JP2008527756A - 光源コヒーレンスマトリクスの測定方法および装置 - Google Patents
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- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 146
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims abstract description 83
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 74
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 37
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 51
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 4
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000276 deep-ultraviolet lithography Methods 0.000 abstract 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 abstract 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 9
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 5
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 4
- 101150101414 PRP1 gene Proteins 0.000 description 3
- 101100368710 Rattus norvegicus Tacstd2 gene Proteins 0.000 description 3
- 101100342406 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PRS1 gene Proteins 0.000 description 3
- 241000656145 Thyrsites atun Species 0.000 description 3
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 101000577652 Homo sapiens Serine/threonine-protein kinase PRP4 homolog Proteins 0.000 description 2
- 101000577737 Homo sapiens U4/U6 small nuclear ribonucleoprotein Prp4 Proteins 0.000 description 2
- 102100028868 Serine/threonine-protein kinase PRP4 homolog Human genes 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000000711 polarimetry Methods 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001270131 Agaricus moelleri Species 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910021532 Calcite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 241000287828 Gallus gallus Species 0.000 description 1
- 101000629400 Homo sapiens Mesoderm-specific transcript homolog protein Proteins 0.000 description 1
- 101000907912 Homo sapiens Pre-mRNA-splicing factor ATP-dependent RNA helicase DHX16 Proteins 0.000 description 1
- 101000798532 Homo sapiens Transmembrane protein 171 Proteins 0.000 description 1
- 101000610640 Homo sapiens U4/U6 small nuclear ribonucleoprotein Prp3 Proteins 0.000 description 1
- 102100026821 Mesoderm-specific transcript homolog protein Human genes 0.000 description 1
- 102100023390 Pre-mRNA-splicing factor ATP-dependent RNA helicase DHX16 Human genes 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100040374 U4/U6 small nuclear ribonucleoprotein Prp3 Human genes 0.000 description 1
- NREIOERVEJDBJP-KFDLCVIWSA-N [3)-beta-D-ribosyl-(1->1)-D-ribitol-5-P-(O->]3 Chemical compound O[C@@H]1[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1OC[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)COP(O)(=O)O[C@@H]1[C@@H](CO)O[C@@H](OC[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)COP(O)(=O)O[C@@H]2[C@H](O[C@@H](OC[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)COP(O)(O)=O)[C@@H]2O)CO)[C@@H]1O NREIOERVEJDBJP-KFDLCVIWSA-N 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000000671 immersion lithography Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000006210 lotion Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940050561 matrix product Drugs 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008450 motivation Effects 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
- G03F7/70566—Polarisation control
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
- G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
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Abstract
リソグラフのステッパおよびスキャナのための実効光源コヒーレンスマトリクスの角度依存性(nx,ny)および空間依存性(x,y)の両方を分解するための方法および装置を記載している。最初に、その場(in-situ)光源計測機器を、その場(in-situ)偏光素子と組み合わせて、その場(in-situ)光源結像偏光子またはISIP(In-situ Source Imaging Polarizer)を作成する。ISIPは、リソグラフ露光機に搭載され、整列され、適切な記録媒体または記録センサ上で露出される。レジストでコートしたウエハまたは電子センサを備えた記録センサは、多数の異なるフィールドポイントでの画像強度を取り込んむ。得られた測定値は、コンピュータプログラムに入力され、複数のフィールドポイントでの方向余弦の関数として、光源コヒーレンスマトリクスを再構成する。代替のISIP構成は、詳細に検討している。ISIPの応用は、遠紫外線およびEUVのリソグラフ、プロセス最適化、プロセス監視、チップ製造のためのマップ作成を行う偏光光源を含む。
Description
本発明は、一般に、半導体製造分野に関するものであり、特に、ULSIリソグラフで利用される光源の特徴付けに関する。
フォトリソグラフは、デバイスの各層においてエッチングされたり成膜される最終的な特徴物(features)を規定することによって、半導体製造において極めて重要な役割を演ずる。通常、ステッパ(例えば、文献「Bruning et al., "Optical Lithography--Thirty Years and Three Orders of Magnitude", Proc. of SPIE, Vol. 3051, pp. 14-27, 1997」を参照)またはステップ、およびスキャン(例えば、上記文献「"Optical Lithography--Thirty Years and Three Orders of Magnitude"」を参照)の種々の典型的なものなどの投影結像装置は、幅広い構成に渡って可変である実効光源を使用している。
図1は、ステッパまたはスキャナで見られるような、典型的な投影結像システムのブロック図を示す。実効光源ESは、レチクル(reticle)への入射光を発生して整形する責務がある。それは、光源LS(典型的には、エキシマレーザ)と、レチクルRへの入射する、空間的かつ角度的に均一な光を生成するビーム整形光学系(IIOとOIO)の2つのブロックとを備える。
空間均一性の要件は簡単であり、それはレチクルRを交差して一定でなければならない。角度均一性は、放射の角度スペクトル(dE/do(nxr,nyr))が、全てのフィールドポイント(例えば、R上のx,y横断位置)で同一であることを意味する。
図2aは、典型的な光源(環状四重極(quadrupole))の角度分布(図示する方向余弦座標nx,ny)を平面図で示す。光源内での光の正確な角度分布、放射強度またはdE/do(nx,ny)(立体角当りのエネルギー)は、その場(in-situ)方法によって測定可能ある。例えば、米国特許第6356345号、上記参照、発明者McArthur et al.、名称"In-Situ Source Metrology Instrument and Method of Use"、米国特許第6741338号、2004年5月25日、発明者Smith et al.、名称"Apparatus and Method for High Resolution In-Situ Illumination Source Measurement in Projection Imaging Systems"、米国特許公開US20050231705号、2005年10月20日、を参照のこと。
フォトリソグラフは、k1値を、周知のレイリー解像限界(k1=0.5)より下回るようにしているため、とりわけ偏光光源である画像強調技術は、極めて重要である(例えば、文献「Sheppard et al., "Annular pupils, radial polarization, and superresolution", Applied Optics, Vol. 43, No. 22, pp. 4322-4327, August 1, 2004」を参照)。図2aでの実効光源は、解像度の増強のために偏光している。
ポールP2,P4は、X方向(これらのポールにおいて矢印方向で示す)の直線偏光光からなり、一方、ポールP1,P3は、Y方向に偏光している。低いk1の半導体応用について、実効光源の偏光状態はリソグラフ性能にとって極めて重要である。光学系の開口数が、〜0.7より増加するにつれて、XとY(pとs)の偏光状態に関する結像コントラストが劇的に相違するためである(例えば、文献「Smith et al., "Challenges in high NA, polarization, and photoresists", Proc. of SPIE, Vol. 4691-2, pp. 11-24, 2002」を参照)。
従って、投影機における実効光源の偏光状態を測定できる技術を有することが望まれている。
(露光光源、一般説明)
一般に、エキシマレーザまたはフィルタ付き水銀光源から出射する光は、典型的には、露光波長、バンド幅および偏光の観点で記述される。例えば、248nmエキシマレーザは、0.1pmに近いFWHMバンド幅(full wave half maximum)を有し、応用に応じて、幾つかの異なる偏光状態をとり得る。
一般に、エキシマレーザまたはフィルタ付き水銀光源から出射する光は、典型的には、露光波長、バンド幅および偏光の観点で記述される。例えば、248nmエキシマレーザは、0.1pmに近いFWHMバンド幅(full wave half maximum)を有し、応用に応じて、幾つかの異なる偏光状態をとり得る。
