JPH0570898B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0570898B2 JPH0570898B2 JP61239944A JP23994486A JPH0570898B2 JP H0570898 B2 JPH0570898 B2 JP H0570898B2 JP 61239944 A JP61239944 A JP 61239944A JP 23994486 A JP23994486 A JP 23994486A JP H0570898 B2 JPH0570898 B2 JP H0570898B2
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- JP
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- extrusion
- voltage
- ions
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Links
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 37
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 27
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 13
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 claims description 5
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 101100129496 Arabidopsis thaliana CYP711A1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100129499 Arabidopsis thaliana MAX2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100083446 Danio rerio plekhh1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、試料の定性、定量の分析を行う質量
分析計に関し、特に分析を行う際の感度の制御に
関するものである。
分析計に関し、特に分析を行う際の感度の制御に
関するものである。
従来、この種の質量分析計は、イオン化箱で生
成されたイオンを押出し電源から押出し電極に印
加される押出し電圧によつて押出し、さらに加速
電源から加速電極に印加される加速電圧よつて加
速し、また偏向電源から偏向電極に印加される偏
向電極によつて偏向し、次いで偏向されたイオン
を電場と磁場によつて収束させて検出器に捕捉さ
せ、その捕捉されたイオン量をデータ処理装置で
解析することにより、試料の定性、定量の分析を
行うように構成されている。
成されたイオンを押出し電源から押出し電極に印
加される押出し電圧によつて押出し、さらに加速
電源から加速電極に印加される加速電圧よつて加
速し、また偏向電源から偏向電極に印加される偏
向電極によつて偏向し、次いで偏向されたイオン
を電場と磁場によつて収束させて検出器に捕捉さ
せ、その捕捉されたイオン量をデータ処理装置で
解析することにより、試料の定性、定量の分析を
行うように構成されている。
このような構成の質量分析計においては、押出
し電圧を調整することにより、検出器で捕捉する
イオン量を最大にすること、すなわち質量分析計
としての感度を最大にすることができる。
し電圧を調整することにより、検出器で捕捉する
イオン量を最大にすること、すなわち質量分析計
としての感度を最大にすることができる。
この場合、押出し電圧は０〜±4kVの加速電圧
によつて高電位にフローテイングされている。そ
こで、実開昭53−24685号に示されているように、
押出し電圧を制御するための制御電圧の可変抵抗
器を設け、かつこの可変抵抗器の取付けパネルを
押出し電源および加速電源から充分に離して絶縁
し、該可変抵抗器の手動調整によつて質量分析計
としての感度を最大に調整するように構成したも
のがある。
によつて高電位にフローテイングされている。そ
こで、実開昭53−24685号に示されているように、
押出し電圧を制御するための制御電圧の可変抵抗
器を設け、かつこの可変抵抗器の取付けパネルを
押出し電源および加速電源から充分に離して絶縁
し、該可変抵抗器の手動調整によつて質量分析計
としての感度を最大に調整するように構成したも
のがある。
従つて、上記従来構成では、押出し電圧を手動
で調整できるものの、数ボルトの低電圧によつて
自動調整することはできないという問題があつ
た。
で調整できるものの、数ボルトの低電圧によつて
自動調整することはできないという問題があつ
た。
本発明の目的は、押出し電圧を自動調整し、試
料を高感度で分析することができる質量分析計を
提供することにある。
料を高感度で分析することができる質量分析計を
提供することにある。
本発明は、押出し電源の出力電圧を制御する制
御装置と、押出し電源とを絶縁する絶縁部を設
