JPS5865756U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS5865756U
JPS5865756U JP16082181U JP16082181U JPS5865756U JP S5865756 U JPS5865756 U JP S5865756U JP 16082181 U JP16082181 U JP 16082181U JP 16082181 U JP16082181 U JP 16082181U JP S5865756 U JPS5865756 U JP S5865756U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display device
electronic microscope
electron microscope
acceleration
magnification display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16082181U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6324618Y2 (ja
Inventor
善博 新井
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP16082181U priority Critical patent/JPS5865756U/ja
Publication of JPS5865756U publication Critical patent/JPS5865756U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6324618Y2 publication Critical patent/JPS6324618Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は磁気飽和状態で使用される対物レン
ズの特性を説明するための略図、第３図は本考案の一実
施例装置を示す略図である。 １：電子銃、２：電子線、３：コンデンサレーレンズ、
４：試料、５：対物レンズ、６：第１中間レンズ、７：
第２中間レンズ、８：投影レンズ、９：螢光板、１０：
倍率調整操作手段、１１：ｔ／ンズ電源、１２：可変ア
ンプ、１３：演算増幅器、１４：基準抵抗、１５：高圧
電源、１６：加速電圧切換手段、１７：演算回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料を照射する電子線の加速電圧に応じて結像レンズ系
    を構成する各電磁レンズへ供給する励磁電流に補正を加
    えるようにした電子顕微鏡に組み込まれた像倍率表示装
    置に対して、前記加速電圧に応じた補正を加えるように
    構成したことを特徴とする電子顕微鏡用倍率表示装置。
JP16082181U 1981-10-28 1981-10-28 電子顕微鏡 Granted JPS5865756U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16082181U JPS5865756U (ja) 1981-10-28 1981-10-28 電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16082181U JPS5865756U (ja) 1981-10-28 1981-10-28 電子顕微鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5865756U true JPS5865756U (ja) 1983-05-04
JPS6324618Y2 JPS6324618Y2 (ja) 1988-07-06

Family

ID=29953209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16082181U Granted JPS5865756U (ja) 1981-10-28 1981-10-28 電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5865756U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006162452A (ja) * 2004-12-08 2006-06-22 Hitachi Ltd 薄膜評価方法及びその装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006162452A (ja) * 2004-12-08 2006-06-22 Hitachi Ltd 薄膜評価方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6324618Y2 (ja) 1988-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69219523D1 (de) Bilderzeugungsvorrichtung
CA2013233A1 (en) Electron-emitting device, and electron beam lithography machine and image display apparatus making use of it
JPS5871545A (ja) 可変成形ビ−ム電子光学系
JPS5865756U (ja) 電子顕微鏡
JPS60124852U (ja) 電子線装置
JPS594408U (ja) 透過電子顕微鏡
JPS6033750U (ja) 電子顕微鏡用軸合せ装置
US3299343A (en) High voltage control arrangement
JPS6119774U (ja) 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置
JPS60105055U (ja) 電子顕微鏡
JPS59165658U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6075954U (ja) 電子顕微鏡
JPS60123862U (ja) スプリツト像撮影用デ−タ表示装置
JPS59134260U (ja) 電子顕微鏡
JPS6015754U (ja) 電子顕微鏡
JPS60185333U (ja) 荷電粒子ビ−ム描画装置
JPS63123047U (ja)
JPS5985570U (ja) 電子線走査型分析装置
JPS59152659U (ja) 電子顕微鏡像観察装置
JPS5562730A (en) Electron beam exposure device
JPS61245675A (ja) 撮像管装置
JPS60163665U (ja) 電子顕微鏡
JPS5914262U (ja) 電子顕微鏡における自動撮影装置
JPS6080658U (ja) 走査電子顕微鏡等の像表示装置
JPS59130365U (ja) 電子顕微鏡における試料通電装置