JP2006245152A - 偏光測定装置、偏光測定方法、露光装置、および露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて、光の偏光状態を高精度で測定することのできる偏光測定装置。
【解決手段】 光軸廻りに回転可能に設けられて入射光の偏光状態を変化させるための移相子(94)と、所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子(95)と、移相子の光軸廻りの回転角度を変化させるための駆動部(97)と、移相子および偏光子を介した光を検出するための光検出器(96)と、光検出器の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定部(98)とを備えている。偏光子の透過軸方向は、入射光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されている。
【選択図】 図4
【解決手段】 光軸廻りに回転可能に設けられて入射光の偏光状態を変化させるための移相子(94)と、所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子(95)と、移相子の光軸廻りの回転角度を変化させるための駆動部(97)と、移相子および偏光子を介した光を検出するための光検出器(96)と、光検出器の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定部(98)とを備えている。偏光子の透過軸方向は、入射光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されている。
【選択図】 図4
Description
本発明は、偏光測定装置、偏光測定方法、露光装置、および露光方法に関する。さらに詳細には、本発明は、半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等のマイクロデバイスをリソグラフィー工程で製造するために使用される露光装置における露光光の偏光状態の測定に関するものである。
この種の典型的な露光装置においては、光源から射出された光束が、オプティカルインテグレータとしてのフライアイレンズ(またはマイクロフライアイレンズなど)を介して、多数の光源からなる実質的な面光源としての二次光源を形成する。二次光源からの光束は、コンデンサーレンズにより集光された後、所定のパターンが形成されたマスクを重畳的に照明する。マスクを透過した光は、投影光学系を介してウェハ上に結像する。
こうして、ウェハ上には、マスクパターンが投影露光(転写)される。マスクに形成されたパターンは高集積化されており、この微細パターンをウェハ上に正確に転写するにはウェハ上において均一な照度分布を得ることが不可欠である。現在、露光光源として、波長が約248nmの光を供給するKrFエキシマレーザ光源や、波長が約193nmの光を供給するArFエキシマレーザ光源などが用いられている。
露光装置では、これらのエキシマレーザ光源から供給される直線偏光の光を非偏光の光に変換し、非偏光状態の光でマスク(ひいてはウェハ)を照明するのが通常である。ただし、マスクパターンの方向性によっては、直線偏光の光でマスク(ひいてはウェハ)を照明することも考えられる。そこで、本出願人は、マスクまたはウェハに対する照明光(露光光)が所望の偏光状態(非偏光状態を含む)であることを確認するために、回転移相法を利用して光の偏光状態を測定する偏光測定装置を提案している(たとえば特許文献1を参照)。
回転移相法を利用する偏光測定装置では、移相子や偏光子(検光子)のような偏光素子が用いられるが、エキシマレーザ光のような短波長光に対して設計通りの所望の光学特性(偏光特性)を有する偏光素子を製造することは困難である。従来の偏光測定装置では、移相子や偏光子の製造に際して光学特性の誤差(実際の光学特性と設計上の所望の光学特性との差)が不可避的に発生するので、光の偏光状態を高精度で測定することが困難である。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて、光の偏光状態を高精度で測定することのできる偏光測定装置および偏光測定方法を提供することを目的とする。また、本発明は、光の偏光状態を高精度で測定する偏光測定装置または偏光測定方法を用いて、所望の偏光状態の光でマスクおよび感光性基板を照明し、適切な照明条件のもとで良好な露光を行うことのできる露光装置および露光方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明の第1形態では、光の偏光状態を測定する偏光測定装置において、
光軸廻りに回転可能に設けられて入射光の偏光状態を変化させるための移相子と、
所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子と、
前記移相子の光軸廻りの回転角度を変化させるための駆動部と、
前記移相子および前記偏光子を介した光を検出するための光検出器と、
前記光検出器の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定部とを備え、