け、データ処理装置は検出されたイオン量に応じ
て該イオン量が最大となるように前記制御装置お
よび絶縁部を介して押出し電源の出力電圧を設定
するように構成したものである。
御装置と、押出し電源とを絶縁する絶縁部を設
け、データ処理装置は検出されたイオン量に応じ
て該イオン量が最大となるように前記制御装置お
よび絶縁部を介して押出し電源の出力電圧を設定
するように構成したものである。
押出し電源と制御装置との間は絶縁部によつて
絶縁される。データ処理装置は制御装置に対する
設定データを可変し、検出イオン量が最大となる
ように押出し電源に対する制御電圧を可変させ
る。
絶縁される。データ処理装置は制御装置に対する
設定データを可変し、検出イオン量が最大となる
ように押出し電源に対する制御電圧を可変させ
る。
第１図は本発明の要部の基本構成を示すブロツ
ク図であり、押出し電源３とデータ処理装置１０
内の制御装置１１との間には、これらの間を絶縁
する絶縁部１２が配置され、データ処理装置１０
から制御装置１１に対して押出し電圧の設定デー
タを与えると、該設定データは制御装置１１を介
して絶縁部１２に送られ、この絶縁部１２で入力
側と出力側とが絶縁された状態で押出し電源３の
DA変換器１４に転送される。DA変換器１４は
入力された設定データをそれに対応したアナログ
の制御電圧に変換し、該制御電圧に対応した押出
し電圧を出力させる。
ク図であり、押出し電源３とデータ処理装置１０
内の制御装置１１との間には、これらの間を絶縁
する絶縁部１２が配置され、データ処理装置１０
から制御装置１１に対して押出し電圧の設定デー
タを与えると、該設定データは制御装置１１を介
して絶縁部１２に送られ、この絶縁部１２で入力
側と出力側とが絶縁された状態で押出し電源３の
DA変換器１４に転送される。DA変換器１４は
入力された設定データをそれに対応したアナログ
の制御電圧に変換し、該制御電圧に対応した押出
し電圧を出力させる。
第２図は本発明を適用した質量分析計の全体構
成図であり、イオン化室１で生成されたイオンは
押出し電極２に対し押出し電源３から印加された
押出し電圧によつて押出され、さらにイオン化室
１に対して加速電源６から印加された加速電圧に
よつて加速され、イオン化室１から出射される。
イオン化室１を出たイオンは偏向電極４に対して
偏向電源５から印加された偏向電圧によつて偏向
されてイオン源１３から出て電場７に向い、電磁
７と次印の磁場８で収束されて検出器９に入射さ
れる。検出器９では入射されたイオン量を検出
し、その検出値をデータ処理装置１０に入力し、
イオン化室１内の試料の定性または定量を解析さ
せる。
成図であり、イオン化室１で生成されたイオンは
押出し電極２に対し押出し電源３から印加された
押出し電圧によつて押出され、さらにイオン化室
１に対して加速電源６から印加された加速電圧に
よつて加速され、イオン化室１から出射される。
イオン化室１を出たイオンは偏向電極４に対して
偏向電源５から印加された偏向電圧によつて偏向
されてイオン源１３から出て電場７に向い、電磁
７と次印の磁場８で収束されて検出器９に入射さ
れる。検出器９では入射されたイオン量を検出
し、その検出値をデータ処理装置１０に入力し、
イオン化室１内の試料の定性または定量を解析さ
せる。
データ処理装置１０は試料の定性または定量を
解析するに際し、検出器９で検出するイオン量が
最大となるように制御装置１１に対して押出し電
圧と偏向電圧の設定データを送る。すると、制御
装置１１はデータ処理装置１０からの設定データ
を絶縁部を介して押出し電源３内のDA変換器
（第１図参照）に伝送し、該設定データに対応し
た押出し電圧を出力させる。同時に、制御装置１
１は偏向電源５に対しても同様の設定データを伝
送し、該設定データに対応した偏向電圧を出力さ
せる。
解析するに際し、検出器９で検出するイオン量が
最大となるように制御装置１１に対して押出し電
圧と偏向電圧の設定データを送る。すると、制御
装置１１はデータ処理装置１０からの設定データ
を絶縁部を介して押出し電源３内のDA変換器
（第１図参照）に伝送し、該設定データに対応し
た押出し電圧を出力させる。同時に、制御装置１
１は偏向電源５に対しても同様の設定データを伝
送し、該設定データに対応した偏向電圧を出力さ
せる。
ここで、絶縁部１２は第３図にその詳細構成を
示すように、制御装置１１から出力された押出し
電圧の設定データ（並列複数ビツトのデータ）を
シフトレジスタ１５Ａにセツトした後、そのセツ
トデータを発振器１６から出力されるクロツク信
号によつて直列複数ビツトのシリアル信号に変換
し、フオトカプラで構成されるトランスミツタ１
７とレシーバ１８によつて出力側のシフトレジス
タ１５Ｂに順次セツトし、そのセツトされた信号
を並列にDA変換器１４に入力してアナログの制
御電圧に変換させるように構成されている。
示すように、制御装置１１から出力された押出し
電圧の設定データ（並列複数ビツトのデータ）を
シフトレジスタ１５Ａにセツトした後、そのセツ
トデータを発振器１６から出力されるクロツク信
号によつて直列複数ビツトのシリアル信号に変換
し、フオトカプラで構成されるトランスミツタ１
７とレシーバ１８によつて出力側のシフトレジス
タ１５Ｂに順次セツトし、そのセツトされた信号
