JPS6296247U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6296247U JPS6296247U JP18719185U JP18719185U JPS6296247U JP S6296247 U JPS6296247 U JP S6296247U JP 18719185 U JP18719185 U JP 18719185U JP 18719185 U JP18719185 U JP 18719185U JP S6296247 U JPS6296247 U JP S6296247U
- Authority
- JP
- Japan
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- crucible
- ion source
- metal ion
- liquid metal
- emitter tip
- Prior art date
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- Pending
Links
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は液体金属イオン源のるつぼ周辺の正面
図、第２図はるつぼとるつぼ支持筒の上面図、第
３図はるつぼ固定部品の正面図である。 １…るつぼ、２…るつぼ支持筒、３…エミツタ
チツプ、４…るつぼ固定棒、５…イオン源材料、
６…フイラメント、７…制御電極、１８…るつぼ
固定部品。
図、第２図はるつぼとるつぼ支持筒の上面図、第
３図はるつぼ固定部品の正面図である。 １…るつぼ、２…るつぼ支持筒、３…エミツタ
チツプ、４…るつぼ固定棒、５…イオン源材料、
６…フイラメント、７…制御電極、１８…るつぼ
固定部品。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ るつぼ、るつぼ支持筒、るつぼ固定棒、エミ
ツタチツプ等より構成される液体金属イオン源に
おいて、るつぼとるつぼ支持筒との接触を面積の
小さい２点以上の点接触または面接触にしたこと
と、るつぼ固定棒の中心孔をエミツタチツプはほ
ぼ同一径にして、エミツタチツプを保持したこと
を特徴とする液体金属イオン源。 ２ 請求の範囲第１項において、エミツタチツプ
とほぼ同一径の孔にて、少なくとも２点以上でエ
ミツタチツプを保持するるつぼ固定部を設けたこ
とを特徴とする液体金属イオン源。 ３ 請求の範囲第１項において、熱絶縁性材料の
るつぼ固定棒を用いたことを特徴とする液体金属
イオン源。 ４ 請求の範囲第１項において、熱絶縁性材料の
るつぼ支持筒を用いたことを特徴とする液体金属
イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18719185U JPS6296247U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18719185U JPS6296247U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296247U true JPS6296247U (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=31137440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18719185U Pending JPS6296247U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296247U (ja) |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP18719185U patent/JPS6296247U/ja active Pending