JPS5848771Y2 - 質量分析装置における共用イオン源 - Google Patents
質量分析装置における共用イオン源Info
- Publication number
- JPS5848771Y2 JPS5848771Y2 JP1980058656U JP5865680U JPS5848771Y2 JP S5848771 Y2 JPS5848771 Y2 JP S5848771Y2 JP 1980058656 U JP1980058656 U JP 1980058656U JP 5865680 U JP5865680 U JP 5865680U JP S5848771 Y2 JPS5848771 Y2 JP S5848771Y2
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- JP
- Japan
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- emitter
- filament
- power source
- ionization
- field desorption
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は質量分析装置のイオン源に関し、特に電子衝撃
によるイオン化と、電界脱離によるイオン化を行い得る
イオン源に関する。
によるイオン化と、電界脱離によるイオン化を行い得る
イオン源に関する。
質量分析装置においては、単一のイオン源で電子衝撃に
よるイオン化と、電界脱離によるイオン化を行い得る共
用イオン源が開発され、広汎に使用されるようになった
。
よるイオン化と、電界脱離によるイオン化を行い得る共
用イオン源が開発され、広汎に使用されるようになった
。
このような共用イオン源はイオン化室チャンバー内に導
入された試料を電子衝撃によってイオン化するための熱
電子を発生するフィラメントと、試料を電界脱離によっ
てイオン化するための電界脱離エミッターとを有してい
る。
入された試料を電子衝撃によってイオン化するための熱
電子を発生するフィラメントと、試料を電界脱離によっ
てイオン化するための電界脱離エミッターとを有してい
る。
電子衝撃イオン化時には該フィラメントには例えば５Ａ
、電界脱離イオン化時には該エミッターに例えば１００
μＡの加熱電流が供給されるが。
、電界脱離イオン化時には該エミッターに例えば１００
μＡの加熱電流が供給されるが。
従来の質量分析装置における共用イオン源においては、
これらフィラメント加熱電源と、エミッター加熱電源と
を別個に備えており、製造コストが高くついた。
これらフィラメント加熱電源と、エミッター加熱電源と
を別個に備えており、製造コストが高くついた。
本考案はこのような従来の欠点に鑑みてなされたもので
、以下図面に基づき本考案を詳述する。
、以下図面に基づき本考案を詳述する。
本考案の一実施例を示す図面において１はイオン化室チ
ャンバーである。
ャンバーである。
該イオン化室チャンバー１内に導入される試料を電子衝
撃によってイオン化するための熱電子フィラメント２と
、電界脱離によってイオン化するための電界脱離エミッ
ター３とが備えられている。
撃によってイオン化するための熱電子フィラメント２と
、電界脱離によってイオン化するための電界脱離エミッ
ター３とが備えられている。
４は加熱電源であり、スイッチ５を点線のように接続す
ることによりフィラメント２が該加熱電源に接続され、
スイッチ５及びスイッチ６を実線のように接続すること
によりエミッター３が加熱電源４に接続される。
ることによりフィラメント２が該加熱電源に接続され、
スイッチ５及びスイッチ６を実線のように接続すること
によりエミッター３が加熱電源４に接続される。
７はフィラメントからの熱電子を受けるためのトラップ
電極であり、該トラップ電極７は直流電源８によってラ
インＬに対して一定電位だけ正に保たれている。
電極であり、該トラップ電極７は直流電源８によってラ
インＬに対して一定電位だけ正に保たれている。
９はトラップ電極に流れる熱電子電流を検出するための
検出抵抗であり、該検出抵抗の一端はラインＬに接続さ
れている。
検出抵抗であり、該検出抵抗の一端はラインＬに接続さ
れている。
１０はエミッター３に流れる電流を検出するための検出
抵抗であり、該抵抗の一端もラインＬに接続されている
。
抵抗であり、該抵抗の一端もラインＬに接続されている
。
これら検出抵抗９及び１０のラインＬに接続されていな
い端子は差動増幅器１１の一方の入力端にスイッチ１２
を介して接続し得るようになっており、スイッチ１２が
実線のように接続されると検出抵抗１０によって検出さ
れた検出信号が、又スイッチ１２が点線のように接続さ
