圧を50Vとすると、50V以下
の電圧である。逆に、エミッタ動作時において、エミッ
タ端子12に供給される電圧を0Vとすると、基準電圧
は、まさに正の電圧である。尚、ゲート電極20が絶縁
膜(図示せず)を介してエミッタ電極10上に設けられ
ていることは、従来と同じである。
【0064】ヒータ30は、二つの熱源端部(ヒータ端
部)31及び32と、該二つのヒータ端部31及び32
間に設けられた抵抗体33とを備えている。
部)31及び32と、該二つのヒータ端部31及び32
間に設けられた抵抗体33とを備えている。
【0065】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置は、エミッタ端子12と、ゲート端
子22とに接続される電源(図示せず)により、図2に
示される様にして、駆動される。尚、図2は、ゲート端
子22を基準とした場合に、エミッタ端子12に供給さ
れる電圧を示すものである。また、図2において、右下
がりの斜線を施したパルスは、抵抗体33に導電させて
ヒータ30から熱を放射させるためのものであり、左下
がりの斜線を施したパルスは、エミッタ電極10に、負
電圧(ゲート電位を基準とした場合に負の値を有する電
圧;以下同じ)を印加して、エミッタ11から電子を放
出させるためのものである。図2を参照すれば理解され
る様に、電源は、ゲート電位を基準電位として二極性を
有する電圧を供給することができる両極出力電源であ
る。また、エミッタを駆動する場合には、ヒータも同時
に駆動される。一方、正電圧(ゲート電位を基準とした
場合に正の値を有する電圧;以下同じ)を印加した場合
には、ヒータのみが駆動される。従って、ヒータによる
発熱量等は、正電圧を印加しているパルスの夫々の面積
や該パルスの数などを任意に選択することで、制御する
ことができる。例えば、図2において、ヒータ駆動のみ
を目的としたパルスに着目し、時間軸の左方から順に、
第1のパルス、第2のパルス、第3のパルスと呼ぶこと
とすると、第1のパルスは、第2のパルスと比較して、
パルス幅も広く、また、面積も大きい。第3のパルス
は、面積全てが明らかではないものの、パルス高さが、
第1及び第2のパルスと比較して高いことが理解され
る。また、図2においてヒータの発熱量は、これら第1
乃至第3のパルスによる発熱量と、エミッタ駆動時にお
ける発熱量との和により決定される。このように、エミ
ッタ端子12に対して正電圧を印加する際、パルスの数
や面積を任意に選択することにより、ヒータの総発熱量
を制御することができる。
界放出型冷陰極装置は、エミッタ端子12と、ゲート端
子22とに接続される電源(図示せず)により、図2に
示される様にして、駆動される。尚、図2は、ゲート端
子22を基準とした場合に、エミッタ端子12に供給さ
れる電圧を示すものである。また、図2において、右下
がりの斜線を施したパルスは、抵抗体33に導電させて
ヒータ30から熱を放射させるためのものであり、左下
がりの斜線を施したパルスは、エミッタ電極10に、負
電圧(ゲート電位を基準とした場合に負の値を有する電
圧;以下同じ)を印加して、エミッタ11から電子を放
出させるためのものである。図2を参照すれば理解され
る様に、電源は、ゲート電位を基準電位として二極性を
有する電圧を供給することができる両極出力電源であ
る。また、エミッタを駆動する場合には、ヒータも同時
に駆動される。一方、正電圧(ゲート電位を基準とした
場合に正の値を有する電圧;以下同じ)を印加した場合
には、ヒータのみが駆動される。従って、ヒータによる
発熱量等は、正電圧を印加しているパルスの夫々の面積
や該パルスの数などを任意に選択することで、制御する
ことができる。例えば、図2において、ヒータ駆動のみ
を目的としたパルスに着目し、時間軸の左方から順に、
第1のパルス、第2のパルス、第3のパルスと呼ぶこと
とすると、第1のパルスは、第2のパルスと比較して、
パルス幅も広く、また、面積も大きい。第3のパルス
は、面積全てが明らかではないものの、パルス高さが、
第1及び第2のパルスと比較して高いことが理解され
る。また、図2においてヒータの発熱量は、これら第1
乃至第3のパルスによる発熱量と、エミッタ駆動時にお
ける発熱量との和により決定される。このように、エミ
ッタ端子12に対して正電圧を印加する際、パルスの数
や面積を任意に選択することにより、ヒータの総発熱量
を制御することができる。
【0066】以上説明してきた様に、本実施の形態にお
いては、エミッタ駆動時において同時にヒータをも駆動
出来ると共に、エミッタを駆動していない間において
も、エミッタ端子12に正電圧を印加することでヒータ
を駆動することができ、該ヒータ駆動に伴うエミッタ加
熱によるクリーニング、並びにエミッタへのガス吸着の
防止及び抑制を行うことができる。更に、図1を参照す
れば理解される様に、本実施の形態においては、ヒータ
の有する二つのヒータ端部が夫々、エミッタ端子12又
はゲート端子22に共通に接続されている。従って、ヒ
ータを独立して設けた場合と比較して、端子数を二つ減
らすことが出来る。
いては、エミッタ駆動時において同時にヒータをも駆動
出来ると共に、エミッタを駆動していない間において
も、エミッタ端子12に正電圧を印加することでヒータ
を駆動することができ、該ヒータ駆動に伴うエミッタ加
熱によるクリーニング、並びにエミッタへのガス吸着の
防止及び抑制を行うことができる。更に、図1を参照す
れば理解される様に、本実施の形態においては、ヒータ
の有する二つのヒータ端部が夫々、エミッタ端子12又
はゲート端子22に共通に接続されている。従って、ヒ
ータを独立して設けた場合と比較して、端子数を二つ減
らすことが出来る。
【0067】尚、本実施の形態においては、ゲート電極
により抽出された電子の広がりを集束するための集束電
極については、説明を省略したが、従来技術により、適
宜設けることとしても良い。
により抽出された電子の広がりを集束するための集束電
極については、説明を省略したが、従来技術により、適
宜設けることとしても良い。
【0068】また、図1は、本実施の形態を概略的に示
したものであり、従って、ヒータ30は、エミッタ11
を加熱することができる位置に設けられていれば良く、
エミッタ電極10の下部に設けられなければならないと
いった制限を課すものではない。
したものであり、従って、ヒータ30は、エミッタ11
を加熱することができる位置に設けられていれば良く、
エミッタ電極10の下部に設けられなければならないと
いった制限を課すものではない。
【0069】また、ヒータ30は、エミッタ電極本体と
電気的に独立している構造を有しておれば良く、素子内
部に設けられたもの、支持構体に組み込んだものを問わ
ない。ここで、素子とは、エミッタ電極、ゲート電極、
エミッタ電極−ゲート電極間に設けられる絶縁層、集束
電極等が、Siウェハ等の同一基板上に形成されたもの
の総称を言い、支持構体とは、該素子を実際にデバイス
として使用するために、該素子を固定し、該素子の有す
る各電極への給電のための端子等を備えたものを言う。
電気的に独立している構造を有しておれば良く、素子内
部に設けられたもの、支持構体に組み込んだものを問わ
ない。ここで、素子とは、エミッタ電極、ゲート電極、
エミッタ電極−ゲート電極間に設けられる絶縁層、集束
電極等が、Siウェハ等の同一基板上に形成されたもの
の総称を言い、支持構体とは、該素子を実際にデバイス
として使用するために、該素子を固定し、該素子の有す
る各電極への給電のための端子等を備えたものを言う。
【0070】(第2の実施の形態)本発明の第2の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図3に示される様
に、前述した第1の実施の形態を変形したものである。
従って、第1の実施の形態と同様の構成要素について
は、図3において図1にて用いたものと同じ参照符号を
付すこととし、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図3に示される様
に、前述した第1の実施の形態を変形したものである。
従って、第1の実施の形態と同様の構成要素について
は、図3において図1にて用いたものと同じ参照符号を
付すこととし、説明を省略する。
【0071】第1の実施の形態と比較した本実施の形態
の特徴は、ヒータ30aを備えていることにある。詳し
くは、ヒータ30aは、二つのヒータ端部31及び32
間に抵抗体33と直列に接続されたダイオード34を更
に備えている。尚、図を参照すれば理解される様に、ダ
イオード34のアノードは、ヒータ端部32として、エ
ミッタ端子12に共通に接続されており、ダイオード3
4のカソードは、抵抗体33に接続されている。
の特徴は、ヒータ30aを備えていることにある。詳し
くは、ヒータ30aは、二つのヒータ端部31及び32
間に抵抗体33と直列に接続されたダイオード34を更
に備えている。尚、図を参照すれば理解される様に、ダ
イオード34のアノードは、ヒータ端部32として、エ
ミッタ端子12に共通に接続されており、ダイオード3
4のカソードは、抵抗体33に接続されている。
【0072】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置は、エミッタ端子12と、ゲート端
子22とに接続される電源(図示せず)により、図4に
示される様にして、駆動される。尚、図4は、図2と同
様、ゲート端子22を基準とした場合に、エミッタ端子
12に供給される電圧を示すものであり、右下がりの斜
線及び左下がりの斜線が施されたパルスは、夫々、ヒー
タ駆動及びエミッタ駆動に対応するものである。また、
図3及び4を参照すれば理解される様に、本実施の形態
においても両極出力電源を用いている。
界放出型冷陰極装置は、エミッタ端子12と、ゲート端
子22とに接続される電源(図示せず)により、図4に
示される様にして、駆動される。尚、図4は、図2と同
様、ゲート端子22を基準とした場合に、エミッタ端子
12に供給される電圧を示すものであり、右下がりの斜
線及び左下がりの斜線が施されたパルスは、夫々、ヒー
タ駆動及びエミッタ駆動に対応するものである。また、
図3及び4を参照すれば理解される様に、本実施の形態
においても両極出力電源を用いている。
【0073】以上説明した本実施の形態においては、エ
ミッタを駆動していない間、エミッタ端子12に正電圧
を印加することで、ヒータ駆動に伴うエミッタ加熱によ
るエミッタ表面のクリーニング並びにエミッタへのガス
吸着の防止及び抑制を行うことができる。また、本実施
の形態においては、ヒータは、エミッタが駆動されてい
ない時間にのみ、駆動されることから、エミッタとは独
立して駆動制御することが可能である。更に、電界放出
型冷陰極装置が、ゲート−エミッタ間に静電容量を有す
る装置であること、及び電源装置の内部インピーダンス
を考慮すると、ゲート−エミッタ間にダイオードが挿入
された本実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、第1の
実施の形態と比較して、高周波動作においてより安定し
た動作が得られるものである。
ミッタを駆動していない間、エミッタ端子12に正電圧
を印加することで、ヒータ駆動に伴うエミッタ加熱によ
るエミッタ表面のクリーニング並びにエミッタへのガス
吸着の防止及び抑制を行うことができる。また、本実施
の形態においては、ヒータは、エミッタが駆動されてい
ない時間にのみ、駆動されることから、エミッタとは独
立して駆動制御することが可能である。更に、電界放出
型冷陰極装置が、ゲート−エミッタ間に静電容量を有す
る装置であること、及び電源装置の内部インピーダンス
を考慮すると、ゲート−エミッタ間にダイオードが挿入
された本実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、第1の
実施の形態と比較して、高周波動作においてより安定し
た動作が得られるものである。
【0074】尚、本実施の形態においても、第1の実施
の形態と同様、集束電極を備えていても良いし、ヒータ
の位置も図から得られる視覚的な情報に制限されるもの
ではない。
の形態と同様、集束電極を備えていても良いし、ヒータ
の位置も図から得られる視覚的な情報に制限されるもの
ではない。
【0075】また、ゲート−エミッタ間に挿入されたダ
イオードは、半導体素子として電界放出型冷陰極装置内
部に作り込まれたものであっても、外囲器の内部(例え
ば、支持構体内部)において素子に外付けされたもので
あっても良く、本実施の形態に制限されるものではな
い。
イオードは、半導体素子として電界放出型冷陰極装置内
部に作り込まれたものであっても、外囲器の内部(例え
ば、支持構体内部)において素子に外付けされたもので
あっても良く、本実施の形態に制限されるものではな
い。
【0076】(第3の実施の形態)本発明の第3の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図5に示される様
に、第1の実施の形態を変形したものである。従って、
第1の実施の形態と同様の構成要素については、図5に
おいて図1にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図5に示される様
に、第1の実施の形態を変形したものである。従って、
第1の実施の形態と同様の構成要素については、図5に
おいて図1にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
【0077】本実施の形態の特徴は、ヒータ30bであ
り、詳しくは、一方のヒータ端部32から引き出された
ヒータ端子(熱源端子)35を備えていることである。
また、ヒータ30bの有する他方のヒータ端部31は、
ゲート端子22に共通に接続されている。
