JPS60143759A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPS60143759A JPS60143759A JP58252134A JP25213483A JPS60143759A JP S60143759 A JPS60143759 A JP S60143759A JP 58252134 A JP58252134 A JP 58252134A JP 25213483 A JP25213483 A JP 25213483A JP S60143759 A JPS60143759 A JP S60143759A
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- JP
- Japan
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- ion
- voltage
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- positive
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・産業上の利用分野
本発明は負イオン検出を行うに適した質量分析計に関す
る。
る。
口・従来技術
質量分析計で負イオンの検出を行う場合、質量分析部か
ら出射した負イオンを負イオン正イオンコンバータに入
射させて陽イオンに変換し、この正イオンを２次電子増
倍管に入射させるようにしているＱこ＼で負イオン正イ
オンコンバータは質量分析部の出射スリットに対して適
当な正電位に設定して負イオン正イオンの変換効率が最
大になるようにしている。所でこのような構成でガスク
ロマトグラフから流出した試料成分に対して負イオンを
検出してマスフラグメントグラフィを行う場合法のよう
な問題が生じる。
ら出射した負イオンを負イオン正イオンコンバータに入
射させて陽イオンに変換し、この正イオンを２次電子増
倍管に入射させるようにしているＱこ＼で負イオン正イ
オンコンバータは質量分析部の出射スリットに対して適
当な正電位に設定して負イオン正イオンの変換効率が最
大になるようにしている。所でこのような構成でガスク
ロマトグラフから流出した試料成分に対して負イオンを
検出してマスフラグメントグラフィを行う場合法のよう
な問題が生じる。
即ちマスフラグメントグラフィでは着目している幾つか
のフラグメントイオンの時間的な増減を追跡するので、
高速で質量走査を繰返す必要があり、従って磁場を変化
させて質量走査を行うことは困難であシ、イオン加速電
圧を変えることによって質量走査を行っているが、イオ
ン加速電圧を変えると負イオン正イオンコンバータに入
射するイオンのエネルギーが変化し、コンバーターの電
位が最適電位からずれてしまい、特に低加速電圧の所で
負イオン正イオンの変換効率が低くなってイオン検出感
度が低下してしまうのである。
のフラグメントイオンの時間的な増減を追跡するので、
高速で質量走査を繰返す必要があり、従って磁場を変化
させて質量走査を行うことは困難であシ、イオン加速電
圧を変えることによって質量走査を行っているが、イオ
ン加速電圧を変えると負イオン正イオンコンバータに入
射するイオンのエネルギーが変化し、コンバーターの電
位が最適電位からずれてしまい、特に低加速電圧の所で
負イオン正イオンの変換効率が低くなってイオン検出感
度が低下してしまうのである。
八日 的
本発明は質量分析計でイオン加速電圧を変えて負イオン
を検出する場合における上述した問題を解決することを
目的とする。
を検出する場合における上述した問題を解決することを
目的とする。
二・ 構 成
本発明はイオン加速電圧と負イオン正イオンコンバータ
に印加する電圧とを連動して変化させ、イオン源と負イ
オン正イオン検出時く一ター間の電位差が常に適当な値
に保持されているようにした負イオン検出用の質量分析
計に係る０ ホ、実施例 第１図は本発明の一実施例を示す。ａＣはガスクロマト
グラフ、工Ｆはガスクロマトグラフと質量分析計とを結
合するインターフェース、Ｓは試料イオン化室で１はイ
オン加速電極、Ｍは質量分析用マグネット、２はイオン
出射スリット、３が負イオン正イオンコンバータであり
、ＦＭは２次電子増倍管である（図の都合でダイノード
の数を減らして画いである。）。イオン加速電極１．イ
オン出射スリット２はアース電位であり、試料イオン化
室Ｓに負電圧を印加してイオン化室Ｓとイオン加速電極
１との間で負イオンを加速する。４はイオン加速用電源
である。５は負イオン正イオンコンバータ３に印加する
正電圧を発生する電源である。６は２次電子増倍管電源
で、カソードＫに負電圧を印加し、この電圧を抵抗で分
圧して各ダイノードに印加し、第１ダイノード、第２ダ
イノードと順にアース電位に向って高くなる電位を設定
している。７は制御回路で、マスフラグメントグラフィ
のプログラムに従い各電源４． ５． ６を制御する。
に印加する電圧とを連動して変化させ、イオン源と負イ
