JP3335809B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 241000030538 Thecla Species 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は焦点合わせの際の電子ビ
ーム傾斜をＸ、Ｙ方向交互に自動的に行えるようにした
電子顕微鏡に関するものである。
ーム傾斜をＸ、Ｙ方向交互に自動的に行えるようにした
電子顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子顕微鏡における焦点合わせ
は、例えば、イメージウォブラー法によりマイナス傾斜
とプラス傾斜のビームを試料に照射した時の像が重なる
ようにして合焦点を探すようにしている。図４はイメー
ジウォブラー法による焦点合わせを説明する図である。
図示しないウォブラースイッチをＯＮすると、コンデン
サレンズアライメント（ＣＬＡ）３，４に対してビーム
傾斜信号が加えられ、電子銃１から放射された電子ビー
ム２をマイナスθ、プラスθに交互に振って試料５に照
射し、このときの試料像を対物レンズ６により蛍光板７
上に結像し、この像を観察しながら両方の像が一致する
ように対物レンズの励磁を変えることにより焦点合わせ
を行う。この焦点合わせはＸ方向、Ｙ方向のウォブラー
スイッチをＯＮすることにより２次元的に行われる。
は、例えば、イメージウォブラー法によりマイナス傾斜
とプラス傾斜のビームを試料に照射した時の像が重なる
ようにして合焦点を探すようにしている。図４はイメー
ジウォブラー法による焦点合わせを説明する図である。
図示しないウォブラースイッチをＯＮすると、コンデン
サレンズアライメント（ＣＬＡ）３，４に対してビーム
傾斜信号が加えられ、電子銃１から放射された電子ビー
ム２をマイナスθ、プラスθに交互に振って試料５に照
射し、このときの試料像を対物レンズ６により蛍光板７
上に結像し、この像を観察しながら両方の像が一致する
ように対物レンズの励磁を変えることにより焦点合わせ
を行う。この焦点合わせはＸ方向、Ｙ方向のウォブラー
スイッチをＯＮすることにより２次元的に行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、現在のイメ
ージウォブラー法では、Ｘ方向、Ｙ方向のウォブラース
イッチがＯＮすると、Ｘ方向、Ｙ方向の傾斜信号が同時
に発生し、両信号が足し合わされた形でビームの傾斜を
行っているため、どの方向がずれているのかはっきりせ
ず、ウォブラーの軸合わせができない。本発明は上記課
題を解決するためのものであり、Ｘ方向、Ｙ方向のウォ
ブラースイッチが同時にＯＮされた場合でも、Ｘ方向、
Ｙ方向の軸合わせができるようにすることを目的とす
る。
ージウォブラー法では、Ｘ方向、Ｙ方向のウォブラース
イッチがＯＮすると、Ｘ方向、Ｙ方向の傾斜信号が同時
に発生し、両信号が足し合わされた形でビームの傾斜を
行っているため、どの方向がずれているのかはっきりせ
ず、ウォブラーの軸合わせができない。本発明は上記課
題を解決するためのものであり、Ｘ方向、Ｙ方向のウォ
ブラースイッチが同時にＯＮされた場合でも、Ｘ方向、
Ｙ方向の軸合わせができるようにすることを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ方向、Ｙ方
向のウォブラースイッチの少なくとも一方がＯＮすると
ウォブラー波形信号を出力する発信回路と、ウォブラー
波形出力切り換え回路と、軸合わせ用ボリュームとを備
えており、ウォブラー波形出力切り換え回路は、Ｘ方
向、Ｙ方向ウォブラースイッチが同時にＯＮされたとき
は、Ｘ方向ビーム傾斜信号とＹ方向ビーム傾斜信号とを
交互に出力し、Ｘ方向、Ｙ方向の軸合わせが別々に行う
ことができる。
向のウォブラースイッチの少なくとも一方がＯＮすると