レーザ(またはアークランプ)に続いて、露光光は再び修正され(偏光化または非偏光化)、特注の照明器を用いた結像のために整形される。上述したように、産業は急速に偏光光源の構成を利用しているにも関わらず、多くの応用において、レチクルに衝突する光の偏光は、非偏光である。
しかしながら、レーザビーム(またはフィルタ)は決して単色はなく、光学系でのビームの種々の相互作用に起因して、何れの光源の偏光状態も決して完全ではなく、偏光光と非偏光光の混合を常に含んでいる。非偏光化とは、異なる偏光状態の急速に変化する連続を伴う波の重ね合わせとして表現できる成分を意味する。
(偏光光)
ここでは主に、偏光および非偏光の露光光源の両方に関心を持つことになる。偏光(または非偏光)の光は、4個のストークスパラメータS0,S1,S2,S3(例えば、文献「Born et al., "Principles of Optics, Coherence Matrix and Stokes Parameters", Principles of Optics, 7th (expanded) Edition, pp. 619-632, 1999」を参照)、または等価には、その2×2の偏光マトリクス(例えば、上記文献「"Principles of Optics, Coherence Matrix and Stokes Parameters"」を参照)(時々、コヒーレンスマトリクスと称される)Pijによって完全に特徴付けられる。
ここでは主に、偏光および非偏光の露光光源の両方に関心を持つことになる。偏光(または非偏光)の光は、4個のストークスパラメータS0,S1,S2,S3(例えば、文献「Born et al., "Principles of Optics, Coherence Matrix and Stokes Parameters", Principles of Optics, 7th (expanded) Edition, pp. 619-632, 1999」を参照)、または等価には、その2×2の偏光マトリクス(例えば、上記文献「"Principles of Optics, Coherence Matrix and Stokes Parameters"」を参照)(時々、コヒーレンスマトリクスと称される)Pijによって完全に特徴付けられる。
ここで、Eiは時間変動電界成分であり、<>は時間平均化を示し、conjg()は複素共役化を示す。Pは、4つの成分を有し、ここでは4つのベクトルとして利用している。
ここで、Re/Imは、実数部と虚数部を示す。我々の装置では、入射状態を偏光化したり他に変化させるために、種々のコンポーネントを採用している。これらのコンポーネントの物理的な偏光動作は、ジョーンズマトリクスを用いてほぼ正確に表現される(例えば、文献「Hecht, "Polarization", Optics, Third Edition, Chapter 8, pp. 319-376, 1998」を参照)。
本発明をより理解するために、偏光の数学的表現に関する概念および表記法、そして有形の物体(レンズ、光学系)との電場相互作用を再検討することが有用である(例えば、上記文献「"Principles of Optics, Coherence Matrix and Stokes Parameters"」と上記文献「"Polarization"」を参照)。
横電界は、式(3)によって定義できる。
偏光素子の効果は、ej→e’jに変化させることである。
ここで、Jkjは、2×2のジョーンズマトリクスである。
連続した偏光素子の効果は、下記のようなジョーンズマトリクスの乗算によって説明される。
式(5)は、図2bに図解的に示しており、偏光ベクトルeを持つ光が、最初に、ジョーンズマトリクスJ1を持つ光学素子1に入射し、そして、ジョーンズマトリクスJ2を持つ光学素子2に入射すると、最終システムの素子1と素子2の結果は、ジョーンズマトリクスJ3=J2*J1、即ち、J2とJ1のマトリクス積で表される。
測定可能な量は強度であり、光の色の関与分νc+Δν(νc=中心または公称の周波数)は下記のようになる。
周波数に関して積分して、測定した強度は、下記のようになる。
ここで、
ここで、tは、複素共役化、転置またはエルミート共役マトリクスを示す。
強度(I)は、下記のように表される。
Iを、JSおよびPから独立した成分に関して書き換えると、下記の式が得られる
ここで、a=1:nで、n個の異なる素子の配置を用いて光の強度測定値を分離すると、マトリクス形式で記述された最終結果は、下記のようになる。
IDの要素は、ミュラーマトリクスの列に関連し得る(例えば、文献「Azzam et al., "Propagation of Polarized Light", Elsevier Science B.V., ISBN 0 444 870164, 1999」を参照)。追加の公式は、例えば、文献「"Propagation of Polarized Light", supra: Propagation of Polarized Light, R. Azzam, chapters 2 and 3」で見ることができる。
(その場(in-situ)光源計測学)
本発明の実践で使用する技術は、その場(in-situ)光源計測学である(例えば、上記米国特許第6356345号、上記米国特許第6741338号、上記文献「"Apparatus and Method for High Resolution In-Situ Illumination Source Measurement in Projection Imaging Systems"」を参照)。これは、入射光方向の関数(P=P(nx,ny))として、偏光マトリクスPを復元するために必要になる。
本発明の実践で使用する技術は、その場(in-situ)光源計測学である(例えば、上記米国特許第6356345号、上記米国特許第6741338号、上記文献「"Apparatus and Method for High Resolution In-Situ Illumination Source Measurement in Projection Imaging Systems"」を参照)。これは、入射光方向の関数(P=P(nx,ny))として、偏光マトリクスPを復元するために必要になる。
図1を参照して、それは、一般には、レチクルRを、ピンホールカメラアレイ(例えば、上記米国特許第6356345号、上記米国特許第6741338号を参照)(ピンホールは、レチクル面の上方または下方にある)、あるいは、その場(in-situ)光源結像対物光学系(例えば、上記文献「"Apparatus and Method for High Resolution In-Situ Illumination Source Measurement in Projection Imaging Systems"」を参照)を備えたペリクルPEで置換することからなる。
これらの3つの配置は、図3においてISMI1(レチクル裏面ピンホール)、ISMI2(ペリクル面ピンホール)、ISMI3(その場(in-situ)光源結像対物光学系)として示している。他の構成(不図示)は、屈折系において、レチクル(ブランク屈折レチクル)の前または後に配置された透過ピンホールアレイとして作動する。
以下では、その場(in-situ)光源計測機器(ISMI)は、偏光素子との組合せにより一体化配置にしている。
(偏光解析法)
偏光光を用いて、薄膜、表面および材料の微細構造の光学的かつ固体状態の特性を特徴付けるための1つの普通の技術は、偏光解析法(ellipsometry)である。
偏光光を用いて、薄膜、表面および材料の微細構造の光学的かつ固体状態の特性を特徴付けるための1つの普通の技術は、偏光解析法(ellipsometry)である。
基本原理(および装置)について、図4aを参照してかなりやさしく説明する。これは、典型的なPCSA(偏光子(Polarizer)、補償器(Compensator)、サンプル(Sample)、解析器(Analyzer))システムを示している。より詳細な説明は、例えば、上記文献「"Propagation of Polarized Light"」において参照できる。
最初に、到来する検査光(L−図4a)の偏光状態は、典型的には既知であり、必要ならば、偏光子(P)および補償器(C)の使用により調整可能である。そして、入力光(L)は、対象となる材料(S−図4a)から反射(または、それを透過)する。サンプル界面との光(L)の相互作用は、入力において直線偏光から楕円偏光へ偏光(位相および振幅での可能な変化を含む)の変化を生じさせる(偏光に関する上記説明を参照)。
偏光の変化または偏光の楕円での変化は、解析器および検出器(図4a中のA,D)のシステムを用いて、サンプルから反射した光を解析することによって、測定される。
一般に、偏光解析法は、2つの値、Ψ(Psi)とΔ(Delta)を測定する。これは、サンプルまたは光学系との相互作用に関する偏光の変化を記述する。屈折系については、これら2つの値は、p偏光およびs偏光についてのフレネル反射係数Rp,Rsと関連する。
膜厚、光学定数、屈折率などの材料特性は、種々の材料モデル(例えば、振動子(oscillator)モデル)およびアルゴリズムを用いて、ΨとΔの測定値を用いることによって見つけられ、サンプルとの光の相互作用(偏光の変化)を記述した自明でない連立方程式を生成する。
(偏光分析)
偏光解析法は、バルク半導体材料、厚膜、薄膜、上述のような光学素子の光学特性を測定するために広く使用されているが、それは、電磁ベクトル波の偏光状態を測定できる技術として、より一般に定義されており(例えば、上記文献「"Propagation of Polarized Light"」を参照)、偏光分析(polarimetry)としても知られている。
偏光解析法は、バルク半導体材料、厚膜、薄膜、上述のような光学素子の光学特性を測定するために広く使用されているが、それは、電磁ベクトル波の偏光状態を測定できる技術として、より一般に定義されており(例えば、上記文献「"Propagation of Polarized Light"」を参照)、偏光分析(polarimetry)としても知られている。
我々の現議論では、図4bに示した新規な偏光解析法/偏光分析の構成(図4aと比較して)に関心がある。我々の現仕事は、偏光素子グループ(既知および可能性ある未知の特性を持つPEG(polarizing element groups))、レチクルカメラ(C)、および既知の偏光および透過の特性を備えた光学系(O)(例えば、ジョーンズ瞳)の配置を用いて、多くの異なるフィールドポイントについて、入力光源(L)の偏光状態を測定するための方法を説明することである。
言い換えれば、我々は、レチクルおよび光学系(PIO−可能なら偏光性のもの)を通過した後、方向余弦の関数として、入力光源(L)の偏光状態を測定する能力を備えた、その場(in-situ)フォトリソグラフ偏光分析のための方法および装置を説明するものである。
本発明の方法は、フロー図(図4c)に図示しており、ここで説明したシンボルに関して、図4aおよび図4bと容易に比較できる。
位相シフトマスクの使用や時間を要する較正を必要とせずに、横方向の空間成分(x,y)および角度成分(nx,ny)の両方に分解された偏光マトリクス(P=P(nx,ny;x,y))を提供できる、投影結像装置におけるレチクルに入射する光の実際の偏光状態を測定するための技術を有することが要望されている。即ち、光源偏光マトリクスを測定するために、改善した方法および装置がこの分野で必要性がある。
投影結像システムでの光源の偏光状態を測定するための技術および装置を説明する。一実施形態は、少なくとも1つの、その場(in-situ)偏光素子グループを記録媒体上に露出することと、露出した偏光グループ内のサブコンポーネントでの強度を測定することと、光源の偏光マトリクスを再構築することとを含む。
そして、少なくとも1つの、その場(in-situ)偏光素子グループは、その場(in-situ)光源結像偏光子の中に含めることができる。その場(in-situ)光源結像偏光子は、レチクルをさらに含むことができる。その場(in-situ)光源結像偏光子は、その場(in-situ)光源計測機器をさらに含むことができる。
記録媒体は、基板上に設けることができる。記録媒体は、電子センサとすることができる。
その場(in-situ)光源計測機器は、その場(in-situ)偏光素子と組み合せて、実効光源コヒーレンスマトリクスの角度依存性(nx,ny)および空間依存性(x,y)の両方を分解することができる装置を作成する。
レジストコート付きウエハまたは電子センサを備えた記録センサは、不連続のフィールドポイントでの画像強度を取り込む。次に、これらの測定値は、コヒーレンスマトリクスを光源角度および光源位置の関数として再構築するコンピュータプログラムに入力される。
本発明に関する原動力は、より小さな半導体特徴物のサイズ/ピッチ(低いk1処理)に向けた連続的な後押しから由来する。これらの困難なピッチおよび特徴物の要求は、半導体製造者およびリソグラフ装置設計者(ステッパおよびスキャナの製造者)に対して、改善した結像および高い回路歩留まりのための液浸リソグラフ(高いNA)および特注光源設計(二重極/四重極の偏光)の両方を導入させた。
偏光および液浸の技術は、本来、光学の世界では新しいものでないが、半導体製造者によるこれらの導入および使用は、ULSI製造の困難な挑戦を作出した。低いk1および高いNAのリソグラフについての処理ウインドウが極めて小さいためである。
高いNAの製造の挑戦は、1)高いNAシステムのためのTM(p,X)偏光光に関する理解およびコントラスト損失の管理(即ち、干渉する電磁波は、z方向の電界成分を有し、簡単な近軸近似でモデル化できない。)、2)偏光依存性の収差(ジョーンズ瞳)、3)マスクの偏光、4)薄膜干渉(例えば、上記文献「"Challenges in high NA, polarization, and photoresists"」を参照)、を含む。
