JPH0277843U - - Google Patents

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JPH0277843U
JPH0277843U JP15736688U JP15736688U JPH0277843U JP H0277843 U JPH0277843 U JP H0277843U JP 15736688 U JP15736688 U JP 15736688U JP 15736688 U JP15736688 U JP 15736688U JP H0277843 U JPH0277843 U JP H0277843U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のイオン処理装置の一例を示す
縦断面図。第２図は試料台の正面図。第３図は減
速電圧とビーム発散角の関係を示すグラフ。第４
図は試料台の直径上のイオンビーム分布を示すグ
ラフ。第５図は内外のビーム電流検出器の信号波
形の図。ａが内側の検出器Ｂの信号、ｂが外側の
検出器Ａの信号、ｃが検出器Ｂの信号を連続量に
変えた波形である。第６図は内外ビーム電流検出
器の信号波形の図。ａが内側の検出器Ｂの信号、
ｂが外側の検出器Ａの信号、ｃが検出器Ａの信号
をＢに同期したパルス波形にしたものである。第
７図は第６図の波形を作るための回路図。第８図
は従来例に係るイオン処理装置の縦断面図。第９
図は試料台の直径上に於けるイオンビーム分布を
示すグラフ。 １……イオン源チヤンバ１、２……コイル、３
……導波管、４……マイクロ波発振器、５……加
速電源、６……減速電源、７……加速電極、８…
…減速電極、９……試料、１０……試料台、１１
……駆動装置、１２……ビーム電流演算器、１３
……ビーム電流制御装置、１５……比較器、１６
……制御装置、１８……ホールド増幅器、１９…
…前置増幅器、２０……リセツト発生器、２１…
…真空チヤンバ、２２……ガス導入系、２３……
引出電極系、２４……誘電体、２５……比較器、
２７……検出用穴、Ａ……第１ビーム電流検出器
、Ｂ……第２ビーム電流検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マイクロ波及び磁場によつてプラズマを生じこ
    れをイオンビームとして試料に照射するイオン処
    理装置であつて、ガスを導入しこれをプラズマに
    する空間を与えるイオン源チヤンバ１とイオン源
    チヤンバ１の周囲に設けられ軸方向の磁場を生ず
    るコイル２と、マイクロ波を発生するマイクロ波
    発振器４と、マイクロ波発振器４で生じたマイク
    ロ波をイオン源チヤンバ１へ導く導波管３と、イ
    オン源チヤンバ１に続いて設けられ真空に引く事
    のできる空間である真空チヤンバ２１と真空チヤ
    ンバ２１につながる方のイオン源チヤンバ１の端
    に設けられ加速電極７と減速電極８とよりなりイ
    オンビームを引き出すための引出電極系２３と、
    真空チヤンバ２１の中に設けられ円周上に複数の
    試料９を取り付けるべき試料台１０と、試料台１
    ０の近傍であつて試料の外側に設けられる第１ビ
    ーム電流検出器Ａと、試料台１０の近傍であつて
    試料の内側に設けられる第２ビーム電流検出器Ｂ
    と、マイクロ波発振器４の出力Ｗと減速電極８に
    負電圧を加える減速電源６の減速電圧Ｖｄとを制
    御する制御装置１６とよりなり、減速電圧Ｖｄと
    マイクロ波発振器の出力Ｗとを制御する事により
    、第１ビーム電流検出器Ａの検出電流Ｊａ、第２
    ビーム電流検出器Ｂの検出電流Ｊｂを所定の値に
    保つようにした事を特徴とするイオン処理装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007018921A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Hitachi High-Tech Science Systems Corp 真空排気系を利用したシリンダを用いたイオンビーム電流測定機構

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JPS58157045A (ja) * 1982-03-15 1983-09-19 Hitachi Ltd イオン打込み装置
JPS63152844A (ja) * 1986-12-16 1988-06-25 Nec Corp イオンビ−ムスキヤン制御装置

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JP4504880B2 (ja) * 2005-07-08 2010-07-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 真空排気系を利用したシリンダを用いたイオンビーム電流測定機構

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JPH0735294Y2 (ja) 1995-08-09

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