り、詳しくは、一方のヒータ端部32から引き出された
ヒータ端子(熱源端子)35を備えていることである。
また、ヒータ30bの有する他方のヒータ端部31は、
ゲート端子22に共通に接続されている。
【0078】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置においては、第1の実施の形態と比
較して、一つ端子数が増えるものの、従来例の様に、単
にヒータを組み込んだものと比較して、端子数の削減が
図られている。
界放出型冷陰極装置においては、第1の実施の形態と比
較して、一つ端子数が増えるものの、従来例の様に、単
にヒータを組み込んだものと比較して、端子数の削減が
図られている。
【0079】また、本実施の形態においては、エミッタ
を駆動するために、エミッタ端子12とゲート端子22
との間に供給される電圧と、ヒータを駆動するために、
ヒータ端子35とゲート端子22との間に供給される電
圧とは、夫々、別個のものとすることができる。また、
ヒータ端子35とゲート端子22との間に印加する電圧
は、抵抗体33の両端に供給されて、結果としてヒータ
30が熱放出状態になる程度のもので良い。したがっ
て、エミッタを駆動するための電源及びヒータを駆動す
るための電源の双方とも、第1の実施の形態の様に、パ
ルスを出力するものに限る必要はないと共に、二極性の
ものに限られる必要もない。このように、本実施の形態
においては、第1の実施の形態と比較して、ヒータを駆
動するための電源に関し、より自由に電源を選択するこ
とができると共に、エミッタを駆動するための電源に関
し、電界放出型冷陰極装置の用途に応じた電源を選択す
ることができる。
を駆動するために、エミッタ端子12とゲート端子22
との間に供給される電圧と、ヒータを駆動するために、
ヒータ端子35とゲート端子22との間に供給される電
圧とは、夫々、別個のものとすることができる。また、
ヒータ端子35とゲート端子22との間に印加する電圧
は、抵抗体33の両端に供給されて、結果としてヒータ
30が熱放出状態になる程度のもので良い。したがっ
て、エミッタを駆動するための電源及びヒータを駆動す
るための電源の双方とも、第1の実施の形態の様に、パ
ルスを出力するものに限る必要はないと共に、二極性の
ものに限られる必要もない。このように、本実施の形態
においては、第1の実施の形態と比較して、ヒータを駆
動するための電源に関し、より自由に電源を選択するこ
とができると共に、エミッタを駆動するための電源に関
し、電界放出型冷陰極装置の用途に応じた電源を選択す
ることができる。
【0080】尚、エミッタを駆動するための電源は、電
界放出型冷陰極装置の種々の用途に応じて、以下に挙げ
る様々なものが挙げられる。電界放出型冷陰極装置を例
えば、通信用のTWTに使用する場合、エミッタを駆動
するための電源は、一定電圧を出力するものであり、レ
ーダ用のTWTに使用する場合、エミッタを駆動するた
めの電源は、パルス電圧を出力するものである。また、
電界放出型冷陰極装置を例えば、CRT(Cathode Ray
Tube)等の画像表示装置に使用する場合、エミッタを駆
動するための電源は、輝度信号によって変調される電圧
を出力するものである。
界放出型冷陰極装置の種々の用途に応じて、以下に挙げ
る様々なものが挙げられる。電界放出型冷陰極装置を例
えば、通信用のTWTに使用する場合、エミッタを駆動
するための電源は、一定電圧を出力するものであり、レ
ーダ用のTWTに使用する場合、エミッタを駆動するた
めの電源は、パルス電圧を出力するものである。また、
電界放出型冷陰極装置を例えば、CRT(Cathode Ray
Tube)等の画像表示装置に使用する場合、エミッタを駆
動するための電源は、輝度信号によって変調される電圧
を出力するものである。
【0081】(第4の実施の形態)本発明の第4の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図6に示される様
に、第3の実施の形態を変形したものである。従って、
第3の実施の形態と同様の構成要素については、図6に
おいて図5にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図6に示される様
に、第3の実施の形態を変形したものである。従って、
第3の実施の形態と同様の構成要素については、図6に
おいて図5にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
【0082】本実施の形態の特徴は、ヒータ30cであ
り、詳しくは、一方のヒータ端部32からはヒータ端子
35が引き出されており、また、他方のヒータ端部31
は、エミッタ端子12に共通に接続されていることであ
る。
り、詳しくは、一方のヒータ端部32からはヒータ端子
35が引き出されており、また、他方のヒータ端部31
は、エミッタ端子12に共通に接続されていることであ
る。
【0083】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置においては、第3の実施の形態と同
様、従来例のように、単にヒータを組み込んだものと比
較して、端子数の削減が図られている。
界放出型冷陰極装置においては、第3の実施の形態と同
様、従来例のように、単にヒータを組み込んだものと比
較して、端子数の削減が図られている。
【0084】また、本実施の形態においては、エミッタ
を駆動するために、エミッタ端子12とゲート端子22
との間に供給される電圧と、ヒータを駆動するために、
ヒータ端子35とエミッタ端子12との間に供給される
電圧とは、夫々、別個のものとすることができる。ま
た、ヒータ端子35とエミッタ端子12との間に印加す
る電圧は、抵抗体33の両端に供給されて、結果とし
て、ヒータ30が熱放出状態になる程度のもので良い。
従って、エミッタを駆動するための電源及びヒータを駆
動するための電源の双方とも、第1の実施の形態の様
に、パルスを出力するものに限られる必要はないと共
に、二極性のものに限られる必要もない。このように、
本実施の形態においては、ヒータを駆動するための電源
及びエミッタを駆動するための電源の夫々に関して、第
3の実施の形態と同様にして、選択することができる。
を駆動するために、エミッタ端子12とゲート端子22
との間に供給される電圧と、ヒータを駆動するために、
ヒータ端子35とエミッタ端子12との間に供給される
電圧とは、夫々、別個のものとすることができる。ま
た、ヒータ端子35とエミッタ端子12との間に印加す
る電圧は、抵抗体33の両端に供給されて、結果とし
て、ヒータ30が熱放出状態になる程度のもので良い。
従って、エミッタを駆動するための電源及びヒータを駆
動するための電源の双方とも、第1の実施の形態の様
に、パルスを出力するものに限られる必要はないと共
に、二極性のものに限られる必要もない。このように、
本実施の形態においては、ヒータを駆動するための電源
及びエミッタを駆動するための電源の夫々に関して、第
3の実施の形態と同様にして、選択することができる。
【0085】(第5の実施の形態)本発明の第5の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図7に示される様
に、第2の実施の形態を変形したものである。従って、
第2の実施の形態と同様の構成要素については、図7に
おいて図3にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図7に示される様
に、第2の実施の形態を変形したものである。従って、
第2の実施の形態と同様の構成要素については、図7に
おいて図3にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
【0086】本実施の形態の特徴は、エミッタ電極10
aの一部が抵抗体33で構成されていると共に、該エミ
ッタ電極10aを含めてヒータ30dが構成されている
ことにある。
aの一部が抵抗体33で構成されていると共に、該エミ
ッタ電極10aを含めてヒータ30dが構成されている
ことにある。
【0087】詳しくは、ヒータ30dは、二つのヒータ
端部31及び32間に、エミッタ電極10aの一部を構
成する抵抗体33と、該抵抗体33に直列に接続された
ダイオード34とを備えている。また、ダイオード34
のカソードは、ヒータ端部31として、ゲート端子22
に共通に接続されており、アノードは、エミッタ電極の
端部13に接続されている。また、ヒータ端部32は、
エミッタ電極10aから引き出されるエミッタ端子12
までの一部を構成している。尚、抵抗体33は、ゲート
端子22の電位を基準電位として、正電圧がエミッタ端
子12に供給された際に、所望の発熱をする様にして、
エミッタ電極10aの内部に構成されていることは言う
までもない。
端部31及び32間に、エミッタ電極10aの一部を構
成する抵抗体33と、該抵抗体33に直列に接続された
ダイオード34とを備えている。また、ダイオード34
のカソードは、ヒータ端部31として、ゲート端子22
に共通に接続されており、アノードは、エミッタ電極の
端部13に接続されている。また、ヒータ端部32は、
エミッタ電極10aから引き出されるエミッタ端子12
までの一部を構成している。尚、抵抗体33は、ゲート
端子22の電位を基準電位として、正電圧がエミッタ端
子12に供給された際に、所望の発熱をする様にして、
エミッタ電極10aの内部に構成されていることは言う
までもない。
【0088】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置の駆動方法は、前述した第2の実施
の形態と同様、即ち、図4に示されるものと同様である
ため、説明を省略する。
界放出型冷陰極装置の駆動方法は、前述した第2の実施
の形態と同様、即ち、図4に示されるものと同様である
ため、説明を省略する。
【0089】しかしながら、その効果としては、第2の
実施の形態の呈する効果に加え、以下に述べる様なもの
が挙げられる。
実施の形態の呈する効果に加え、以下に述べる様なもの
が挙げられる。
【0090】本実施の形態の様に、エミッタ電極10a
がその一部を抵抗体で構成されていること自体は、既に
知られている技術である。従って、本実施の形態におい
ては、従来技術の有する構成である抵抗体を簡易な手段
でヒータとして利用することができることから、製造コ
スト等の上昇を防ぐことが出来ると共に、一般に知られ
ているスキルをもって製造することが出来るといった効
果を有する。
がその一部を抵抗体で構成されていること自体は、既に
知られている技術である。従って、本実施の形態におい
ては、従来技術の有する構成である抵抗体を簡易な手段
でヒータとして利用することができることから、製造コ
スト等の上昇を防ぐことが出来ると共に、一般に知られ
ているスキルをもって製造することが出来るといった効
果を有する。
【0091】(第6の実施の形態)本発明の第6の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図8に示される様
に、第5の実施の形態を変形したものである。従って、
第5の実施の形態と同様の構成要素については、図8に
おいて図7にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図8に示される様
に、第5の実施の形態を変形したものである。従って、
第5の実施の形態と同様の構成要素については、図8に
おいて図7にて用いたものと同じ参照符号を付すことと
し、説明を省略する。
【0092】本実施の形態の特徴は、エミッタ電極10
aの一部が抵抗体33で構成されていると共に、該エミ
ッタ電極10aを含めてヒータ30eが構成されてお
り、更に、ヒータ端子35を備えていることにある。
aの一部が抵抗体33で構成されていると共に、該エミ
ッタ電極10aを含めてヒータ30eが構成されてお
り、更に、ヒータ端子35を備えていることにある。
【0093】詳しくは、ヒータ30eは、二つのヒータ
端部31及び32の間に、エミッタ電極10aの一部を
構成する抵抗体33を備えている。また、ヒータ端部3
1から、ヒータ端子35が装置外部に引き出されてお
り、ヒータ端部32は、エミッタ電極10aから引き出
されるエミッタ端子12までの一部を構成している。
尚、第5の実施の形態と同様に、抵抗体33が所望の発
熱をする様にして構成されていることは言うまでもな
い。
端部31及び32の間に、エミッタ電極10aの一部を
構成する抵抗体33を備えている。また、ヒータ端部3
1から、ヒータ端子35が装置外部に引き出されてお
り、ヒータ端部32は、エミッタ電極10aから引き出
されるエミッタ端子12までの一部を構成している。
尚、第5の実施の形態と同様に、抵抗体33が所望の発
熱をする様にして構成されていることは言うまでもな
い。
【0094】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置におけるヒータの駆動方法として
は、エミッション時にヒータ30eを発熱させようとす
ると、ヒータ30eの備える抵抗体33内において電位
勾配が大きくなり、エミッション特性が乱れるおそれが
あることから、エミッション開始前に、吸着物を離脱さ
せるために、抵抗体33に対して給電することが望まし
い。しかしながら、エミッション特性に厳密さを要求さ
れない様な用途に用いる場合には、例えば、前述した第
4の実施の形態と同様にして駆動することとしても良
い。
界放出型冷陰極装置におけるヒータの駆動方法として
は、エミッション時にヒータ30eを発熱させようとす
ると、ヒータ30eの備える抵抗体33内において電位
勾配が大きくなり、エミッション特性が乱れるおそれが
あることから、エミッション開始前に、吸着物を離脱さ
せるために、抵抗体33に対して給電することが望まし