これら製造問題の全ては、露光光源の偏光に関連しているため、露光光源および照明器の完全性を測定して監視する能力は、適切なリソグラフの歩留まりを持つ処理を作成することに重大になる。
最後に、より重要なことに、工場床上で光源の偏光状態を迅速かつ正確に測定できる、工場(半導体製造工場)での機器が極めて少ないため(日常の処理運転を妨げたり、時間を要する光学系の調整を行うことなく)、その場(in-situ)偏光モニタへの必要性がより重要になるであろう。
本発明の他の特徴および利点は、本発明の態様を例として説明している例示的な実施形態の下記説明から明らかとなろう
投影結像システムでの光源の偏光状態を測定するための一実施形態によれば、少なくとも1つの、その場(in-situ)偏光素子グループが記録媒体に露出される。次に、露出した偏光グループ内のサブコンポーネントでの強度が測定される。続いて、光源の偏光マトリクスを再構築する。そして、少なくとも1つの、その場(in-situ)偏光素子グループは、その場(in-situ)光源結像偏光子の中に含めることができる。その場(in-situ)光源結像偏光子は、レチクルをさらに含むことができる。その場(in-situ)光源結像偏光子は、その場(in-situ)光源計測機器をさらに含むことができる。
記録媒体は、基板上に設けることができる。記録媒体は、電子センサとすることができる。
他の実施形態において、投影結像装置の偏光状態を測定するための装置は、その場(in-situ)光源計測機器と、少なくとも1つの偏光素子を備えた、その場(in-situ)偏光素子グループとを含む。その場(in-situ)光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルを含むことができ、第2面には、コーティング中に少なくとも1つの開口を備えたクロムコーティングが存在する。
その場(in-situ)光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルを含むことができ、第1面には、コーティング中に少なくとも1つの開口を備えたコーティングが存在するものであり、そして、少なくとも1つの開口を備えたアパーチャ板を含むことができる。アパーチャ板は、第1レチクル面から離れて(offset)おり、アパーチャ板での開口は、コーティング中の少なくとも1つの開口と対応している。
さらに、その場(in-situ)光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルと、レチクルの第2面に近接した少なくとも1つのレンズと、レチクルの第2面の上方に搭載されたアパーチャ板とを含むことができ、アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、少なくとも1つのレンズと対応している。
さらに他の実施形態において、その場(in-situ)光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルと、第1および第2の反射プリズムと、第1および第2の反射プリズムの間で、レチクルの第2面の上に水平に搭載された光源アパーチャ絞り(stop)とを含むことができる。
他の実施形態において、その場(in-situ)光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルと、レチクルの第1面に近接した少なくとも1つのレンズと、レチクルの第2面の上方に搭載されたアパーチャ板とを含み、アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、少なくとも1つのレンズと対応しており、アパーチャ板での開口の像が無限遠にある。
偏光素子グループは、複数のフィールドポイントで、レチクルを横断してリニアに配置された少なくとも2つの偏光素子を含んでもよい。さらに、偏光素子グループは、その場(in-situ)光源計測機器の第1面を横断して2次元アレイに再製作され配置されて、対象となるリソグラフフィールド全体をカバーするようにしてもよい。
さらに、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含むことができ、第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している。
さらに、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、3つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している。
他の例において、偏光素子グループは、4つの偏光素子と、1つの非偏光素子とを含んでもよく、該素子は、レチクルの第2面に搭載され、第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列しており、非偏光素子は、レチクルのアパーチャ板において追加の開口を備える。
他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された2つの素子を含んでもよく、第1素子は、偏光性であって、90度シート偏光子を備え、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して整列しており、第2素子は、レチクルのアパーチャ板における追加の孔によって代表される。
他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの素子を含んでもよく、第1素子は、偏光性であって、90度シート偏光子を備え、第2素子は0度シート偏光子であり、第1素子および第2素子の両方はレチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列しており、第3素子は、レチクルのアパーチャ板における追加の孔によって代表される。
さらに他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含んでもよく、第1素子は、偏光性であって、45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、第2素子は45度シート偏光子であり、第3素子は90度シート偏光子であり、各偏光素子は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している。
偏光素子グループはまた、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している。
他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している。
さらに他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、上記レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している。
さらに他の例において、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は、第1の45度シート偏光子に近接して搭載された1/4波長板を備え、該45度シート偏光子はアパーチャ絞りの第1面に近接して搭載されており、第2偏光素子は、アパーチャ絞りの第2面に近接して搭載された第2の45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は、第2の45度シート偏光子に近接して搭載された90度シート偏光子を備え、第4偏光素子は、レチクルでの開口に近接して搭載された0度シート偏光子を備える。
偏光素子グループは、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は、45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は、45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、対応するアパーチャおよびレンズに対して位置決めされ整列している。
他の例において、偏光素子グループは、アパーチャ板での開口に近接して、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は、45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は、45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、アパーチャ板での対応する孔、およびレチクルの第1面に搭載された少なくとも1つのレンズの両方に対して、位置決めされ整列している。
その場(in-situ)光源計測機器は、第1面および第2面を備えたレチクルと、第2面に、コーティング中に少なくとも1つの開口を備えたクロムコーティングと、レチクルの第1面に、レチクルの第2面でのコーティング中の開口の像を無限遠に形成するように構成された回折光学素子とをさらに含んでもよい。
該機器は、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含む偏光素子グループをさらに含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、4つの偏光素子の各々は、レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している。
さらに、偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含んでもよく、第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、3つの偏光素子の各々は、レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している。
さらに、個々の偏光素子を出た光の偏光状態は、固定量だけ増加または減少する。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された2つの45度偏光ビーム分岐素子を含み、第1偏光ビーム分岐素子は、光源を2つの直交する偏光成分に分割し、一方の成分は、第2ビーム分岐素子に対して水平に通過するものであり、各偏光素子は、アパーチャ板での対応する開口に対して整列しており、偏光した光はその孔を通過する。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された、非45度偏光ビーム分岐素子を含み、該偏光ビーム分岐素子は、光源を2つの直交する偏光成分に分割し、その一方はアパーチャ板での対応する孔を通過する。
さらに、少なくとも1つの1/4波長板は、2つの偏光ビームスプリッタを備えた偏光素子とともに含まれてもよく、1/4波長板は、第1偏光ビームスプリッタの上面に近接して、あるいはレチクルの第1面の上で第1ビームスプリッタの下方に、あるいは第1ビームスプリッタに近接して水平に、あるいは第2ビームスプリッタの下方に、あるいはレチクルの第1面の上で第2ビームスプリッタの下方になるように、レチクルに搭載される。
他の例において、少なくとも1つの1/4波長板は、2つの偏光ビームスプリッタを備えた偏光素子とともに含まれてもよく、1/4波長板は、ビームスプリッタの下方でレチクルの第1面または第2面の上に搭載される。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、ガリレオ拡大望遠鏡と、1/4波長板とを含んでもよく、該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、ガリレオ望遠鏡は1/4波長板に近接して搭載され、偏光ビームスプリッタはガリレオ望遠鏡に近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、異なる直径の2つのボールレンズと、1/4波長板とを含んでもよく、該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、2つの異なる直径のボールレンズは1/4波長板に近接し、その後に搭載される。偏光ビームスプリッタは、ボールレンズに近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している。偏光素子は、1/4波長板を含まない、ガリレオ望遠鏡またはボールレンズでもよい。さらに、ガリレオ拡大望遠鏡は、レチクルの第2面において偏光反射プリズムの間に配置してもよい。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された2つの偏光反射プリズムを含んでもよく、1/4波長板は、2つの偏光反射プリズムの間に配置される。
他の例において、偏光反射プリズムは、ワイヤ格子(grid)反射偏光子で置き換えてもよい。さらに、偏光素子グループは、レチクルの面に搭載された、少なくとも2つの偏光反射プリズムを含んでもよく、1/4波長板は、何れか2つの偏光反射プリズムの間に配置される。偏光素子は、ワイヤ格子偏光子でもよい。
他の実施形態において、偏光素子グループは、シリコン基板上に成膜されたワイヤ格子偏光子を用いて、反射モードで動作してもよい。ワイヤ格子偏光子は、反射防止コーティングを含んでもよくまたはコート無しでもよい。
