JPS5910690Y2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS5910690Y2 JPS5910690Y2 JP11478979U JP11478979U JPS5910690Y2 JP S5910690 Y2 JPS5910690 Y2 JP S5910690Y2 JP 11478979 U JP11478979 U JP 11478979U JP 11478979 U JP11478979 U JP 11478979U JP S5910690 Y2 JPS5910690 Y2 JP S5910690Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- voltage
- power source
- secondary electron
- electron multiplier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は高速走査が可能なようにした質量分析装置に関
する。
する。
ガラスキャピラ力ラムを用いた力゛スクロマトグラフで
はピークの時間幅が秒のオーダであるので、このピーク
を質量分析装置で分析するためには質量分析装置の質量
数走査も秒単位以下の高速走査が必要となる。
はピークの時間幅が秒のオーダであるので、このピーク
を質量分析装置で分析するためには質量分析装置の質量
数走査も秒単位以下の高速走査が必要となる。
質量分析装置で質量数走査を行うには偏向用磁界の強さ
を変える方法とイオン加速電圧を変える方法とがあり、
イオン加速電圧を変える方式の方が高速走査に適してい
る。
を変える方法とイオン加速電圧を変える方法とがあり、
イオン加速電圧を変える方式の方が高速走査に適してい
る。
所で質量分析装置でイオン加速電圧を変えるとイオン検
出感度が変化する。
出感度が変化する。
これは一つにはイオン化室からのイオン引出し効率がイ
オン加速電圧によって変化するため同一濃度の試料であ
ってもイオン検出器に入射するイオンの数が変化するこ
とにより更にはイオン検出器に二次電子増倍管を用いる
と、イオン加速電圧の変化に伴い二次電子増倍管の第１
段ダイノードに入射するイオンのエネルギーが変化する
ためである。
オン加速電圧によって変化するため同一濃度の試料であ
ってもイオン検出器に入射するイオンの数が変化するこ
とにより更にはイオン検出器に二次電子増倍管を用いる
と、イオン加速電圧の変化に伴い二次電子増倍管の第１
段ダイノードに入射するイオンのエネルギーが変化する
ためである。
本考案はイオン加速電圧を変化させた場合の上述したイ
オン検出感度の変動を解消することを目的としている。
オン検出感度の変動を解消することを目的としている。
上述した目的を達或するため本考案は、まずイオン化室
のイオン引出電極に印加する電圧をイオン加速電圧の変
化とは独立に別の電源により与えてイオン化室とイオン
引出電極との間の電位分布を一定に保ちイオン引出し効
率を一定化し、また二次電子増倍管の電位をイオン加速
電圧の変化と同期させて変化させ、二次電子増倍管に入
射するイオンのエネルギーをイオン加速電圧の変化に関
係なく一定となるようにした。
のイオン引出電極に印加する電圧をイオン加速電圧の変
化とは独立に別の電源により与えてイオン化室とイオン
引出電極との間の電位分布を一定に保ちイオン引出し効
率を一定化し、また二次電子増倍管の電位をイオン加速
電圧の変化と同期させて変化させ、二次電子増倍管に入
射するイオンのエネルギーをイオン加速電圧の変化に関
係なく一定となるようにした。
以下実施例によって本考案を説明する。
第１図は本考案の一実施例装置の構或を示す。
１はイオン化室、２はイオン引出電極、３はイオン収束
電極で４は入射スリットである。
電極で４は入射スリットである。
５は偏向用磁石、６は射出スリットである。
入射スリット４、磁石５、射出スリット６はアースされ
スリット４から６に至る質量分散空間の電位は０になっ
ている。
スリット４から６に至る質量分散空間の電位は０になっ
ている。
イオン加速電圧はイオン化室１と入射スリット４間の電
位差によって与えられる。
位差によって与えられる。
９はイオン加速電圧電源でイオン化室に可変電位を印加
して質量数走査を行う。
して質量数走査を行う。
電源９の出力電圧は抵抗で分割されてイオン収速電極３
にも印加されており、イオン化室１から引出されたイオ
ンがスリット４の開口上に収束するようにしてある。
にも印加されており、イオン化室１から引出されたイオ
ンがスリット４の開口上に収束するようにしてある。
１１はイオン化室１とイオン引出電極２との間に一定の
電位差を与える電源で、イオン化室１とイオン引出電極
２の電位は電源９の出力電圧を変化させた場合共に対ア
ース変化をするがイオン化室とイオン引出電極間の電位
差は一定だからイオン引出し効率も一定に保たれる。
電位差を与える電源で、イオン化室１とイオン引出電極
２の電位は電源９の出力電圧を変化させた場合共に対ア
ース変化をするがイオン化室とイオン引出電極間の電位
差は一定だからイオン引出し効率も一定に保たれる。
７はイオン検出用の二次電子増倍管で、射出スノット６
を通過したイオンが入射する。
を通過したイオンが入射する。
１０はダイノード電圧を与える高電圧電源で各段のダイ
ノードには１０の出力電圧を抵抗で分割した電圧が印加
してある。
ノードには１０の出力電圧を抵抗で分割した電圧が印加
してある。
二次電子増倍管７と高圧電源１０を含む全体は補償用電
源１２の負極に接続されており、アース電位に対し負電
位となっている。
源１２の負極に接続されており、アース電位に対し負電
位となっている。
従ってスノット６と二次電子増倍管７との間でイオンは
加速される。
加速される。
補償用電源１２の出力電圧はイオン加速電圧電源９の電
圧変化と連動させて変化せしめられ、イオン加速電圧を
小にしたときはその分だけスリット６と二次電子増倍管
７との間の電位差を大にしてこの間におけるイオン加速
を増加させ、二次電子増倍管７に入射するイオンのエネ
ルギーを常に一定ならしめる。
