JPH061260B2 - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPH061260B2 JPH061260B2 JP58252134A JP25213483A JPH061260B2 JP H061260 B2 JPH061260 B2 JP H061260B2 JP 58252134 A JP58252134 A JP 58252134A JP 25213483 A JP25213483 A JP 25213483A JP H061260 B2 JPH061260 B2 JP H061260B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- converter
- negative
- positive
- voltage
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Description
【発明の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本発明は負イオン検出を行うに適した質量分析計に関す
る。
る。
ロ．従来技術 質量分析計で負イオンの検出を行う場合、質量分析部か
ら出射した負イオンを負イオン正イオンコンバータに入
射させて陽イオンに変換し、この正イオンを２次電子増
倍管に入射させるようにしている。こゝで負イオン正イ
オンコンバータは質量分析部の出射スリツトに対して適
当な正電位に設定して負イオン正イオンの交換効率が最
大になるようにしている。所でこのような構成でガスク
ロマトグラフから流出した試料成分に対して負イオンを
検出してマスフラグメントグラフイを行う場合次のよう
な問題が生じる。
ら出射した負イオンを負イオン正イオンコンバータに入
射させて陽イオンに変換し、この正イオンを２次電子増
倍管に入射させるようにしている。こゝで負イオン正イ
オンコンバータは質量分析部の出射スリツトに対して適
当な正電位に設定して負イオン正イオンの交換効率が最
大になるようにしている。所でこのような構成でガスク
ロマトグラフから流出した試料成分に対して負イオンを
検出してマスフラグメントグラフイを行う場合次のよう
な問題が生じる。
即ちマスフラグメントウラフイでは着目している幾つか
のフラグメントイオンの時間的な増減を追跡するので、
高速で質量走査を繰返す必要があり、従つて磁場を変化
させて質量走査を行うことは困難であり、イオン加速電
圧を変えることによつて質量走査を行つているが、イオ
ン加速電圧を変えると負イオン正イオンコンバータに入
射するイオンのエネルギーが変化し、コンバーターの電
位が最適電位からずれてしまい、特に低加速電圧の所で
負イオン正イオンの交換効率が低くなつてイオン検出感
度が低下してしまうのである。
のフラグメントイオンの時間的な増減を追跡するので、
高速で質量走査を繰返す必要があり、従つて磁場を変化
させて質量走査を行うことは困難であり、イオン加速電
圧を変えることによつて質量走査を行つているが、イオ
ン加速電圧を変えると負イオン正イオンコンバータに入
射するイオンのエネルギーが変化し、コンバーターの電
位が最適電位からずれてしまい、特に低加速電圧の所で
負イオン正イオンの交換効率が低くなつてイオン検出感
度が低下してしまうのである。
ハ．目 的 本発明は質量分析計でイオン加速電圧を変けて負イオン
を検出する場合における上述した問題を解決することを
目的とする。
を検出する場合における上述した問題を解決することを
目的とする。
ニ．構 成 本発明はイオン加速電圧と負イオン正イオンコンバータ
に印加する電圧とを連動して形成させ、イオン源と負イ
オン正イオンコンバーター間の電位差が常に適当な値に
保持されているようにした負イオン検出用の質量分析計
に係る。
に印加する電圧とを連動して形成させ、イオン源と負イ
オン正イオンコンバーター間の電位差が常に適当な値に
保持されているようにした負イオン検出用の質量分析計
に係る。
ホ．実 施 例 第１図は本発明の一実施例を示す。ＧＣはガスクロマト
グラフ、ＩＦはガスクロマトグラフと質量分析計とを結
合するインターフェース、Ｓは試料イオン化室で１はイ
オン加速電極、Ｍは質量分析用マグネツト、２はイオン
出射スリツト、３が負イオン正イオンコンバータであ
り、ＥＭは２次電子増倍管である（図の都合でダイノー
ドの数を減らして画いてある。）。イオン加速電極１，
イオン出射スリツト２はアース電位であり、試料イオン
化室Ｓに負電圧を印加してイオン化室Ｓとイオン加速電
極１との間で負イオンを加速する。４はイオン加速用電