その場(in-situ)光源計測機器は、少なくとも2つのEUV反射性の面および板をさらに含んでもよく、EUV光は、第1偏光面から第2偏光面へ反射し、そして、アパーチャ板での孔を通過するようにしており、ここでは反射が光を偏光させる。反射面は、多層EUV反射器であってもよい。
他の実施形態において、偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、複屈折偏光子と、2つの反射プリズムと、1/4波長板とを含む光学素子を備え、該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、複屈折偏光子は1/4波長板に近接して搭載され、第2反射プリズムは、複屈折偏光子の後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している。
さらに、ガリレオ拡大望遠鏡は、複屈折偏光子を備える偏光素子グループの第1反射プリズムに近接して、その後に位置決めしてもよい。
複屈折偏光子は、ロションプリズム、グラン−テーラープリズム、グラン−レーザープリズム、ウラストンプリズム、グラン−トムソンプリズム、ブルースター角プリズム、ニコルプリズム、グラン−フーコープリズム、またはビーム分岐グラン−トムソンプリズムであってもよい。
さらに他の実施形態において、その場(in-situ)偏光素子グループは、入力照明器と出力照明器の間に配置された偏光子を含んでもよい。他の例において、その場(in-situ)偏光素子グループは、既知の偏光状態を持つ光源を含んでもよい。
上述したように、低いk1のリソグラフに向けた原動力は、最新のULSI応用に用いられるステッパシステムおよびスキャナシステムの両方のための特注の偏光露光機構の使用を保証する。さらに、各フォトリソグラフ露光装置会社は、独自の照明器設計を備えた装置を生産することから、偏光機構はまったく変化して、特注の光源検査方法論を必要とする。
図4cは、投影結像装置のその場(in-situ)偏光解析法/偏光分析のためのプロセスを示す。
(第1実施形態)
図5(a)と図5(b)は、投影結像装置内での装置およびその配置の概要を示している。図5(a)において、その場(in-situ)結像偏光子(ISIP)は、レチクルステージの上に配置され、標準レチクルであるようにして露出される。ISIPは、装置のレチクルペリクル外装の内部に適合して、その搭載は特別な環境を必要としない。
図5(a)と図5(b)は、投影結像装置内での装置およびその配置の概要を示している。図5(a)において、その場(in-situ)結像偏光子(ISIP)は、レチクルステージの上に配置され、標準レチクルであるようにして露出される。ISIPは、装置のレチクルペリクル外装の内部に適合して、その搭載は特別な環境を必要としない。
図5(b)は、ISIPの1/4波長/シート偏光部分の断面の詳細を示す。光線R1,R2は、実効光源ESから投射され、1/4波長板QW、シート偏光子SP、そしてレチクルRを通過する。ピンホール開口PHを備えたアパーチャ板APは、光線角度をレチクル上の位置としてコード化する(例えば、文献「Smith et al., "Apparatus Method of Measurement and Method of Data Analysis for Correction of Optical System"」、米国特許第5978085号、1999年11月2日、および上記米国特許第6741338号、を参照)。そして、光は、投影結像光学系PIOを通過してウエハWに達する。
(その場(in-situ)偏光子の設置、その場(in-situ)光源計測機器の設置)
種々の数の偏光状態を得るために、典型的には、偏光素子の4つ又はそれ以上の組合せが連携して、単一の偏光素子グループ(PEG)になる。光学素子の組合せを用いて、ストークスまたはジョーンズパラメータを抽出する数学的記述が、ウォルフ(E. Wolf)による研究で上手くを説明されている(例えば、文献「Mandel et al., "Optical Coherence and Quantum Optics", Cambridge University Press, p. 345, 1995」を参照)。そこでは、典型的には6つの素子が用いられているが、4つで充分である。
種々の数の偏光状態を得るために、典型的には、偏光素子の4つ又はそれ以上の組合せが連携して、単一の偏光素子グループ(PEG)になる。光学素子の組合せを用いて、ストークスまたはジョーンズパラメータを抽出する数学的記述が、ウォルフ(E. Wolf)による研究で上手くを説明されている(例えば、文献「Mandel et al., "Optical Coherence and Quantum Optics", Cambridge University Press, p. 345, 1995」を参照)。そこでは、典型的には6つの素子が用いられているが、4つで充分である。
図6は、ISIPの単一のフィールドポイント(レチクルRの単一の横方向y,y領域)での偏光素子グループの平面図および3つの側面図を示す。図6に示すように、偏光素子グループの3つの側面図は、ISIPの単一のフィールドポイントでNA=0.95でM=4の幾何である。
図6において、片矢印は、シート偏光子の偏光軸を示し、平面図での線分は、1/4波長板の速軸(fast axis)方向を示し、円は、アパーチャ板でのピンホールの場所を示す。素子のサイズ合わせにより、この装置は、Nas=0.94/4〜0.24〜14度の円錐角のレチクル側での実効光源の開口数に達することが可能になる。
平面図において、片矢印は、シート偏光子SPの偏光方向を示し、直線線分は、1/4波長板QWの速軸方向を示し、円は、レチクル面より下方に配置されたアパーチャ板APでのピンホールPHの場所である。
レチクルRは、約3.81mm厚であり、組み合わせた偏光子/1/4波長板の積層は≦2.5mm厚である。アパーチャ板APの遠隔(standoff)およびピンホールPHのサイズは、例えば、文献「McArthur et al., "In-Situ Source Metrology Instrument and Method of Use"」、米国特許第6356345号、2002年3月12日、および上記米国特許第6741338号を見れば記載されているように、zap〜4.9mmで、Dph〜0.12mmである。図6での側面図は、シート偏光子SPの偏光方向を詳細に説明している。
最後に、光源偏光の再構築のために、各素子の絶対的な偏光状態よりもPEG素子間の偏光の差に関心があるため、PEG素子の順番(配置)および各素子の偏光方向はともに変更可能であることを、ここおよび請求項で説明している。後述のように、他の多くの組合せが可能である。
半導体リソグラフにおける投影結像装置は、典型的には、単一のエキシマ波長またはHgランプの狭いバンド内で動作するため、1/4波長板QWは、多次数の波長板(例えば、波長の整数倍+1/4波長によって直交偏光の相対位相を遅延される)とすることができ、これは、典型的には、λ=157nmおよび193nmで使用するために、水晶(SiO2結晶)または、必要ならばフッ化マグネシウムで構成される。
他の適切な一軸性結晶も使用可能である(例えば、a−BBO)。結晶性の波長板は、広い入力角領域(>20°)に渡って動作し、薄く(<1mm)かつ小さい横サイズのものにできる。
透過型波長版の理論は、例えば、文献「"Quarter Waveplate references, theory", CVI Laser Optics and Coatings; Polarization Tutorial, pp. 204-206」において説明されている。一方、商業的に入手可能な例は、例えば、文献「"Quarter Waveplate references, devices", ThorLabs, Inc., p. 299」において示されている。
シート偏光子Spは、典型的には、合成二色性材料であり、これらは1つの特定の方向に偏光した光を強く吸収するが、垂直な偏光をほぼ通過させる。これらは、典型的には、広い入力角動作領域(>20°の円錐角)を有する。動作原理は、例えば、上記文献「"Quarter Waveplate references, devices"」において説明されている。本発明の実践のため、我々は、≧50:1の偏光の消光比(最大偏光の透過/最小偏光の透過)を必要とするが、より大きな消光比がおそらく利用可能であり、偏光状態のより正確な評価が可能なるであろう。我々は、PEGをレチクルペリクル外装の内部に適合させるという梱包(packaging)条件に従う必要がある。
例えば、www.lasercomponents.comのURLで入手可能なウエブページ「">350 nm dichoric polarizer," 2004」、www.calingcatalog.comのURLで入手可能なウエブページ「">200 nm dichoric polarizer", pp. 84-85」、www.reynardcorp.comのURLで入手可能なウエブページ「">270 nm dichoric polarizer"」は、シート偏光子の例であり、これらの幾つかは200nmの波長より下で機能する。フォトニック結晶または他の合成二色性材料やフィルムなどのシート偏光子は、200nmより下の波長で使用できる。
第1実施形態の変形で利用される、その場(in-situ)光源計測技術は、例えば、上記米国特許第6356345号および上記米国特許第6741338号のような、ペリクル平面ピンホール配置であり、図3においてISMI2として別個に図示している。
図7は、レチクルRに横断して配置された矩形状アレイ(9×11)における、図6の複数の偏光素子グループ(PEG)からなるISIPの平面図を示す。これらの各PEGは、99個のフィールドポイントのうちの1つ、または投影フィールドを横切る横方向位置に対応しており、そこでは光源コヒーレンスが測定される(Pのx,y依存性)。
(記録センサを投影光学系の後に配置)
図5aを参照して、このポイントにおいて、我々は、その場(in-situ)光源結像偏光子(ISIP)を配置し、レチクルステージRSの上に搭載した。後続の露出ステップのために、我々は、記録手段を投影結像光学系PIOの出力側に配置する必要がある。典型的には、我々は、フォトレジストでコートされたウエハWを利用することとし、我々の記録手段として、増加する露光量で露光される。他の代替は、ウエハステージWSに搭載された電子センサ(典型的には、撮像光学系を備えたCCDカメラ)であり、これは、一回の露光で、単一のPEGまたはPEGサブコンポーネントでの強度プロファイルを記録できる。追加の露光は、他のPEGまたはPEGサブコンポーネントに関する強度プロファイルを提供する。
図5aを参照して、このポイントにおいて、我々は、その場(in-situ)光源結像偏光子(ISIP)を配置し、レチクルステージRSの上に搭載した。後続の露出ステップのために、我々は、記録手段を投影結像光学系PIOの出力側に配置する必要がある。典型的には、我々は、フォトレジストでコートされたウエハWを利用することとし、我々の記録手段として、増加する露光量で露光される。他の代替は、ウエハステージWSに搭載された電子センサ(典型的には、撮像光学系を備えたCCDカメラ)であり、これは、一回の露光で、単一のPEGまたはPEGサブコンポーネントでの強度プロファイルを記録できる。追加の露光は、他のPEGまたはPEGサブコンポーネントに関する強度プロファイルを提供する。
(記録センサの露光および測定値の記録)
PEGを通過する際の画像の構造をより理解するために、図2aは、偏光状態を異ならせるポールP1:P4を備えた、偏光した実効光源PSの例を示す。図7の偏光素子グループPEG1を通過する際、このPSは、平面図およびポールの1つを通る部分側面図(図8)で示したウエハ面での強度パターンをもたらす。
PEGを通過する際の画像の構造をより理解するために、図2aは、偏光状態を異ならせるポールP1:P4を備えた、偏光した実効光源PSの例を示す。図7の偏光素子グループPEG1を通過する際、このPSは、平面図およびポールの1つを通る部分側面図(図8)で示したウエハ面での強度パターンをもたらす。
各ポールでの数値は、上部平坦の(flat-top)ポールセクションからなる偏光光源PSの相対強度である。実際の強度構造は、側面図でAA断面で示している。平面図における4つの強度パターン全ては、後段の再構築のために記録する必要がある。露光シーケンスの詳細は、記録手段用に用いられる技術に依存することなる。
我々がウエハを使用する場合、露光シーケンスは、例えば、文献「de Ruyter et al., "Examples of Illumination Source Effects on Imaging Performance", ARCH Chemicals Microlithography Symposium, pp. 1-8, 2003」に記載されているようなものになる。我々は、露光量を増加させながら蛇行した露光を行って、PEGを通過する画像の一定強度等高線を明らかにする。追加の露光は、各画像回りの参照フレームを配置する。そして、ウエハがサイト別に撮影され、結果は電子フォーマット(例えば、.bmpまたは.tiff)で保存される。
電子センサを利用した場合、典型的には、単一のPEGまたはPEGコンポーネントだけを撮像し、この場合、電子センサはウエハステージWSによってステップ送りされ、必要なPEGの下での単一露光が行われる。他のフィールドポイントでの情報が必要である場合、更なる露光が行われる。
(偏光マトリクスの再構築)
再構築のための入力は、各PEGサブコンポーネント(iPEG)における強度I(nx,ny,iPEG)である。これは、電子記録手段からの直接入力(x,yでの倍率調整後)であるが、ウエハを記録媒体として使用した場合、幾つかの追加のステップを必要とする。