前記偏光子の透過軸方向は、前記入射光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されていることを特徴とする偏光測定装置を提供する。
光軸廻りに回転可能に設けられて入射光の偏光状態を変化させるための移相子と、
所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子と、
前記移相子の光軸廻りの回転角度を変化させるための駆動部と、
前記移相子および前記偏光子を介した光を検出するための光検出器と、
前記光検出器の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定部とを備え、
前記偏光子の透過軸方向は、前記入射光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されていることを特徴とする偏光測定装置を提供する。
本発明の第2形態では、光の偏光状態を測定する偏光測定方法において、
光軸廻りに回転可能で且つ入射光の偏光状態を変化させるための移相子と所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子とを介した光を検出する光検出工程と、
前記光検出工程の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定工程とを含み、
前記光検出工程では、前記入射光の偏光状態に応じて、前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの所定の角度範囲内に設定することを特徴とする偏光測定方法を提供する。
光軸廻りに回転可能で且つ入射光の偏光状態を変化させるための移相子と所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子とを介した光を検出する光検出工程と、
前記光検出工程の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定工程とを含み、
前記光検出工程では、前記入射光の偏光状態に応じて、前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの所定の角度範囲内に設定することを特徴とする偏光測定方法を提供する。
本発明の第3形態では、マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光装置において、
前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定するための第1形態の偏光測定装置を備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定するための第1形態の偏光測定装置を備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
本発明の第4形態では、マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光方法において、
第1形態の偏光測定装置を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法を提供する。
第1形態の偏光測定装置を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法を提供する。
本発明の第5形態では、マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光方法において、
第2形態の偏光測定方法を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法を提供する。
第2形態の偏光測定方法を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法を提供する。
本発明の偏光測定装置および偏光測定方法では、偏光子の透過軸方向を入射光の偏光状態に応じて光軸廻りの適切な角度位置に設定した状態で、固定偏光子回転移相子法に基づいて光の偏光状態を測定する。その結果、移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて、光の偏光状態を高精度で測定することができる。本発明の露光装置および露光方法では、光の偏光状態を高精度で測定する偏光測定装置または偏光測定方法を用いているので、所望の偏光状態の光でマスクおよび感光性基板を照明し、適切な照明条件のもとで良好な露光を行うことができ、ひいては良好なデバイスを製造することができる。
本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。図1を参照すると、本実施形態の露光装置は、露光光(照明光)を供給するための光源1を備えている。光源1として、たとえば約193nmの波長を有する光を供給するArFエキシマレーザ光源や約248nmの波長を有する光を供給するKrFエキシマレーザ光源を用いることができる。
