JPH0464481U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0464481U JPH0464481U JP1990105412U JP10541290U JPH0464481U JP H0464481 U JPH0464481 U JP H0464481U JP 1990105412 U JP1990105412 U JP 1990105412U JP 10541290 U JP10541290 U JP 10541290U JP H0464481 U JPH0464481 U JP H0464481U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical system
- optical
- processing device
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本考案の実施例１の加工光学系の構成
を示す図、第２図は実施例１のパワモニター値差
とレーザ光焦点位置の関係を示す図、第３図は実
施例２の加工光学系の構成を示す図、第４図は実
施例２のパワモニター値とレーザ出力の関係を示
す図である。図において、 １……レーザ発振器、２……凹レンズ、３……
凸レンズ、４……ダイクロイツクミラー、５……
対物レンズ、６……光検出器、７……アパーチヤ
板、１０……コリメータレンズ。
を示す図、第２図は実施例１のパワモニター値差
とレーザ光焦点位置の関係を示す図、第３図は実
施例２の加工光学系の構成を示す図、第４図は実
施例２のパワモニター値とレーザ出力の関係を示
す図である。図において、 １……レーザ発振器、２……凹レンズ、３……
凸レンズ、４……ダイクロイツクミラー、５……
対物レンズ、６……光検出器、７……アパーチヤ
板、１０……コリメータレンズ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ レーザ発振器とレーザ発振器からのレーザ光
を被加工物に集光・照射する光学系とを有する加
工光学系を少くとも備えているレーザ加工装置に
おいて、被加工物に集光・照射するレーザ光の一
部を取り出す光学素子を前記光学系に備え、一定
面積の開口を有するアパーチヤ板を前面に具備し
た光検出器を、前記光学系から取り出されたレー
ザ光の光軸上に、光軸方向に平行移動可能に設け
たことを特徴とするレーザ加工装置。 ２ レーザ発振器と、レーザ発振器からのレーザ
光を被加工物に集光・照射する光学系とを有する
加工光学系を少くとも備えているレーザ加工装置
において、前記光学系は、被加工物に集光・照射
するレーザ光の一部を取り出す光学素子及びレー
ザ光の光軸方向に平行移動可能なコリメータレン
ズを具備し、さらに前記光学素子から取り出され
たレーザ光の光軸上に、一定面積の開口を有する
アパーチヤ板を前面に具備した光検出器を備えて
いることを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990105412U JPH0464481U (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990105412U JPH0464481U (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464481U true JPH0464481U (ja) | 1992-06-02 |
Family
ID=31851087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990105412U Pending JPH0464481U (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464481U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07136782A (ja) * | 1993-05-13 | 1995-05-30 | Russian Technol Group Lp | パルスレーザビームを用いた、透明な材料の内側に像を形成する方法及び装置 |
| JP2000117479A (ja) * | 1999-10-06 | 2000-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ―ザ加工装置および加工方法 |
-
1990
- 1990-10-05 JP JP1990105412U patent/JPH0464481U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07136782A (ja) * | 1993-05-13 | 1995-05-30 | Russian Technol Group Lp | パルスレーザビームを用いた、透明な材料の内側に像を形成する方法及び装置 |
| JP2000117479A (ja) * | 1999-10-06 | 2000-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ―ザ加工装置および加工方法 |