再構築のための入力は、各PEGサブコンポーネント(iPEG)における強度I(nx,ny,iPEG)である。これは、電子記録手段からの直接入力(x,yでの倍率調整後)であるが、ウエハを記録媒体として使用した場合、幾つかの追加のステップを必要とする。
これらのステップは、例えば、上記文献「"Examples of Illumination Source Effects on Imaging Performance"」および上記米国特許第6741338号に記載されており、簡単には、各写真における印刷した参照フレーム(上記を参照)を用いて、1つの写真を他の写真に対して横方向に見当合わせを行うことである。
各写真内の現像した領域は、所望の強度(I(nx,ny))の一定強度等高線地図に対応しており、これらを積み重ねることによって、我々は、強度に関する良好な表現を得る。
測定結果からのコヒーレンスマトリクスの抽出は、各iPEGの相対的な最終スループットが既知であるか否かに依存することになる。前述した点は、これらの状況および、さらには偏光マトリクスが部分的に再構築される(即ち、Pの幾つかの成分だけが測定される)場合の両方を議論している。
(フィールド横断補間)
PEGは、露光フィールドを横断してアレイ状に配置可能であることから、均一な格子を横断してストークスパラメータを再構築して、PEG素子に直接対応したもの以外のポイントでの偏光状態を決定することが可能である。
PEGは、露光フィールドを横断してアレイ状に配置可能であることから、均一な格子を横断してストークスパラメータを再構築して、PEG素子に直接対応したもの以外のポイントでの偏光状態を決定することが可能である。
(組合せ1)
図6のPEGを参照する。4つの測定セットが存在し、0°と45°の直線偏光子、λ/4板→直線偏光子±45°であり、我々は、それぞれの場合での既知である光学系の相対スループットを知る。理想的なコンポーネントに関して、設計マトリクス((式12)のID)は下記のようになる。
図6のPEGを参照する。4つの測定セットが存在し、0°と45°の直線偏光子、λ/4板→直線偏光子±45°であり、我々は、それぞれの場合での既知である光学系の相対スループットを知る。理想的なコンポーネントに関して、設計マトリクス((式12)のID)は下記のようになる。
偏光マトリクスを解くための式は、下記のようになる。
(組合せ2)
この配置(図9)は、水平の直線偏光子(+0°)を外して、このサブコンポーネントを偏光させていない点で、図6と相違している。図9に示すように、図6での水平の偏光子は除去され、偏光素子を用いずに、光源結像能力だけが存在している。
この配置(図9)は、水平の直線偏光子(+0°)を外して、このサブコンポーネントを偏光させていない点で、図6と相違している。図9に示すように、図6での水平の偏光子は除去され、偏光素子を用いずに、光源結像能力だけが存在している。
4つの測定セットが存在し、光学系の相対スループットがそれぞれの場合で下記のように既知である。
(組合せ3)
この組合せは、組合せ1と組合せ2を包含している。我々は、m≧4の測定セットを有し、光学系の相対スループットがそれぞれの場合で下記のように既知である。
この組合せは、組合せ1と組合せ2を包含している。我々は、m≧4の測定セットを有し、光学系の相対スループットがそれぞれの場合で下記のように既知である。
ID=偏光子および波長板のm個の配置に対応したm×4マトリクス
=偏光マトリクスの完全な復元のための、階数(rank)4のマトリクス
=偏光マトリクスの完全な復元のための、階数(rank)4のマトリクス
解くための方程式は、下記のようになる。
(例えば、文献「Press et al., "Numerical Recipes, The Art of Scientific Computing", Cambridge University Press, pp. 52-64, 1990」を参照。)
(組合せ4)
この場合、我々は、5つのiPEG測定強度を有するが、各配置の相対スループットは未知である。この場合、素子の配置は、図10のようになる。それは、図6のものと同じ配置であるが、ただ追加の非偏光素子が存在している。各コンポーネントの最終的な相対スループットは、演繹的には未知であっても、図10に示したPEGを用いて、集めたデータが光源コヒーレンスを再構築するために使用できる。
この場合、我々は、5つのiPEG測定強度を有するが、各配置の相対スループットは未知である。この場合、素子の配置は、図10のようになる。それは、図6のものと同じ配置であるが、ただ追加の非偏光素子が存在している。各コンポーネントの最終的な相対スループットは、演繹的には未知であっても、図10に示したPEGを用いて、集めたデータが光源コヒーレンスを再構築するために使用できる。
全部で5つの測定セットまたは配置が存在している。設計マトリクスIDは、下記のようになる。
偏光マトリクスを解くための方程式は、下記のようになる。
IDは、行間で1つの線形関係を持つ5×4マトリクスである。即ち、
我々は、β1=1と設定できる。それは、全体スケール(または正規化)を提供するためであり、モーメントまたは相関マトリクス法によって、β2…β5を解く。
(モーメント法)
そして、式C4.4は、β2…β5について解くことができる。
(相関マトリクス法)
そして、式C4.6は、β2…β5について解くことができる。
(組合せ5)
これは、配置(iPEGS)での相対スループットが未知である一般的な場合である。
これは、配置(iPEGS)での相対スループットが未知である一般的な場合である。
条件は、下記のものである。
・m≧5の測定セットまたは配置
・未知である光学系の相対スループット
ID =m×5マトリクスの配置
=階数(rank)4のマトリクス
・m≧5の測定セットまたは配置
・未知である光学系の相対スループット
ID =m×5マトリクスの配置
=階数(rank)4のマトリクス
それは、特異値に対して垂直な部分空間での少なくとも1つの線形結合が、全てのβ値を含むという追加の性質を有することになる。IDの特異値分解(decomposition)を行う場合、下記の式を別々に設定する。
ここで、U = m×m直交マトリクス
Σ = m×4特異値マトリクス
V = 4×4直交マトリクス
Σ = m×4特異値マトリクス
V = 4×4直交マトリクス
そして、方程式を解くことになる。
式C5.1の分解を用いて、下記(m−4)条件が得られることになる。
ベクトルβjを乗算するマトリクスは、階数(rank)mを有する必要がある。βjについての解は、このマトリクスのゼロ特異値である。
(組合せ6)
図11b、PEGB、3つのセット。V,Hは無し。未知の相対スループット
図11b、PEGB、3つのセット。V,Hは無し。未知の相対スループット
(組合せ7)
相対スループットが既知である場合、コヒーレンスマトリクスパラメータの部分抽出。図11(a)のPEGAは、偏光無しと垂直偏光の2つの測定セットを含む。
相対スループットが既知である場合、コヒーレンスマトリクスパラメータの部分抽出。図11(a)のPEGAは、偏光無しと垂直偏光の2つの測定セットを含む。
偏光マトリクスを解くための方程式は、下記のようになる。
例えば、上記文献「"Numerical Recipes, The Art of Scientific Computing"」によって解くと、P11とP22を得る。
この時点で、我々は、実効光源ESを表現する偏光マトリクスP(nx,ny)(空間の添字x,yは落ちた)の幾つかまたは全ての成分を抽出した。修正可能である我々の結果に対して、投影結像光学系(PIO、図5)の一般的な影響が存在する。
レンズは、一般に、入射光を、減衰させ、収差を生じさせ、偏光させる。レンズまたは投影光学系は、偏光配置に続いているため、レンズのジョーンズマトリクスは、それに乗算される。サブシステムによる光伝搬のシーケンスは、図12に示している。
偏光状態についてのプロパゲータ(propagator)は、下記のようになる。
ウエハでの強度は、下記のようになる。
非複屈折性で、非二色性(例えば、光学的に等方性)のレンズに関しては、下記のようになる。
偏光移行への影響は、完全に下記によって設定される。
レンズが等方性でない場合、この方法を働かせるために、我々は、一般に、Jt LJLに関してより多くの情報を必要とする。例えば、文献「Williamson, "High Numerical Aperture Catadioptric Lens"、米国特許第6486940号、2002年11月26日」のレンズ設計は、ビーム分岐キューブの前後に配置された複数の波長板を含む。理想的には、このシステムは、下記ジョーンズマトリクスを有するであろう。
組合せ1の解析シーケンスを繰り返して、式LM6のレンズ透過マトリクスを用いて、IDマトリクスの計算は下記のようになる。
(有限角度分解能)
有限角度分解能の影響は、下記のように表される。
有限角度分解能の影響は、下記のように表される。
ここで、IDj=設計マトリクスのj番目の行であり、α,Bは、(図3参照)に係るその場(in-situ)結像技術に依存する。
PKに関する逆畳み込み演算(deconvolve)、あるいは少なくとも補正をすることができる。
すると、最悪であっても、我々の分解能は、畳み込みによってぼやける。
本発明の方法の最終結果は、図13に示している。そこには、偏光マトリクスまたはコヒーレンスマトリクスの特有の成分を、横方向位置x,yおよび入射方向余弦nx,nyの関数として列挙している。
本発明の方法の最終結果は、図13に示している。そこには、偏光マトリクスまたはコヒーレンスマトリクスの特有の成分を、横方向位置x,yおよび入射方向余弦nx,nyの関数として列挙している。
(更なる配置)
図14は、3つのコンポーネントだけを含むPEGの平面図を示す。このPEGから集まるデータは、非偏光光源計測機器と組合せが可能であり、(例えば、上記米国特許第6356345号、上記米国特許第6741338号、上記米国特許公開第20050231705号)、立体角の関数として、光源全体に関する強度情報を入手するため、完全な光源コヒーレンスを再構築することができる。
図14は、3つのコンポーネントだけを含むPEGの平面図を示す。このPEGから集まるデータは、非偏光光源計測機器と組合せが可能であり、(例えば、上記米国特許第6356345号、上記米国特許第6741338号、上記米国特許公開第20050231705号)、立体角の関数として、光源全体に関する強度情報を入手するため、完全な光源コヒーレンスを再構築することができる。
図15は、第1実施形態の他の配置におけるマルチコンポーネントPEGのうち2つのコンポーネント(iPEG)(C1,C2)を示す。シート偏光子SPおよび1/4波長板QWは、レチクル面RFの上に配置される。この配置は、偏光素子にとってより大きなスペースが利用可能であり、SPまたはQWの厚さ変動に起因した歪みが無い。
図16は、第1実施形態の第3の配置におけるPEGでの1つのコンポーネントC3を示す。光源結像のためのピンホールPHは、偏光素子SP,QWとともに、レチクル裏面RBに配置される(A3,A4のように)。SP,QWの厚さ変動は、この配置では重要でなく、レチクル厚さのみを考慮する必要がある。
図17は、第1実施形態の第4の配置におけるPEGでの1つのコンポーネントC4を示す。それは、レチクル裏面(RB)上にある、光源結像のためのピンホールPHと、レチクル面(RF)にある偏光素子QW(1/4波長板)およびSP(シート偏光子)とからなる。
結像特性は、全体(レチクル+QW+SP)厚さに依存するようになり、そのため、再構築処理で処理するための集合に先だって、我々は、この光学経路長をきちんと測定または特定する必要がある。
図18は、第1実施形態の第5の配置におけるマルチコンポーネントPEGのうちのiPEG(コンポーネント)C5を示す。この配置では、例えば、上記米国特許公開第20050231705号に係るその場(in-situ)結像対物光学系が、その場(in-situ)光源結像のために使用される。
光(光線R100で表す)は、反射プリズムREPに入射し、レチクル裏面(RB)に対して実質的に平行な方向に反射される。そして、1/4波長板QW、続いてシート偏光子SPとなり、その後、その場(in-situ)結像対物アパーチャ絞りIASSが、光源結像分解能のための開口数(NA1)を設定する。
次に、光が、内部反射で動作する反射プリズムREPI(全内部反射またはアルミニウム外部コーティングが使用可能)を通過した後、光源結像レンズILSが、実効光源をレチクル面RFに結像する。REPを用いて光を折り曲げる理由は、投影結像システムの機械的条件の範囲内で、全体の光学梱包をレチクル裏面RBの上方に適合させるためである。
第1実施形態の第6の配置において、図19は1つのコンポーネントC6を示し、これは、アパーチャ絞りIASSおよび結像レンズILSからなるその場(in-situ)結像対物光学系を利用し、実効光源ESをレチクル面RFから少し離れて結像する。
これらに続いて、シート偏光子SPおよび1/4波長板QWの偏光素子がある。SPおよびQWの厚さは、光源が結像される、RFから離れた量を決定するために、考慮する必要がある。
他の種類のその場(in-situ)光源計測機器(ISMI)を図20に示す。動作時に、ESからの光(光線R7,R8で表す)は、レチクル裏面RBの上または上方に配置されたアパーチャ板APのピンホールPHに入射する。レンズLは、ピンホールPHを無限遠に結像するように設定される(即ち、主光線R7,R8が、Lを通過すると、平行光線として現れる)。こうして光源内部の角度位置がレチクル上の横方向位置に変換されるが、投影結像光学系PIO(不図示)に入る光線の角度多様性は、光源の角度サイズによって設定されず、ピンホール開口数(NAph)によって設定される。
