JPH0316206Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0316206Y2 JPH0316206Y2 JP14553885U JP14553885U JPH0316206Y2 JP H0316206 Y2 JPH0316206 Y2 JP H0316206Y2 JP 14553885 U JP14553885 U JP 14553885U JP 14553885 U JP14553885 U JP 14553885U JP H0316206 Y2 JPH0316206 Y2 JP H0316206Y2
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- ion
- stage
- voltage
- quadrupole
- electrode
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 36
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本考案は四重極型質量分析計におけるイオン検
出部の構成に関する。
出部の構成に関する。
ロ 従来の技術
四重極型質量分析計ではイオン源から四重極の
イオン出口まで一直線に配置されているので、イ
オン源のフイラメントから発せられる光や加速さ
れたイオンが中性原子と電価を交換して生じる加
速された中性原子等が四重極部を直進通過してイ
オン検出部に入射し、イオン検出力にバツクグラ
ウンドノイズを与えるので従来は、イオン検出器
をイオン源及び四重極の中心を通る中心軸に対し
て横にずらせた位置に配置して光とか中性原子が
イオン検出器に入射するのを防いでいる。この場
合、四重極部のイオン出口からイオン検出器にイ
オンを導くため種々工夫されたデイフレクタが用
いられている。他方イオン検出器としては２次電
子増倍管或はチヤンネルトロン等が用いられてお
り、これらの検出器はイオン入射量に応じて感度
を変えるのに、初段のイオン入射面に印加する電
圧をマイナス数100Vからマイナス4KV程度の範
囲で変えている。所がイオン検出器の初段電圧を
上述したように変えるとデイフレクタ領域の電位
分布が変化し、四重極を通過したイオンのイオン
検出器への収集効率が変化し、しかもこの収集効
率の変化の程度はイオン質量によつて異り、質量
の大きい側で大きいから、イオン検出器印加電圧
によつて低質量域の質量スペクトルのピークと高
質量域のピークとの強度比が異つて観測されると
いう問題があつた。
イオン出口まで一直線に配置されているので、イ
オン源のフイラメントから発せられる光や加速さ
れたイオンが中性原子と電価を交換して生じる加
速された中性原子等が四重極部を直進通過してイ
オン検出部に入射し、イオン検出力にバツクグラ
ウンドノイズを与えるので従来は、イオン検出器
をイオン源及び四重極の中心を通る中心軸に対し
て横にずらせた位置に配置して光とか中性原子が
イオン検出器に入射するのを防いでいる。この場
合、四重極部のイオン出口からイオン検出器にイ
オンを導くため種々工夫されたデイフレクタが用
いられている。他方イオン検出器としては２次電
子増倍管或はチヤンネルトロン等が用いられてお
り、これらの検出器はイオン入射量に応じて感度
を変えるのに、初段のイオン入射面に印加する電
圧をマイナス数100Vからマイナス4KV程度の範
囲で変えている。所がイオン検出器の初段電圧を
上述したように変えるとデイフレクタ領域の電位
分布が変化し、四重極を通過したイオンのイオン
検出器への収集効率が変化し、しかもこの収集効
率の変化の程度はイオン質量によつて異り、質量
の大きい側で大きいから、イオン検出器印加電圧
によつて低質量域の質量スペクトルのピークと高
質量域のピークとの強度比が異つて観測されると
いう問題があつた。
ハ 考案が解決しようとする問題点
四重極型質量分析計でイオン検出器の感度制御
のため印加電圧を変えたときイオン収集効率が変
化すると云う問題を解決しようとする。
のため印加電圧を変えたときイオン収集効率が変
化すると云う問題を解決しようとする。
ニ 問題点解決のための手段
２次電子増倍管或はチヤンネルトロンなどの初
段のイオン電子変換電極には常時一定の電圧を印
加しておき検出器の利得調節は二段目以降の電極
に印加する電圧を変えることで行うようにした。
段のイオン電子変換電極には常時一定の電圧を印
加しておき検出器の利得調節は二段目以降の電極
に印加する電圧を変えることで行うようにした。
ホ 作用
イオン検出器の初段電極に印加される電圧が一
定であるから、四重極質量分析部のイオン出口か
らイオン検出器までの間の電位分布はイオン検出
器の設定感度如何に関せず一定となり、従つてイ
オン収集効率も変化しない。この場合イオン検出
器の初段電極であるイオン電子変換面と次段のダ
イオード或はチヤンネルトロンの入口との間の電
位差がイオン検出器の感度設定に応じて変化する
ことになるが両者間の電位差が或る程度以上大き
いと２次電子放出比は飽和してほゞ一定となるか
ら２段目以降終段ダイノード間の電圧によつて感
度調節ができるのである。
定であるから、四重極質量分析部のイオン出口か
らイオン検出器までの間の電位分布はイオン検出
器の設定感度如何に関せず一定となり、従つてイ
オン収集効率も変化しない。この場合イオン検出
器の初段電極であるイオン電子変換面と次段のダ
イオード或はチヤンネルトロンの入口との間の電
位差がイオン検出器の感度設定に応じて変化する
ことになるが両者間の電位差が或る程度以上大き
いと２次電子放出比は飽和してほゞ一定となるか
ら２段目以降終段ダイノード間の電圧によつて感
度調節ができるのである。
ヘ 実施例
第１図は本考案の一実施例を示す。Ｑは四重極
電極棒で、図外左方にイオン源がある。Ａは四重
極質量分析部の中心軸である。Ｍは２次電子増倍
管で、dy１はその初段ダイノード、dy２は２段
ダイノードで、dyfは終段ダイノードでありＣは
コレクタである。初段ダイノードはイオン電子変
換体である。この初段ダイノードは四重極の中心
軸Ａから横にずれた位置にあり、四重極Ｑの端面
との間にデイフレクタＤが配置されて、四重極質