源である。５は負イオン正イオンコンバータ３に印加す
る正電圧を発生する電源である。６は２次電子増倍管電
源で、カソードＫに負電圧を印加し、この電圧を抵抗で
分圧して各ダイノードに印加し、第１ダイノード，第２
ダイノードと順にアース電位に向つて高くなる電位を設
定している。７は制御回路で、マスフラグメントグラフ
イのプログラムに従い各電源４，５，６を制御する。マ
スフラグメントグラフイではイオン加速電圧は連続的に
変えないで、検出しようとするフラグメントイオンの質
量に合せてイオン加速電圧Ｖ１，Ｖ２，…を設定し、順
次イオン加速電圧を切換えて行く。
グラフ、ＩＦはガスクロマトグラフと質量分析計とを結
合するインターフェース、Ｓは試料イオン化室で１はイ
オン加速電極、Ｍは質量分析用マグネツト、２はイオン
出射スリツト、３が負イオン正イオンコンバータであ
り、ＥＭは２次電子増倍管である（図の都合でダイノー
ドの数を減らして画いてある。）。イオン加速電極１，
イオン出射スリツト２はアース電位であり、試料イオン
化室Ｓに負電圧を印加してイオン化室Ｓとイオン加速電
極１との間で負イオンを加速する。４はイオン加速用電
源である。５は負イオン正イオンコンバータ３に印加す
る正電圧を発生する電源である。６は２次電子増倍管電
源で、カソードＫに負電圧を印加し、この電圧を抵抗で
分圧して各ダイノードに印加し、第１ダイノード，第２
ダイノードと順にアース電位に向つて高くなる電位を設
定している。７は制御回路で、マスフラグメントグラフ
イのプログラムに従い各電源４，５，６を制御する。マ
スフラグメントグラフイではイオン加速電圧は連続的に
変えないで、検出しようとするフラグメントイオンの質
量に合せてイオン加速電圧Ｖ１，Ｖ２，…を設定し、順
次イオン加速電圧を切換えて行く。
第２図は質量分析計の各部の電位の相互関係を示し、横
軸上にイオン化室Ｓ，イオン加速電極１等を配列し、縦
軸に電位を示す。イオン加速電極１とイオン出射スリツ
ト２はアースレベル（０電位）であり、負イオン正イオ
ンコンバータ３における変換効率はこの図で電位差Ａに
よつて変化する。またイオン加速電圧はａであり、Ａを
一定に保つてａを変化させればイオン−イオンコンバー
タ３の変換効率は一定になるが、この場合コンバータ３
と２次電子増倍管のカソードＫとの間の電位差が変化
し、従つてカソードにおける２次電子発生率が変化して
２次電子増倍管ＥＭの感度が変化する。２次電子増倍管
の感度は電源６の電圧を変えることで調節できるので、
制御回路７による各電源４，５，６の制御方式としては
ａの変化にかゝわらずＡを一定とするように電源５の出
力を制御すると共に電源６の出力をも制御して総合感度
が一定であるようにしてもよいが、２次電子増倍管には
Ｓ／Ｎ比が最も良くなる電圧設定範囲があるので、電源
６の出力電圧が大体その範囲に収まつているようにし総
合感度が一定になるように、コンバータ３と２次電子増
倍管の電圧の変化を割振つてもよい。マスフラグメント
グラフイでは個々のフラグメントイオンの増減の時間的
経過を追跡することによつてガスクロマトグラフイで充
分分離されなかつたピークを分離することができ、この
場合各イオンの検出感度の若干の差は支障がないので、
２次電子増倍管電源６の出力は一定にしておいて、イオ
ン化室Ｓとコンバータ３との間の電位差Ａを一定に保つ
ように電源５を制御すれば充分である場合が多い。
軸上にイオン化室Ｓ，イオン加速電極１等を配列し、縦
軸に電位を示す。イオン加速電極１とイオン出射スリツ
ト２はアースレベル（０電位）であり、負イオン正イオ
ンコンバータ３における変換効率はこの図で電位差Ａに
よつて変化する。またイオン加速電圧はａであり、Ａを
一定に保つてａを変化させればイオン−イオンコンバー
タ３の変換効率は一定になるが、この場合コンバータ３
と２次電子増倍管のカソードＫとの間の電位差が変化
し、従つてカソードにおける２次電子発生率が変化して
２次電子増倍管ＥＭの感度が変化する。２次電子増倍管
の感度は電源６の電圧を変えることで調節できるので、
制御回路７による各電源４，５，６の制御方式としては
ａの変化にかゝわらずＡを一定とするように電源５の出
力を制御すると共に電源６の出力をも制御して総合感度
が一定であるようにしてもよいが、２次電子増倍管には
Ｓ／Ｎ比が最も良くなる電圧設定範囲があるので、電源
６の出力電圧が大体その範囲に収まつているようにし総
合感度が一定になるように、コンバータ３と２次電子増
倍管の電圧の変化を割振つてもよい。マスフラグメント
グラフイでは個々のフラグメントイオンの増減の時間的
経過を追跡することによつてガスクロマトグラフイで充