我々は、この配置クラスを無限結像ISMIと称する(図3を参照)。この種類の配置のための1つの動機は、最終解答に対するレンズ透過変動の影響を最小化することであるが(上記参照)、本発明の実践で利用可能な偏光素子の範囲を広げることでもある(下記参照)。
図21は、無限結像その場(in-situ)光源計測機器の他の変形を示す。それは、回折光学素子(DOE)を使用して、ピンホールPHから来る光を平行化している。
PEGへの無限結像ISMIの応用は、図22に示しており、コンポーネントC7(iPEG)は、アパーチャ板APとレチクル裏面RBの間に配置された、シート偏光子SPおよび1/4波長板QWを有する。
(第2実施形態)
この第2実施形態は、第1実施形態とは、偏光素子として、シート偏光子SPの代わりに偏光ビームスプリッタキューブ(PBS)を利用する点で主に相違している。上記配置で使用される波長板は、特別にカットされた一軸性結晶板である。フロー図は、図4c(ブロック1〜5)と同様であり、ここで説明する。
この第2実施形態は、第1実施形態とは、偏光素子として、シート偏光子SPの代わりに偏光ビームスプリッタキューブ(PBS)を利用する点で主に相違している。上記配置で使用される波長板は、特別にカットされた一軸性結晶板である。フロー図は、図4c(ブロック1〜5)と同様であり、ここで説明する。
(その場(in-situ)偏光子の設置)
偏光子の利用可能性は、動作すべき入射角範囲(視野またはFOV)の強力な機能である。投影結像装置にとって、実効光源ESからレチクルRに当たる光の円錐半角は、5〜20度の範囲である。典型的な商用PBSは、2.5度のFOVを有するであろし、(界面コーティングの詳細に依存して)反射だけの50:1消光比で〜5度のFOVまで使用可能であろう(例えば、文献「"CVI UV Polarizing Beamsplitter Cubes", CVI Laser Optics/New Focus」を参照)。
偏光子の利用可能性は、動作すべき入射角範囲(視野またはFOV)の強力な機能である。投影結像装置にとって、実効光源ESからレチクルRに当たる光の円錐半角は、5〜20度の範囲である。典型的な商用PBSは、2.5度のFOVを有するであろし、(界面コーティングの詳細に依存して)反射だけの50:1消光比で〜5度のFOVまで使用可能であろう(例えば、文献「"CVI UV Polarizing Beamsplitter Cubes", CVI Laser Optics/New Focus」を参照)。
より特殊な狭い波長バンド設計は、15度のFOVまで作動できる(例えば、文献「Baumeister, "Rudiments of the design of an immersed polarizing beam divider with a narrow spectral bandwidth and enhanced angular acceptance", Applied Optics, Vol. 36, No. 16, pp. 3610-3613, June 1997」を参照)。
より大きな視野については、不満足な全内部反射(frustrated total internal reflection)(例えば、文献「Li, "The Design of Optical Thin Film Coatings", Optics & Photronics News, pp. 24-30, September 2003」と文献「Li et al., "High-performance thin-film polarizing beam splitter operating at angles greater than the critical angle", Applied Optics, Vol. 39, No. 16, pp. 2754-2771, June 2000」を参照)を用いたビームスプリッタが、適当な薄い誘電体膜が利用可能な波長において製造可能である。透過では、プリズム界面角を45度に制限せずに、光学性能についてそれを調整すれば、より大きなFOVも達成可能である。われわれの応用によって課される広いFOVの一般条件のために、PBSは、1本のビームだけ(通常は通過)について高い偏光比(>50:1)を生成する必要がある。
(その場(in-situ)光源計測機器の設置)
図23は、偏光コンポーネントに関する幾つかの配置を示す。四角の点線は、これらの配置において1/4波長板の可能性ある配置(QWSまたは1/4波長板の場所)を示す。C8は、広い角度の45度偏光ビームスプリッタPBSを利用した、PEGの2つのコンポーネントを含む。PBSによって生成された各偏光は、異なるピンホールPHによって別々に結像される。C9は、透過光の高い偏光についてのみ最適化した広い角度の非45度PBSを利用した、PEGの単一のコンポーネントである。
図23は、偏光コンポーネントに関する幾つかの配置を示す。四角の点線は、これらの配置において1/4波長板の可能性ある配置(QWSまたは1/4波長板の場所)を示す。C8は、広い角度の45度偏光ビームスプリッタPBSを利用した、PEGの2つのコンポーネントを含む。PBSによって生成された各偏光は、異なるピンホールPHによって別々に結像される。C9は、透過光の高い偏光についてのみ最適化した広い角度の非45度PBSを利用した、PEGの単一のコンポーネントである。
図24は、第2実施形態に関する他の配置を示す。C10は、ガリレオ拡大望遠鏡GET(例えば、文献「Born et al., "Principles of Optics, 7th (expanded) Edition", Cambridge University Press, pp. 268-269, 2001」を参照)を利用した、PEGのコンポーネントであり、偏光ビームスプリッタPBSに入射する最終光源入力角範囲(FOV)を低減している。FOV低減は、PBSに必要な性能基準を緩和する。GETは、負のレンズNLおよび正のレンズPLで構成される。
図25aは、第2実施形態に関するさらに他の配置を示す。C11は、ボールレンズ拡大望遠鏡ETを利用した、PEGのコンポーネントであり、光源角度サイズを低減している。GETと同様に、ETは、入射ビームを2:4×の倍率で面で拡大し、同時に、同じ倍率で実効光源の角度範囲を低減している。
図25bは、さらに他の配置を示しており、偏光ビームスプリッタPBSと組み合わせた無限結像ISMI(破線で示す)を利用している。無限結像ISMIの構成によれば(上記参照)、ISMIでのレンズLは、アパーチャ絞りASを無限遠に結像する。換言すると、実効光源ES(不図示)から来てASの中心を通過する、例示の光源光線RAは、レンズLによって屈折し、レンズLから、Z方向(投影結像装置の光軸と一致)に対してほぼ平行に現れる。
上記と同様に、アパーチャ絞りASのエッジを通過するESからの光線RA’は、PBSの底面から角度θ≒NAPH≒RSTOP/fで現れる。ここで、RSTOPはアパーチャ絞りASの半径であり、fはレンズLの焦点距離である。
これまでは、我々は、無限結像ISMIの本構成動作で繰り返している。ISMIの後は、偏光ビームスプリッタPBSが配置される。透過モード(図示)において、これらは、他方に対する一方の偏光成分でかなりの低減(≧50:1)になることになる。20.7°の最大光源角まで、波長λ=193.3nmで動作するようにした配置に関して例示のパラメータは、(表1)に示す。
表1の配置は、光線RAとRA’との間で角度2°を生成する。これは、PBSに関して、まさに従来のコーティングおよび標準的な構成の使用が可能になる。
1/4波長板の介在は容易であり、これらは図25bのPBSの後に配置される。
(ブロックB13,B14)
これは、第1実施形態のものと同じである。
これは、第1実施形態のものと同じである。
(ブロックB15)
これは、拡大望遠鏡ETまたはGETを使用する場合、明確に倍率を考慮して、偏光マトリクスに関する正しい結果に到達する必要がある点以外は、第1実施形態のものと同じである。
これは、拡大望遠鏡ETまたはGETを使用する場合、明確に倍率を考慮して、偏光マトリクスに関する正しい結果に到達する必要がある点以外は、第1実施形態のものと同じである。
(第3実施形態)
第3実施形態は、第1実施形態および第2実施形態とは、1つ又はそれ以上の偏光反射プリズム(PRP)を偏光素子として使用している点で主に相違している。波長板は、前述のものである。反射性の薄膜偏光子の幾つかの態様は、例えば、文献「Thomsen et al., "Polarizing and reflective coatings based on half-wave layer pairs", Applied Optics, Vol. 43, No. 22, pp. 4322-4327, January 1, 1997」で説明されている。再び、図4cのフロー図を参照する。
第3実施形態は、第1実施形態および第2実施形態とは、1つ又はそれ以上の偏光反射プリズム(PRP)を偏光素子として使用している点で主に相違している。波長板は、前述のものである。反射性の薄膜偏光子の幾つかの態様は、例えば、文献「Thomsen et al., "Polarizing and reflective coatings based on half-wave layer pairs", Applied Optics, Vol. 43, No. 22, pp. 4322-4327, January 1, 1997」で説明されている。再び、図4cのフロー図を参照する。
(その場(in-situ)偏光子の設置、その場(in-situ)光源計測機器の設置)
図26は、偏光反射プリズムを利用した、PEGでのコンポーネントに関する2つの配置を示す。C11は、一対の偏光プリズム(PRP)およびレチクル裏面RBのピンホールを使用し、一方、配置C12は、PRPでのFOV要件を低減するガリレオ拡大望遠鏡(GET)が前配置されたPRPを利用している。
図26は、偏光反射プリズムを利用した、PEGでのコンポーネントに関する2つの配置を示す。C11は、一対の偏光プリズム(PRP)およびレチクル裏面RBのピンホールを使用し、一方、配置C12は、PRPでのFOV要件を低減するガリレオ拡大望遠鏡(GET)が前配置されたPRPを利用している。
図27と図28は、>2の偏光反射プリズムのシーケンスを利用した第3の配置の斜視図および平面図を示す。PRP1,PRP2,PRP3,PRP4は、レチクル上面またはレチクル裏面と同一面に搭載される。図28において、コンポーネント光軸に沿った光(矢印で示す)は、紙面上方からPRP1に入射して、その面にとどまってPRP1からPRP4へ通過し、その後、紙面から垂直に移動して、レチクル裏面RBに配置されたピンホールPHを通過する。
(ブロック3:5)
図4cにおけるブロック3〜ブロック5は、上述したものと同じである。
図4cにおけるブロック3〜ブロック5は、上述したものと同じである。
(第4実施形態)
第4実施形態は、偏光素子として、ワイヤ格子偏光子(例えば、文献「Hecht, "Hecht, Optics Polarization and Wire Grid Polarizers", Second edition, Addison Wesley Publ, ISBN: 0-201-11609-X, p. 279, May 1990」を参照)を使用する点で主に相違している。波長板は、前述のものであり、ブロック説明に関して図3を参照できる。
第4実施形態は、偏光素子として、ワイヤ格子偏光子(例えば、文献「Hecht, "Hecht, Optics Polarization and Wire Grid Polarizers", Second edition, Addison Wesley Publ, ISBN: 0-201-11609-X, p. 279, May 1990」を参照)を使用する点で主に相違している。波長板は、前述のものであり、ブロック説明に関して図3を参照できる。
(その場(in-situ)偏光子の設置)
図29は、透過基板上にある複数の平行導電線(ワイヤ格子)からなる反射偏光素子POの平面図および側面図を示す。導電線のピッチGPは、典型的には、波長/2である。これは、ゼロ次数以外の次数の伝搬が無く、高い偏光弁別が存在することも保証している(例えば、文献「 Miyake et al., "LPP-based reflectometer for EUV lithography"」を参照)。
図29は、透過基板上にある複数の平行導電線(ワイヤ格子)からなる反射偏光素子POの平面図および側面図を示す。導電線のピッチGPは、典型的には、波長/2である。これは、ゼロ次数以外の次数の伝搬が無く、高い偏光弁別が存在することも保証している(例えば、文献「 Miyake et al., "LPP-based reflectometer for EUV lithography"」を参照)。
ワイヤに対して平行に偏光した、POへの入射光R12はほぼ反射するが、直交した偏光は、ほぼ透過する。この素子は、第1実施形態のシート偏光子にほぼ類似した方法の光学配置、または第3実施形態のように反射で使用する場合に使用可能である。
図30は、反射だけで作動する偏光光学系POの平面図を示す。反射防止層または反射最小化層(平面偏光から外れたものに関して)および導電線(CL)を備えたシリコン(Si)基板は、入射面に偏光した光に対して弱い反射器として、入射面に垂直に偏光した光に対して良好な反射器として機能する。
(ブロック3:5)
図4cにおけるブロック3〜ブロック5は、上述したものと同じである。
図4cにおけるブロック3〜ブロック5は、上述したものと同じである。
(第5実施形態)
