JPS5982999U - プラズマ装置用放電電極 - Google Patents
プラズマ装置用放電電極Info
- Publication number
- JPS5982999U JPS5982999U JP17871882U JP17871882U JPS5982999U JP S5982999 U JPS5982999 U JP S5982999U JP 17871882 U JP17871882 U JP 17871882U JP 17871882 U JP17871882 U JP 17871882U JP S5982999 U JPS5982999 U JP S5982999U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- plasma equipment
- electrode
- plasma
- equipment
- Prior art date
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- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図と第2図は従来のプラズマ装置用放電電極の概観
図である。第3図は従来の放電電極の電極連結棒の部分
を断面構造で示した図、第4図は本考案における電極連
結棒の部分を断面構造で示した図である。 41a”c・・・電極板、42・・・ステンレス棒、4
3・・・セラミックのパイプ、44a・・・セラミック
−のパイプ、44b・・・カーボンのパイプ、44
C・・・セラミックのパイプ。
図である。第3図は従来の放電電極の電極連結棒の部分
を断面構造で示した図、第4図は本考案における電極連
結棒の部分を断面構造で示した図である。 41a”c・・・電極板、42・・・ステンレス棒、4
3・・・セラミックのパイプ、44a・・・セラミック
−のパイプ、44b・・・カーボンのパイプ、44
C・・・セラミックのパイプ。
Claims (1)
- 複数個の電極板を連結してなるプラズマ装置用放電電極
において、連結部の一部に表面からL字型の溝を形成し
たことを特徴とするプラズマ装置用放電電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17871882U JPS5982999U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | プラズマ装置用放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17871882U JPS5982999U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | プラズマ装置用放電電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5982999U true JPS5982999U (ja) | 1984-06-05 |
Family
ID=30387943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17871882U Pending JPS5982999U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | プラズマ装置用放電電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5982999U (ja) |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP17871882U patent/JPS5982999U/ja active Pending
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