JPS62169458U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62169458U JPS62169458U JP5771786U JP5771786U JPS62169458U JP S62169458 U JPS62169458 U JP S62169458U JP 5771786 U JP5771786 U JP 5771786U JP 5771786 U JP5771786 U JP 5771786U JP S62169458 U JPS62169458 U JP S62169458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- view
- field
- photographing
- adjustment
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案による電子線偏向装置の一実施
例を示す図、第２図は撮影視野と調整用視野との
位置関係を示す図、第３図は撮影手順を示す図で
、同図Ａは視野選択の様子を示す図、同図Ｂは調
整時の様子を示す図、同図Ｃは撮影視野に戻した
状態を示す図である。 １……撮影対象視野、２……調整用視野、３…
…走査コイル、４……第１偏向コイル、５……第
２偏向コイル、６……試料、７，８……増幅器、
９……倍率制御器、１０……スイツチ、１１……
撮影視野の中心ビーム、１１′，１１″……走査
ビーム、１２……調整用視野の中心ビーム、１２
′，１２″……走査ビーム。
例を示す図、第２図は撮影視野と調整用視野との
位置関係を示す図、第３図は撮影手順を示す図で
、同図Ａは視野選択の様子を示す図、同図Ｂは調
整時の様子を示す図、同図Ｃは撮影視野に戻した
状態を示す図である。 １……撮影対象視野、２……調整用視野、３…
…走査コイル、４……第１偏向コイル、５……第
２偏向コイル、６……試料、７，８……増幅器、
９……倍率制御器、１０……スイツチ、１１……
撮影視野の中心ビーム、１１′，１１″……走査
ビーム、１２……調整用視野の中心ビーム、１２
′，１２″……走査ビーム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 視野選択後、非点収差補正、焦点合わせを
調整用視野で行つた後撮影視野に偏向を戻して撮
影を行うための電子線偏向装置であつて、撮影視
野と調整用視野間の視野移動を、撮影視野と調整
用視野の大きさに応じた距離だけ行うことを特徴
とする電子線偏向装置。 (2) 前記視野選択は低倍率で行うことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子線
偏向装置。 (3) 前記調整用視野は撮影視野より小さいこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の電子線偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5771786U JPS62169458U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5771786U JPS62169458U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169458U true JPS62169458U (ja) | 1987-10-27 |
Family
ID=30887672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5771786U Pending JPS62169458U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169458U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139845A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | パタン検査・測定方法 |
| JP2002134048A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2003203594A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料像観察方法 |
| JP2010244740A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Hitachi High-Technologies Corp | レビュー装置、及びレビュー方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727548A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope |
-
1986
- 1986-04-17 JP JP5771786U patent/JPS62169458U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727548A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139845A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | パタン検査・測定方法 |
| JP2002134048A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2003203594A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料像観察方法 |
| JP2010244740A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Hitachi High-Technologies Corp | レビュー装置、及びレビュー方法 |
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