第5実施形態は、EUV(波長=5:100nm、特に、13nm)投影結像装置のためのものである。光学配置は、反射面だけを含むが(例えば、oemagazine.com/fromTheMagazine/feb03euv.htmlのURLで入手可能なウエブページ「Harnet et al., "progress report: Engineers take the EUV lithography challenge", 2003」を参照)、その場(in-situ)光源計測の目的では(例えば、上記米国特許第6356345号と米国特許第6741338号を参照)、ピンホールを持つ金属板を含むことができる。
第5実施形態は、EUV(波長=5:100nm、特に、13nm)投影結像装置のためのものである。光学配置は、反射面だけを含むが(例えば、oemagazine.com/fromTheMagazine/feb03euv.htmlのURLで入手可能なウエブページ「Harnet et al., "progress report: Engineers take the EUV lithography challenge", 2003」を参照)、その場(in-situ)光源計測の目的では(例えば、上記米国特許第6356345号と米国特許第6741338号を参照)、ピンホールを持つ金属板を含むことができる。
例えば、文献「Schwartz, "Polarizers for extreme Ultraviolet Light", Physics 7810, 2001」で説明しているように、偏光の多くの実用的形態は、現在、角度θ〜ブルースタ角〜45度で動作する多層反射器(MLR)(図31)であり、部分偏光子として機能する。入射面内の偏光は、反射時に大きく減衰する。こうした偏光子の視野は、NA=0.2/M=4の投影結像対物光学系に必要なものとほぼ同じ、即ち、3度である。
本発明の実践に適切な配置は、図32に示しており、偏光光は、偏光光学系PO1に当たって、偏光光学系PO2が配置された公称レチクル位置に向けて反射し、そして、別個に挿入されたピンホールPHを含むアパーチャ板APに入射する。EUV手段での実用的な波長板が無いため、我々は、光源偏光マトリクスでのある情報(P11,P22)を復元することができる。
(第6実施形態)
UV:DUV波長領域で利用可能な種々の複屈折偏光子が存在している。例えば、ロションプリズム(例えば、www.klccgo.com/mfrochon.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Rochon Prism"」を参照)、グラン−テーラープリズム(例えば、http://www.optosigma.com/miva/merchant.mv?Screen=PROD&Store_Code=OS&Product_Code=pg175&Category_Code=PolarizersのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Taylor Prisms"」を参照)、グラン−レーザープリズム(例えば、www.u-oplaz.com/table/polarizingoptics02.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Laser Prism"」を参照)、ウラストンプリズム(例えば、www.wollastonprism.com/のURLで入手可能なウエブページ「"Wollaston Prism"」を参照)、グラン−トムソンプリズム(例えば、http://www.optosigma.com/miva/merchant.mv?Screen=PROD&Store_Code=OS&Product_Code=pg176&Category_Code=PolarizersのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Thompson Prisms"」を参照)、ブルースター角プリズム(例えば、www.klccgo.com/glbrewster.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Brewster Angle Prism"」を参照)、ニコルプリズム(例えば、上記文献「"Polarization"」を参照)、グラン−フーコープリズム(例えば、http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/phyopt/polpri2.htmlのURLで入手可能なウエブページ「"Glan-Foucault Prism"」を参照)、ビーム分岐グラン−トムソンプリズム(例えば、http://www.redoptronics.com/glan-thompson-polarizing-beamsplitter-cubes.htmlのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Thompson Polarizing Beamsplitter Cubes"」を参照)などである。
UV:DUV波長領域で利用可能な種々の複屈折偏光子が存在している。例えば、ロションプリズム(例えば、www.klccgo.com/mfrochon.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Rochon Prism"」を参照)、グラン−テーラープリズム(例えば、http://www.optosigma.com/miva/merchant.mv?Screen=PROD&Store_Code=OS&Product_Code=pg175&Category_Code=PolarizersのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Taylor Prisms"」を参照)、グラン−レーザープリズム(例えば、www.u-oplaz.com/table/polarizingoptics02.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Laser Prism"」を参照)、ウラストンプリズム(例えば、www.wollastonprism.com/のURLで入手可能なウエブページ「"Wollaston Prism"」を参照)、グラン−トムソンプリズム(例えば、http://www.optosigma.com/miva/merchant.mv?Screen=PROD&Store_Code=OS&Product_Code=pg176&Category_Code=PolarizersのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Thompson Prisms"」を参照)、ブルースター角プリズム(例えば、www.klccgo.com/glbrewster.htmのURLで入手可能なウエブページ「"Brewster Angle Prism"」を参照)、ニコルプリズム(例えば、上記文献「"Polarization"」を参照)、グラン−フーコープリズム(例えば、http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/phyopt/polpri2.htmlのURLで入手可能なウエブページ「"Glan-Foucault Prism"」を参照)、ビーム分岐グラン−トムソンプリズム(例えば、http://www.redoptronics.com/glan-thompson-polarizing-beamsplitter-cubes.htmlのURLで入手可能なウエブページ「"Glan Thompson Polarizing Beamsplitter Cubes"」を参照)などである。
光源波長は、プリズム材料に影響し、アモルファスBaB2O4(α−BBO)はλ=190nmまで使用可能であり、方解石(calcite)はλ=210nmまで使用可能であるが、人工成長水晶はλ=200nmまで、MgF2はλ=157nmまで使用可能である。限界要因は、主として、プリズムによって有用に偏光される入射光の視野である。
図33は、偏光素子として、グラン−トムソンプリズム(GTP)を用いた、PEGのコンポーネントC12を備えた配置を示す。この配置は、より小さいFOV(<10度)の光源の場合に有用である。プリズム界面で特別な薄膜コーティング(例えば、FTIR)を利用すれば、それはより広い角度のFOVに適用可能である。
図34は、第6実施形態の第2配置を示す。C1は、ガリレオ拡大望遠鏡GETを用いたiPEGであり、最終光源円錐角を低減して、より普通のグラン−トムソンプリズム(GTP)が使用可能である。
(第7実施形態)
その場(in-situ)偏光子(例えば、0°、90°、45°、45°+1/4波長板)は、実効光源ES内で照射されるサブブロック間、多くの場合は、入力照明光学系IIOと出力照明光学系OIOの間で、スキャナ本体(図1)での位置に回転される。
その場(in-situ)偏光子(例えば、0°、90°、45°、45°+1/4波長板)は、実効光源ES内で照射されるサブブロック間、多くの場合は、入力照明光学系IIOと出力照明光学系OIOの間で、スキャナ本体(図1)での位置に回転される。
光源LSの偏光が、固有の偏光解消光学系を含まないより簡易な投影結像装置において既知の偏光状態を生成するのに有効であるようにすることも可能である。
リソグラフのステッパおよびスキャナのための実効光源コヒーレンスマトリクスの角度依存性(nx,ny)および空間依存性(x,y)の両方を分解するための方法および装置を記載している。修正したSMIの使用は、偏光素子の適切なアレイを用いて構成される。
上記説明は、本発明のある実施形態を詳細にする。しかしながら、上記がどれぐらい詳細であるかにかかわらず、本発明は、その精神または本質的特性から逸脱しないで他の特定の形態で実施できることは理解されよう。説明した実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではなく、よって、本発明の範囲は、上記説明ではなく添付の請求項によって示される。請求項の意義および等価の範囲を備えた全ての変化は、これらの範囲内に包含される。
Claims (52)
- 投影結像システムでの光源の偏光状態を測定する方法であって、
少なくとも1つの、その場偏光素子グループを記録媒体に露出することと、
露出した偏光グループ内のサブコンポーネントでの強度を測定することと、
強度測定に基づいて、光源の偏光マトリクスを再構築することとを含む方法。 - 少なくとも1つの、その場偏光素子グループは、その場光源結像偏光子の中に含まれている請求項1記載の方法。
- その場光源結像偏光子は、レチクルをさらに含む請求項2記載の方法。
- その場光源結像偏光子は、その場光源計測機器をさらに含む請求項2記載の方法。
- 記録媒体は、基板上に設けられる請求項1記載の方法。
- 記録媒体は、電子センサを備える請求項1記載の方法。
- 投影結像装置の偏光状態を測定するための装置であって、
その場光源計測機器と、
少なくとも1つの偏光素子を備えた、その場偏光素子グループとを含む装置。 - その場光源計測機器は、第1面と第2面を持つレチクルをさらに含み、
第2面は、クロムコーティング中に少なくとも1つの開口を備えたクロムコーティングを含む請求項7記載の装置。 - 第1面と第2面を持つレチクルであって、第1面は、少なくとも1つの開口を備えたコーティングを含むようにしたレチクルと、
少なくとも1つの開口を備えたアパーチャ板とをさらに含み、
アパーチャ板は、第1レチクル面から離れており、アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、クロムコーティング中の少なくとも1つの開口と対応するようにした請求項7記載の装置。 - 第1面と第2面を持つレチクルと、
レチクルの第2面に近接した少なくとも1つのレンズと、
レチクルの第2面の上方に搭載されたアパーチャ板とをさらに含み、
アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、少なくとも1つのレンズと対応するようにした請求項7記載の装置。 - 第1面と第2面を持つレチクルと、
第1および第2の反射プリズムと、
第1および第2の反射プリズムの間で、レチクルの第2面の上に水平に搭載された光源アパーチャ絞りとをさらに含む請求項7記載の装置。 - 第1面と第2面を持つレチクルと、
レチクルの第1面に近接した少なくとも1つのレンズと、
レチクルの第2面の上方に搭載されたアパーチャ板とを含み、
アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、少なくとも1つのレンズと対応しており、
アパーチャ板の開口の像が無限遠に結像されるようにした請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、複数のフィールドポイントで、レチクルを横断してリニアに配置された少なくとも2つの偏光素子を含む請求項7記載の装置。
- 偏光素子グループは、その場光源計測機器の第1面を横断して2次元アレイに再製作され配置されて、対象となるリソグラフフィールド全体をカバーするようにした請求項7記載の装置。
- 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、
3つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、4つの偏光素子と、1つの非偏光素子とを含み、
該素子は、レチクルの第2面に搭載され、
第1偏光素子は45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列しており、
非偏光素子は、レチクルのアパーチャ板において追加の開口を備える請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された2つの素子を含み、
