JP3335809B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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Description
ーム傾斜をX、Y方向交互に自動的に行えるようにした
電子顕微鏡に関するものである。
は、例えば、イメージウォブラー法によりマイナス傾斜
とプラス傾斜のビームを試料に照射した時の像が重なる
ようにして合焦点を探すようにしている。図4はイメー
ジウォブラー法による焦点合わせを説明する図である。
図示しないウォブラースイッチをONすると、コンデン
サレンズアライメント(CLA)3,4に対してビーム
傾斜信号が加えられ、電子銃1から放射された電子ビー
ム2をマイナスθ、プラスθに交互に振って試料5に照
射し、このときの試料像を対物レンズ6により蛍光板7
上に結像し、この像を観察しながら両方の像が一致する
ように対物レンズの励磁を変えることにより焦点合わせ
を行う。この焦点合わせはX方向、Y方向のウォブラー
スイッチをONすることにより2次元的に行われる。
ージウォブラー法では、X方向、Y方向のウォブラース
イッチがONすると、X方向、Y方向の傾斜信号が同時
に発生し、両信号が足し合わされた形でビームの傾斜を
行っているため、どの方向がずれているのかはっきりせ
ず、ウォブラーの軸合わせができない。本発明は上記課
題を解決するためのものであり、X方向、Y方向のウォ
ブラースイッチが同時にONされた場合でも、X方向、
Y方向の軸合わせができるようにすることを目的とす
る。
向のウォブラースイッチの少なくとも一方がONすると
ウォブラー波形信号を出力する発信回路と、ウォブラー
波形出力切り換え回路と、軸合わせ用ボリュームとを備
えており、ウォブラー波形出力切り換え回路は、X方
向、Y方向ウォブラースイッチが同時にONされたとき
は、X方向ビーム傾斜信号とY方向ビーム傾斜信号とを
交互に出力し、X方向、Y方向の軸合わせが別々に行う
ことができる。
て説明する。図1は本発明の電子顕微鏡に用いられるウ
ォブラー信号発生回路の構成を示す図、図2はその動作
を説明するための波形図である。ウォブラー信号発生回
路は、発振回路10、ウォブラー波形出力切り換え回路
20、コンパレータ30、ウォブラースイッチON検出
用のNOR回路31、X方向及びY方向ウォブラースイ
ッチ32、33、軸合わせ用ボリューム34、35、加
算回路36、37、スイッチ38、39からなってい
る。また、ウォブラー波形出力切り換え回路20は、1
/2分周回路21、信号発生回路22、ウォブラースイ
ッチ状態検出用のNAND回路23、スイッチング回路
24〜27からなっている。
ォブラースイッチ33の一方または両方がONすると、
ウォブラースイッチON検出用のNOR回路31から信
号が出力されて発振回路10が作動し、ウォブラー波形
信号が出力される(図2A点信号波形)。ウォブラース
イッチ状態検出用のNAND回路23は、ウォブラース
イッチの一方のみがONされたときは「HIGH」、両
方ともONされたときは「LOW」となる(図2C点信
号波形)。発振回路10の出力信号(A点の信号)は1
/2分周回路21で分周され、信号発生回路22に加え
られる。信号発生回路22からは、ウォブラースイッチ
の状態に応じて直流レベル信号、または互に反転した繰
り返しパルス信号が出力されて(図2D点、E点信号波
形)、スイッチング回路24、25に加えられる。一
方、コンパレータ30で±5Vに波形成形された発振回
路10からのウォブラー波形出力(図2F点信号波形)
が、スイッチング回路24、25でスイッチングされて
後段のスイッチング回路26、27に加えられる。
ォブラースイッチ32、33がONされたときにリレー
がONして前段のスイッチング回路24、25からの出
力を加算回路36、37に出力し、ウォブラースイッチ
32、33がOFFされたときに加算回路36、37へ
加える出力レベルを0にするためのものである。例え
ば、X方向ウォブラースイッチ32のみがONされた場
合には(図2Tの期間T1)、NAND回路23の出力
(C点の電位)が「HIGH」のため信号発生回路22
からは直流レベルが出力されてD点、E点とも「HIG
H」となり、このときG点は「LOW」となるが、ウォ
ブラースイッチ33がOFFのためH点は「HIGH」
であり、スイッチング回路27のリレーはOFF、スイ
ッチング回路26のリレーはONして加算回路36にの
みウォブラー信号波形が加えられる(図2Tの期間T1
における図2I点信号波形)。また、Y方向ウォブラー
スイッチ33のみがONされた場合には(図2Tの期間
T2)、NAND回路23の出力(C点の電位)が「H
IGH」のため信号発生回路22からは直流レベルが出
力されてD点、E点とも「HIGH」となり、H点は
「LOW」となるが、ウォブラースイッチ32がOFF
のためG点は「HIGH」であり、スイッチング回路2
6のリレーはOFF、スイッチング回路27のリレーは
