JPS6065966U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS6065966U
JPS6065966U JP15787583U JP15787583U JPS6065966U JP S6065966 U JPS6065966 U JP S6065966U JP 15787583 U JP15787583 U JP 15787583U JP 15787583 U JP15787583 U JP 15787583U JP S6065966 U JPS6065966 U JP S6065966U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
objective lens
sample
observing
detector
electron microscope
Prior art date
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Pending
Application number
JP15787583U
Other languages
English (en)
Inventor
原田　嘉晏
江藤　輝一
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
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Publication of JPS6065966U publication Critical patent/JPS6065966U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を示すための図、第２図は本考案の一
実施例装置の鏡筒部を示すための図、第３図は第２図に
示した装置における検出器の移動機構を示すための図で
ある。 １：電子銃、２，３：集束レンズ、４：集束レンズ系、
１１，１２，２１：偏向コイル、１３：大型試料観察用
対物レンズ、１４：小型試料観察用対物レンズ、１５：
大型試料観察用試料台、１６：小型試料観察用試料台、
１７：二次電子検出器、１８：Ｘ線検出器、１９：支持
棒、２２：小型レンズ、２３：透過電子検出器、２４ａ
、２４ｂ：モータ、２５：モータ制御電源、２６：対物
レンズ電源、２７，２９：スイッチ、２８：走査信号発
生回路、３０：陰極線管、３１：増幅器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃に近い側に配置された大型試料観察用の第１の対
    物レンズと、電子銃から遠い側に配置された小型試料観
    察用の第２の対物レンズと、該第１の対物レンズの後方
    の焦点面近傍に配置された大型試料観察用の第１の試料
    台と、該第２の対物レンズの磁極片間に配置された小型
    試料観察用の第２の試料台を具備し、使用する対物レン
    ズを該第１、第２対物レンズ間で切換えることにより大
    型試料の像と小型試料の高分解能像を切換えて観察でき
    るようにした装置において、光軸方向に移動可能に設け
    られた検出器と、該検出器を第１及び第２の試料台に合
    わせた第１、第２の位置間で移動させるための手段とを
    具備することを特徴とする走査電子顕微鏡。
JP15787583U 1983-10-12 1983-10-12 走査電子顕微鏡 Pending JPS6065966U (ja)

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JPS6065966U true JPS6065966U (ja) 1985-05-10

Family

ID=30347950

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JP15787583U Pending JPS6065966U (ja) 1983-10-12 1983-10-12 走査電子顕微鏡

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56116259A (en) * 1980-02-15 1981-09-11 Jeol Ltd Transmissive electron microscope

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56116259A (en) * 1980-02-15 1981-09-11 Jeol Ltd Transmissive electron microscope

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