い。しかしながら、エミッション特性に厳密さを要求さ
れない様な用途に用いる場合には、例えば、前述した第
4の実施の形態と同様にして駆動することとしても良
い。
【0095】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置においては、第4の実施の形態と同
様、従来例のように単にヒータを組み込んだものと比較
して、端子数の削減が図られている。
界放出型冷陰極装置においては、第4の実施の形態と同
様、従来例のように単にヒータを組み込んだものと比較
して、端子数の削減が図られている。
【0096】また、本実施の形態においては、従来技術
の有する構成である抵抗体を簡易な手段でヒータとして
利用することができることから、製造コスト等の上昇を
防ぐことが出来ると共に、一般に知られているスキルを
もって製造することが出来るといった効果を有する。
の有する構成である抵抗体を簡易な手段でヒータとして
利用することができることから、製造コスト等の上昇を
防ぐことが出来ると共に、一般に知られているスキルを
もって製造することが出来るといった効果を有する。
【0097】(第7の実施の形態)本発明の第7の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図9に示される様
に、エミッタ電極10と、ゲート電極20と、集束電極
50と、ヒータ60とを備えている。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図9に示される様
に、エミッタ電極10と、ゲート電極20と、集束電極
50と、ヒータ60とを備えている。
【0098】エミッタ電極10は、第1の実施の形態と
同様、尖鋭な先端形状を持つエミッタ11を複数個有
し、エミッタ端子12が引き出されているものである。
尚、電子放出動作をする際に、ゲート電位を基準として
エミッタ端子12に供給される電圧も第1の実施の形態
と同様とする。
同様、尖鋭な先端形状を持つエミッタ11を複数個有
し、エミッタ端子12が引き出されているものである。
尚、電子放出動作をする際に、ゲート電位を基準として
エミッタ端子12に供給される電圧も第1の実施の形態
と同様とする。
【0099】また、ゲート電極20は、夫々のエミッタ
11の先端に高電界を生じさせるための複数の開口部2
1を有しており、ゲート端子22が引き出されているも
のである。本実施の形態においても、ゲート端子22か
らゲート電極20には、基準電圧が印加されているもの
とする。尚、ゲート電極20が絶縁膜(図示せず)を介
してエミッタ電極10上に設けられていることは、従来
と同じである。
11の先端に高電界を生じさせるための複数の開口部2
1を有しており、ゲート端子22が引き出されているも
のである。本実施の形態においても、ゲート端子22か
らゲート電極20には、基準電圧が印加されているもの
とする。尚、ゲート電極20が絶縁膜(図示せず)を介
してエミッタ電極10上に設けられていることは、従来
と同じである。
【0100】集束電極50は、ゲート電極20を囲む様
にして設けられており、また、集束端子52が引き出さ
れている。また、ゲート電極20の抽出した電子の広が
りを集束させる際、即ち集束動作時に、集束電極50に
は、集束端子52を介して、基準電圧から見て負の電圧
が供給されている。
にして設けられており、また、集束端子52が引き出さ
れている。また、ゲート電極20の抽出した電子の広が
りを集束させる際、即ち集束動作時に、集束電極50に
は、集束端子52を介して、基準電圧から見て負の電圧
が供給されている。
【0101】ヒータ60は、二つのヒータ端部61及び
62間に抵抗体63を備えている。また、一方のヒータ
端部61は、集束電極50に接続されており、他方のヒ
ータ端部62は、ゲート端子22に共通に接続されてい
る。
62間に抵抗体63を備えている。また、一方のヒータ
端部61は、集束電極50に接続されており、他方のヒ
ータ端部62は、ゲート端子22に共通に接続されてい
る。
【0102】ここで、良好な集束効果を得るためには、
集束電極50が全体として実質的に等電位になるように
して、且つ、集束動作に適した電圧を集束電極に供給し
た場合に所望の発熱量が得られるようにして、抵抗体6
3の抵抗値を決定することが望ましい。
集束電極50が全体として実質的に等電位になるように
して、且つ、集束動作に適した電圧を集束電極に供給し
た場合に所望の発熱量が得られるようにして、抵抗体6
3の抵抗値を決定することが望ましい。
【0103】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置においては、ヒータ60を設けたに
もかかわらず、端子数の増加が防止されている。
界放出型冷陰極装置においては、ヒータ60を設けたに
もかかわらず、端子数の増加が防止されている。
【0104】尚、ヒータ60は、素子内に設けられ、素
子内において接続されている場合に特に効果を発揮する
が、外付けとしても良い。即ち、図9は、接続関係を概
略的に説明するためのものであり、第1の実施の形態と
同様、エミッタを加熱することができる位置にヒータが
設けられていれば良い。
子内において接続されている場合に特に効果を発揮する
が、外付けとしても良い。即ち、図9は、接続関係を概
略的に説明するためのものであり、第1の実施の形態と
同様、エミッタを加熱することができる位置にヒータが
設けられていれば良い。
【0105】また、図9において、集束電極50は、ゲ
ート電極20と同じ層上に存在する様に描かれている
が、例えば、複数の開口部を有し、絶縁膜を介してゲー
ト電極20の上方(ゲート電極20から見て、エミッタ
電極10とは逆の方向)に設けられるものとしても良
い。
ート電極20と同じ層上に存在する様に描かれている
が、例えば、複数の開口部を有し、絶縁膜を介してゲー
ト電極20の上方(ゲート電極20から見て、エミッタ
電極10とは逆の方向)に設けられるものとしても良
い。
【0106】また、本実施の形態においては、ヒータ6
0として、2つのヒータ端部61及び62間に抵抗体6
3を備えているものを例に挙げて説明してきたが、エミ
ッタをパルス駆動する場合、2つのヒータ端部61及び
62間に、抵抗体63と直列に接続されたダイオードを
更に備えていてもよい。
0として、2つのヒータ端部61及び62間に抵抗体6
3を備えているものを例に挙げて説明してきたが、エミ
ッタをパルス駆動する場合、2つのヒータ端部61及び
62間に、抵抗体63と直列に接続されたダイオードを
更に備えていてもよい。
【0107】例えば、ダイオードは、カソードをヒータ
端部62としてゲート端子22と共通に接続され、アノ
ードを抵抗体63の一端に接続される様にして備えら
れ、抵抗体63は、他端をヒータ端部61として、集束
電極50に接続される。
端部62としてゲート端子22と共通に接続され、アノ
ードを抵抗体63の一端に接続される様にして備えら
れ、抵抗体63は、他端をヒータ端部61として、集束
電極50に接続される。
【0108】このような構成を備えている場合、エミッ
タ駆動時に集束動作を行わせ、エミッタを駆動しない間
にヒータ駆動を行わせるために、集束端子52とゲート
端子22との間にゲート電位を基準とした二極性の電圧
を供給することで、ヒータ駆動と集束電極50による集
束作用とを別個に制御することができる。
タ駆動時に集束動作を行わせ、エミッタを駆動しない間
にヒータ駆動を行わせるために、集束端子52とゲート
端子22との間にゲート電位を基準とした二極性の電圧
を供給することで、ヒータ駆動と集束電極50による集
束作用とを別個に制御することができる。
【0109】(第8の実施の形態)本発明の第8の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図10に示される様
に、第7の実施の形態を変形したものである。従って、
第7の実施の形態と同様の構成要素については、図10
において図9にて用いたものと同じ参照符号を付すこと
とし、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図10に示される様
に、第7の実施の形態を変形したものである。従って、
第7の実施の形態と同様の構成要素については、図10
において図9にて用いたものと同じ参照符号を付すこと
とし、説明を省略する。
【0110】本実施の形態の特徴は、ヒータ60aであ
り、詳しくは、一方のヒータ端部62は、集束端子52
に共通に接続されており、他方のヒータ端部61からは
ヒータ端子65が引き出されている。
り、詳しくは、一方のヒータ端部62は、集束端子52
に共通に接続されており、他方のヒータ端部61からは
ヒータ端子65が引き出されている。
【0111】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置において、集束端子52及びエミッ
タ端子12には、前述の通り、集束動作時及びエミッタ
動作時に、夫々、ゲート端子22に供給される電位を基
準として負電圧が供給される。また、ヒータ端子65に
は、集束端子52との間に抵抗体63を発熱させるだけ
の電位差が生じる様にして、所定の電圧が供給される。
界放出型冷陰極装置において、集束端子52及びエミッ
タ端子12には、前述の通り、集束動作時及びエミッタ
動作時に、夫々、ゲート端子22に供給される電位を基
準として負電圧が供給される。また、ヒータ端子65に
は、集束端子52との間に抵抗体63を発熱させるだけ
の電位差が生じる様にして、所定の電圧が供給される。
【0112】(第9の実施の形態)本発明の第9の実施
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図11に示される様
に、第7の実施の形態を変形したものである。従って、
第7の実施の形態と同様の構成要素については、図11
において図9にて用いたものと同じ参照符号を付すこと
とし、説明を省略する。
の形態の電界放出型冷陰極装置は、図11に示される様
に、第7の実施の形態を変形したものである。従って、
第7の実施の形態と同様の構成要素については、図11
において図9にて用いたものと同じ参照符号を付すこと
とし、説明を省略する。
【0113】本実施の形態の特徴は、集束電極50aの
一部が抵抗体63で構成されていると共に、該集束電極
50aを含めてヒータ60bが構成されていることにあ
る。
一部が抵抗体63で構成されていると共に、該集束電極
50aを含めてヒータ60bが構成されていることにあ
る。
【0114】詳しくは、ヒータ60bは、二つのヒータ
端部61及び62間に、集束電極50aの一部を構成す
る抵抗体63と、該抵抗体63に直列に接続されたダイ
オード64とを備えている。また、ダイオード64のカ
ソードは、ヒータ端部61として、ゲート端子22に共
通に接続されており、ダイオード64のアノードは、集
束電極50aの端部53に接続されている。また、ヒー
タ端部62は、集束電極50aから引き出される集束端
子52までの一部を構成している。
端部61及び62間に、集束電極50aの一部を構成す
る抵抗体63と、該抵抗体63に直列に接続されたダイ
オード64とを備えている。また、ダイオード64のカ
ソードは、ヒータ端部61として、ゲート端子22に共
通に接続されており、ダイオード64のアノードは、集
束電極50aの端部53に接続されている。また、ヒー
タ端部62は、集束電極50aから引き出される集束端
子52までの一部を構成している。
【0115】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置は、ゲート端子22を基準として、
エミッタ端子12及び集束端子52とに対して、夫々、
図12(a)及び(b)に示される様な電圧を印加する
ことにより、駆動される。図12(a)において、左下
がりの斜線が施されたパルスは、エミッタを駆動するた
めのものである。図12(b)において、右下がりの斜
線が施されたパルスは、ヒータのみを駆動するためのも
のであり、左下がりの斜線が施されたパルスは、集束電
極に集束動作を行わせるためのものである。尚、本実施
の形態においても、パルスの形状、間隔等は、所望とす
る条件により決定されるものであり、図12に示される
電圧に制限されないことは、言うまでもない。
界放出型冷陰極装置は、ゲート端子22を基準として、
エミッタ端子12及び集束端子52とに対して、夫々、
図12(a)及び(b)に示される様な電圧を印加する
ことにより、駆動される。図12(a)において、左下
がりの斜線が施されたパルスは、エミッタを駆動するた
めのものである。図12(b)において、右下がりの斜
線が施されたパルスは、ヒータのみを駆動するためのも
のであり、左下がりの斜線が施されたパルスは、集束電
極に集束動作を行わせるためのものである。尚、本実施
の形態においても、パルスの形状、間隔等は、所望とす
る条件により決定されるものであり、図12に示される
電圧に制限されないことは、言うまでもない。
【0116】このような構成を備えた本実施の形態の電
界放出型冷陰極装置においては、従来から存する構成要
素である集束電極の一部を抵抗体とし、集束電極をヒー
タとして利用することができることから、第5の実施の
形態においてエミッタ電極を利用した場合と同様の効果
を得ることが出来る。
界放出型冷陰極装置においては、従来から存する構成要
素である集束電極の一部を抵抗体とし、集束電極をヒー
タとして利用することができることから、第5の実施の
形態においてエミッタ電極を利用した場合と同様の効果
を得ることが出来る。
【0117】尚、集束電極50aが集束動作を行う際に
は、前述の通り、集束端子52に対して、ゲート電位を
基準電位として負の電圧が印加されており、更に、その
ような電圧が印加された際に電流が流れない様にして、