分分離されなかつたピークを分離することができ、この
場合各イオンの検出感度の若干の差は支障がないので、
２次電子増倍管電源６の出力は一定にしておいて、イオ
ン化室Ｓとコンバータ３との間の電位差Ａを一定に保つ
ように電源５を制御すれば充分である場合が多い。
なお本発明に係る質量分析計は負イオン検出専用に限る
ものではない。正イオン検出時には負イオン正イオンコ
ンバータ３に適当な正電圧を印加しておけば出射スリツ
ト２から出射した正イオンはコンバータ３によつて反射
されて２次電子増倍管のカソードＫに入射する。
ものではない。正イオン検出時には負イオン正イオンコ
ンバータ３に適当な正電圧を印加しておけば出射スリツ
ト２から出射した正イオンはコンバータ３によつて反射
されて２次電子増倍管のカソードＫに入射する。
ヘ．効 果 本発明によれば質量分析計でイオン加速電圧を変えるこ
とによつて負イオンの質量分析を行う場合、イオン加速
電圧を変えてもイオン検出感度が低下せず、検出感度を
略一定に保つことができる。
とによつて負イオンの質量分析を行う場合、イオン加速
電圧を変えてもイオン検出感度が低下せず、検出感度を
略一定に保つことができる。
第１図は本発明の一実施例装置のブロツク図、第２図は
各部の電位の相互関係を示すグラフである。 ＧＣ…ガスクロマトグラフ、ＩＦ…インターフエース、
Ｓ…イオン源、１…イオン加速電極、Ｍ…マグネツト、
２…出射スリツト、３…負イオン正イオンコンバータ、
ＥＭ…２次電子増倍管、Ｋ…ＥＭのカソード、４…イオ
ン加速電源、５…負イオン正イオンコンバータ電源、６
…２次電子増倍管電源、７…制御回路。
各部の電位の相互関係を示すグラフである。 ＧＣ…ガスクロマトグラフ、ＩＦ…インターフエース、
Ｓ…イオン源、１…イオン加速電極、Ｍ…マグネツト、
２…出射スリツト、３…負イオン正イオンコンバータ、
ＥＭ…２次電子増倍管、Ｋ…ＥＭのカソード、４…イオ
ン加速電源、５…負イオン正イオンコンバータ電源、６
…２次電子増倍管電源、７…制御回路。
Claims (2)
- 【請求項１】負イオン正イオンコンバータを設けて負イ
オン検出を可能にすると共に、イオン加速電圧の変化と
連動させて上記イオン源と負イオン正イオンコンバータ
間の電位差が略一定であるように、上記負イオン正イオ
ンコンバータに印加する電圧をも変化させるようにした
質量分析計。 - 【請求項２】負イオン正イオンコンバータと共に２次電
子増倍管の電源電圧も変化させて総合イオン検出感度が
略一定となるようにした特許請求の範囲第１項記載の質
量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252134A JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252134A JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143759A JPS60143759A (ja) | 1985-07-30 |
| JPH061260B2 true JPH061260B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=17232948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58252134A Expired - Lifetime JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061260B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9604655D0 (en) * | 1996-03-05 | 1996-05-01 | Fisons Plc | Mass spectrometer and detector apparatus therefor |
| JP7217189B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-02-02 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
-
1983
- 1983-12-30 JP JP58252134A patent/JPH061260B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60143759A (ja) | 1985-07-30 |
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