ウォブラー波形信号を出力する発信回路と、ウォブラー
波形出力切り換え回路と、軸合わせ用ボリュームとを備
えており、ウォブラー波形出力切り換え回路は、Ｘ方
向、Ｙ方向ウォブラースイッチが同時にＯＮされたとき
は、Ｘ方向ビーム傾斜信号とＹ方向ビーム傾斜信号とを
交互に出力し、Ｘ方向、Ｙ方向の軸合わせが別々に行う
ことができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の電子顕微鏡に用いられるウ
ォブラー信号発生回路の構成を示す図、図２はその動作
を説明するための波形図である。ウォブラー信号発生回
路は、発振回路１０、ウォブラー波形出力切り換え回路
２０、コンパレータ３０、ウォブラースイッチＯＮ検出
用のＮＯＲ回路３１、Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイ
ッチ３２、３３、軸合わせ用ボリューム３４、３５、加
算回路３６、３７、スイッチ３８、３９からなってい
る。また、ウォブラー波形出力切り換え回路２０は、１
／２分周回路２１、信号発生回路２２、ウォブラースイ
ッチ状態検出用のＮＡＮＤ回路２３、スイッチング回路
２４〜２７からなっている。
て説明する。図１は本発明の電子顕微鏡に用いられるウ
ォブラー信号発生回路の構成を示す図、図２はその動作
を説明するための波形図である。ウォブラー信号発生回
路は、発振回路１０、ウォブラー波形出力切り換え回路
２０、コンパレータ３０、ウォブラースイッチＯＮ検出
用のＮＯＲ回路３１、Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイ
ッチ３２、３３、軸合わせ用ボリューム３４、３５、加
算回路３６、３７、スイッチ３８、３９からなってい
る。また、ウォブラー波形出力切り換え回路２０は、１
／２分周回路２１、信号発生回路２２、ウォブラースイ
ッチ状態検出用のＮＡＮＤ回路２３、スイッチング回路
２４〜２７からなっている。
【０００６】Ｘ方向ウォブラースイッチ３２、Ｙ方向ウ
ォブラースイッチ３３の一方または両方がＯＮすると、
ウォブラースイッチＯＮ検出用のＮＯＲ回路３１から信
号が出力されて発振回路１０が作動し、ウォブラー波形
信号が出力される（図２Ａ点信号波形）。ウォブラース
イッチ状態検出用のＮＡＮＤ回路２３は、ウォブラース
イッチの一方のみがＯＮされたときは「ＨＩＧＨ」、両
方ともＯＮされたときは「ＬＯＷ」となる（図２Ｃ点信
号波形）。発振回路１０の出力信号（Ａ点の信号）は１
／２分周回路２１で分周され、信号発生回路２２に加え
られる。信号発生回路２２からは、ウォブラースイッチ
の状態に応じて直流レベル信号、または互に反転した繰
り返しパルス信号が出力されて（図２Ｄ点、Ｅ点信号波
形）、スイッチング回路２４、２５に加えられる。一
方、コンパレータ３０で±５Ｖに波形成形された発振回
路１０からのウォブラー波形出力（図２Ｆ点信号波形）
が、スイッチング回路２４、２５でスイッチングされて
後段のスイッチング回路２６、２７に加えられる。
ォブラースイッチ３３の一方または両方がＯＮすると、
ウォブラースイッチＯＮ検出用のＮＯＲ回路３１から信
号が出力されて発振回路１０が作動し、ウォブラー波形
信号が出力される（図２Ａ点信号波形）。ウォブラース
イッチ状態検出用のＮＡＮＤ回路２３は、ウォブラース
イッチの一方のみがＯＮされたときは「ＨＩＧＨ」、両
方ともＯＮされたときは「ＬＯＷ」となる（図２Ｃ点信
号波形）。発振回路１０の出力信号（Ａ点の信号）は１
／２分周回路２１で分周され、信号発生回路２２に加え
られる。信号発生回路２２からは、ウォブラースイッチ
の状態に応じて直流レベル信号、または互に反転した繰
り返しパルス信号が出力されて（図２Ｄ点、Ｅ点信号波
形）、スイッチング回路２４、２５に加えられる。一
