JPS5920751Y2 - 電子顕微鏡等の試料加熱装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は電子顕微鏡等の電子装置において、試料を加
熱しながらその物理的性質あるいは形態変化等を観察し
ようとする装置の加熱温度の調節を容易にかつ精度よく
行なうことを目的とした装置に関するものである。

従来の電子顕微鏡において試料温度を２０００℃附近ま
で加熱できる装置として、第１図に示すような構造の加
熱装置が使用されている。

図にもとづいて装置の構造を述べると、試料１は薄肉パ
イプ２によって断熱された試料ホルダー３によって支持
されている。

この試料ホルダー３の周囲を同心円状にヒータ４と、こ
れをとりまく電極部５とが配置されている。

試料ホルダー３と電極部５とは絶縁リング７によって電
気的に絶縁されており、この間に電源１５によって最高
ＩＫｖまでの電圧を加えることができるようになってい
る。

この場合通常加熱方法では試料ホルダー側を陽極として
使用している。

電極部５は図１ｂに示すように２分割されており、この
両端部に電源１４を接続すると電流は電極部５を経てヒ
ーター４を加熱することかできる。

加熱されたヒーターからは熱電子が放射され、陽極であ
る試料１に向って加速する。

この加速された電子は試料１に衝突して熱に変換されて
試料は加熱することになる。

６は熱シールドであり、円筒を多重に配置することによ
りヒーター４からの熱が輻射によって動物レンズ部９に
放出されることを防いでいる。

８は試料台であり試料の視野撰択が可能なよう水平２方
向に移動することができる構造になっている。

この装置において、試料の加熱温度を調節する場合１）
電極部５と試料ホルダー１との間に印加する電圧を調節
する方法、２）ヒーター４の加熱電流を調節する方法の
２つがある。

しかしながら、両者いずれの方法においても温度調節に
は不適当であることがわかった。

この原因としては１）の場合においては電極部５と試料
１との間に出来る電界の変化が、また２）の方法におい
てはヒーター電流によって作られる磁界が電流の増減に
よって変化するなど、いずれも電子線１３に影響し、電
子線の試料照射位置のずれを生するために、電子顕微鏡
の操作性に問題があることか゛わかった。

この考案は上述の問題点を解決するためのものでヒータ
ー４と試料１との空間、すなわち陽極と陰極との間に電
子線を通すことのできる格子電極１６を設け、この格子
電極にあたえる電圧の微小な変化によって陽極電流を簡
単に制御することにより試料温度を調節しようとしたも
ので図２にその詳細を示す。

熱シールド６の内側の１個を電気的に絶縁し、ここにも
単独に電源１７により電圧を印加できるようにした。

また、この熱シールド６には網目状の格子電極１６が取
りつけてあり、これが試料１と電極部５との間に同心固
状に配置しである。

このような電極配置はちょうど３極真空管の電極配置と
同一となり、３極真空管において制御格子電極が陽極電
流を制御すると同じ原理で、ヒーター４から試料１へ到
達する電子流を制御できるために試料の温度調節が容易
にかつ精度よく行なうことが可能となり、温度調節時に
おいても電子線の照射位置がくずれることがなく操作性
も一段と向上することがわかり、この考案の効果はまこ
とに大であるとともに、試料の周辺を流れるヒーター電
流を分流しその電流が作る磁場の方向が互に逆方向にな
るように配置したので電子顕微鏡像への悪影響を除去で
きる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を示す図、第２図は本考案に係る装置
を示す図である。 １：試料、２：薄肉パイプ、３：試料ホルダー４：ヒー
ター、５：電極部、６：熱シールド板、７：絶縁リング
、８：試料台、９：対物レンズ、１０：リード端子、１
１：断熱リング、１２：押えリング、１３：電子線、１
４：電源、１５：電源、１６：格子電極、１７：電源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対物レンズ内に、試料を支持するための試料ホルダーと
   該試料ホルダーに対向する如く配置された加熱用ヒータ
   ーが２分割された電極により保持され該加熱用ヒーター
   の電流が分流される配置とし、かつ該試料ホルダーと該
   ヒーターとの間に前記電子流を制御するための制御電極
   を配設して、該制御電極へ印加する電圧を変化すること
   により該加熱用ヒーターから放射される電子流を制御し
   、該電子流により加熱される該試料の温度調節を行なう
   如く構成したことを特徴とする電子顕微鏡等の試料加熱
   装置。