JP2616637B2 - 質量分析方法 - Google Patents
質量分析方法Info
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- JP2616637B2 JP2616637B2 JP4158688A JP15868892A JP2616637B2 JP 2616637 B2 JP2616637 B2 JP 2616637B2 JP 4158688 A JP4158688 A JP 4158688A JP 15868892 A JP15868892 A JP 15868892A JP 2616637 B2 JP2616637 B2 JP 2616637B2
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- frequency voltage
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/426—Methods for controlling ions
- H01J49/427—Ejection and selection methods
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高速質量走査を行うのに
適した四重極型質量分析計に関する。
適した四重極型質量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】四重極型質量分析計では検出されるイオ
ンの質量数が四重極電極に印加する高周波の電圧に比例
しているので、標準試料を用いて較正実験を行い、高周
波電圧を設定しているＤ／Ａ変換器の入力ディジタルデ
ータと検出されるイオンの質量との関係を規定する変換
式を決定して、検出されるイオンの質量を求めている。
ンの質量数が四重極電極に印加する高周波の電圧に比例
しているので、標準試料を用いて較正実験を行い、高周
波電圧を設定しているＤ／Ａ変換器の入力ディジタルデ
ータと検出されるイオンの質量との関係を規定する変換
式を決定して、検出されるイオンの質量を求めている。
【０００３】四重極質量分析計では上述したように、四
重極電極に印加する高周波電圧で質量数を決めている
が、質量走査速度が比較的遅くて、イオンが四重極間に
入射してから検出される迄の間の高周波圧の変化が無視
できる間は正確な質量値を知ることができるが、走査速
度が高くなると質量の表示はイオンがすでに四重極間を
通過して検出されているときの高周波電圧に応じて行わ
れる結果、実際の質量と異なった質量が表示されること
になる。
重極電極に印加する高周波電圧で質量数を決めている
が、質量走査速度が比較的遅くて、イオンが四重極間に
入射してから検出される迄の間の高周波圧の変化が無視
できる間は正確な質量値を知ることができるが、走査速
度が高くなると質量の表示はイオンがすでに四重極間を
通過して検出されているときの高周波電圧に応じて行わ
れる結果、実際の質量と異なった質量が表示されること
になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、四重極型質
量分析計で高速質量走査を行っても正しい質量数の表示
が得られるようにすることを目的としている。
量分析計で高速質量走査を行っても正しい質量数の表示
が得られるようにすることを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】標準試料を用い、異なる
走査速度で質量分析を行って、表示質量と実質量との差
即ち質量補正値と走査速度の関係を求めておき、その関
係を用いて、実分析時の走査速度と表示質量から正しい
質量を求めるようにした。
走査速度で質量分析を行って、表示質量と実質量との差
即ち質量補正値と走査速度の関係を求めておき、その関
係を用いて、実分析時の走査速度と表示質量から正しい
質量を求めるようにした。
【０００６】
【作用】質量分析計に入射するイオンは一定加速電圧で
加速されているので、質量に関せず運動のエネルギーが
一定である。従ってイオンの速度は質量ｍの平方根に反
比例して遅くなる。検出されるイオンの表示質量と実質
量との差は、イオンが四重極電極に入射してから検出さ
れる迄の間の高周波電圧の変化に比例しており、この変
化はイオン速度が遅い程大きいから、例えば質量走査速
度をＳ（質量数／時間）、検出されたイオンの表示質量
をｍ、表示質量と実質量との差即ち補正値をΔＭとする
と、 ΔＭ＝ＫＳ√ｍ で与えられ、比例定数Ｋを実測的に決めることで、走査
速度Ｓのときの表示質量に対する補正値を知ることがで
きる。
加速されているので、質量に関せず運動のエネルギーが
一定である。従ってイオンの速度は質量ｍの平方根に反
比例して遅くなる。検出されるイオンの表示質量と実質
量との差は、イオンが四重極電極に入射してから検出さ
れる迄の間の高周波電圧の変化に比例しており、この変
化はイオン速度が遅い程大きいから、例えば質量走査速
度をＳ（質量数／時間）、検出されたイオンの表示質量
をｍ、表示質量と実質量との差即ち補正値をΔＭとする
と、 ΔＭ＝ＫＳ√ｍ で与えられ、比例定数Ｋを実測的に決めることで、走査
