JPS5879844U - 液体金属イオン源 - Google Patents
液体金属イオン源Info
- Publication number
- JPS5879844U JPS5879844U JP17206181U JP17206181U JPS5879844U JP S5879844 U JPS5879844 U JP S5879844U JP 17206181 U JP17206181 U JP 17206181U JP 17206181 U JP17206181 U JP 17206181U JP S5879844 U JPS5879844 U JP S5879844U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- metal ion
- liquid metal
- needle
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案による液体金属イオン源の基本 □構
成図である。 1・・・・・・アノード、2・・・・・・イオン化物質
のため部、 □3・・・・・・ノズル、4・・・
・・・イオン化物質、5・・・・・・ヒーター、6・・
・・・・イオン化物質のガス蒸気。
成図である。 1・・・・・・アノード、2・・・・・・イオン化物質
のため部、 □3・・・・・・ノズル、4・・・
・・・イオン化物質、5・・・・・・ヒーター、6・・
・・・・イオン化物質のガス蒸気。
Claims (1)
- イオン化すべき溶融した金属物質でニードル先端を濡ら
し、その先端ら強電界によってイオンを引出す液体金属
イオン源において、ため部に内蔵された上記イオン化物
質を加熱して蒸気とし、その蒸気を上記ニードルあるい
は上記ニードルの支持部に衝突させて凝縮させるように
して上記イオン化物質を補給するように構成してなるこ
とを特徴とする液体金處イオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17206181U JPS5879844U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 液体金属イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17206181U JPS5879844U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 液体金属イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5879844U true JPS5879844U (ja) | 1983-05-30 |
Family
ID=29963968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17206181U Pending JPS5879844U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 液体金属イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5879844U (ja) |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP17206181U patent/JPS5879844U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5879844U (ja) | 液体金属イオン源 | |
JPS5878557U (ja) | 電界放出型イオン源 | |
JPS5955848U (ja) | 電界放射型イオン源 | |
JPS61131059U (ja) | ||
JPS6292550U (ja) | ||
JPS5878967U (ja) | イオンブレ−テイング装置 | |
JPS5910842U (ja) | 金属イオン源 | |
JPS60138300U (ja) | 中性粒子入射装置の中性化セル | |
JPS59153368U (ja) | マグネトロンスパツタリング装置 | |
JPS5854552U (ja) | コイル電極管針 | |
JPS59144742U (ja) | イオンビ−ム描画装置 | |
JPS6059387U (ja) | 発熱装置 | |
JPS5834960U (ja) | 蒸着装置 | |
JPS60184256U (ja) | イオン衝撃銃 | |
JPS58159196U (ja) | 炉用水冷電極 | |
JPS5973361U (ja) | フラツシユガン | |
JPS5895233U (ja) | 液体金属イオン源 | |
JPS5999181U (ja) | 電気推進機 | |
JPS6053100U (ja) | 高レベル放射性廃液の濃縮装置 | |
JPS58160263U (ja) | Gd−cvd装置 | |
JPS60136464U (ja) | 電子銃 | |
JPS5957850U (ja) | 四重極質量分析計 | |
JPS644050U (ja) | ||
JPH0163062U (ja) | ||
JPS6296247U (ja) |