ONして加算回路37にのみウォブラー信号波形が加え
られる(図2Tの期間T2における図2J点信号波
形)。
チ32、33が同時にONされた場合には(図2Tの期
間T3)、NAND回路23の出力(C点の電位)が
「LOW」のため、信号発生回路22からは互いに反転
した繰り返しパルスが出力され(図2D点、E点)、そ
の結果スイッチング回路24、25のリレーは交互にO
N/OFFしてF点のウォブラー波形信号を交互に出力
し、また、G点、H点とも「LOW」となるためスイッ
チング回路26、27のリレーがONし、その結果、ス
イッチング回路24、25からの交互に出力されるウォ
ブラー波形信号が加算回路36、37に加えられる(図
2Tの期間T3における図2I点、J点信号波形)。加
算回路36、37にはそれぞれX方向、Y方向軸合わせ
用ボリューム34、35からレンズ駆動電圧が加えられ
ており、これにウォブラー信号が加算された信号がスイ
ッチ38、39を通してCLAコイルに加えられ、ボリ
ュームを調整して軸合わせが行われる。合焦点の状態で
X方向及びY方向ウォブラースイッチをOFFすると加
算回路36、37へはウォブラー信号は加えられず、ボ
リューム調整されたレンズ駆動電圧のみがCLAコイル
に加えられる。なお、スイッチ38、39はパワーON
とともに閉じるようになっている。
軸合わせ用信号は、図3(a)に示すようにそれぞれX
CLAコイル、YCLAコイルに加えられて図3(b)
に示すようにビームを傾斜させる。このとき、X方向及
びY方向ウォブラースイッチが同時にONされた場合で
も、X方向とY方向のウォブラー信号が交互に出力され
るので、それぞれ別々に軸合わせを行うことができる。
なお、軸合わせは、像を観察しながら手でボリューム調
整する手動調整方式でも、また、例えば、ビーム傾斜時
のマイナス傾斜の像信号とプラス傾斜の像信号とを検出
してこれらを互いに減算してズレ量を求め、このズレ量
がなくなるようにボリューム調整する自動調整方式のど
ちらであってもよい。
波形をX方向、Y方向で切り換えて交互に出力するよう
にしているので、X方向及びY方向ウォブラースイッチ
が同時にONされた場合でも、別々にビームの軸合わせ
を行うことができる。
信号発生回路の構成を示す図である。
路、21…分周回路、22…信号発生回路、23…NA
ND回路、24〜27…スイッチング回路、30…コン
パレータ、31…NOR回路、32…X方向ウォブラー
スイッチ、33…Y方向ウォブラースイッチ、34…X
方向軸合わせ用ボリューム、35…Y方向軸合わせ用ボ
リューム、36,37…加算回路、38,39…スイッ
チ。
Claims (1)
- 【請求項1】 X方向、Y方向ウォブラースイッチを備
え、前記X方向ウォブラースイッチをONさせてX方向
のビーム傾斜信号を発生させてX方向の軸合わせを行
い、前記Y方向ウォブラースイッチをONさせてY方向
のビーム傾斜信号を発生させてY方向の軸合わせを行う
ようにした電子顕微鏡において、X方向、Y方向ウォブ
ラースイッチが同時にONしたとき、前記X方向ビーム
傾斜信号と前記Y方向ビーム傾斜信号とを交互に出力す
るウォブラー波形出力切り換え回路を備えたことを特徴
とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20813995A JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP20813995A JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0955178A JPH0955178A (ja) | 1997-02-25 |
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Family
ID=16551289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20813995A Expired - Fee Related JP3335809B2 (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3335809B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5348152B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2013-11-20 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 |
-
1995
- 1995-08-15 JP JP20813995A patent/JP3335809B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0955178A (ja) | 1997-02-25 |
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