すなわち、光源1は、たとえば偏光度が0.95以上の光を供給するための狭帯化エキシマレーザ光源であり、その射出光束の95%以上が一方向に沿って振動方向を有する直線偏光である。偏光度Vは、ストークスパラメータS0〜S3を用いて次の式(a)により表わされる。式(a)において、S0は全強度を、S1は水平直線偏光強度マイナス垂直直線偏光強度を、S2は45度直線偏光強度マイナス135度直線偏光強度を、S3は右まわり円偏光強度マイナス左まわり円偏光強度をそれぞれ表わしている。
V=(S1 2+S2 2+S3 2)1/2/S0 (a)
V=(S1 2+S2 2+S3 2)1/2/S0 (a)
光源1から射出されたほぼ平行な光束は、周知の構成を有するビーム送光系2を介して所定の矩形状の断面を有する光束に整形された後、偏光状態可変部(偏光設定部)3に入射する。ビーム送光系2は、入射光束を適切な大きさおよび形状の断面を有する光束に変換しつつ偏光状態可変部3へ導くとともに、後段の偏光状態可変部3へ入射する光束の位置変動および角度変動をアクティブに補正する機能を有する。
一方、偏光状態可変部3は、後述のマスクM(ひいてはウェハW)に対する照明光の偏光状態を変化させる機能(照明光の偏光状態を所定の偏光状態に設定する機能)を有する。具体的には、偏光状態可変部3は、入射した直線偏光の光を振動方向の異なる直線偏光に変換したり、入射した直線偏光の光を非偏光の光に変換したり、入射した直線偏光の光を変換することなくそのまま射出したりする。なお、偏光状態可変部3の詳細な構成および作用については後述する。
偏光状態可変部3により必要に応じて偏光状態の変換された光束は、ビーム形状可変部4を介して、マイクロフライアイレンズ(またはフライアイレンズ)5に入射する。ビーム形状可変部4は、たとえば回折光学素子や変倍光学系などを含み、マイクロフライアイレンズ5の入射面に形成される照野の大きさおよび形状を、ひいてはマイクロフライアイレンズ5の後側焦点面(照明瞳面)に形成される面光源の大きさおよび形状を変化させる機能を有する。
一方、マイクロフライアイレンズ5は、たとえば縦横に且つ稠密に配列された多数の正屈折力を有する微小レンズからなる光学素子であり、平行平面板にエッチング処理を施して微小レンズ群を形成することによって構成される。ここで、マイクロフライアイレンズを構成する各微小レンズは、フライアイレンズを構成する各レンズエレメントよりも微小である。
また、マイクロフライアイレンズは、互いに隔絶されたレンズエレメントからなるフライアイレンズとは異なり、多数の微小レンズ(微小屈折面)が互いに隔絶されることなく一体的に形成されている。しかしながら、レンズ要素が縦横に配置されている点でマイクロフライアイレンズはフライアイレンズと同じ波面分割型のオプティカルインテグレータである。なお、マイクロフライアイレンズ5に代えて、回折光学素子や角柱状のロッド型インテグレータのようなオプティカルインテグレータを用いることもできる。
マイクロフライアイレンズ5に入射した光束は多数の微小レンズにより二次元的に分割され、光束が入射した各微小レンズの後側焦点面には光源がそれぞれ形成される。こうして、マイクロフライアイレンズ5の後側焦点面には、多数の光源からなる実質的な面光源(以下、「二次光源」という)が形成される。マイクロフライアイレンズ5の後側焦点面に形成された二次光源からの光束は、コンデンサー光学系6を介した後、マスクブラインド7を重畳的に照明する。なお、マイクロフライアイレンズ5の後側または前側に開口絞りを配置して光束を制限することも可能である。
こうして、照明視野絞りとしてのマスクブラインド7には、マイクロフライアイレンズ5を構成する各微小レンズの形状と焦点距離とに応じた矩形状の照野が形成される。マスクブラインド7の矩形状の開口部(光透過部)を介した光束は、結像光学系8の集光作用を受けた後、所定のパターンが形成されたマスク(レチクル)Mを重畳的に照明する。すなわち、結像光学系8は、マスクブラインド7の矩形状開口部の像をマスクM上に形成することになる。
マスクステージ(不図示)上に保持されたマスクMのパターンを透過した光束は、投影光学系PLを介して、ウェハステージ(不図示)上に保持された感光性基板としてのウェハW上にマスクパターンの像を形成する。こうして、投影光学系PLの光軸AXと直交する平面内においてウェハWを二次元的に駆動制御しながら一括露光またはスキャン露光を行うことにより、ウェハWの各露光領域にはマスクMのパターンが逐次露光される。
本実施形態の露光装置は、ウェハWに対する照明光の偏光状態を測定するための偏光測定装置9と、たとえばコンデンサー光学系6の光路からビームスプリッター(不図示)を介して取り出された光に基づいて照明光(露光光)の光量(光強度)を検出するための周知の構成を有する光量検出部10とを備えている。なお、偏光測定装置9の詳細な構成および作用については後述する。また、光量検出部10では、コンデンサー光学系6の光路に限定されることなく、他の適当な光路から取り出された光に基づいて光量を検出することもできる。
偏光測定装置9の測定結果および光量検出部10の検出結果は、制御部11に供給される。制御部11は、偏光測定装置9の測定結果に基づいて偏光状態可変部3の動作を制御し、光量検出部10の検出結果に基づいて光源1の出力を制御する。また、制御部11は、マスクMのパターン特性(微細度、方向性など)に応じて、偏光状態可変部3の動作およびビーム形状可変部4の動作をそれぞれ制御する。