れると検出抵抗９によって検出された検出信号が差動増
幅器１１に供紹される。
い端子は差動増幅器１１の一方の入力端にスイッチ１２
を介して接続し得るようになっており、スイッチ１２が
実線のように接続されると検出抵抗１０によって検出さ
れた検出信号が、又スイッチ１２が点線のように接続さ
れると検出抵抗９によって検出された検出信号が差動増
幅器１１に供紹される。
該動差増幅器１１は光絶縁型のものが使圧されており、
入力側と出力側の電圧差に耐えられる。
入力側と出力側の電圧差に耐えられる。
１３はエミッターに流れる電流が例えば１００μＡ程度
の一定値になるように選ばれた基準信号を発生するエミ
ッター用基準電源であり、１４はフィラメントからトラ
ップ電極７に流れる電子衝撃電流を一定の所定値にする
ためのフィラメント用基準電源である。
の一定値になるように選ばれた基準信号を発生するエミ
ッター用基準電源であり、１４はフィラメントからトラ
ップ電極７に流れる電子衝撃電流を一定の所定値にする
ためのフィラメント用基準電源である。
スイッチ１５を実線のように接続することにより基準電
源１３が差動増幅器１１の他方の入力端に接続され、ス
イッチ１５を点線のように接続することにより基準電源
１４が該増幅器１１の他方の入力端に接続される。
源１３が差動増幅器１１の他方の入力端に接続され、ス
イッチ１５を点線のように接続することにより基準電源
１４が該増幅器１１の他方の入力端に接続される。
１６は加熱電源４に対してフィラメント２又はエミッタ
ー３と直列に接続された操作用トランジスタであり、該
操作用トランジスタ１６のベースには差動増幅器１１の
出力信号が供給される。
ー３と直列に接続された操作用トランジスタであり、該
操作用トランジスタ１６のベースには差動増幅器１１の
出力信号が供給される。
１７はイオン化電源であり、スイッチ６が点線のように
接続されるとフィラメント２は該イオン化電源の正極側
に接続され、チャンバー１に対して正電位に保たれる。
接続されるとフィラメント２は該イオン化電源の正極側
に接続され、チャンバー１に対して正電位に保たれる。
このような構成において、電子衝撃によりイオン化する
場合には、スイッチ５，６，１２．１５を点線のような
接続状態にする。
場合には、スイッチ５，６，１２．１５を点線のような
接続状態にする。
その結果、フィラメント２はチャンバー１に対して正電
位に保たれると共に、加熱電源４より加熱電流が供給さ
れる。
位に保たれると共に、加熱電源４より加熱電流が供給さ
れる。
従ってフィラメント２より熱電子が発生し、該熱電子は
トラップ電極７に向けて飛行する途中で試料をイオン化
する。
トラップ電極７に向けて飛行する途中で試料をイオン化
する。
トラップ電極７によってトラップされる熱電子電流は抵
抗９によって検出され該検出信号が基準電源１４よりの
信号と差動増幅器１１において比較される。
抗９によって検出され該検出信号が基準電源１４よりの
信号と差動増幅器１１において比較される。
従ってフィラメント２に流れる電流は差動増幅器１１よ
りの信号に基づいて該両信号が一致するように制御され
る。
りの信号に基づいて該両信号が一致するように制御され
る。
次に電界脱離によって試料をイオン化する場合には、ス
イッチ５，６，１２．１５を実線のように接続する。
イッチ５，６，１２．１５を実線のように接続する。
その結果、フィラメント２はチャンバー１と同電位に保
たれると共にエミッター３には加熱電源４より加熱電流
が供給される。
たれると共にエミッター３には加熱電源４より加熱電流
が供給される。
エミッター３に流れる電流は検出抵抗１０によって検出
され、設検出信号は差動増幅器１１において基準電源１
３よりの基準信号と比較される。
され、設検出信号は差動増幅器１１において基準電源１
３よりの基準信号と比較される。
該差動増幅器１１よりの出力信号で訃うンジスタ１６の
インピーダンスが制御されるため、エミッター３には前
記加熱電源４よりの１００μＡ程度の一定電流が流れる
。
インピーダンスが制御されるため、エミッター３には前
記加熱電源４よりの１００μＡ程度の一定電流が流れる
。
従って図示外の高圧電源により該エミッター３の先端に
高電界が形成されれば、該エミッターに付着した試料は
電界脱離によりイオン化される。
高電界が形成されれば、該エミッターに付着した試料は
電界脱離によりイオン化される。
上述したように、本考案によれば、フィラメント加熱用
の電源とエミッター加熱用の電源を別個に設けることな
く、単一の電源を設けるだけで済ますことができるため
、製造コストの低置な質量分析装置における共用イオン
源が提供される。
の電源とエミッター加熱用の電源を別個に設けることな
く、単一の電源を設けるだけで済ますことができるため