方、コンパレータ３０で±５Ｖに波形成形された発振回
路１０からのウォブラー波形出力（図２Ｆ点信号波形）
が、スイッチング回路２４、２５でスイッチングされて
後段のスイッチング回路２６、２７に加えられる。
【０００７】スイッチング回路２６、２７はそれぞれウ
ォブラースイッチ３２、３３がＯＮされたときにリレー
がＯＮして前段のスイッチング回路２４、２５からの出
力を加算回路３６、３７に出力し、ウォブラースイッチ
３２、３３がＯＦＦされたときに加算回路３６、３７へ
加える出力レベルを０にするためのものである。例え
ば、Ｘ方向ウォブラースイッチ３２のみがＯＮされた場
合には（図２Ｔの期間Ｔ１）、ＮＡＮＤ回路２３の出力
（Ｃ点の電位）が「ＨＩＧＨ」のため信号発生回路２２
からは直流レベルが出力されてＤ点、Ｅ点とも「ＨＩＧ
Ｈ」となり、このときＧ点は「ＬＯＷ」となるが、ウォ
ブラースイッチ３３がＯＦＦのためＨ点は「ＨＩＧＨ」
であり、スイッチング回路２７のリレーはＯＦＦ、スイ
ッチング回路２６のリレーはＯＮして加算回路３６にの
みウォブラー信号波形が加えられる（図２Ｔの期間Ｔ１
における図２Ｉ点信号波形）。また、Ｙ方向ウォブラー
スイッチ３３のみがＯＮされた場合には（図２Ｔの期間
Ｔ２）、ＮＡＮＤ回路２３の出力（Ｃ点の電位）が「Ｈ
ＩＧＨ」のため信号発生回路２２からは直流レベルが出
力されてＤ点、Ｅ点とも「ＨＩＧＨ」となり、Ｈ点は
「ＬＯＷ」となるが、ウォブラースイッチ３２がＯＦＦ
のためＧ点は「ＨＩＧＨ」であり、スイッチング回路２
６のリレーはＯＦＦ、スイッチング回路２７のリレーは
ＯＮして加算回路３７にのみウォブラー信号波形が加え
られる（図２Ｔの期間Ｔ２における図２Ｊ点信号波
形）。
ォブラースイッチ３２、３３がＯＮされたときにリレー
がＯＮして前段のスイッチング回路２４、２５からの出
力を加算回路３６、３７に出力し、ウォブラースイッチ
３２、３３がＯＦＦされたときに加算回路３６、３７へ
加える出力レベルを０にするためのものである。例え
ば、Ｘ方向ウォブラースイッチ３２のみがＯＮされた場
合には（図２Ｔの期間Ｔ１）、ＮＡＮＤ回路２３の出力
（Ｃ点の電位）が「ＨＩＧＨ」のため信号発生回路２２
からは直流レベルが出力されてＤ点、Ｅ点とも「ＨＩＧ
Ｈ」となり、このときＧ点は「ＬＯＷ」となるが、ウォ
ブラースイッチ３３がＯＦＦのためＨ点は「ＨＩＧＨ」
であり、スイッチング回路２７のリレーはＯＦＦ、スイ
ッチング回路２６のリレーはＯＮして加算回路３６にの
みウォブラー信号波形が加えられる（図２Ｔの期間Ｔ１
における図２Ｉ点信号波形）。また、Ｙ方向ウォブラー
スイッチ３３のみがＯＮされた場合には（図２Ｔの期間
Ｔ２）、ＮＡＮＤ回路２３の出力（Ｃ点の電位）が「Ｈ
ＩＧＨ」のため信号発生回路２２からは直流レベルが出
力されてＤ点、Ｅ点とも「ＨＩＧＨ」となり、Ｈ点は
「ＬＯＷ」となるが、ウォブラースイッチ３２がＯＦＦ
のためＧ点は「ＨＩＧＨ」であり、スイッチング回路２
６のリレーはＯＦＦ、スイッチング回路２７のリレーは
ＯＮして加算回路３７にのみウォブラー信号波形が加え
られる（図２Ｔの期間Ｔ２における図２Ｊ点信号波
形）。
【０００８】一方、Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイッ
チ３２、３３が同時にＯＮされた場合には（図２Ｔの期
間Ｔ３）、ＮＡＮＤ回路２３の出力（Ｃ点の電位）が
「ＬＯＷ」のため、信号発生回路２２からは互いに反転
した繰り返しパルスが出力され（図２Ｄ点、Ｅ点）、そ
の結果スイッチング回路２４、２５のリレーは交互にＯ
Ｎ／ＯＦＦしてＦ点のウォブラー波形信号を交互に出力
し、また、Ｇ点、Ｈ点とも「ＬＯＷ」となるためスイッ
チング回路２６、２７のリレーがＯＮし、その結果、ス
イッチング回路２４、２５からの交互に出力されるウォ
ブラー波形信号が加算回路３６、３７に加えられる（図