速度Ｓのときの表示質量に対する補正値を知ることがで
きる。
【０００７】
【実施例】図２は本発明方法を実行した四重極型質量分
析計による分析動作のフローチャートである。図１は上
の実施例で用いた四重極型質量分析計の構成を示す。図
１で１は四重極質量分析部、２は試料イオン化部、３は
イオン検出部で、４は装置を制御しているコンピュー
タ、５は四重極電極に印加する高周波電圧Ｖを設定する
Ｄ／Ａ変換器、６は同じく直流電圧Ｕ設定するＤ／Ａ変
換器、７はイオン検出信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換
器で、８は高周波電圧質量変換表及び補正データ表を格
納しておくメモリである。コンピュータ４は二つのＤ／
Ａ変換器に高周波電圧Ｖ及び直流電圧Ｕを指定するディ
ジタルデータを出力して質量走査を行うと共に、イオン
検出部の検出信号を取込み、他方イオン検出時のＶを指
定しているディジタルデータから、メモリ８に格納して
ある表を用いて検出されたイオンの質量を決定し、イオ
ン検出信号と共にデータメモリ９に格納して行く。
析計による分析動作のフローチャートである。図１は上
の実施例で用いた四重極型質量分析計の構成を示す。図
１で１は四重極質量分析部、２は試料イオン化部、３は
イオン検出部で、４は装置を制御しているコンピュー
タ、５は四重極電極に印加する高周波電圧Ｖを設定する
Ｄ／Ａ変換器、６は同じく直流電圧Ｕ設定するＤ／Ａ変
換器、７はイオン検出信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換
器で、８は高周波電圧質量変換表及び補正データ表を格
納しておくメモリである。コンピュータ４は二つのＤ／
Ａ変換器に高周波電圧Ｖ及び直流電圧Ｕを指定するディ
ジタルデータを出力して質量走査を行うと共に、イオン
検出部の検出信号を取込み、他方イオン検出時のＶを指
定しているディジタルデータから、メモリ８に格納して
ある表を用いて検出されたイオンの質量を決定し、イオ
ン検出信号と共にデータメモリ９に格納して行く。
【０００８】上述した装置を用いて質量分析を行う場合
の動作を図２のフローチャートを用いて説明する。まず
標準試料を用い低速質量走査を行って、質量Ｍ１，Ｍ
２，…Ｍｎのイオンを検出し、各イオンのピーク中心検
出時の高周波電圧設定ディジタルデータＤ１，Ｄ２，…
Ｄｎを求めて、高周波電圧質量変換表を作成し、メモリ
８に格納する（イ）。次に同じ標準試料を用いて走査速
度Ｓｏで、高速走査を行い、質量Ｍ１，Ｍ２，…Ｍｎの
各イオンを検出し、各イオンのピーク中心検出時の高周
波電圧設定ディジタルデータＤ１’，Ｄ２’，…Ｄｎ’
を求める（ロ）。次に上記Ｄｉ’（ｉ＝１，２，…ｎ）
から（イ）のステップで作成された変換表を用いて決ま
る質量Ｍｉ’を求め（ハ）、補正値ΔＭｉ＝Ｍｉ−Ｍ
ｉ’を算出し（ニ）、ΔＭ＝ＫＳｏ√（Ｍｉ’）に上記
Ｓｏ，ΔＭｉ’およびＭｉ’を代入してＫを決定し、高
周波電圧質量変換表から求まる質量Ｍｉ’と補正値ΔＭ
ｉ走査速度Ｓｏにおける関係表を作成してメモリ８に格
納する（ホ）。最後に実試料につき、走査速度Ｓで高速
走査を行い、高周波電圧質量変換表によって求めた質量
Ｍ’に質量Ｍ’と補正値ΔＭとの関係表から求まる補正
値ΔＭ’にＳ／Ｓｏを掛けて補正値ΔＭを算出し、実質
量Ｍ＝Ｍ’＋ΔＭを求めてメモリ９に格納（ヘ）する。
の動作を図２のフローチャートを用いて説明する。まず
標準試料を用い低速質量走査を行って、質量Ｍ１，Ｍ
２，…Ｍｎのイオンを検出し、各イオンのピーク中心検
出時の高周波電圧設定ディジタルデータＤ１，Ｄ２，…
Ｄｎを求めて、高周波電圧質量変換表を作成し、メモリ
８に格納する（イ）。次に同じ標準試料を用いて走査速
度Ｓｏで、高速走査を行い、質量Ｍ１，Ｍ２，…Ｍｎの
各イオンを検出し、各イオンのピーク中心検出時の高周
波電圧設定ディジタルデータＤ１’，Ｄ２’，…Ｄｎ’
を求める（ロ）。次に上記Ｄｉ’（ｉ＝１，２，…ｎ）
から（イ）のステップで作成された変換表を用いて決ま
る質量Ｍｉ’を求め（ハ）、補正値ΔＭｉ＝Ｍｉ−Ｍ
ｉ’を算出し（ニ）、ΔＭ＝ＫＳｏ√（Ｍｉ’）に上記
Ｓｏ，ΔＭｉ’およびＭｉ’を代入してＫを決定し、高
周波電圧質量変換表から求まる質量Ｍｉ’と補正値ΔＭ
ｉ走査速度Ｓｏにおける関係表を作成してメモリ８に格
納する（ホ）。最後に実試料につき、走査速度Ｓで高速
走査を行い、高周波電圧質量変換表によって求めた質量
Ｍ’に質量Ｍ’と補正値ΔＭとの関係表から求まる補正
値ΔＭ’にＳ／Ｓｏを掛けて補正値ΔＭを算出し、実質
量Ｍ＝Ｍ’＋ΔＭを求めてメモリ９に格納（ヘ）する。
【０００９】
【発明の効果】四重極型質量分析計は磁場型質量分析計
で磁場強度を変えて質量走査を行うのに比し、高速走査
ができる利点があるが、本発明によれば高速走査時の表
示質量の誤差が補正されるので、高速走査で正確な質量
分析ができる。高速走査時の質量誤差は質量が大きい程
大きくなるから、高速走査で高質量側の分析を行った
り、広い質量範囲の分析を行う場合に本発明の効果は特
に大きい。
で磁場強度を変えて質量走査を行うのに比し、高速走査
ができる利点があるが、本発明によれば高速走査時の表
示質量の誤差が補正されるので、高速走査で正確な質量
分析ができる。高速走査時の質量誤差は質量が大きい程
大きくなるから、高速走査で高質量側の分析を行った
り、広い質量範囲の分析を行う場合に本発明の効果は特
に大きい。
【図１】本発明方法を実行する装置の一例のブロック図
【図２】上記装置の動作のフローチャート
１ 質量分析部 ２ 試料イオン化部 ３ イオン検出部 ４ 制御用コンピュータ ５，６ Ｄ／Ａ変換器 ７ Ａ／Ｄ変換器 ８ 変換表等を格納しておくメモリ ９ データメモリ
Claims (1)
- 【請求項１】 四重極電極に印加する電圧から求められ
た質量値に対する質量走査速度Ｓにおける補正質量値を
標準試料を用いて求めておき、実試料分析時、四重極電
極印加電圧から求めた質量に上記補正値を用いて補正を
行うことを特徴とする質量分析計方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4158688A JP2616637B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 質量分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4158688A JP2616637B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 質量分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332994A JPH05332994A (ja) | 1993-12-17 |
| JP2616637B2 true JP2616637B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=15677185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4158688A Expired - Lifetime JP2616637B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 質量分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2616637B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4505959B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2010-07-21 | 株式会社島津製作所 | 四重極質量分析装置 |
| US7078686B2 (en) * | 2004-07-23 | 2006-07-18 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus and method for electronically driving a quadrupole mass spectrometer to improve signal performance at fast scan rates |
| JP4636943B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2011-02-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 質量分析装置 |
| JP5556890B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2014-07-23 | 株式会社島津製作所 | 四重極型質量分析装置 |
| JP5370312B2 (ja) * | 2010-08-23 | 2013-12-18 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| JP5454484B2 (ja) * | 2011-01-31 | 2014-03-26 | 株式会社島津製作所 | 三連四重極型質量分析装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207962A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Jeol Ltd | 質量分析計の質量較正方法 |
| JPH0294242A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-04-05 | Shimadzu Corp | 四重極質量分析装置 |
-
1992
- 1992-05-26 JP JP4158688A patent/JP2616637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332994A (ja) | 1993-12-17 |
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| JPH0211977B2 (ja) |
Legal Events
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