、製造コストの低置な質量分析装置における共用イオン
源が提供される。
図面は本考案の一実施例を示すためのものである。
１：チャンバー、２：フィラメント、３：エミッター、
４：加熱電源、５，６，１２．１５ ：スイッチ、７：
トラップ電極、８：直流電源、９．１０ ：検出抵抗、
１１：差動増幅器、１３，１４ ：基準電源、１６：ト
ランジスタ、１７：イオン化電源。
４：加熱電源、５，６，１２．１５ ：スイッチ、７：
トラップ電極、８：直流電源、９．１０ ：検出抵抗、
１１：差動増幅器、１３，１４ ：基準電源、１６：ト
ランジスタ、１７：イオン化電源。
Claims (1)
- イオン化室チャンバー内に導入された試料を電子衝撃に
よってイオン化するための熱電子を発生するフィラメン
トと、試料を電界脱離によってイオン化するための電界
脱離エミッターと、電子衝撃により試料をイオン化する
際にチャンバーをフィラメントに対して正の電位に保つ
ためのイオン化電源と、加熱電流供給電源と、前記フィ
ラメント及びエミッターのうちいずれか一方を該加熱電
流供給電源に切換えて接続するための切換手段と、前記
フィラメント及びエミッターに流れる電流を各々検出す
るための第１．第２の検出手段と、該検出手段よりの検
出信号に基づき、該加熱電流供給源よりフィラメントあ
るいはエミッターに供給される電流を、該切換手段の切
換に応じた所定の値に制御するための制御手段とを備え
ることを特徴とする質量分析装置における共用イオン源
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980058656U JPS5848771Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 | 質量分析装置における共用イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980058656U JPS5848771Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 | 質量分析装置における共用イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56159961U JPS56159961U (ja) | 1981-11-28 |
| JPS5848771Y2 true JPS5848771Y2 (ja) | 1983-11-08 |
Family
ID=29653133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980058656U Expired JPS5848771Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 | 質量分析装置における共用イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848771Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324205A (en) * | 1976-08-18 | 1978-03-06 | Nec Corp | Voice reco gnition device |
| JPS566000A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-22 | Mitsubishi Keikinzoku Kogyo Kk | Electrolytic coloring method of aluminum |
-
1980
- 1980-04-28 JP JP1980058656U patent/JPS5848771Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324205A (en) * | 1976-08-18 | 1978-03-06 | Nec Corp | Voice reco gnition device |
| JPS566000A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-22 | Mitsubishi Keikinzoku Kogyo Kk | Electrolytic coloring method of aluminum |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56159961U (ja) | 1981-11-28 |
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