ダイオード64が設けられていることから、集束電極5
0aの一部が抵抗体63で構成されていたとしても、電
位差(電位分布)が実質的に生じないことは言うまでも
ない。
は、前述の通り、集束端子52に対して、ゲート電位を
基準電位として負の電圧が印加されており、更に、その
ような電圧が印加された際に電流が流れない様にして、
ダイオード64が設けられていることから、集束電極5
0aの一部が抵抗体63で構成されていたとしても、電
位差(電位分布)が実質的に生じないことは言うまでも
ない。
【0118】(第10の実施の形態)本発明の第10の
実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、図13に示され
る様に、第9の実施の形態を変形したものである。従っ
て、第9の実施の形態と同様の構成要素については、図
13において図11にて用いたものと同じ参照符号を付
すこととし説明を省略する。
実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、図13に示され
る様に、第9の実施の形態を変形したものである。従っ
て、第9の実施の形態と同様の構成要素については、図
13において図11にて用いたものと同じ参照符号を付
すこととし説明を省略する。
【0119】本実施の形態の特徴は、ヒータ60bであ
り、詳しくは、ヒータ60bは、集束電極50aの一部
を構成する抵抗体63を含む様にして構成されており、
一方のヒータ端部61からはヒータ端子65が引き出さ
れており、また、他方のヒータ端部62は、集束端子5
2に共通に接続されていることである。
り、詳しくは、ヒータ60bは、集束電極50aの一部
を構成する抵抗体63を含む様にして構成されており、
一方のヒータ端部61からはヒータ端子65が引き出さ
れており、また、他方のヒータ端部62は、集束端子5
2に共通に接続されていることである。
【0120】このような構成を備えた電界放出型冷陰極
装置は、図14に示される様にして、駆動される。即
ち、本実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、図14
(a)に示される様に、エミッタに負電圧が印加されて
電子放出動作を行う際に、図14(b)に示される様に
して、集束電極にも負電圧が印加されて、集束動作が行
なわれる。ここで、本実施の形態のようにして、エミッ
タ駆動される場合、ヒータ端子に常に電圧を印加し続け
るものとすると集束電極50a内に電圧分布が生じるこ
とになるが、集束電極の形状や配置を選択することによ
り、エミッタから放出される電子ビームに対しての集束
電圧の対称性が崩れないようにすれば良い。例えば、こ
のような例としては、適宜選択されたゲート電極に対し
て、エミッタアレイの中心から見て放射状に電流を流す
ようにすれば良い。しかしながら、実際上は、エミッタ
をパルス駆動しない場合等、他の条件を加味して、該条
件に適当であると思われる電圧を印加すれば良い。
装置は、図14に示される様にして、駆動される。即
ち、本実施の形態の電界放出型冷陰極装置は、図14
(a)に示される様に、エミッタに負電圧が印加されて
電子放出動作を行う際に、図14(b)に示される様に
して、集束電極にも負電圧が印加されて、集束動作が行
なわれる。ここで、本実施の形態のようにして、エミッ
タ駆動される場合、ヒータ端子に常に電圧を印加し続け
るものとすると集束電極50a内に電圧分布が生じるこ
とになるが、集束電極の形状や配置を選択することによ
り、エミッタから放出される電子ビームに対しての集束
電圧の対称性が崩れないようにすれば良い。例えば、こ
のような例としては、適宜選択されたゲート電極に対し
て、エミッタアレイの中心から見て放射状に電流を流す
ようにすれば良い。しかしながら、実際上は、エミッタ
をパルス駆動しない場合等、他の条件を加味して、該条
件に適当であると思われる電圧を印加すれば良い。
【0121】本実施の形態の電界放出型冷陰極装置にお
いては、第9の実施の形態と比較して、端子数が一本増
えるものの、ほぼ同様の効果が得られ、更に、ヒータ駆
動のための電源を適宜選択することが出来ることにな
る。
いては、第9の実施の形態と比較して、端子数が一本増
えるものの、ほぼ同様の効果が得られ、更に、ヒータ駆
動のための電源を適宜選択することが出来ることにな
る。
【0122】尚、上述した第1乃至第10の実施の形態
において、各電極及びその他の構成物の材料として使用
可能なものを、以下に列挙する。
において、各電極及びその他の構成物の材料として使用
可能なものを、以下に列挙する。
【0123】エミッタの材料は、製造プロセスに応じ
て、大別して2つの群に分けることができる。一方は、
基板上に絶縁層、ゲート電極等の構成物を形成した後、
エッチングにより穴を空け、該穴に対して斜め蒸着する
様にして犠牲層を形成し、該犠牲層を利用して尖鋭な先
端形状を有するエミッタを製造するプロセスに用いられ
るものであり、他方は、基板上又は基板上に形成された
金属層上に対して、酸化膜又は窒化膜を形成し、該酸化
膜又は窒化膜を所望の形状にエッチングした後、その酸
化膜をマスクとして、基板又は基板上に形成された金属
層をアンダーエッチングして、尖鋭な先端形状を有する
エミッタを製造するプロセスに用いられるものである。
て、大別して2つの群に分けることができる。一方は、
基板上に絶縁層、ゲート電極等の構成物を形成した後、
エッチングにより穴を空け、該穴に対して斜め蒸着する
様にして犠牲層を形成し、該犠牲層を利用して尖鋭な先
端形状を有するエミッタを製造するプロセスに用いられ
るものであり、他方は、基板上又は基板上に形成された
金属層上に対して、酸化膜又は窒化膜を形成し、該酸化
膜又は窒化膜を所望の形状にエッチングした後、その酸
化膜をマスクとして、基板又は基板上に形成された金属
層をアンダーエッチングして、尖鋭な先端形状を有する
エミッタを製造するプロセスに用いられるものである。
【0124】前者のプロセスに用いられるエミッタ材料
としては、Mo,TiC,ZrC,Ni,TiN,ZrN等が挙げられ、後者
のプロセスに用いられるエミッタ材料としては、Si及び
Si基板上に形成されたTa等が挙げられる。
としては、Mo,TiC,ZrC,Ni,TiN,ZrN等が挙げられ、後者
のプロセスに用いられるエミッタ材料としては、Si及び
Si基板上に形成されたTa等が挙げられる。
【0125】また、ゲート電極材料及び集束電極材料と
しては、W,Mo,WSi2 が挙げられる。
しては、W,Mo,WSi2 が挙げられる。
【0126】また、ゲート電極とエミッタ電極との間等
に介在する絶縁層としては、SiO 2やSi3 N 4 等が挙げ
られる。
に介在する絶縁層としては、SiO 2やSi3 N 4 等が挙げ
られる。
【0127】また、抵抗体材料としては、CVD(Chem
ical Vapor Deposition )等で形成されるポリシリコン
であって、不純物濃度の低いもの等が挙げられる。
ical Vapor Deposition )等で形成されるポリシリコン
であって、不純物濃度の低いもの等が挙げられる。
【0128】
【実施例】以下に、上述した第1乃至第10の実施の形
態の夫々について、更に、具体的構成を挙げて、第1乃
至第10の実施例として、図面を用いて説明する。尚、
各実施例を説明する各図面において、対応する実施の形
態と同様の機能を果たす構成要素については、同じ参照
符号を付すこととする。
態の夫々について、更に、具体的構成を挙げて、第1乃
至第10の実施例として、図面を用いて説明する。尚、
各実施例を説明する各図面において、対応する実施の形
態と同様の機能を果たす構成要素については、同じ参照
符号を付すこととする。
【0129】(第1の実施例)本発明の第1の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第1の実施の形態に対応した
例であり、図15に示される様に、素子外部にヒータが
設けられた構成を備えている。
電界放出型冷陰極装置は、第1の実施の形態に対応した
例であり、図15に示される様に、素子外部にヒータが
設けられた構成を備えている。
【0130】素子70は、第1の実施の形態におけるエ
ミッタ電極10及びゲート電極20、並びに層間絶縁膜
等を備えているものであり、支持構体80は、エミッタ
端子12及びゲート端子22を備えているものである。
ミッタ電極10及びゲート電極20、並びに層間絶縁膜
等を備えているものであり、支持構体80は、エミッタ
端子12及びゲート端子22を備えているものである。
【0131】また、素子70は、支持構体80上に搭載
・固定され、エミッタ端子12とエミッタ電極10をエ
ミッタ給電線15により、ゲート端子22とゲート電極
20とをゲート給電線25により、夫々接続されてい
る。
・固定され、エミッタ端子12とエミッタ電極10をエ
ミッタ給電線15により、ゲート端子22とゲート電極
20とをゲート給電線25により、夫々接続されてい
る。
【0132】本実施例の特徴は、ヒータ30としての抵
抗体33が、支持構体80内部において、エミッタ端子
12とゲート端子22との間に設けられていることであ
る。このような構成を備えていることにより、本実施例
の電界放出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12
とゲート端子22との間に所定の電圧を供給することに
より、第1の実施の形態において述べた様な効果が得ら
れることになる。
抗体33が、支持構体80内部において、エミッタ端子
12とゲート端子22との間に設けられていることであ
る。このような構成を備えていることにより、本実施例
の電界放出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12
とゲート端子22との間に所定の電圧を供給することに
より、第1の実施の形態において述べた様な効果が得ら
れることになる。
【0133】尚、本実施例において、ヒータ30とし
て、抵抗体33を備えているものを示したが、更に抵抗
体33と直列に接続されたダイオードを備えているもの
とすると、上述した第2の実施の形態に対応した実施例
となる。その場合、ヒータ30としては、次の二つの例
を挙げることができる。即ち、一方の例は、ダイオード
のアノードがエミッタ端子12に接続され、カソードが
抵抗体33の一端に接続され、抵抗体33の他端がゲー
ト端子22に接続される様にして、ヒータ30が構成さ
れるものであり、他方の例は、ダイオードのカソードが
ゲート端子22に接続され、アノードが抵抗体33の一
端に接続され、抵抗体33の他端がエミッタ端子12に
接続される様にして、ヒータ30が構成されるものであ
る。
て、抵抗体33を備えているものを示したが、更に抵抗
体33と直列に接続されたダイオードを備えているもの
とすると、上述した第2の実施の形態に対応した実施例
となる。その場合、ヒータ30としては、次の二つの例
を挙げることができる。即ち、一方の例は、ダイオード
のアノードがエミッタ端子12に接続され、カソードが
抵抗体33の一端に接続され、抵抗体33の他端がゲー
ト端子22に接続される様にして、ヒータ30が構成さ
れるものであり、他方の例は、ダイオードのカソードが
ゲート端子22に接続され、アノードが抵抗体33の一
端に接続され、抵抗体33の他端がエミッタ端子12に
接続される様にして、ヒータ30が構成されるものであ
る。
【0134】また、後者の接続関係を有する例として
は、図16に示されるような構成を備えるものが挙げら
れる。図16に示される例は、図15に示される例の変
形であり、支持構体80の絶縁部分であって、素子70
とは逆側に形成された凹部に対して、ダイオードチップ
81が設けられており、ダイオードのカソードがゲート
端子22に接続され、ダイオードのアノードが抵抗体3
3の一端に接続されたものである。尚、凹部を設ける位
置や接続関係を変更することによって、容易に前者の例
を構成することができることは言うまでもないことであ
る。また、ダイオードチップ81を設けるために形成さ
れた凹部はあってもなくても良く、更に、ダイオードチ
ップ81は、支持構体80の素子70側に設けることと
しても良い。
は、図16に示されるような構成を備えるものが挙げら
れる。図16に示される例は、図15に示される例の変
形であり、支持構体80の絶縁部分であって、素子70
とは逆側に形成された凹部に対して、ダイオードチップ
81が設けられており、ダイオードのカソードがゲート
端子22に接続され、ダイオードのアノードが抵抗体3
3の一端に接続されたものである。尚、凹部を設ける位
置や接続関係を変更することによって、容易に前者の例
を構成することができることは言うまでもないことであ
る。また、ダイオードチップ81を設けるために形成さ
れた凹部はあってもなくても良く、更に、ダイオードチ
ップ81は、支持構体80の素子70側に設けることと
しても良い。
【0135】(第2の実施例)本発明の第2の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第2の実施の形態に対応した
例であり、図17及び図18に示される様に、ヒータ
(抵抗体及びダイオード)が素子内部に作り込まれた構
成を備えている。
電界放出型冷陰極装置は、第2の実施の形態に対応した
例であり、図17及び図18に示される様に、ヒータ
(抵抗体及びダイオード)が素子内部に作り込まれた構
成を備えている。
【0136】Si基板100(p型)上の所定の領域に絶
縁層(本実施例においては、後述する様に、SiO 2 層)
71が設けられており、絶縁層71に挟まれた一部の領
域には、n型領域が形成されている。ここで、このn型
領域とp型のSi基板100の一部とにより、第2の実施
の形態におけるダイオード34が構成されている。