オン正イオン検出時く一ター間の電位差が常に適当な値
に保持されているようにした負イオン検出用の質量分析
計に係る０ ホ、実施例 第１図は本発明の一実施例を示す。ａＣはガスクロマト
グラフ、工Ｆはガスクロマトグラフと質量分析計とを結
合するインターフェース、Ｓは試料イオン化室で１はイ
オン加速電極、Ｍは質量分析用マグネット、２はイオン
出射スリット、３が負イオン正イオンコンバータであり
、ＦＭは２次電子増倍管である（図の都合でダイノード
の数を減らして画いである。）。イオン加速電極１．イ
オン出射スリット２はアース電位であり、試料イオン化
室Ｓに負電圧を印加してイオン化室Ｓとイオン加速電極
１との間で負イオンを加速する。４はイオン加速用電源
である。５は負イオン正イオンコンバータ３に印加する
正電圧を発生する電源である。６は２次電子増倍管電源
で、カソードＫに負電圧を印加し、この電圧を抵抗で分
圧して各ダイノードに印加し、第１ダイノード、第２ダ
イノードと順にアース電位に向って高くなる電位を設定
している。７は制御回路で、マスフラグメントグラフィ
のプログラムに従い各電源４． ５． ６を制御する。
マスフラグメントグラフィではイオン加速電圧は連続的
に変えないで、検出しようとするフラグメントイオンの
質量に合せてイオン加速電圧Ｖｌ、 Ｖ２．・・・を設
定し、順次イオン加速重圧を切換えて行く。
に変えないで、検出しようとするフラグメントイオンの
質量に合せてイオン加速電圧Ｖｌ、 Ｖ２．・・・を設
定し、順次イオン加速重圧を切換えて行く。
第２図は質量分析計の各部の電位の相互関係を示し、横
軸上にイオン化室Ｓ、イオン加速電極１等を配列し、縦
軸に電位を示す。イオン加速電極１とイオン出射スリッ
ト２はアースレベル（０電位）であり、負イオン正イオ
ンコンバータ３における変換効率はこの図で電位差Ａに
よって変化する。まだイオン加速電圧はａであり、Ａを
一定に保ってａを変化させればイオン−イオンコンバー
タ３の変換効率は一定になるが、この場合コンバータ３
と２次電子増倍管のカソードにとの間の電位差が変化し
、従ってカソードにおける２次電子発生率が変化して２
次電子増倍管ＥＭの感度が変化する。２次電子増倍管の
感度は電源６の電圧を変えることで調節できるので、制
御回路マによる各電源４，５．６の制御方式としてはａ
の変化にか＼わらずＡを一定とするように電源５の出力
を制御すると共に電源６の出力をも制御して総合感度が
一定であるようにしてもよいが、２次電子増倍管にばＳ
／ Ｎ比が最も良くなる電圧設定範囲があるので、電
源６の出力電圧が大体その範囲に収まっているようにし
総合感度が一定になるように、コンバータ３と２次電子
増倍管の電圧の変化を割振ってもよい。マスフラグメン
トグラフィでは個々のフラグメントイオンの増減の時間
的経過を追跡することによってガスクロマトグラフで充
分分離されなかったピークを分離することができ、この
場合各イオンの検出感度の若干の差は支障がないので、
２次電子増倍管電源６の出力は一定にしておいて、イオ
ン化室Ｓとコンバータ３との間の電位差Ａを一定に保つ
ように電源５を制御すれば充分である場合が多い。
軸上にイオン化室Ｓ、イオン加速電極１等を配列し、縦
軸に電位を示す。イオン加速電極１とイオン出射スリッ
ト２はアースレベル（０電位）であり、負イオン正イオ
ンコンバータ３における変換効率はこの図で電位差Ａに
よって変化する。まだイオン加速電圧はａであり、Ａを
一定に保ってａを変化させればイオン−イオンコンバー
タ３の変換効率は一定になるが、この場合コンバータ３
と２次電子増倍管のカソードにとの間の電位差が変化し
、従ってカソードにおける２次電子発生率が変化して２
次電子増倍管ＥＭの感度が変化する。２次電子増倍管の
感度は電源６の電圧を変えることで調節できるので、制
御回路マによる各電源４，５．６の制御方式としてはａ
の変化にか＼わらずＡを一定とするように電源５の出力
を制御すると共に電源６の出力をも制御して総合感度が
一定であるようにしてもよいが、２次電子増倍管にばＳ
／ Ｎ比が最も良くなる電圧設定範囲があるので、電
源６の出力電圧が大体その範囲に収まっているようにし
総合感度が一定になるように、コンバータ３と２次電子
増倍管の電圧の変化を割振ってもよい。マスフラグメン
トグラフィでは個々のフラグメントイオンの増減の時間
的経過を追跡することによってガスクロマトグラフで充
分分離されなかったピークを分離することができ、この
場合各イオンの検出感度の若干の差は支障がないので、
２次電子増倍管電源６の出力は一定にしておいて、イオ
ン化室Ｓとコンバータ３との間の電位差Ａを一定に保つ
ように電源５を制御すれば充分である場合が多い。
なお本発明に係る質量分析計は負イオン検出専用に限る
ものではない。正イオン検出時には負イオン正イオンコ
ンバータ３に適当な正電圧を印加しておけば出射スリッ
ト２から出射した正イオンはコンバータ３によって反射
されて２次電子増倍管のカソードＫに入射する。
ものではない。正イオン検出時には負イオン正イオンコ
ンバータ３に適当な正電圧を印加しておけば出射スリッ