を並列にDA変換器１４に入力してアナログの制
御電圧に変換させるように構成されている。
従つて、押出し電圧が加速電圧によつて高電位
にフローテイングされていても、押出し電圧の設
定データはトランスミツタ１７とレシーバ１８と
によつて光信号で伝送されるため、制御装置１１
と押出し電源３との間は電気的には高い絶縁状態
に保持される。従つて、制御装置１１を介して低
電圧の信号によつて押出し電圧を自動的に調整す
ることができる。
にフローテイングされていても、押出し電圧の設
定データはトランスミツタ１７とレシーバ１８と
によつて光信号で伝送されるため、制御装置１１
と押出し電源３との間は電気的には高い絶縁状態
に保持される。従つて、制御装置１１を介して低
電圧の信号によつて押出し電圧を自動的に調整す
ることができる。
一方、偏向電圧については、第４図の制御系統
図に示すように、偏向電圧の設定データがデータ
処理装置１０の中央処理装置（CPU）２３から
制御装置１１のDA変換器２３に送られ、ここで
該設定データに対応した制御電圧に変換されて偏
向電源５に入力される。これによつて、偏向電圧
が自動的に調整される。
図に示すように、偏向電圧の設定データがデータ
処理装置１０の中央処理装置（CPU）２３から
制御装置１１のDA変換器２３に送られ、ここで
該設定データに対応した制御電圧に変換されて偏
向電源５に入力される。これによつて、偏向電圧
が自動的に調整される。
第５図ａは、検出器９で検出するイオン量を最
大値に自動調整する時のデータ処理装置１０の処
理手順を示すフローチヤートであり、ある条件で
第５図ｂのスペクトル図で示すイオン量I1が得ら
れたものとすると、データ処理装置１０は押出し
電圧を−10V〜＋10V程度走査して検出イオン量
がI1≦I2で、かつ最高感度IMAX1＝I2の状態になる
ように押出し電圧を調整する（S1、S2）。次に、
偏向電圧を０〜＋4kV程度走査して検出イオン量
がI2≦I3で、かつ最高感度IMAX2＝I3の状態になる
ように偏向電圧を調整する（S3、S4）。これによ
つて、試料を最高感度で分析することができる。
なお、検出されたイオン量は第４図に示す表示装
置２２によつてスペクトル線図で表示される。
大値に自動調整する時のデータ処理装置１０の処
理手順を示すフローチヤートであり、ある条件で
第５図ｂのスペクトル図で示すイオン量I1が得ら
れたものとすると、データ処理装置１０は押出し
電圧を−10V〜＋10V程度走査して検出イオン量
がI1≦I2で、かつ最高感度IMAX1＝I2の状態になる
ように押出し電圧を調整する（S1、S2）。次に、
偏向電圧を０〜＋4kV程度走査して検出イオン量
がI2≦I3で、かつ最高感度IMAX2＝I3の状態になる
ように偏向電圧を調整する（S3、S4）。これによ
つて、試料を最高感度で分析することができる。
なお、検出されたイオン量は第４図に示す表示装
置２２によつてスペクトル線図で表示される。
以上説明したことから明らかなように本発明に
よれば、押出し電源と制御装置との間をフオトカ
プラなどによつて結合し、両者間は電気的には絶
縁状態として押出し電圧を調整するものであるか
ら、低電圧の制御信号によつて検出イオン量が最
大となる感度に押出し電圧を簡単に自動調整し、
試料の定性または定量を高感度で分析することが
できる。
よれば、押出し電源と制御装置との間をフオトカ
プラなどによつて結合し、両者間は電気的には絶
縁状態として押出し電圧を調整するものであるか
ら、低電圧の制御信号によつて検出イオン量が最
大となる感度に押出し電圧を簡単に自動調整し、
試料の定性または定量を高感度で分析することが
できる。
第１図は本発明の要部の一実施例を示す基本構
成図、第２図は本発明を適用した質料分析計の一
実施例を示す全体構成図、第３図は絶縁部の詳細
構成図、第４図は押出し電圧と偏向電圧の制御系
統図、第５図は押出し電圧と偏向電圧とを自動調
整する時のデータ処理装置の処理手順を示すフロ
ーチヤートおよび説明のためのスペクトル線図で
ある。 １……イオン化室、２……押出し電極、３……
押出し電源、４……偏向電極、５……偏向電源、
６……加速電源、７……電場、８……磁場、９…
…検出器、１０……データ処理装置、１１……制
御装置、１２……絶縁部、１３……イオン源、１
４……DA変換器、１５Ａ，１５Ｂ……シフトレ
ジスタ、１７……トランスミツタ、１８……レシ
ーバ。
成図、第２図は本発明を適用した質料分析計の一
実施例を示す全体構成図、第３図は絶縁部の詳細
構成図、第４図は押出し電圧と偏向電圧の制御系
統図、第５図は押出し電圧と偏向電圧とを自動調
整する時のデータ処理装置の処理手順を示すフロ
ーチヤートおよび説明のためのスペクトル線図で
ある。 １……イオン化室、２……押出し電極、３……
押出し電源、４……偏向電極、５……偏向電源、
６……加速電源、７……電場、８……磁場、９…
…検出器、１０……データ処理装置、１１……制
御装置、１２……絶縁部、１３……イオン源、１
４……DA変換器、１５Ａ，１５Ｂ……シフトレ
ジスタ、１７……トランスミツタ、１８……レシ
ーバ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ イオンを生成するイオン化箱と、生成された
イオンの押出し、加速および偏向を行う押出し電