２Ｔの期間Ｔ３における図２Ｉ点、Ｊ点信号波形）。加
算回路３６、３７にはそれぞれＸ方向、Ｙ方向軸合わせ
用ボリューム３４、３５からレンズ駆動電圧が加えられ
ており、これにウォブラー信号が加算された信号がスイ
ッチ３８、３９を通してＣＬＡコイルに加えられ、ボリ
ュームを調整して軸合わせが行われる。合焦点の状態で
Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイッチをＯＦＦすると加
算回路３６、３７へはウォブラー信号は加えられず、ボ
リューム調整されたレンズ駆動電圧のみがＣＬＡコイル
に加えられる。なお、スイッチ３８、３９はパワーＯＮ
とともに閉じるようになっている。
チ３２、３３が同時にＯＮされた場合には（図２Ｔの期
間Ｔ３）、ＮＡＮＤ回路２３の出力（Ｃ点の電位）が
「ＬＯＷ」のため、信号発生回路２２からは互いに反転
した繰り返しパルスが出力され（図２Ｄ点、Ｅ点）、そ
の結果スイッチング回路２４、２５のリレーは交互にＯ
Ｎ／ＯＦＦしてＦ点のウォブラー波形信号を交互に出力
し、また、Ｇ点、Ｈ点とも「ＬＯＷ」となるためスイッ
チング回路２６、２７のリレーがＯＮし、その結果、ス
イッチング回路２４、２５からの交互に出力されるウォ
ブラー波形信号が加算回路３６、３７に加えられる（図
２Ｔの期間Ｔ３における図２Ｉ点、Ｊ点信号波形）。加
算回路３６、３７にはそれぞれＸ方向、Ｙ方向軸合わせ
用ボリューム３４、３５からレンズ駆動電圧が加えられ
ており、これにウォブラー信号が加算された信号がスイ
ッチ３８、３９を通してＣＬＡコイルに加えられ、ボリ
ュームを調整して軸合わせが行われる。合焦点の状態で
Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイッチをＯＦＦすると加
算回路３６、３７へはウォブラー信号は加えられず、ボ
リューム調整されたレンズ駆動電圧のみがＣＬＡコイル
に加えられる。なお、スイッチ３８、３９はパワーＯＮ
とともに閉じるようになっている。
【０００９】このように出力されたＸ方向及びＹ方向の
軸合わせ用信号は、図３（ａ）に示すようにそれぞれＸ
ＣＬＡコイル、ＹＣＬＡコイルに加えられて図３（ｂ）
に示すようにビームを傾斜させる。このとき、Ｘ方向及
びＹ方向ウォブラースイッチが同時にＯＮされた場合で
も、Ｘ方向とＹ方向のウォブラー信号が交互に出力され
るので、それぞれ別々に軸合わせを行うことができる。
なお、軸合わせは、像を観察しながら手でボリューム調
整する手動調整方式でも、また、例えば、ビーム傾斜時
のマイナス傾斜の像信号とプラス傾斜の像信号とを検出
してこれらを互いに減算してズレ量を求め、このズレ量
がなくなるようにボリューム調整する自動調整方式のど
ちらであってもよい。
軸合わせ用信号は、図３（ａ）に示すようにそれぞれＸ
ＣＬＡコイル、ＹＣＬＡコイルに加えられて図３（ｂ）
に示すようにビームを傾斜させる。このとき、Ｘ方向及
びＹ方向ウォブラースイッチが同時にＯＮされた場合で
も、Ｘ方向とＹ方向のウォブラー信号が交互に出力され
るので、それぞれ別々に軸合わせを行うことができる。
なお、軸合わせは、像を観察しながら手でボリューム調
整する手動調整方式でも、また、例えば、ビーム傾斜時
のマイナス傾斜の像信号とプラス傾斜の像信号とを検出
してこれらを互いに減算してズレ量を求め、このズレ量
がなくなるようにボリューム調整する自動調整方式のど
ちらであってもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、傾斜信号
波形をＸ方向、Ｙ方向で切り換えて交互に出力するよう
にしているので、Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイッチ
が同時にＯＮされた場合でも、別々にビームの軸合わせ
を行うことができる。
波形をＸ方向、Ｙ方向で切り換えて交互に出力するよう
