JP6449541B2 - プラズマ質量分析装置用イオン光学システム - Google Patents
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Description
20 プラズマトーチ
22 プラズマ
30 インタフェース部
50 イオンレンズ部
56、76 イオン偏向装置
71 コリジョン/リアクションセル
81 質量分析器
82 イオン検出器
100 イオン偏向装置
110、111、120、130 電極
140、150 遮蔽板
141、151 アパーチャ
Claims (5)
- 導入される試料をイオン化するためのプラズマを生成するプラズマ発生手段と、前記プラズマを真空中に引き込むためのインターフェース手段と、前記プラズマからイオンをイオンビームとして引き出し誘導するためのイオンレンズ手段と、イオンビーム中から所定のイオンを質量電荷比に基づいて第1の軸に沿って通過させる質量分析手段と、イオンを検出するためのイオン検出手段とを含む、質量分析装置であって、
前記質量分析手段より前に配置されイオン偏向を行う少なくとも一つの第1のイオン偏向手段と、
前記質量分析手段と前記イオン検出手段との間に配置され、前記第1の軸に沿って前記質量分析手段を通過した前記所定のイオンを、前記イオン検出手段へと第2の軸に沿うように偏向して誘導するための電場を生成するように構成された少なくとも一つの第2のイオン偏向手段とを含み、
前記少なくとも一つの第2のイオン偏向手段が、それへの電圧の印加に応じて前記イオンビームを前記第2の軸の方へ偏向するように配置された第1の電極、及び前記イオンビームを挟んで前記第1の電極に対向するように配置された少なくとも一つの追加の電極を含む、質量分析装置。 - 前記少なくとも一つの追加の電極が、
第2の電極、又は
第3の電極および第4の電極、又は
前記第2の電極、前記第3の電極および前記第4の電極からなり、
前記第2の電極は、前記イオンビームを挟んで前記第1の軸に対して及び前記第2の軸に対して斜めに向かう方向に沿って前記第1の電極に対向するように配置され、
前記第3の電極は、前記第1の軸を挟んで前記第1の電極に対向するように配置され、前記第4の電極は、前記第2の軸を挟んで前記第1の電極に対向するように配置されている、請求項1に記載の質量分析装置。 - 前記第1の電極および前記少なくとも一つの追加の電極が、ロッド状電極である、請求項1又は2に記載の質量分析装置。
- 前記少なくとも一つの第2のイオン偏向手段は、前記第1の軸を囲む第1のアパーチャを備えた第1の遮蔽板と、
前記第2の軸を囲む第2のアパーチャを備えた第2の遮蔽板とを含む、請求項1〜3の何れかに記載の質量分析装置。 - 前記イオンレンズ手段と前記質量分析手段との間にコリジョン/リアクションセル手段を含む、請求項1〜4の何れかに記載の質量分析装置。
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