第1素子は、偏光性であって、90度シート偏光子を備え、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して整列しており、
第2素子は、レチクルのアパーチャ板における追加の孔によって代表されるようにした請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの素子を含み、
第1素子は、偏光性であって、90度シート偏光子を備え、
第2素子は、0度シート偏光子であり、
第1素子および第2素子の両方はレチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列しており、
第3素子は、レチクルのアパーチャ板における追加の孔によって代表されるようにした請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含み、
第1素子は、偏光性であって、45度シート偏光子の上面に近接して搭載された1/4波長板を備え、
第2素子は45度シート偏光子であり、
第3素子は90度シート偏光子であり、
各偏光素子は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を備え、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、レチクルのアパーチャ板での対応する開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、上記レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は、第1の45度シート偏光子に近接して搭載された1/4波長板を備え、該45度シート偏光子はアパーチャ絞りの第1面に近接して搭載されており、
第2偏光素子は、アパーチャ絞りの第2面に近接して搭載された第2の45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は、第2の45度シート偏光子に近接して搭載された90度シート偏光子を備え、
第4偏光素子は、レチクルでの開口に近接して搭載された0度シート偏光子を備える請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第1面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、対応するアパーチャおよびレンズに対して位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、アパーチャ板での開口に近接して、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、アパーチャ板での対応する孔、およびレチクルの第1面に搭載された少なくとも1つのレンズの両方に対して、位置決めされ整列している請求項7記載の装置。 - 第1面および第2面を備えたレチクルと、
第2面に、コーティング中に少なくとも1つの開口を備えたクロムコーティングと、
レチクルの第1面に、レチクルの第2面でのコーティング中の開口の像を無限遠に形成するように構成された回折光学素子とをさらに含む請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された4つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、
第4偏光素子は0度シート偏光子を備え、
4つの偏光素子の各々は、レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している請求項27記載の装置。 - 偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された3つの偏光素子を含み、
第1偏光素子は45度シート偏光子の下方に搭載された1/4波長板を備え、
第2偏光素子は45度シート偏光子を備え、
第3偏光素子は90度シート偏光子を代表し、
3つの偏光素子の各々は、レチクルの第2面での対応するクロム開口に対して位置決めされ整列している請求項27記載の装置。 - 個々の偏光素子を出た光の偏光状態は、固定量だけ増加または減少するようにした請求項7記載の装置。
- 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された第1および第2の45度偏光ビーム分岐素子を含み、
第1偏光ビーム分岐素子は、光源を2つの直交する偏光成分に分割し、一方の成分は、第2ビーム分岐素子に対して水平に通過するものであり、
各偏光素子は、アパーチャ板での対応する開口に対して整列しており、偏光した光はアパーチャ板の開口を通過するようにした請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された、非45度偏光ビーム分岐素子を含み、
該偏光ビーム分岐素子は、光源を2つの直交する偏光成分に分割し、その一方はアパーチャ板での対応する孔を通過するようにした請求項7記載の装置。 - 2つの偏光ビームスプリッタを備えた偏光素子グループとともに含まれる少なくとも1つの1/4波長板をさらに含み、
1/4波長板は、第1偏光ビームスプリッタの上面に近接して、あるいはレチクルの第1面の上で第1ビームスプリッタの下方に、あるいは第1ビームスプリッタに近接して水平に、あるいは第2ビームスプリッタの下方に、あるいはレチクルの第1面の上で第2ビームスプリッタの下方になるように、レチクルに搭載されるようにした請求項32記載の装置。 - 2つの偏光ビームスプリッタを備えた偏光素子グループとともに含まれる少なくとも1つの1/4波長板をさらに含み、
1/4波長板は、ビームスプリッタの下方でレチクルの第1面または第2面の上に搭載されるようにした請求項32記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、ガリレオ拡大望遠鏡と、1/4波長板とを含み、
該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、ガリレオ望遠鏡は1/4波長板に近接して搭載され、偏光ビームスプリッタはガリレオ望遠鏡に近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、ガリレオ拡大望遠鏡とを含み、
該素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムはガリレオ望遠鏡の前に搭載され、偏光ビームスプリッタはガリレオ望遠鏡に近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、異なる直径の2つのボールレンズと、1/4波長板とを含み、
該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、2つの異なる直径のボールレンズは1/4波長板に近接し、その後に搭載され、偏光ビームスプリッタは、ボールレンズに近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、偏光ビームスプリッタと、2つの反射プリズムと、異なる直径の2つのボールレンズとを含み、
該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは、2つの異なる直径のボールレンズの前に搭載され、偏光ビームスプリッタは、ボールレンズに近接し、その後に搭載され、第2反射プリズムは、偏光ビームスプリッタの後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している請求項7記載の装置。 - 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、レチクルの第2面に搭載された2つの偏光反射プリズムを含み、1/4波長板は、2つの偏光反射プリズムの間に配置される請求項7記載の装置。
- 偏光反射プリズムは、ワイヤ格子反射偏光子で置き換えられる請求項39記載の装置。
- 偏光素子グループは、レチクルの面に搭載された、少なくとも2つの偏光反射プリズムを含み、1/4波長板は、何れか2つの偏光反射プリズムの間に配置される請求項7記載の装置。
- 偏光素子グループは、ワイヤ格子偏光子を含む請求項7記載の装置。
- 偏光素子グループは、シリコン基板上に成膜されたワイヤ格子偏光子を用いて、反射モードで動作するようにした請求項7記載の装置。
- 反射防止コーティングをさらに含む請求項43記載の装置。
- 少なくとも2つのEUV反射性の面および板をさらに含み、
EUV光は、第1偏光面から第2偏光面へ反射し、そして、アパーチャ板での孔を通過するようにしており、ここでは反射が光を偏光させるようにした請求項7記載の装置。 - 反射面は、多層EUV反射器である請求項45記載の装置。
- 偏光素子グループの少なくとも1つの素子は、複屈折偏光子と、2つの反射プリズムと、1/4波長板とを含む光学素子を備え、
該光学素子は、レチクルの第2面に搭載され、そこでは、第1反射プリズムは1/4波長板の前に搭載され、複屈折偏光子は1/4波長板に近接して搭載され、第2反射プリズムは、複屈折偏光子の後に搭載され、レチクルの第2面にあるクロム層での対応する孔に対して整列している請求項7記載の装置。 - ガリレオ拡大望遠鏡は、複屈折偏光子を備える偏光素子グループの第1反射プリズムに近接して、その後に位置決めされている請求項47記載の装置。
- 複屈折偏光子は、ロションプリズム、グラン−テーラープリズム、グラン−レーザープリズム、ウラストンプリズム、グラン−トムソンプリズム、ブルースター角プリズム、ニコルプリズム、グラン−フーコープリズム、またはビーム分岐グラン−トムソンプリズムである請求項47記載の装置。
- その場偏光素子グループは、入力照明器と出力照明器の間に配置された偏光子を含む請求項7記載の装置。
- その場偏光素子グループは、既知の偏光状態を持つ光源を含む請求項7記載の装置。
- 投影結像装置の偏光状態を測定するための装置であって、
第1面と第2面を持つレチクルと、
レチクルの第2面に近接した少なくとも1つのレンズと、
レチクルの第2面の上方に搭載されたアパーチャ板であって、アパーチャ板での少なくとも1つの開口は、少なくとも1つのレンズと対応するようにしたアパーチャ板と、
その場偏光素子グループとを含み、
該偏光素子グループは、レチクルの第2面に搭載された第1および第2の45度偏光ビームスプリッタ素子を含み、
第1偏光ビームスプリッタ素子は、光源を2つの直交する偏光成分に分割し、一方の偏光成分は、第2ビームスプリッタに対して水平に通過するようにし、
各偏光ビームスプリッタ素子は、アパーチャ板での対応する開口に対して整列しており、
偏光した光が、アパーチャ板の開口を通過するようにした装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US64549805P | 2005-01-19 | 2005-01-19 | |
PCT/US2006/001942 WO2006078843A1 (en) | 2005-01-19 | 2006-01-19 | Method and apparatus for determination of source polarization matrix |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008527756A true JP2008527756A (ja) | 2008-07-24 |
Family
ID=36202467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007552269A Pending JP2008527756A (ja) | 2005-01-19 | 2006-01-19 | 光源コヒーレンスマトリクスの測定方法および装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7697138B2 (ja) |
JP (1) | JP2008527756A (ja) |
WO (1) | WO2006078843A1 (ja) |
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- 2006-01-19 JP JP2007552269A patent/JP2008527756A/ja active Pending
- 2006-01-19 US US11/336,532 patent/US7697138B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-01-19 WO PCT/US2006/001942 patent/WO2006078843A1/en active Application Filing
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Also Published As
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---|---|
US7697138B2 (en) | 2010-04-13 |
WO2006078843A1 (en) | 2006-07-27 |
US20060192961A1 (en) | 2006-08-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110125 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110719 |