JPS63126812U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63126812U JPS63126812U JP1822487U JP1822487U JPS63126812U JP S63126812 U JPS63126812 U JP S63126812U JP 1822487 U JP1822487 U JP 1822487U JP 1822487 U JP1822487 U JP 1822487U JP S63126812 U JPS63126812 U JP S63126812U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- emitted
- semiconductor laser
- collimating lens
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は本考案に係る光学式変位検出器の一実
施例を示す断面図、第２図は同上実施例に係る光
学式変位検出器の使用態様の例を示す斜視図、第
３図は本考案に係る光学式変位検出器の別の実施
例を示す断面図、第４図は本考案に用いることが
できる光学配置及び信号演算処理回路の例を示す
ブロツク図、第５図は同上演算処理回路の動作を
説明するための線図、第６図は従来の光学式変位
検出器の一例を示すブロツク図、第７図は従来の
光学式変位検出器の別の例を示すブロツク図であ
る。 １０……半導体レーザー、１２……ビームスプ
リツタ、１４……コリメートレンズ、１６……集
光レンズ、１８……非点収差発生手段、２０……
４分割光検知器、５０……被測定物、５０１……
被測定面。
施例を示す断面図、第２図は同上実施例に係る光
学式変位検出器の使用態様の例を示す斜視図、第
３図は本考案に係る光学式変位検出器の別の実施
例を示す断面図、第４図は本考案に用いることが
できる光学配置及び信号演算処理回路の例を示す
ブロツク図、第５図は同上演算処理回路の動作を
説明するための線図、第６図は従来の光学式変位
検出器の一例を示すブロツク図、第７図は従来の
光学式変位検出器の別の例を示すブロツク図であ
る。 １０……半導体レーザー、１２……ビームスプ
リツタ、１４……コリメートレンズ、１６……集
光レンズ、１８……非点収差発生手段、２０……
４分割光検知器、５０……被測定物、５０１……
被測定面。
Claims (1)
- 半導体レーザーと、この半導体レーザーからの
射出光を平行光束に修正するコリメートレンズと
、このコリメートレンズを通つた光束を被測定物
の被測定面上に集光する集光レンズと、上記被測
定面からの反射光を上記射出光と分離するビーム
スプリツタと、上記反射光を電気信号に変換する
４分割光検出器と、上記ビームスプリツタと４分
割光検知器との間に配備され上記４分割光検知器
への入射光に非点収差を生じさせる非点収差発生
手段とを具備してなる光学式変位検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987018224U JPH052807Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987018224U JPH052807Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63126812U true JPS63126812U (ja) | 1988-08-18 |
| JPH052807Y2 JPH052807Y2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=30811702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987018224U Expired - Lifetime JPH052807Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052807Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02216006A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Sony Corp | 非接触厚み分布測定方法 |
| JP2014517262A (ja) * | 2011-04-15 | 2014-07-17 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 予配置型且つ可換型の光学ベンチを有するジンバル式装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139240A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦点検出装置 |
-
1987
- 1987-02-10 JP JP1987018224U patent/JPH052807Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139240A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦点検出装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02216006A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Sony Corp | 非接触厚み分布測定方法 |
| JP2014517262A (ja) * | 2011-04-15 | 2014-07-17 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 予配置型且つ可換型の光学ベンチを有するジンバル式装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052807Y2 (ja) | 1993-01-25 |