JPS5911400Y2 - 電界放射型イオン源 - Google Patents
電界放射型イオン源Info
- Publication number
- JPS5911400Y2 JPS5911400Y2 JP2368680U JP2368680U JPS5911400Y2 JP S5911400 Y2 JPS5911400 Y2 JP S5911400Y2 JP 2368680 U JP2368680 U JP 2368680U JP 2368680 U JP2368680 U JP 2368680U JP S5911400 Y2 JPS5911400 Y2 JP S5911400Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- ion source
- tubular member
- insulating plate
- field emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電界放射型イオン源に関し、特にイオンプロー
ブマイクロアナライザーあるいはイオン注入装置等に使
用して最適なイオン源に関する。
ブマイクロアナライザーあるいはイオン注入装置等に使
用して最適なイオン源に関する。
本考案に基づくイオン源はチップ先端に附着した液体金
属を該チップ先端部近傍に形威された強電界によってイ
オン化して取り出すようにしており、該チップを支持す
る導電性フィラメントと、該フィラメントを実質的に支
持する絶縁板と、該絶縁板に着脱可能に設けられ内部に
液体金属が貯留される管状部材と、該チップ部からイオ
ンを引出すための引出し電極とを備え、該チップと電極
との間に高電圧を印加すると共に該管状部材の一方の端
部を該チップに接近して配置するように構或しており、
簡単な構戒で長寿命のイオン源が提供される。
属を該チップ先端部近傍に形威された強電界によってイ
オン化して取り出すようにしており、該チップを支持す
る導電性フィラメントと、該フィラメントを実質的に支
持する絶縁板と、該絶縁板に着脱可能に設けられ内部に
液体金属が貯留される管状部材と、該チップ部からイオ
ンを引出すための引出し電極とを備え、該チップと電極
との間に高電圧を印加すると共に該管状部材の一方の端
部を該チップに接近して配置するように構或しており、
簡単な構戒で長寿命のイオン源が提供される。
以下第１図及び第２図に基づいて本考案の一実施例を詳
説する。
説する。
第１図は本考案に基づくイオン源の断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ断面図であり、１は絶縁板である。
１図のＡ−Ａ断面図であり、１は絶縁板である。
該絶縁板１には導電性物質で形威された２本の支柱２，
３が固定されており、該支柱２，３の先端部にはタング
ステンにより■状に形或されたフィラメント４が取り付
けられている。
３が固定されており、該支柱２，３の先端部にはタング
ステンにより■状に形或されたフィラメント４が取り付
けられている。
該フィラメント４の■状先端部にはタングステン製のチ
ツプ５がスポット溶接されている。
ツプ５がスポット溶接されている。
該絶縁板１には更に着脱可能に管状部材６が設けられて
おり、該管状部材６の一方の端部は狭められており、チ
ツプ５が溶接されているフィラメント４の光端部に近接
して配置されている。
おり、該管状部材６の一方の端部は狭められており、チ
ツプ５が溶接されているフィラメント４の光端部に近接
して配置されている。
７はイオン引出し用電極であり、該電極７とチツプ５と
の間には高電圧が印加される。
の間には高電圧が印加される。
上述した如き構戊において管状部材６の内部には金属８
が貯留されるが、該金属の貯留に当っては、まず管状部
材６が外部に取外されて外部加熱炉内で加熱されて液状
になったカリウム等の金属中に浸される。
が貯留されるが、該金属の貯留に当っては、まず管状部
材６が外部に取外されて外部加熱炉内で加熱されて液状
になったカリウム等の金属中に浸される。
該管状部材６中に金属が満たされた後、該部材を炉から
引上げて冷却し、該金属を固化する。
引上げて冷却し、該金属を固化する。
その後管状部材６を絶縁板１に取り付け、フィラメント
４に加熱電流を流せば、金属８は加熱されて再び液化し
チツプ５先端へと染み出し、チップ表面には薄い液体金
属膜が形威される。
４に加熱電流を流せば、金属８は加熱されて再び液化し
チツプ５先端へと染み出し、チップ表面には薄い液体金
属膜が形威される。
ここでチツプ５と電極７との間に高電圧を印加すれば、
チツプ５の尖鋭な先端部には強電界が形威され、該先端
部の液位金属はイオン化されて引出される。
チツプ５の尖鋭な先端部には強電界が形威され、該先端
部の液位金属はイオン化されて引出される。
該チップ先端部へは管状部材６から液体金属が徐々に補
給され長時間連続してイオンを発生させることができる
。
給され長時間連続してイオンを発生させることができる
。
以上詳述した如く本考案は管状部材に液体金属を貯留さ
せる簡単な構或により長寿命の電界放射型イオン源が提
供される。
せる簡単な構或により長寿命の電界放射型イオン源が提
供される。
第１図は本考案の一実施例であるイオン源の断面図、第
２図は第１図におけるＡ．−Ａ断面図である。 １：絶縁体、２，３：支柱、４：フィラメント、５：チ
ツプ、６：管状部材、７：電極、８：液体金属。
２図は第１図におけるＡ．−Ａ断面図である。 １：絶縁体、２，３：支柱、４：フィラメント、５：チ
ツプ、６：管状部材、７：電極、８：液体金属。
Claims (1)
- エミツターチツプと、該エミツターチツプを支持する導
電性フィラメントと、該フィラメントを実質的に支持す
る絶縁板と、該絶縁板に着脱可能に設けられ、内部に液
体金属が貯留される管状部材と、該チップ部からイオン
を引出すための引出し電極とを備え、該チップと電極と
の間に高電圧を印加すると共に該管状部材の一方の端部
を該チップに接近して配置するように構或した電界放射
型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2368680U JPS5911400Y2 (ja) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | 電界放射型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2368680U JPS5911400Y2 (ja) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | 電界放射型イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56124953U JPS56124953U (ja) | 1981-09-22 |
| JPS5911400Y2 true JPS5911400Y2 (ja) | 1984-04-07 |
Family
ID=29619778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2368680U Expired JPS5911400Y2 (ja) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | 電界放射型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5911400Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101749A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-12 | Hitachi Ltd | イオン源およびイオンビーム形成方法 |
-
1980
- 1980-02-26 JP JP2368680U patent/JPS5911400Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56124953U (ja) | 1981-09-22 |
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