JPH01164658U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01164658U JPH01164658U JP5942188U JP5942188U JPH01164658U JP H01164658 U JPH01164658 U JP H01164658U JP 5942188 U JP5942188 U JP 5942188U JP 5942188 U JP5942188 U JP 5942188U JP H01164658 U JPH01164658 U JP H01164658U
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- JP
- Japan
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- aperture
- objective lens
- electron beam
- sample
- electron
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本案実施例の説明図を示す。
１……電子銃、２……電子線、３……集束レン
ズ、４……対物レンズ、５……試料、６……対物
レンズ絞り、７……絞り汚染防止装置、８，９…
…偏向コイル。
ズ、４……対物レンズ、５……試料、６……対物
レンズ絞り、７……絞り汚染防止装置、８，９…
…偏向コイル。
Claims (1)
- 電子銃と電子線を細く絞るための集束レンズ系
、及び細く絞つた電子線を試料上で走査するため
の偏向系、及び試料に照射する電子線の開口を制
限する対物レンズ絞りから成る装置において、該
対物レンズ絞りの上部（電子銃側）近傍または、
該対物レンズ絞りの上下部近傍に冷却片を配置す
ることを特徴とした走査形電子顕微鏡の絞り汚染
防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5942188U JPH01164658U (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5942188U JPH01164658U (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01164658U true JPH01164658U (ja) | 1989-11-16 |
Family
ID=31285193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5942188U Pending JPH01164658U (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01164658U (ja) |
-
1988
- 1988-05-06 JP JP5942188U patent/JPH01164658U/ja active Pending
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