JPS5986699U - プラズマ装置用放電々極 - Google Patents

プラズマ装置用放電々極

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Publication number
JPS5986699U
JPS5986699U JP18299382U JP18299382U JPS5986699U JP S5986699 U JPS5986699 U JP S5986699U JP 18299382 U JP18299382 U JP 18299382U JP 18299382 U JP18299382 U JP 18299382U JP S5986699 U JPS5986699 U JP S5986699U
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JP
Japan
Prior art keywords
discharge electrode
plasma equipment
notch
discharge
substrate
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Pending
Application number
JP18299382U
Other languages
English (en)
Inventor
大竹　勉
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図と第２図は従来のプラズマ装置用放電々極の概観
図である。第３図は第２図に示した従来の放電々極の一
部を示した図、第４図と第５図は一本考案の放電々極の
一部を示す図である。 ４１・・・・・・放電々極、４２・・・・・・切り込み
、４３ａ・・・・・・電極連結棒を通す穴、４３ｂ・・
・・・・電極連結棒を通す穴、５１・・・・・・放電々
極板、５２・・・・・・切り込み、５３ａ・・・・・・
電極連結棒を通す穴、５３ｂ・・・・・・電極連結棒を
通す穴。 −第３図 第４図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 放電面に基板をホールドする為の切り込みを有する放電
    々極において、基板を挿入する側の切り込み口の幅を広
    くしたことを特徴とするプラズマ装置用放電々極。
JP18299382U 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極 Pending JPS5986699U (ja)

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JP18299382U JPS5986699U (ja) 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極

Applications Claiming Priority (1)

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JP18299382U JPS5986699U (ja) 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極

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JPS5986699U true JPS5986699U (ja) 1984-06-12

Family

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JP18299382U Pending JPS5986699U (ja) 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極

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