JPS63123047U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63123047U JPS63123047U JP1616987U JP1616987U JPS63123047U JP S63123047 U JPS63123047 U JP S63123047U JP 1616987 U JP1616987 U JP 1616987U JP 1616987 U JP1616987 U JP 1616987U JP S63123047 U JPS63123047 U JP S63123047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- charged particle
- magnification
- coil
- particle beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成ブロツク
図、第２図は倍率と各倍率におけるスイツチのオ
ン、オフ状況を示す図、第３図は走査電子顕微鏡
の従来構成例を示す図、第４図は倍率制御装置の
従来構成を示す図である。 １……電子銃、２……高圧発生回路、３……集
束レンズ、４，２４……走査コイル、５……対物
レンズ、６……試料、７……２次電子検出器、８
……増幅器、９……ＣＲＴ表示回路、１０……操
作部、１１……中央制御装置、１２……レンズ制
御回路、１３……電子走査回路、１４……インタ
ーフエイス、１５……鏡筒、２１……乗算型Ｄ／
Ａコンバータ、２２……演算増幅器、２３……電
流ドライブ回路、２４ａ，２４ｂ，２４ａ′，２
４ｂ′……タツプ、Ｒ１〜Ｒ６，Ｒｉ，Ｒｆ……
抵抗、Ｓ１〜Ｓ４，Ｓ１１〜Ｓ１４……スイツチ
。
図、第２図は倍率と各倍率におけるスイツチのオ
ン、オフ状況を示す図、第３図は走査電子顕微鏡
の従来構成例を示す図、第４図は倍率制御装置の
従来構成を示す図である。 １……電子銃、２……高圧発生回路、３……集
束レンズ、４，２４……走査コイル、５……対物
レンズ、６……試料、７……２次電子検出器、８
……増幅器、９……ＣＲＴ表示回路、１０……操
作部、１１……中央制御装置、１２……レンズ制
御回路、１３……電子走査回路、１４……インタ
ーフエイス、１５……鏡筒、２１……乗算型Ｄ／
Ａコンバータ、２２……演算増幅器、２３……電
流ドライブ回路、２４ａ，２４ｂ，２４ａ′，２
４ｂ′……タツプ、Ｒ１〜Ｒ６，Ｒｉ，Ｒｆ……
抵抗、Ｓ１〜Ｓ４，Ｓ１１〜Ｓ１４……スイツチ
。
Claims (1)
- 荷電粒子源より出射した荷電粒子ビームを加速
・集束すると共に、走査コイルで２次元方向に走
査して試料に照射する構成の荷電粒子ビーム走査
装置の倍率を制御する倍率制御回路であつて、走
査コイルにタツプを設け、走査電流に波形歪を生
じる程度の走査速度、高倍率になつた時に走査コ
イルのタツプを切換えるように構成したことを特
徴とする荷電粒子ビーム走査装置の倍率制御回路
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1616987U JPS63123047U (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1616987U JPS63123047U (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63123047U true JPS63123047U (ja) | 1988-08-10 |
Family
ID=30807779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1616987U Pending JPS63123047U (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63123047U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141781A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 電磁偏向回路を有する走査電子線装置 |
-
1987
- 1987-02-05 JP JP1616987U patent/JPS63123047U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141781A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 電磁偏向回路を有する走査電子線装置 |
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