源、加速電源および偏向電源と、偏向されたイオ
ンを収束させる電場および磁場と、収束されたイ
オンを検出する検出器と、検出されたイオン量に
よつて試料の定性、定量の分析を行うデータ処理
装置と、前記押出し電源、加速電源および偏向電
源の出力電圧を制御する制御装置とを備え、前記
押出し電源の出力電圧は加速電源の高電圧の加速
電圧によつてフローテイングされている質量分析
計において、 前記押出し電源と制御装置とを絶縁する絶縁部
を設け、前記データ処理装置は検出されたイオン
量に応じて該イオン量が最大となるように前記制
御装置および絶縁部を介して押出し電源の出力電
圧を設定するように構成して成る質量分析計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61239944A JPS6394551A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 質量分析計 |
| US07/105,251 US4812649A (en) | 1986-10-08 | 1987-10-07 | Control in mass analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61239944A JPS6394551A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6394551A JPS6394551A (ja) | 1988-04-25 |
| JPH0570898B2 true JPH0570898B2 (ja) | 1993-10-06 |
Family
ID=17052143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61239944A Granted JPS6394551A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 質量分析計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4812649A (ja) |
| JP (1) | JPS6394551A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5313061A (en) * | 1989-06-06 | 1994-05-17 | Viking Instrument | Miniaturized mass spectrometer system |
| JPH05500726A (ja) * | 1989-06-06 | 1993-02-12 | ヴァイキング インストゥルメンツ コーポレーション | 小型質量分析器システム |
| ITMI20021616A1 (it) * | 2002-07-22 | 2004-01-22 | Getters Spa | Metodo e strumento per effettuare analisi di spettrometria di mobilita' ionica |
| US9234932B2 (en) * | 2013-03-13 | 2016-01-12 | Thermo Finnigan Llc | Method and apparatus for monitoring ion lens connections |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2975278A (en) * | 1957-08-12 | 1961-03-14 | Cons Electrodynamics Corp | Mass spectrometer |
| US2945126A (en) * | 1958-06-23 | 1960-07-12 | Bell & Howell Co | Mass spectrometer |
| US3487208A (en) * | 1967-06-01 | 1969-12-30 | Us Air Force | Method of improving sensitivity and resolution of a mass spectrometer |
| US4754200A (en) * | 1985-09-09 | 1988-06-28 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for ion source control in ion implanters |
-
1986
- 1986-10-08 JP JP61239944A patent/JPS6394551A/ja active Granted
-
1987
- 1987-10-07 US US07/105,251 patent/US4812649A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6394551A (ja) | 1988-04-25 |
| US4812649A (en) | 1989-03-14 |
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