JPH0397608U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0397608U JPH0397608U JP586890U JP586890U JPH0397608U JP H0397608 U JPH0397608 U JP H0397608U JP 586890 U JP586890 U JP 586890U JP 586890 U JP586890 U JP 586890U JP H0397608 U JPH0397608 U JP H0397608U
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- JP
- Japan
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- screen
- light
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- reflected
- test
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- Pending
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は第１図におけるスクリーンの平面図である。 １……レーザ光源、３……ビームスプリツタ、
４……コリメータレンズ、５……基準原器、８…
…被検体、１１……スクリーン、１２……貫通孔
。
図は第１図におけるスクリーンの平面図である。 １……レーザ光源、３……ビームスプリツタ、
４……コリメータレンズ、５……基準原器、８…
…被検体、１１……スクリーン、１２……貫通孔
。
Claims (1)
- レーザ光をビームスプリツタおよびコリメータ
レンズを介して基準原器に照射すると共に当該基
準原器を通して被検体に照射し、前記基準原器の
参照面および前記被検体の被検面からの反射光を
前記コリメータレンズおよび前記ビームスプリツ
タを介して半透明のスクリーンに集光させ、前記
スクリーンに集光した夫々の光点位置を観察する
ことによつて前記基準原器および前記被検体を干
渉縞が発生する状態にセツテイングし、前記基準
原器の参照面からの反射光と前記被検体の被検面
からの反射光との干渉により発生する干渉縞を観
察するレーザ干渉装置において、前記スクリーン
が当該スクリーンに集光した前記反射光を透過す
る小径の光通過孔を有し、前記光通過孔が前記コ
リメータレンズの焦点に一致するように前記スク
リーンを固定配置し、前記基準原器の参照面およ
び前記被検体の被検面からの夫々の反射光を前記
光通過孔に集光させることで前記基準原器および
前記被検体を干渉縞が発生する状態にセツテイン
グすると共に、前記光通過孔を通して前記スクリ
ーンを通過する干渉縞を観察するように構成した
レーザ干渉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP586890U JPH0397608U (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP586890U JPH0397608U (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397608U true JPH0397608U (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=31509558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP586890U Pending JPH0397608U (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397608U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10545016B2 (en) | 2016-08-18 | 2020-01-28 | Nec Corporation | Light measurement device and optical axis adjustment method |
| US11231272B2 (en) | 2017-11-16 | 2022-01-25 | Nec Corporation | Optical measuring apparatus and optical measuring method |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP586890U patent/JPH0397608U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10545016B2 (en) | 2016-08-18 | 2020-01-28 | Nec Corporation | Light measurement device and optical axis adjustment method |
| US11231272B2 (en) | 2017-11-16 | 2022-01-25 | Nec Corporation | Optical measuring apparatus and optical measuring method |