JPS62166505U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62166505U JPS62166505U JP5205986U JP5205986U JPS62166505U JP S62166505 U JPS62166505 U JP S62166505U JP 5205986 U JP5205986 U JP 5205986U JP 5205986 U JP5205986 U JP 5205986U JP S62166505 U JPS62166505 U JP S62166505U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- objective lens
- position detector
- positioning device
- eyepiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す模式図、第２図
ａ，ｂは本考案に係る高倍率光学系、低倍率光学
系の実施例を示す説明図、第３図は従来の位置決
め装置の一例を示す斜視図である。 １０……テレビカメラ、１１……画像処理装置
、１２……載物台、１３……部品、１４……対物
レンズ、１５……接眼レンズ、１６……制御回路
。なお各図中、同一符号は同一又は相当部分を示
す。
ａ，ｂは本考案に係る高倍率光学系、低倍率光学
系の実施例を示す説明図、第３図は従来の位置決
め装置の一例を示す斜視図である。 １０……テレビカメラ、１１……画像処理装置
、１２……載物台、１３……部品、１４……対物
レンズ、１５……接眼レンズ、１６……制御回路
。なお各図中、同一符号は同一又は相当部分を示
す。
Claims (1)
- 位置固定された対物レンズ、位置検出器及び前
記対物レンズと位置検出器の間に着脱自在に設け
られた接眼レンズよりなる光学系、３次元的に移
動可能な載物台、及び前記光学系と載物台間の距
離を焦点合せの方向に調整する調整機構とからな
る位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205986U JPS62166505U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205986U JPS62166505U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62166505U true JPS62166505U (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=30876889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5205986U Pending JPS62166505U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62166505U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167651A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Inspecting device for surface of semiconductor wafer |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP5205986U patent/JPS62166505U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167651A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Inspecting device for surface of semiconductor wafer |