JPS5879844U - 液体金属イオン源 - Google Patents

液体金属イオン源

Info

Publication number
JPS5879844U
JPS5879844U JP17206181U JP17206181U JPS5879844U JP S5879844 U JPS5879844 U JP S5879844U JP 17206181 U JP17206181 U JP 17206181U JP 17206181 U JP17206181 U JP 17206181U JP S5879844 U JPS5879844 U JP S5879844U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
metal ion
liquid metal
needle
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17206181U
Other languages
English (en)
Inventor
亨 石谷
田村 一二三
朗 嶋瀬
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP17206181U priority Critical patent/JPS5879844U/ja
Publication of JPS5879844U publication Critical patent/JPS5879844U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による液体金属イオン源の基本  □構
成図である。 1・・・・・・アノード、2・・・・・・イオン化物質
のため部、    □3・・・・・・ノズル、4・・・
・・・イオン化物質、5・・・・・・ヒーター、6・・
・・・・イオン化物質のガス蒸気。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン化すべき溶融した金属物質でニードル先端を濡ら
    し、その先端ら強電界によってイオンを引出す液体金属
    イオン源において、ため部に内蔵された上記イオン化物
    質を加熱して蒸気とし、その蒸気を上記ニードルあるい
    は上記ニードルの支持部に衝突させて凝縮させるように
    して上記イオン化物質を補給するように構成してなるこ
    とを特徴とする液体金處イオン源。
JP17206181U 1981-11-20 1981-11-20 液体金属イオン源 Pending JPS5879844U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17206181U JPS5879844U (ja) 1981-11-20 1981-11-20 液体金属イオン源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17206181U JPS5879844U (ja) 1981-11-20 1981-11-20 液体金属イオン源

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5879844U true JPS5879844U (ja) 1983-05-30

Family

ID=29963968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17206181U Pending JPS5879844U (ja) 1981-11-20 1981-11-20 液体金属イオン源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5879844U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5879844U (ja) 液体金属イオン源
JPS5878557U (ja) 電界放出型イオン源
JPS5955848U (ja) 電界放射型イオン源
JPS61131059U (ja)
JPS6292550U (ja)
JPS5878967U (ja) イオンブレ−テイング装置
JPS5910842U (ja) 金属イオン源
JPS60138300U (ja) 中性粒子入射装置の中性化セル
JPS59153368U (ja) マグネトロンスパツタリング装置
JPS5854552U (ja) コイル電極管針
JPS59144742U (ja) イオンビ−ム描画装置
JPS6059387U (ja) 発熱装置
JPS5834960U (ja) 蒸着装置
JPS60184256U (ja) イオン衝撃銃
JPS58159196U (ja) 炉用水冷電極
JPS5973361U (ja) フラツシユガン
JPS5895233U (ja) 液体金属イオン源
JPS5999181U (ja) 電気推進機
JPS6053100U (ja) 高レベル放射性廃液の濃縮装置
JPS58160263U (ja) Gd−cvd装置
JPS60136464U (ja) 電子銃
JPS5957850U (ja) 四重極質量分析計
JPS644050U (ja)
JPH0163062U (ja)
JPS6296247U (ja)