縁層(本実施例においては、後述する様に、SiO 2 層)
71が設けられており、絶縁層71に挟まれた一部の領
域には、n型領域が形成されている。ここで、このn型
領域とp型のSi基板100の一部とにより、第2の実施
の形態におけるダイオード34が構成されている。
【0137】エミッタ領域には、絶縁層71間を介し
て、Si基板100から電圧が供給される様にして設けら
れた電流制限用抵抗層72が形成されており、該電流制
限用抵抗層72上には、複数の尖鋭な先端形状を有する
エミッタ11が設けられている。ここで、電流制限用抵
抗層72は、主にエミッタ11に流れる電流を制限する
ための抵抗であり、このような抵抗層をエミッタ11の
下部に設けることは、前述の通り、従来良く知られてい
ることである。
て、Si基板100から電圧が供給される様にして設けら
れた電流制限用抵抗層72が形成されており、該電流制
限用抵抗層72上には、複数の尖鋭な先端形状を有する
エミッタ11が設けられている。ここで、電流制限用抵
抗層72は、主にエミッタ11に流れる電流を制限する
ための抵抗であり、このような抵抗層をエミッタ11の
下部に設けることは、前述の通り、従来良く知られてい
ることである。
【0138】ここで、第2の実施の形態におけるエミッ
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
【0139】ヒータ30aは、n型領域とp型のSi基板
100の一部とで構成されるダイオード34と、n型領
域上を通りエミッタ領域を囲む様にして形成されている
抵抗体33とを備えている。尚、抵抗体33とエミッタ
領域とは、絶縁層73を介するようにして構成されてい
る。
100の一部とで構成されるダイオード34と、n型領
域上を通りエミッタ領域を囲む様にして形成されている
抵抗体33とを備えている。尚、抵抗体33とエミッタ
領域とは、絶縁層73を介するようにして構成されてい
る。
【0140】抵抗体33の一端は、絶縁層73の孔に設
けられたコンタクト74を介して、絶縁層73上に設け
られたゲート電極20に接続されている。
けられたコンタクト74を介して、絶縁層73上に設け
られたゲート電極20に接続されている。
【0141】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12に正電圧
が供給されると、ダイオード34がオンになり、抵抗体
33及びコンタクト74を介してゲート電極20に通電
することにより、抵抗体33が発熱することになる。
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12に正電圧
が供給されると、ダイオード34がオンになり、抵抗体
33及びコンタクト74を介してゲート電極20に通電
することにより、抵抗体33が発熱することになる。
【0142】以下にこのような構成を備える本実施例の
素子の一製造プロセス例について、図19を参照して説
明する。
素子の一製造プロセス例について、図19を参照して説
明する。
【0143】まず、図19(a)に示されるように、p
型Si基板100上に、Si3 N 4 膜101、フォトレジス
ト層を順次形成し、その後、露光・現像を行い所定のレ
ジストパターン102を形成する。ここで、Si3 N 4 膜
101は、後述する様に、LOCOS(local oxidatio
n of silicon)プロセスにおけるマスクとして用いられ
るものであり、Si3 N 4 膜101とp型Si基板100と
の間にパッド酸化膜(パッドSiO 2 )を介在させる様に
して形成されるものとしても良い。
型Si基板100上に、Si3 N 4 膜101、フォトレジス
ト層を順次形成し、その後、露光・現像を行い所定のレ
ジストパターン102を形成する。ここで、Si3 N 4 膜
101は、後述する様に、LOCOS(local oxidatio
n of silicon)プロセスにおけるマスクとして用いられ
るものであり、Si3 N 4 膜101とp型Si基板100と
の間にパッド酸化膜(パッドSiO 2 )を介在させる様に
して形成されるものとしても良い。
【0144】次に、図19(b)に示されるように、レ
ジストパターン102をマスクとして、Si3 N 4 膜10
1をエッチングし、その後、レジストパターン102を
剥離する。
ジストパターン102をマスクとして、Si3 N 4 膜10
1をエッチングし、その後、レジストパターン102を
剥離する。
【0145】次に、図19(c)に示されるように、Si
3 N 4 膜101をマスクとして、LOCOSプロセスに
より、絶縁層71(本製造例においては、SiO 2 層)を
形成する。
3 N 4 膜101をマスクとして、LOCOSプロセスに
より、絶縁層71(本製造例においては、SiO 2 層)を
形成する。
【0146】次に、図19(d)に示される様に、Si3
N 4 膜101を除去し(パッド酸化膜を形成した場合は
パッド酸化膜も除去し)、全面にフォトレジスト層を形
成し、該フォトレジスト層の内、n型領域を形成したい
部分の上部に当たる領域のみを除去してレジストパター
ン103を形成し、その後、レジストパターン103を
マスクとして、Si基板100が露出している部分に対し
て、リンをイオン注入してn型領域104を形成する。
N 4 膜101を除去し(パッド酸化膜を形成した場合は
パッド酸化膜も除去し)、全面にフォトレジスト層を形
成し、該フォトレジスト層の内、n型領域を形成したい
部分の上部に当たる領域のみを除去してレジストパター
ン103を形成し、その後、レジストパターン103を
マスクとして、Si基板100が露出している部分に対し
て、リンをイオン注入してn型領域104を形成する。
【0147】次に、図19(e)に示される様に、レジ
ストパターン103を除去した後、抵抗層105として
ポリシリコンをCVD(chemical vapor deposition )
により成膜し、抵抗層105上にフォトレジスト層を形
成し、露光・現像を行い所定の形状にパターニングし
て、レジストパターン106を形成する。
ストパターン103を除去した後、抵抗層105として
ポリシリコンをCVD(chemical vapor deposition )
により成膜し、抵抗層105上にフォトレジスト層を形
成し、露光・現像を行い所定の形状にパターニングし
て、レジストパターン106を形成する。
【0148】次に、図19(f)に示される様に、レジ
ストパターン106をマスクとして、抵抗層105をエ
ッチングして、抵抗体33と電流制限用抵抗層72に分
離する。その後、PVD(physical vapor deposition
)又はCVD等により絶縁層73及びゲート電極20
を全面に亘って形成し、該絶縁層73及びゲート電極2
0に孔を形成して該孔に対してコンタクト74を埋め込
み形成する。尚、絶縁層73を形成後、ゲート電極20
を形成せずにコンタクト74を絶縁層73に設けられた
孔に対して埋め込み形成し、ゲート電極20をコンタク
ト74形成後に蒸着させる様にしても良い。
ストパターン106をマスクとして、抵抗層105をエ
ッチングして、抵抗体33と電流制限用抵抗層72に分
離する。その後、PVD(physical vapor deposition
)又はCVD等により絶縁層73及びゲート電極20
を全面に亘って形成し、該絶縁層73及びゲート電極2
0に孔を形成して該孔に対してコンタクト74を埋め込
み形成する。尚、絶縁層73を形成後、ゲート電極20
を形成せずにコンタクト74を絶縁層73に設けられた
孔に対して埋め込み形成し、ゲート電極20をコンタク
ト74形成後に蒸着させる様にしても良い。
【0149】その後、ゲート電極20に開口部を形成す
る等のパターニングを行うと共に絶縁層73に孔を形成
し、ゲート電極20上部に犠牲層を形成し、該犠牲層を
利用してエミッタ11を形成し、犠牲層の除去を行っ
て、図19(g)に示される様な本実施例における電界
放出型冷陰極装置に用いられる素子を形成することがで
きる。
る等のパターニングを行うと共に絶縁層73に孔を形成
し、ゲート電極20上部に犠牲層を形成し、該犠牲層を
利用してエミッタ11を形成し、犠牲層の除去を行っ
て、図19(g)に示される様な本実施例における電界
放出型冷陰極装置に用いられる素子を形成することがで
きる。
【0150】(第3の実施例)本発明の第3の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第3の実施の形態に対応した
例であり、図20及び図21に示される様に、ヒータ
(抵抗体)が素子内部に作り込まれた構成を備えてい
る。
電界放出型冷陰極装置は、第3の実施の形態に対応した
例であり、図20及び図21に示される様に、ヒータ
(抵抗体)が素子内部に作り込まれた構成を備えてい
る。
【0151】Si基板100上の所定の領域に絶縁層71
が設けられており、該絶縁層71上に、絶縁層71間を
介してSi基板100と接続される様にして電流制限用抵
抗層72が設けられ、該電流制限用抵抗層72の外周部
を囲む様にして、二つの端部を有する抵抗体33が設け
られている。
が設けられており、該絶縁層71上に、絶縁層71間を
介してSi基板100と接続される様にして電流制限用抵
抗層72が設けられ、該電流制限用抵抗層72の外周部
を囲む様にして、二つの端部を有する抵抗体33が設け
られている。
【0152】電流制限用抵抗層72上には、複数のエミ
ッタ11が形成されている。また、抵抗体33の両端部
は、夫々、コンタクト74を介してゲート電極20及び
ヒータ端子35に接続されている。
ッタ11が形成されている。また、抵抗体33の両端部
は、夫々、コンタクト74を介してゲート電極20及び
ヒータ端子35に接続されている。
【0153】尚、本実施例においても、抵抗体33と電
流制限用抵抗層72との間、並びに電流制限用抵抗層7
2とゲート電極20との間には、第2の実施例と同様、
絶縁層73が形成されている。また、第3の実施の形態
におけるエミッタ電極10は、Si基板100と、電流制
限用抵抗層72と、複数のエミッタ11とを備えている
ものとする。
流制限用抵抗層72との間、並びに電流制限用抵抗層7
2とゲート電極20との間には、第2の実施例と同様、
絶縁層73が形成されている。また、第3の実施の形態
におけるエミッタ電極10は、Si基板100と、電流制
限用抵抗層72と、複数のエミッタ11とを備えている
ものとする。
【0154】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子35及びゲート
端子22との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ
領域を囲む様にして形成された抵抗体33が発熱するこ
とになり、第3の実施の形態において説明した様な効果
が得られることになる。
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子35及びゲート
端子22との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ
領域を囲む様にして形成された抵抗体33が発熱するこ
とになり、第3の実施の形態において説明した様な効果
が得られることになる。
【0155】(第4の実施例)本発明の第4の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第4の実施の形態に対応した
例であり、図22及び図23に示される様に、ヒータ
(抵抗体)が素子内部に作り込まれた構成を備えてい
る。
電界放出型冷陰極装置は、第4の実施の形態に対応した
例であり、図22及び図23に示される様に、ヒータ
(抵抗体)が素子内部に作り込まれた構成を備えてい
る。
【0156】Si基板100上の所定の領域に絶縁層71
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
【0157】ここで、第4の実施の形態におけるエミッ
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
【0158】また、該絶縁層71上には、絶縁層71間
を介してSi基板100と一端を接続される様にして、且
つ、電流制限用抵抗層72の外周部を囲む様にして、二
つの端部を有する抵抗体33が設けられており、抵抗体
33の二つの端部の内、Si基板100に接続されていな
い端部は、コンタクト74を介してヒータ端子35に接
続されている。
を介してSi基板100と一端を接続される様にして、且
つ、電流制限用抵抗層72の外周部を囲む様にして、二
つの端部を有する抵抗体33が設けられており、抵抗体
33の二つの端部の内、Si基板100に接続されていな
い端部は、コンタクト74を介してヒータ端子35に接
続されている。
【0159】尚、本実施例においても、抵抗体33と電
流制限用抵抗層72との間、並びに電流制限用抵抗層7
2とゲート電極20との間には、第2の実施例と同様、
絶縁層73が形成されている。
流制限用抵抗層72との間、並びに電流制限用抵抗層7
2とゲート電極20との間には、第2の実施例と同様、
絶縁層73が形成されている。
【0160】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子35とエミッタ
端子12との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ
領域を囲む様にして設けられた抵抗体33が発熱するこ
とになり、第4の実施の形態において説明した様な効果
が得られることになる。
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子35とエミッタ