圧変化と連動させて変化せしめられ、イオン加速電圧を
小にしたときはその分だけスリット６と二次電子増倍管
７との間の電位差を大にしてこの間におけるイオン加速
を増加させ、二次電子増倍管７に入射するイオンのエネ
ルギーを常に一定ならしめる。
今イオンの質量数をＭ、イオン加速電圧を■、イオン偏
向磁界強度をＢ、イオンの軌道半径をｒとし、電子電荷
ｅ，Ｋを定数とすると、 ｒ２．８２ Ｍ／ｅ＝ＫＶ の関係が戒立する。
向磁界強度をＢ、イオンの軌道半径をｒとし、電子電荷
ｅ，Ｋを定数とすると、 ｒ２．８２ Ｍ／ｅ＝ＫＶ の関係が戒立する。
ｒ， Ｂを一定に保ち■即ち第１図の電源９の出力電
圧を４ＫＶ乃至０．５ＫＶの間で変化させたとき、電源
１２の出力を０乃至３．５ＫＶの間で変化させると、二
次電子増倍管７に入射するイオンは４＋０＝４〜０．５
＋３．５＝４で常に４ＫＶである。
圧を４ＫＶ乃至０．５ＫＶの間で変化させたとき、電源
１２の出力を０乃至３．５ＫＶの間で変化させると、二
次電子増倍管７に入射するイオンは４＋０＝４〜０．５
＋３．５＝４で常に４ＫＶである。
第２図は従来装置の回路を示す。
第１図と対応する部分には同じ番号がつけてある。
第１図と比較すれば明らかなように、従来はイオン化室
１とイオン引出電極２との間にはイオン加速電圧電源９
の出力を抵抗で分割した電圧が印加されており、イオン
化室１とイオン引出電極２との間の電位差はイオン加速
電圧によって変動していた。
１とイオン引出電極２との間にはイオン加速電圧電源９
の出力を抵抗で分割した電圧が印加されており、イオン
化室１とイオン引出電極２との間の電位差はイオン加速
電圧によって変動していた。
また二次電子増倍管７の各部に印加される電圧は固定し
ていたから、二次電子増倍管７に入射するイオンのエネ
ルギーはイオン化室１と入射スリット４との間で獲得し
た値に一定値を加えたもので質量数走査に伴い変動して
いた。
ていたから、二次電子増倍管７に入射するイオンのエネ
ルギーはイオン化室１と入射スリット４との間で獲得し
た値に一定値を加えたもので質量数走査に伴い変動して
いた。
本考案によれば電圧走査方式を用いながらイオン引出効
率、二次電子増倍管への入射イオンのエネルギーを一定
に保つように補償したから常に一定感度でイオン検出が
なされ電圧走査方式の高速性と感度一定の特性とが合わ
さって高速高精度の分析が可能となる。
率、二次電子増倍管への入射イオンのエネルギーを一定
に保つように補償したから常に一定感度でイオン検出が
なされ電圧走査方式の高速性と感度一定の特性とが合わ
さって高速高精度の分析が可能となる。
なお従来装置では二次電子増倍管のコレクタはアース電
位にして用いられたが、本考案の場合コレクタ電位も電
源１２の負極電位の上に乗っているので二次電子増倍管
７の出力を増幅する増幅器８には入力絶縁型のものを用
いる必要がある。
位にして用いられたが、本考案の場合コレクタ電位も電
源１２の負極電位の上に乗っているので二次電子増倍管
７の出力を増幅する増幅器８には入力絶縁型のものを用
いる必要がある。
また上記実施例は多段型二次電子増倍管によるものであ
るが、ダイノードが連続しているいわゆるチャンネルト
ロンをイオン検出器に用いても本考案が実施できること
は云うまでもない。
るが、ダイノードが連続しているいわゆるチャンネルト
ロンをイオン検出器に用いても本考案が実施できること
は云うまでもない。
第１図は本考案の一実施例装置の回路図、第２図は従来
例の回路図である。 １・・・イオン化室、２・・・イオン引出電極、４・・
・入射スリット、５・・・偏向磁界用磁石、６・・・射
出スリット、７・・・二次電子増倍管、９・・・イオン
加速電圧電源、１１・・・イオン化室とイオン引出電極
間電位を与える電源、１２・・・補償用電源。
例の回路図である。 １・・・イオン化室、２・・・イオン引出電極、４・・
・入射スリット、５・・・偏向磁界用磁石、６・・・射
出スリット、７・・・二次電子増倍管、９・・・イオン
加速電圧電源、１１・・・イオン化室とイオン引出電極
間電位を与える電源、１２・・・補償用電源。
Claims (1)
- 質量数走査のため可変であるイオン加速電圧電源を有し
、イオン化室とイオン引出し電極間に一定電圧を与える
電源が接続され、イオン射出スリットと二次電子増倍管
との間に上記イオン加速電圧電源と連動して電圧が変化
せしめられる電源が接続されてイオン加速電圧電源の電
圧変化によるイオンエネルギーの変化をイオン射出スリ
ットと二次電子増倍管との間のイオン加速によって補償
するようにした質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11478979U JPS5910690Y2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11478979U JPS5910690Y2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5632369U JPS5632369U (ja) | 1981-03-30 |
| JPS5910690Y2 true JPS5910690Y2 (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=29347031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11478979U Expired JPS5910690Y2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910690Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-08-20 JP JP11478979U patent/JPS5910690Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5632369U (ja) | 1981-03-30 |
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