量分析部を通過したイオンは図で点線のように曲
げられて初段ダイノードdy１に入射せしめられ
る。初段ダイノードdy１には一定電圧Vcが印加
される。２段目ダイノードdy２には可変電圧Vd
が印加され、２段目以降終段までのダイノードに
は電圧Vdをブリーダ抵抗Ｒで分割した電圧が印
加されるようになつている。正イオンを検出する
場合、初段ダイノードに印加される電圧Vcはマ
イナス4KV程度で、２段目ダイノードdy２に印
加される負電圧Vdの最大値（絶対値で）より幾
分高い一定電圧である。
電極棒で、図外左方にイオン源がある。Ａは四重
極質量分析部の中心軸である。Ｍは２次電子増倍
管で、dy１はその初段ダイノード、dy２は２段
ダイノードで、dyfは終段ダイノードでありＣは
コレクタである。初段ダイノードはイオン電子変
換体である。この初段ダイノードは四重極の中心
軸Ａから横にずれた位置にあり、四重極Ｑの端面
との間にデイフレクタＤが配置されて、四重極質
量分析部を通過したイオンは図で点線のように曲
げられて初段ダイノードdy１に入射せしめられ
る。初段ダイノードdy１には一定電圧Vcが印加
される。２段目ダイノードdy２には可変電圧Vd
が印加され、２段目以降終段までのダイノードに
は電圧Vdをブリーダ抵抗Ｒで分割した電圧が印
加されるようになつている。正イオンを検出する
場合、初段ダイノードに印加される電圧Vcはマ
イナス4KV程度で、２段目ダイノードdy２に印
加される負電圧Vdの最大値（絶対値で）より幾
分高い一定電圧である。
第２図は本考案の他の実施例を示す。この実施
例はイオン検出器にチヤンネルトロンを用いた例
である。四重極Ｑ，デイフレクタＤ等の配置は第
１図の実施例と同じである。CTがチヤンネルト
ロン本体部で、Ｃはコレクタである。dY１はイ
オン電子変換体でチヤンネルトロンの初段電極に
なつており、一定電圧Vcが印加されている。チ
ヤンネルトロン本体部CTの電子入射端には可変
電圧Vdが印加され、電子出射端には一定電圧Vf
が印加されチヤンネルトロン本体内に電位勾配が
形成される。
例はイオン検出器にチヤンネルトロンを用いた例
である。四重極Ｑ，デイフレクタＤ等の配置は第
１図の実施例と同じである。CTがチヤンネルト
ロン本体部で、Ｃはコレクタである。dY１はイ
オン電子変換体でチヤンネルトロンの初段電極に
なつており、一定電圧Vcが印加されている。チ
ヤンネルトロン本体部CTの電子入射端には可変
電圧Vdが印加され、電子出射端には一定電圧Vf
が印加されチヤンネルトロン本体内に電位勾配が
形成される。
上記何れの実施例でもイオン検出器の利得制御
はVdを変えて行う。
はVdを変えて行う。
ト 効果
本考案は上述したような構成で、四重極Ｑのイ
オン出射端とイオン検出器の初段イオン電子変換
用電極との間の電位分布がイオン検出器の利得を
変えても常に一定であるから、イオン収束効率が
変わらず、設定感度によつて質量スペクトルの低
質量側と高質量側のピークの高さの比が変化する
と云うことが起こらない。
オン出射端とイオン検出器の初段イオン電子変換
用電極との間の電位分布がイオン検出器の利得を
変えても常に一定であるから、イオン収束効率が
変わらず、設定感度によつて質量スペクトルの低
質量側と高質量側のピークの高さの比が変化する
と云うことが起こらない。
第１図は本考案の一実施例の要部結線図、第２
図は他の実施例の要部決線図である。
図は他の実施例の要部決線図である。
Claims (1)
- 四重極電極の中心軸に対して軸外し位置に２次
電子増倍型イオン検出器の初段電極であるイオン
電子変換電極を配置した構成において、上記初段
電極に一定電圧を印加し、イオン検出器の２段目
以降の電極に可変電圧を印加するようにした四重
極型質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14553885U JPH0316206Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14553885U JPH0316206Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253561U JPS6253561U (ja) | 1987-04-02 |
| JPH0316206Y2 true JPH0316206Y2 (ja) | 1991-04-08 |
Family
ID=31057172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14553885U Expired JPH0316206Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316206Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6449541B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2019-01-09 | アジレント・テクノロジーズ・インクＡｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． | プラズマ質量分析装置用イオン光学システム |
| JP6664206B2 (ja) * | 2015-12-11 | 2020-03-13 | 株式会社堀場エステック | 四重極型質量分析計及び残留ガス分析方法 |
| US11264230B2 (en) * | 2017-06-29 | 2022-03-01 | Shimadzu Corporation | Quadrupole mass spectrometer |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP14553885U patent/JPH0316206Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253561U (ja) | 1987-04-02 |
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