端子12との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ
領域を囲む様にして設けられた抵抗体33が発熱するこ
とになり、第4の実施の形態において説明した様な効果
が得られることになる。
【0161】(第5の実施例)本発明の第5の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第5の実施の形態に対応した
例であり、図24及び図25に示される様に、エミッタ
電極の一部を構成する抵抗体(エミッタ下部に配される
電流制限用抵抗層であり、従来備えている構成要素)が
ヒータに含まれる構成を備えている。
電界放出型冷陰極装置は、第5の実施の形態に対応した
例であり、図24及び図25に示される様に、エミッタ
電極の一部を構成する抵抗体(エミッタ下部に配される
電流制限用抵抗層であり、従来備えている構成要素)が
ヒータに含まれる構成を備えている。
【0162】Si基板100(p型)上の所定の領域に絶
縁層71が設けられており、該絶縁層71に挟まれた一
部の領域には、n型領域が形成され、更に、n型領域内
にn+ 型領域が形成されている。ここで、このn型領域
とp型のSi基板100の一部とは、第5の実施の形態に
おけるダイオード34を構成している。また、n+ 型領
域は、後述する様に、n型領域とコンタクト74との間
でオーミックコンタクトをとるためのものである。
縁層71が設けられており、該絶縁層71に挟まれた一
部の領域には、n型領域が形成され、更に、n型領域内
にn+ 型領域が形成されている。ここで、このn型領域
とp型のSi基板100の一部とは、第5の実施の形態に
おけるダイオード34を構成している。また、n+ 型領
域は、後述する様に、n型領域とコンタクト74との間
でオーミックコンタクトをとるためのものである。
【0163】また、絶縁層71上には、絶縁層71間を
介してSi基板100と一端が接続される様にして、従
来、電流制限用抵抗層として用いられていた抵抗体33
が設けられており、該抵抗体33上のエミッタ領域にあ
たる部分には、複数のエミッタ11がアレイ状に配され
ている。
介してSi基板100と一端が接続される様にして、従
来、電流制限用抵抗層として用いられていた抵抗体33
が設けられており、該抵抗体33上のエミッタ領域にあ
たる部分には、複数のエミッタ11がアレイ状に配され
ている。
【0164】ここで、第5の実施の形態におけるエミッ
タ電極10aは、Si基板100、抵抗体33、複数のエ
ミッタ11を備えているものとする。
タ電極10aは、Si基板100、抵抗体33、複数のエ
ミッタ11を備えているものとする。
【0165】本実施例において、ヒータ30dは、n型
領域とp型のSi基板100の一部とで構成されるダイオ
ード34と、抵抗体33とを備えている。抵抗体33の
一端は、絶縁層73内に設けられたコンタクト74を介
してエミッタ端子12に接続されており、抵抗体33の
他端は、Si基板100内においてダイオード34と接続
されている。また、ダイオード34のn型領域内に設け
られn+ 型領域は、絶縁層73内に設けられた孔に対し
て埋め込み形成されたコンタクト74を介して、ゲート
電極20に接続されている。
領域とp型のSi基板100の一部とで構成されるダイオ
ード34と、抵抗体33とを備えている。抵抗体33の
一端は、絶縁層73内に設けられたコンタクト74を介
してエミッタ端子12に接続されており、抵抗体33の
他端は、Si基板100内においてダイオード34と接続
されている。また、ダイオード34のn型領域内に設け
られn+ 型領域は、絶縁層73内に設けられた孔に対し
て埋め込み形成されたコンタクト74を介して、ゲート
電極20に接続されている。
【0166】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12に正電圧
が供給されると、ダイオード34がオンして、抵抗体3
3が発熱することになり、第5の実施の形態において説
明した様な効果が得られることになる。
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12に正電圧
が供給されると、ダイオード34がオンして、抵抗体3
3が発熱することになり、第5の実施の形態において説
明した様な効果が得られることになる。
【0167】(第6の実施例)本発明の第6の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第6の実施の形態に対応した
例であり、図26及び図27に示される様に、ヒータと
して、従来構成の電流制限用抵抗層を用いた構成を備え
ている。
電界放出型冷陰極装置は、第6の実施の形態に対応した
例であり、図26及び図27に示される様に、ヒータと
して、従来構成の電流制限用抵抗層を用いた構成を備え
ている。
【0168】Si基板100上に絶縁層71が設けられて
おり、該絶縁層71上には、従来、電流制限用抵抗層と
して用いられていた抵抗体33が形成されている。抵抗
体33上のエミッタ領域に当たる領域には、複数のエミ
ッタ11がアレイ状に配されており、抵抗体33の異な
る二つの端部は、夫々、絶縁層73に設けられた孔に埋
め込み形成されたコンタクト74を介して、エミッタ端
子12又はヒータ端子35に接続されている。
おり、該絶縁層71上には、従来、電流制限用抵抗層と
して用いられていた抵抗体33が形成されている。抵抗
体33上のエミッタ領域に当たる領域には、複数のエミ
ッタ11がアレイ状に配されており、抵抗体33の異な
る二つの端部は、夫々、絶縁層73に設けられた孔に埋
め込み形成されたコンタクト74を介して、エミッタ端
子12又はヒータ端子35に接続されている。
【0169】ここで、第6の実施の形態におけるエミッ
タ電極10aは、Si基板100と、抵抗体33と、複数
のエミッタ11とを備えているものとする。
タ電極10aは、Si基板100と、抵抗体33と、複数
のエミッタ11とを備えているものとする。
【0170】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12とヒータ
端子35との間に所定の電圧を供給されると、エミッタ
下部に設けられている抵抗体33が発熱することにな
り、第6の実施の形態において説明した様な効果が得ら
れることになる。
出型冷陰極装置においては、エミッタ端子12とヒータ
端子35との間に所定の電圧を供給されると、エミッタ
下部に設けられている抵抗体33が発熱することにな
り、第6の実施の形態において説明した様な効果が得ら
れることになる。
【0171】(第7の実施例)本発明の第7の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第7の実施の形態に対応した
例であり、図28及び図29に示される様に、集束電極
を有する素子内部にヒータ(抵抗体)が作り込まれた構
成を備えている。
電界放出型冷陰極装置は、第7の実施の形態に対応した
例であり、図28及び図29に示される様に、集束電極
を有する素子内部にヒータ(抵抗体)が作り込まれた構
成を備えている。
【0172】Si基板100上の所定の領域に絶縁層71
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
【0173】ここで、第7の実施の形態におけるエミッ
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
【0174】また、該絶縁層71上には、電流制限用抵
抗層72の外周部を囲む様にして、二つの端部を有する
抵抗体63が設けられている。更に、抵抗体63の二つ
の端部の内、一端は、絶縁層73内に設けられた孔に対
して埋め込み形成されたコンタクト74を介して、集束
電極50に接続されており、他端は、同様にして設けら
れたコンタクト74を介して、ゲート電極20に接続さ
れている。
抗層72の外周部を囲む様にして、二つの端部を有する
抵抗体63が設けられている。更に、抵抗体63の二つ
の端部の内、一端は、絶縁層73内に設けられた孔に対
して埋め込み形成されたコンタクト74を介して、集束
電極50に接続されており、他端は、同様にして設けら
れたコンタクト74を介して、ゲート電極20に接続さ
れている。
【0175】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、ゲート端子22と集束端子
52との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ領域
の外周部を回る様にして設けられた抵抗体63が発熱す
ることになり、第7の実施の形態において説明した様な
効果が得られることになる。
出型冷陰極装置においては、ゲート端子22と集束端子
52との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ領域
の外周部を回る様にして設けられた抵抗体63が発熱す
ることになり、第7の実施の形態において説明した様な
効果が得られることになる。
【0176】尚、本実施例においては、抵抗体がエミッ
タ領域に対して集束電極よりも離れた位置(正面図参
照)に形成されている場合について説明してきたが、抵
抗体と集束電極とは異なる層に形成されているため、抵
抗体をよりエミッタ領域に近い位置に配することも可能
である。例えば、抵抗体を集束電極の下部に配すること
もできる。
タ領域に対して集束電極よりも離れた位置(正面図参
照)に形成されている場合について説明してきたが、抵
抗体と集束電極とは異なる層に形成されているため、抵
抗体をよりエミッタ領域に近い位置に配することも可能
である。例えば、抵抗体を集束電極の下部に配すること
もできる。
【0177】(第8の実施例)本発明の第8の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第8の実施の形態に対応した
例であり、図30及び図31に示される様に、集束電極
を有する素子内部にヒータ(抵抗体)が作り込まれた構
成を備えている。
電界放出型冷陰極装置は、第8の実施の形態に対応した
例であり、図30及び図31に示される様に、集束電極
を有する素子内部にヒータ(抵抗体)が作り込まれた構
成を備えている。
【0178】Si基板100上の所定の領域に絶縁層71
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
が設けられており、該絶縁層71上のエミッタ領域に
は、絶縁層71間を介してSi基板100と接続される様
にして電流制限用抵抗層72が設けられており、電流制
限用抵抗層72上には、複数のエミッタ11が形成され
ている。
【0179】ここで、第8の実施の形態におけるエミッ
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものとする。
【0180】また、該絶縁層71上には、電流制限用抵
抗層72の外周部を囲む様にして、二つの端部を有する
抵抗体63が設けられている。更に、抵抗体63の二つ
の端部の内、一端は、絶縁層73内に設けられた孔に対
して埋め込み形成されたコンタクト74を介して、集束
電極50に接続されており、他端は、同様にして設けら
れたコンタクト74を介して、ヒータ端子65に接続さ
れている。
抗層72の外周部を囲む様にして、二つの端部を有する
抵抗体63が設けられている。更に、抵抗体63の二つ
の端部の内、一端は、絶縁層73内に設けられた孔に対
して埋め込み形成されたコンタクト74を介して、集束
電極50に接続されており、他端は、同様にして設けら
れたコンタクト74を介して、ヒータ端子65に接続さ
れている。
【0181】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子65と集束端子
52との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ領域
の外周部を回る様にして設けられた抵抗体63が発熱す
ることになり、第8の実施の形態において説明した様な
効果が得られることになる。
出型冷陰極装置においては、ヒータ端子65と集束端子
52との間に所定の電圧が供給されると、エミッタ領域
の外周部を回る様にして設けられた抵抗体63が発熱す
ることになり、第8の実施の形態において説明した様な
効果が得られることになる。
【0182】尚、本実施例においても、第7の実施例と
同様、抵抗体がエミッタ領域に対して集束電極よりも離
れた位置(正面図参照)に形成されている場合について
説明してきたが、抵抗体と集束電極とは異なる層に形成
されているため、抵抗体をよりエミッタ領域に近い位置
に配することも可能である。
同様、抵抗体がエミッタ領域に対して集束電極よりも離
れた位置(正面図参照)に形成されている場合について
説明してきたが、抵抗体と集束電極とは異なる層に形成
されているため、抵抗体をよりエミッタ領域に近い位置
に配することも可能である。
【0183】(第9の実施例)本発明の第9の実施例の
電界放出型冷陰極装置は、第9の実施の形態に対応した
例であり、図32及び図33に示される様に、ヒータと
して、集束電極の一部を構成する抵抗体と、該抵抗体と
直列に接続される様に素子内部に作り込まれたダイオー
ドとを備えている例である。
電界放出型冷陰極装置は、第9の実施の形態に対応した
例であり、図32及び図33に示される様に、ヒータと
して、集束電極の一部を構成する抵抗体と、該抵抗体と
直列に接続される様に素子内部に作り込まれたダイオー
ドとを備えている例である。
【0184】Si基板100(p型)上の所定の領域に絶
縁層71が設けられており、該絶縁層71に挟まれた一
部の領域には、アイソレイーション領域としてのn型領
域が形成されている。n型領域内には、p+ 型領域及び
