JPH01115236U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01115236U JPH01115236U JP965788U JP965788U JPH01115236U JP H01115236 U JPH01115236 U JP H01115236U JP 965788 U JP965788 U JP 965788U JP 965788 U JP965788 U JP 965788U JP H01115236 U JPH01115236 U JP H01115236U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reduction
- exposure apparatus
- projection exposure
- lens
- light source
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第1図は本案の一実施例の概念図、第2図はア
パーチヤー位置に装着するピンホール・パターン
を示す図、第3図は二次元アレイ・センサ上のピ
ンホールの像位置を示す図である。 1……水銀ランプ、2……楕円面鏡、3……多
光束発生部材、4……アパーチヤー、5……コン
デンサ・レンズ群、6……レテイクル、7……縮
小レンズ、8……縮小レンズ入射瞳、9……三角
プリズム、10……2次元アレイ・センサ、11
,12……ピンホール、13,14……ピンホー
ル像、15……演算処理部、16……モニタ。
パーチヤー位置に装着するピンホール・パターン
を示す図、第3図は二次元アレイ・センサ上のピ
ンホールの像位置を示す図である。 1……水銀ランプ、2……楕円面鏡、3……多
光束発生部材、4……アパーチヤー、5……コン
デンサ・レンズ群、6……レテイクル、7……縮
小レンズ、8……縮小レンズ入射瞳、9……三角
プリズム、10……2次元アレイ・センサ、11
,12……ピンホール、13,14……ピンホー
ル像、15……演算処理部、16……モニタ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 二次光源像をコンデンサレンズにより、縮小
レンズ入射瞳面に結像させる照明光学系を有する
縮小投影露光装置において、照明光軸外に、縮小
レンズ入射瞳と等価な位置へ、2次光源像を投影
可能とする手段を設けることにより、縮小レンズ
を塔載したまま、縮小レンズに対する照明光軸の
位置ずれを監視できることを特徴とした縮小投影
露光装置。 2 前記、2次光源像を投影可能な手段として、
2次元アレイセンサで構成されるスクリーンを用
いたことを特徴とした請求の範囲第1項記載の縮
小投影露光装置。 3 前記、2次元アレイセンサの出力を演算処理
し、モニタ上に表示可能な構成としたことを特徴
とした請求の範囲第1項記載の縮小投影露光装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP965788U JPH01115236U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP965788U JPH01115236U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01115236U true JPH01115236U (ja) | 1989-08-03 |
Family
ID=31216591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP965788U Pending JPH01115236U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01115236U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272611A (ja) * | 1988-09-08 | 1990-03-12 | Canon Inc | 露光装置 |
JP2003510638A (ja) * | 1999-09-17 | 2003-03-18 | バージス プリント ゲーエムベーハー | 光を波長分別する装置および方法 |
JP2007059566A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP965788U patent/JPH01115236U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272611A (ja) * | 1988-09-08 | 1990-03-12 | Canon Inc | 露光装置 |
JP2003510638A (ja) * | 1999-09-17 | 2003-03-18 | バージス プリント ゲーエムベーハー | 光を波長分別する装置および方法 |
JP2007059566A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |