JP2007059566A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レチクルステージに載置されたレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンの像を投影する投影光学系とを備える露光装置であって、偏光状態を測定する偏光状態測定手段と、前記レチクルと交換可能に前記レチクルステージに載置され、前記照明光学系からの光を前記偏光状態測定手段に導く光学ユニットと、を有し、前記偏光状態測定手段は、位相子と、偏光素子と、前記位相子および前記偏光素子を介した前記照明光学系からの光を検出するための光検出器と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
従って、ターレットの1つに平面ミラー18eを配置しておけば、実施例5の計測を自動的に行うことが可能となる。
また、像高IP1をユニット光学系100aで計測した結果と、像高IP1をユニット光学系100cで計測した結果を比較する。このような比較を像高IP2、像高IP4及び像高IP5に対しても同様に行い、各像高に対して、ユニット光学系100cを基準とした計測差を制御部60のメモリーに記憶する。そして、例えば、像高IP1をユニット光学系100aで計測した結果から、ユニット光学系100cを基準とした計測差をオフセットとして差し引く。これにより、全像高を同一のユニット光学系100cで計測した場合と同等の効果を得ることが可能となる。
18 照明光学系
20 レチクル
25 レチクルステージ
40 ウェハ
45 ウェハステージ
60 制御部
72 偏光解消素子
74 照度分布均一化素子
76 球面ミラー
82 球面ミラー
84 平面ミラー
100 光学ユニット
101 ピンホール
102 フーリエ変換レンズ
103a及び103b 折り曲げミラー
104 リレー光学系
100A 光学ユニット
105 ハーフミラー
100B 光学ユニット
106 フーリエ変換レンズ
100C 光学ユニット
109 内面反射型ミラー
100D 光学ユニット
130 開口部
200 観察光学系
201 対物レンズ
202 折り曲げミラー
203 レンズ
204 2次元画像検出素子(光検出器)
205 偏光解消素子
240 位相子
260 偏光素子
200A 観察光学系
205 光源
206 折り曲げミラー
207 ハーフミラー
Claims (12)
- レチクルステージに載置されたレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンの像を投影する投影光学系とを備える露光装置であって、
偏光状態を測定する偏光状態測定手段と、
前記レチクルと交換可能に前記レチクルステージに載置され、前記照明光学系からの光を前記偏光状態測定手段に導く光学ユニットと、を有し、
前記偏光状態測定手段は、位相子と、偏光素子と、前記位相子および前記偏光素子を介した前記照明光学系からの光を検出するための光検出器と、を有することを特徴とする露光装置。 - レチクルのパターンの像をウェハステージに載置された被処理体に投影する投影光学系を備える露光装置であって、
偏光状態を測定する偏光状態測定手段と、
前記ウェハステージに配置され、前記投影光学系から射出された光を反射し、前記投影光学系に該光を再び入射させるミラーと、を有し、
前記偏光状態測定手段は、位相子と、偏光素子と、光検出器と、を有し、
前記光検出器は、前記投影光学系、前記ミラー、前記投影光学系、前記位相子および前記偏光素子を順に介した光を検出することを特徴とする露光装置。 - レチクルステージに載置されたレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンの像をウェハステージに載置された被処理体に投影する投影光学系とを備える露光装置であって、
偏光状態を測定する偏光状態測定手段と、
前記レチクルと交換可能に前記レチクルステージに載置される光学ユニットと、
前記ウェハステージに配置され、前記投影光学系から射出された光を反射し、前記投影光学系に該光を再び入射させるミラーと、を有し、
前記偏光状態測定手段は、位相子と、偏光素子と、光検出器と、を有し、
前記光検出器は、前記投影光学系、前記ミラー、前記投影光学系、前記光学ユニット、前記位相子および前記偏光素子を順に介した前記照明光学系からの光を検出することを特徴とする露光装置。 - 前記位相子および前記偏光素子のうちの少なくとも一方は光軸を中心として回転可能に構成され、
前記偏光状態測定手段は、前記位相子と前記偏光素子との相対的な回転角度の異なる少なくとも3つの状態を設定するための設定手段をさらに有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記ミラーは、球面ミラー又は平面ミラーであることを特徴とする請求項2又は3記載の露光装置。
- 前記光学ユニットは、両側がテレセントリックな光学系であることを特徴とする請求項1又は3記載の露光装置。
- 前記偏光状態測定手段は、前記レチクルの位置またはその近傍、前記レチクルの共役位置またはその近傍、前記基板の位置またはその近傍、あるいは前記被処理体の共役位置またはその近傍に位置決め可能なピンホール部材を有し、
前記ピンホール部材のピンホールを通過した光に基づいて前記偏光状態を測定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記投影光学系の開口数は、0.85より大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項記載の露光装置。
- レチクルを照明光学系で照明し、前記レチクルのパターンの像を基板上に投影光学系で投影し、前記基板を露光する露光方法において、
前記レチクルを照明する光の偏光状態を測定する第一の測定ステップと、
前記投影光学系の偏光特性を測定する第二の測定ステップと、
前記第一,第二の測定ステップの測定結果に基づいて、前記パターンの像の結像状態を算出する算出ステップと、を有することを特徴とする露光方法。 - 前記算出ステップの算出結果に基づいて、前記レチクルを照明する光の偏光状態を変化させるステップを更に有することを特徴とする請求項8記載の露光方法。
- 前記投影光学系の開口数は、0.85より大きいことを特徴とする請求項9又は10記載の露光方法。
- 請求項1乃至8のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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