にしているので、Ｘ方向及びＹ方向ウォブラースイッチ
が同時にＯＮされた場合でも、別々にビームの軸合わせ
を行うことができる。
【図１】 本発明の電子顕微鏡に用いられるウォブラー
信号発生回路の構成を示す図である。
信号発生回路の構成を示す図である。
【図２】 動作を説明するための波形図である。
【図３】 ビーム傾斜信号印加の説明図である。
【図４】 イメージウォブラー法の説明図である。
１０…発振回路、２０…ウォブラー波形出力切り換え回
路、２１…分周回路、２２…信号発生回路、２３…ＮＡ
ＮＤ回路、２４〜２７…スイッチング回路、３０…コン
パレータ、３１…ＮＯＲ回路、３２…Ｘ方向ウォブラー
スイッチ、３３…Ｙ方向ウォブラースイッチ、３４…Ｘ
方向軸合わせ用ボリューム、３５…Ｙ方向軸合わせ用ボ
リューム、３６，３７…加算回路、３８，３９…スイッ
チ。
路、２１…分周回路、２２…信号発生回路、２３…ＮＡ
ＮＤ回路、２４〜２７…スイッチング回路、３０…コン
パレータ、３１…ＮＯＲ回路、３２…Ｘ方向ウォブラー
スイッチ、３３…Ｙ方向ウォブラースイッチ、３４…Ｘ
方向軸合わせ用ボリューム、３５…Ｙ方向軸合わせ用ボ
リューム、３６，３７…加算回路、３８，３９…スイッ
チ。
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ方向、Ｙ方向ウォブラースイッチを備
え、前記Ｘ方向ウォブラースイッチをＯＮさせてＸ方向
のビーム傾斜信号を発生させてＸ方向の軸合わせを行
い、前記Ｙ方向ウォブラースイッチをＯＮさせてＹ方向
のビーム傾斜信号を発生させてＹ方向の軸合わせを行う
ようにした電子顕微鏡において、Ｘ方向、Ｙ方向ウォブ
ラースイッチが同時にＯＮしたとき、前記Ｘ方向ビーム
傾斜信号と前記Ｙ方向ビーム傾斜信号とを交互に出力す
るウォブラー波形出力切り換え回路を備えたことを特徴
とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20813995A JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20813995A JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0955178A JPH0955178A (ja) | 1997-02-25 |
| JP3335809B2 true JP3335809B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=16551289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20813995A Expired - Fee Related JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3335809B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5348152B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2013-11-20 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 |
-
1995
- 1995-08-15 JP JP20813995A patent/JP3335809B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0955178A (ja) | 1997-02-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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