n+ 型領域が形成されており、更に、p+ 型領域内に
は、n+ 型領域が形成されている。ここで、p+ 型領域
と、p+ 型領域内に形成されたn+ 型領域とは、第9の
実施の形態におけるダイオード64を構成している。ま
た、n型領域内のn+ 型領域及びp+ 型領域内のn+ 型
領域は、コンタクト74と夫々の領域との間で、オーミ
ックコンタクトをとるために不純物濃度を高くされてい
る。n型領域内のn+ 型領域及びp+ 領域は、絶縁層7
3内に設けられたコンタクト74を介して、集束電極5
0aに接続されており、p+ 型領域内のn+ 型領域は、
同様にして設けられたコンタクト74を介して、ゲート
電極20に接続されている。
縁層71が設けられており、該絶縁層71に挟まれた一
部の領域には、アイソレイーション領域としてのn型領
域が形成されている。n型領域内には、p+ 型領域及び
n+ 型領域が形成されており、更に、p+ 型領域内に
は、n+ 型領域が形成されている。ここで、p+ 型領域
と、p+ 型領域内に形成されたn+ 型領域とは、第9の
実施の形態におけるダイオード64を構成している。ま
た、n型領域内のn+ 型領域及びp+ 型領域内のn+ 型
領域は、コンタクト74と夫々の領域との間で、オーミ
ックコンタクトをとるために不純物濃度を高くされてい
る。n型領域内のn+ 型領域及びp+ 領域は、絶縁層7
3内に設けられたコンタクト74を介して、集束電極5
0aに接続されており、p+ 型領域内のn+ 型領域は、
同様にして設けられたコンタクト74を介して、ゲート
電極20に接続されている。
【0185】また、絶縁層71上のエミッタ領域に当た
る領域には、絶縁層71間を介してSi基板100と接続
される様にして、電流制限用抵抗層72が設けられてお
り、該電流制限用抵抗層72上には、複数のエミッタ1
1が形成されている。
る領域には、絶縁層71間を介してSi基板100と接続
される様にして、電流制限用抵抗層72が設けられてお
り、該電流制限用抵抗層72上には、複数のエミッタ1
1が形成されている。
【0186】ここで、第9の実施の形態におけるエミッ
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものである。
タ電極10は、Si基板100と、電流制限用抵抗層72
と、複数のエミッタ11とを備えているものである。
【0187】尚、本実施例の構成を備えた電界放出型冷
陰極装置においては、エミッタ駆動をさせるためにエミ
ッタに印加される負電圧の絶対値(ゲート電位基準)
が、集束動作をさせるために集束電極に供給される負電
圧の絶対値(ゲート電位基準)よりも小さくなると、エ
ミッタ基板から集束電極にリーク電流が流れることにな
る。従って、本実施例において、エミッタ駆動をさせる
ためにエミッタに印加される負電圧の絶対値は、集束動
作をさせるために集束電極に供給される負電圧の絶対値
よりも大きいことが望ましい。
陰極装置においては、エミッタ駆動をさせるためにエミ
ッタに印加される負電圧の絶対値(ゲート電位基準)
が、集束動作をさせるために集束電極に供給される負電
圧の絶対値(ゲート電位基準)よりも小さくなると、エ
ミッタ基板から集束電極にリーク電流が流れることにな
る。従って、本実施例において、エミッタ駆動をさせる
ためにエミッタに印加される負電圧の絶対値は、集束動
作をさせるために集束電極に供給される負電圧の絶対値
よりも大きいことが望ましい。
【0188】この様な構成を備えた本実施例の電界放出
型冷陰極装置は、集束端子52に対して、ゲート電子を
基準として前述の条件を満たす正電圧が供給されると、
ダイオード64がオンして、集束電極50aの一部を構
成する抵抗体63が発熱することになり、第9の実施の
形態において説明した様な効果が得られることになる。
型冷陰極装置は、集束端子52に対して、ゲート電子を
基準として前述の条件を満たす正電圧が供給されると、
ダイオード64がオンして、集束電極50aの一部を構
成する抵抗体63が発熱することになり、第9の実施の
形態において説明した様な効果が得られることになる。
【0189】(第10の実施例)本発明の第10の実施
例の電界放出型冷陰極装置は、第10の実施の形態に対
応した例であり、図34に示される様に、ヒータとし
て、集束電極の一部を構成する抵抗体を備えている例で
ある。
例の電界放出型冷陰極装置は、第10の実施の形態に対
応した例であり、図34に示される様に、ヒータとし
て、集束電極の一部を構成する抵抗体を備えている例で
ある。
【0190】集束電極50aは、ゲート電極20を囲む
様にして構成されており、また、その一部が抵抗体63
で構成されている。更に、集束電極50aは、二つの端
部を有しており、一端は集束端子52へ接続され、他端
は、ヒータ端子65へ接続されている。
様にして構成されており、また、その一部が抵抗体63
で構成されている。更に、集束電極50aは、二つの端
部を有しており、一端は集束端子52へ接続され、他端
は、ヒータ端子65へ接続されている。
【0191】このような構成を備えた本実施例の電界放
出型冷陰極装置においては、集束端子52とヒータ端子
65との間に所定の電圧が供給されると、集束電極50
aの一部を構成する抵抗体63が発熱することになり、
第10の実施の形態において説明した様な効果が得られ
ることになる。
出型冷陰極装置においては、集束端子52とヒータ端子
65との間に所定の電圧が供給されると、集束電極50
aの一部を構成する抵抗体63が発熱することになり、
第10の実施の形態において説明した様な効果が得られ
ることになる。
【0192】
【発明の効果】以上説明してきた様に、本発明によれ
ば、端子数の増加を極力抑えたまま、ヒータを備えるこ
とができる電界放出型冷陰極装置が得られる。
ば、端子数の増加を極力抑えたまま、ヒータを備えるこ
とができる電界放出型冷陰極装置が得られる。
【0193】また、本発明は、従来から存する構成要素
をヒータとして利用するなどして、従来技術に簡易な手
段を加えるだけで良いという利点も有している。
をヒータとして利用するなどして、従来技術に簡易な手
段を加えるだけで良いという利点も有している。
【0194】更に、本発明によれば、エミッタを駆動す
る駆動パルス間の空き時間を利用して、効率的にヒータ
を駆動することができることから、高いクリーニング効
果を得ることができる。
る駆動パルス間の空き時間を利用して、効率的にヒータ
を駆動することができることから、高いクリーニング効
果を得ることができる。
【図1】第1の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図2】図1に示される端子間に印加される電圧を示す
図である。
図である。
【図3】第2の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図4】図3に示される端子間に印加される電圧を示す
図である。
図である。
【図5】第3の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図6】第4の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図7】第5の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図8】第6の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図9】第7の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図10】第8の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の
構成を示す概略図である。
構成を示す概略図である。
【図11】第9の実施の形態の電界放出型冷陰極装置の
構成を示す概略図である。
構成を示す概略図である。
【図12】図11に示されるエミッタ端子12に供給さ
れる電圧(a)と集束端子52に供給される電圧(b)
とを示す図である。
れる電圧(a)と集束端子52に供給される電圧(b)
とを示す図である。
【図13】第10の実施の形態の電界放出型冷陰極装置
の構成を示す概略図である。
の構成を示す概略図である。
【図14】図13に示されるエミッタ端子12に供給さ
れる電圧(a)と集束端子52に供給される電圧(b)
とを示す図である。
れる電圧(a)と集束端子52に供給される電圧(b)
とを示す図である。
【図15】第1の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図16】図15の変形であり、第2の実施の形態に対
応する電界放出型冷陰極装置の構成を示す図である。
応する電界放出型冷陰極装置の構成を示す図である。
【図17】第2の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図18】図17におけるa−a´断面を示す図であ
る。
る。
【図19】図18に示される構成の電界放出型冷陰極装
置の製造プロセスを示す図である。
置の製造プロセスを示す図である。
【図20】第3の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図21】図20におけるb−b´断面を示す図であ
る。
る。
【図22】第4の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図23】図22におけるc−c´断面を示す図であ
る。
る。
【図24】第5の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図25】図24におけるd−d´断面を示す図であ
る。
る。
【図26】第6の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図27】図26におけるe−e´断面を示す図であ
る。
る。
【図28】第7の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図29】図28におけるf−f´断面を示す図であ
る。
る。
【図30】第8の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図31】図30におけるg−g´断面を示す図であ
る。
る。
【図32】第9の実施例の電界放出型冷陰極装置の構成
を示す概略平面図である。
を示す概略平面図である。
【図33】図32におけるh−h´断面を示す図であ
る。
る。
【図34】第10の実施例の電界放出型冷陰極装置の構
成を示す概略平面図である。
成を示す概略平面図である。
10 エミッタ電極 11 エミッタ 12 エミッタ端子 20 ゲート電極 21 開口部 22 ゲート端子 30 熱源(ヒータ) 31 熱源端部(ヒータ端部) 32 熱源端部(ヒータ端部) 33 抵抗体 34 ダイオード 35 熱源端子(ヒータ端子) 50 集束電極 52 集束端子 60 熱源(ヒータ) 61 熱源端部(ヒータ端部) 62 熱源端部(ヒータ端部) 63 抵抗体 64 ダイオード 65 熱源端子(ヒータ端子)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−266787(JP,A) 特開 平6−223705(JP,A) 特開 平4−229922(JP,A) 特開 平10−208649(JP,A) 特開 昭64−54639(JP,A) 特開 平7−182969(JP,A) 特開 平6−310024(JP,A) 特開 平4−370635(JP,A) 特開 平4−249026(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 1/304 JICSTファイル(JOIS)
Claims (19)
- 【請求項1】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタを
有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出された
エミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与えら
れて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽出す
るためゲート電極、該ゲート電極から引き出されたゲー
ト端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源を備
えており、 前記熱源は、二つの熱源端部を有し、且つ、該二つの熱
源端部間に、抵抗体を備えており、 該二つの熱源端部の一方は前記ゲート端子と共通に接続
されており、他方は前記エミッタ端子と独立に設けられ
ている電界放出型冷陰極装置において、 前記熱源は、前記二つの熱源端部間において、前記抵抗
体に直列に接続されたダイオードを更に備えていること
を特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項2】 前記熱源は、前記エミッタ電極及び前記
ゲート電極を備える電界放出型冷陰極素子内部に、設け
られていることを特徴とする請求項1に記載の電界放出
型冷陰極装置。 - 【請求項3】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタを
有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出された
エミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与えら
れて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽出す