ト２から出射した正イオンはコンバータ３によって反射
されて２次電子増倍管のカソードＫに入射する。
へ・効 果
本発明によれば質量分析計でイオン加速電圧を変えるこ
とによって負イオンの質量分析を行う場合、イオン加速
電圧を変えてもイオン検出感度が低下せず、検出感度を
略一定に保つことができる。
とによって負イオンの質量分析を行う場合、イオン加速
電圧を変えてもイオン検出感度が低下せず、検出感度を
略一定に保つことができる。
第１図は本発明の一実施例装置のブロック図、第２図は
各部の電位の相互関係を示すグラフである。 （）Ｃ・・・ガスクロマトグラフ、工Ｆ・・・インター
フェース、Ｓ・・・イオン源、１・・・イオン加速電極
、Ｍ・・・マグネット、２・・・出射スリット、３・・
・負イオン正イオンコンバータ、ＥＭ・・・２次電子増
倍管、Ｋ・・・ＥＭのカソード、４・・・イオン加速電
源、５・・・負イオン正イオンコンバータ電源、６・・
・２次電子増倍管電源、７・・・制御回路。 代理人 弁理士 縣 浩 介
各部の電位の相互関係を示すグラフである。 （）Ｃ・・・ガスクロマトグラフ、工Ｆ・・・インター
フェース、Ｓ・・・イオン源、１・・・イオン加速電極
、Ｍ・・・マグネット、２・・・出射スリット、３・・
・負イオン正イオンコンバータ、ＥＭ・・・２次電子増
倍管、Ｋ・・・ＥＭのカソード、４・・・イオン加速電
源、５・・・負イオン正イオンコンバータ電源、６・・
・２次電子増倍管電源、７・・・制御回路。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (3)
- （１）負イオン正イオンコンバータを設けて負イオン検
出を可能にすると共に、イオン加速電圧の変化と連動さ
せて上記負イオン正イオンコンバータに印加する電圧を
も変化させるようにした質量分析計。 - （２）イオン源と負イオン正イオンコンバータ間の電位
差が略一定であるようにした特許請求の範囲第１項記載
の質量分析計。 - （３）負イオン正イオンコンバータと共に２次電子増倍
管の電源電圧も変化させて総合イオン検出感度が略一定
となるようにした特許請求の範囲第１項記載の質量分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252134A JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252134A JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143759A true JPS60143759A (ja) | 1985-07-30 |
| JPH061260B2 JPH061260B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=17232948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58252134A Expired - Lifetime JPH061260B2 (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061260B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997033301A1 (en) * | 1996-03-05 | 1997-09-12 | Thermo Instrument Systems, Inc. | Mass spectrometer and detector apparatus therefor |
| WO2020195062A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
-
1983
- 1983-12-30 JP JP58252134A patent/JPH061260B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997033301A1 (en) * | 1996-03-05 | 1997-09-12 | Thermo Instrument Systems, Inc. | Mass spectrometer and detector apparatus therefor |
| WO2020195062A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
| JP2020161451A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
| US11955327B2 (en) | 2019-03-28 | 2024-04-09 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH061260B2 (ja) | 1994-01-05 |
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