るためゲート電極、該ゲート電極から引き出されたゲー
ト端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源を備
えており、 前記エミッタ端子及び前記ゲート端子は、前記エミッタ
電極及び前記ゲート電極を備える電界放出型冷陰極素子
を固定するための支持構体に、設けられており、 前記熱源は、前記支持構体内部に設けられており、 前記熱源は、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に、抵抗体と、該抵抗体に直列に接続された
ダイオードを備えており、 前記二つの熱源端部のうち、前記抵抗体側の熱源端部は
前記エミッタ端子と共通に接続され、前記ダイオード側
の熱源端部は前記ゲート端子と共通に接続されているこ
とを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項4】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタを
有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出された
エミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与えら
れて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽出す
るためゲート電極、該ゲート電極から引き出されたゲー
ト端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源を備
えており、 前記エミッタ端子及び前記ゲート端子は、前記エミッタ
電極及び前記ゲート電極を備える電界放出型冷陰極素子
を固定するための支持構体に、設けられており、 前記熱源は、前記支持構体内部に設けられており、 前記熱源は、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に、抵抗体と、該抵抗体に直列に接続された
ダイオードを備えており、 前記二つの熱源端部のうち、前記ダイオード側の熱源端
部は前記エミッタ端子と共通に接続され、前記抵抗体側
の熱源端部は前記ゲート端子と共通に接続されているこ
とを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項5】 前記抵抗体は、前記複数のエミッタがア
レイ状に配されてなるエミッタアレイを取り囲むように
して、且つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲー
ト電極と異なる層であって、前記ゲート電極よりも前記
エミッタ電極により近い位置に形成されていることを特
徴とする請求項1に記載の電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項6】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタを
有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出された
エミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与えら
れて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽出す
るためゲート電極、該ゲート電極から引き出されたゲー
ト端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源を備
えており、 前記熱源は、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に、抵抗体と、該抵抗体に直列に接続された
ダイオードを備えており、 前記二つの熱源端部のうち、前記抵抗体側の熱源端部は
前記エミッタ端子と共通に接続され、前記ダイオード側
の熱源端部は前記ゲート端子と共通に接続されており、 前記エミッタ電極は、半導体基板を備えており、 前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配され
てなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且つ、二
つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と異なる
層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ電極に
より近い位置に形成されており、 前記ダイオードは、前記半導体基板内に設けられ、一端
を前記抵抗体の備える二つの端部の内の一方に接続され
ていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項7】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタを
有するエミッタ電極、該エミッタ電極から引き出された
エミッタ端子、前記エミッタ電極と異なる電位を与えら
れて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群を抽出す
るためゲート電極、該ゲート電極から引き出されたゲー
ト端子、前記複数のエミッタを加熱するための熱源を備
えており、 前記熱源は、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に、抵抗体と、該抵抗体に直列に接続された
ダイオードを備えており、 前記二つの熱源端部のうち、前記ダイオード側の熱源端
部は前記エミッタ端子と共通に接続され、前記抵抗体側
の熱源端部は前記ゲート端子と共通に接続されており、 前記エミッタ電極は、半導体基板を備えており、 前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配され
てなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且つ、二
つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と異なる
層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ電極に
より近い位置に形成されており、 前記ダイオードは、前記半導体基板内に設けられ、一端
を前記抵抗体の備える二つの端部の内の一方に接続され
ていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項8】 請求項3又は請求項4のいずれかに記載
の電界放出型冷陰極装置と、 前記エミッタ端子と前記ゲート端子との間に電圧を印加
するための電源であって、二極性の電源である両極出力
電源とを備えることを特徴とする電子源。 - 【請求項9】 前記両極出力電源は、前記エミッタ端子
と前記ゲート端子との間に印加される電圧の内、エミッ
タを駆動しない電圧であって、熱源を駆動するようにし
て印加する電圧に関して、電圧量を調整することができ
るものであり、 該電圧量の調整により、前記熱源の発熱量を制御するこ
とができることを特徴とする請求項8に記載の電子源。 - 【請求項10】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタ
を有するエミッタ電極、前記エミッタ電極と異なる電位
を与えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群
を抽出するためゲート電極、該ゲート電極から引き出さ
れたゲート端子、該ゲート電極と異なる電位を与えられ
て抽出された前記電子群の広がりを集束するための集束
電極、該集束電極から引き出された集束端子、前記複数
のエミッタを加熱するための熱源を備えた電界放出型冷
陰極装置において、 前記熱源は、二つの熱源端部を備えており、 該二つの熱源端部の一方は、前記ゲート端子又は前記集
束端子の一方と、共通に接続されており、 前記熱源は、前記二つの熱源端部間に、抵抗体を備えて
いると共に、当該二つの熱源端部間に、前記抵抗体に直
列に接続されたダイオードを更に備えていることを特徴
とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項11】 前記集束電極は、二つの集束端部を備
えており、 該二つの集束端部の内、一方は、前記集束端子と接続さ
れており、他方は、前記二つの熱源端部の一方と接続さ
れており、 前記集束電極の備える前記二つ集束端部の内の一方の電
位と、該二つの集束端部の内の他方における電位とが実
質的に等しくなるように、前記抵抗体の抵抗値が調整さ
れていることを特徴とする請求項10に記載の電界放出
型冷陰極装置。 - 【請求項12】 前記抵抗体は、前記複数のエミッタが
アレイ状に配されてなるエミッタアレイを取り囲むよう
にして、且つ、二つの端部を備えるようにして、前記ゲ
ート電極と異なる層であって、前記ゲート電極よりも前
記エミッタ電極により近い位置に形成されていることを
特徴とする請求項10又は請求項11のいずれかに記載
の電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項13】 前記二つの熱源端部の内、前記集束端
部に接続されていない他方は、前記ゲート端子と共通に
接続されており、 前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配され
てなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且つ、二
つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と異なる
層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ電極に
より近い位置に形成されていることを特徴とする請求項
11に記載の電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項14】 前記エミッタ電極は、半導体基板を備
えており、 前記抵抗体は、前記複数のエミッタがアレイ状に配され
てなるエミッタアレイを取り囲むようにして、且つ、二
つの端部を備えるようにして、前記ゲート電極と異なる
層であって、前記ゲート電極よりも前記エミッタ電極に
より近い位置に形成されており、 前記ダイオードは、前記半導体基板内に設けられ、一端
を前記抵抗体の備える二つの端部の内の一方に接続され
ていることを特徴とする請求項10に記載の電界放出型
冷陰極装置。 - 【請求項15】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタ
を有するエミッタ電極、前記エミッタ電極と異なる電位
を与えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群
を抽出するためゲート電極、該ゲート電極から引き出さ
れたゲート端子、該ゲート電極と異なる電位を与えられ
て抽出された前記電子群の広がりを集束するための集束
電極、該集束電極から引き出された集束端子、前記複数
のエミッタを加熱するための熱源を備えた電界放出型冷
陰極装置において、 前記熱源は、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に、抵抗体と該抵抗体に直列に接続されたダ
イオードとを備えており、 該二つの熱源端部の一方は、前記集束端子と共通に接続
されていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項16】 前記ダイオードは、カソードを前記ゲ
ート端子と共通に接続され、アノードを前記抵抗体と接
続されていることを特徴とする請求項15に記載の電界
放出型冷陰極装置。 - 【請求項17】 前記エミッタ電極は、半導体基板を備
えており、 前記ダイオードは、前記半導体基板内に設けられ、一端
を前記集束電極の備える前記抵抗体に接続されているこ
とを特徴とする請求項15又は請求項16のいずれかに
記載の電界放出型冷陰極装置。 - 【請求項18】 前記二つの熱源端部の内、前記集束端
子と共通に接続されていない他方は、前記ゲート端子と
共通に接続されていることを特徴とする請求項15に記
載の電界放出型冷陰極装置と、 前記ゲート端子と前記集束端子との間に電圧を印加する
ための電源であって、二極性の電源である両極出力電源
とを備えることを特徴とする電子源。 - 【請求項19】 尖鋭な先端形状を持つ複数のエミッタ
を有するエミッタ電極、前記エミッタ電極と異なる電位
を与えられて該複数のエミッタの夫々の先端から電子群
を抽出するためゲート電極、該ゲート電極から引き出さ
れたゲート端子、該ゲート電極と異なる電位を与えられ
て抽出された前記電子群の広がりを集束するための集束
電極、該集束電極から引き出された集束端子、前記複数
のエミッタを加熱するための熱源を備えた電界放出型冷
陰極装置と、前記ゲート端子と前記集束端子との間に電
圧を印加するための電源であって、二極性の電源である
両極出力電源とを備える電子源において、 前記電界放出型冷陰極装置は、 前記熱源が、二つの熱源端部を備え、且つ、当該二つの
熱源端部間に抵抗体を備えており、 該二つの熱源端部の一方が、前記ゲート端子と共通に接
続されており、 前記集束電極が、二つの集束端部を備えており、 該二つの集束端部の内、一方が、前記集束端子と接続さ
れており、他方が、前記二つの熱源端部の内の前記ゲー
ト端子に接続されていない他方と接続されていることを
特徴とする電子源。
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