図2は、図1の偏光状態可変部の内部構成を概略的に示す図である。また、図3は、図1の偏光状態可変部の作用を説明する図である。図2を参照すると、偏光状態可変部3は、光源側から順に、水晶により形成された1/2波長板31と、水晶により形成された偏角プリズム(くさび状のプリズム)すなわち水晶プリズム32aと、石英ガラスにより形成された偏角プリズムすなわち石英プリズム32bとにより構成されている。
1/2波長板31、水晶プリズム32aおよび石英プリズム32bは、光軸AXを中心としてそれぞれ回転可能に構成されている。こうして、1/2波長板31は移相子を構成し、水晶プリズム32aと石英プリズム32bとは偏光解消素子32を構成している。ここで、水晶プリズム32aは偏光解消作用を有し、石英プリズム32bは水晶プリズム32aの偏角作用による光線の曲がりを補正する機能を有する。
図3(a)を参照すると、縦方向(図3中の鉛直方向)の直線偏光の入射光に対して、1/2波長板31の結晶光学軸31aが縦方向に対して45度の角度をなすように設定されているので、1/2波長板31からの射出光は横方向の直線偏光に変換される。そして、横方向の直線偏光の入射光に対して、偏光解消素子32を構成する水晶プリズム32aの結晶光学軸32cが横方向に設定されているので、偏光解消素子32からの射出光は偏光解消作用を受けることなく横方向の直線偏光のままである。すなわち、図3(a)の状態では、偏光状態可変部3に入射した縦方向の直線偏光の光は、横方向の直線偏光の光に変換されてビーム形状可変部4へ導かれる。
図3(b)を参照すると、縦方向の直線偏光の入射光に対して、1/2波長板31の結晶光学軸31aが縦方向に設定されているので、1/2波長板31からの射出光は移相作用を受けることなく縦方向の直線偏光のままである。そして、縦方向の直線偏光の入射光に対して、水晶プリズム32aの結晶光学軸32cが縦方向に対して45度の角度をなすように設定されているので、偏光解消素子32からの射出光は偏光解消作用を受けて非偏光に変換される。すなわち、図3(b)の状態では、偏光状態可変部3に入射した縦方向の直線偏光の光は、非偏光状態の光に変換されてビーム形状可変部4へ導かれる。
図3(c)を参照すると、縦方向の直線偏光の入射光に対して、1/2波長板31の結晶光学軸31aが縦方向に設定されているので、1/2波長板31からの射出光は移相作用を受けることなく縦方向の直線偏光のままである。そして、縦方向の直線偏光の入射光に対して、水晶プリズム32aの結晶光学軸32cが縦方向に設定されているので、偏光解消素子32からの射出光は偏光解消作用を受けることなく縦方向の直線偏光のままである。すなわち、図3(c)の状態では、偏光状態可変部3に入射した縦方向の直線偏光の光は、偏光状態の変化を受けることなく縦方向の直線偏光のままビーム形状可変部4へ導かれる。
図4は、図1の偏光測定装置の内部構成を概略的に示す図である。図4を参照すると、偏光測定装置9は、ウェハWの位置またはその近傍に位置決め可能なピンホール部材90を備えている。ピンホール部材90のピンホール90aを通過した光は、コリメートレンズ91を介してほぼ平行な光束になり、反射鏡92で反射された後、リレーレンズ系93に入射する。なお、コリメートレンズ91、反射鏡92およびリレーレンズ系93を1つの対物レンズで置換することもできる。
リレーレンズ系93を介したほぼ平行な光束は、1/4波長板94および偏光ビームスプリッター95を介した後、二次元CCD96の検出面96aに達する。ここで、1/4波長板94は、駆動部97の作用により光軸を中心として回転可能であり、入射光の偏光状態を変化させるための移相子を構成している。また、偏光ビームスプリッター95は、同じく駆動部97の作用により光軸を中心として回転可能であり、所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子、さらに詳細には所定の直線偏光成分だけを選択的に透過させるための直線偏光子を構成している。
駆動部97からの1/4波長板94の回転角に関する情報、および二次元CCD96からの検出結果は、測定部98に供給される。ウェハWに対する照明光の偏光度が0でない場合には、駆動部97を介して1/4波長板94を光軸廻りに回転させることにより二次元CCD96の検出面96aにおける光強度分布が変化する。偏光測定装置9では、駆動部97を用いて1/4波長板94を光軸廻りに回転させながら検出面96aにおける光強度分布の変化を検出する。
具体的に、偏光測定装置9では、移相子としての1/4波長板94を回転させると、二次元的な検出面96aの各画素(投影光学系PLの瞳上の微小領域に対応)において検出される光強度が所定の周期関数にしたがって変化する。固定偏光子回転移相子法では、この周期関数を解析することにより、入射光の偏光状態を定量的に推測することが可能である。
こうして、測定部98は、駆動部97からの回転角情報および二次元CCD96からの光強度分布の変化情報に基づいて、固定偏光子回転移相子法により照明光の偏光状態(偏光度;光に関するストークスパラメータS0,S1,S2,S3)を測定する。測定部98の測定結果は、上述したように制御部11に供給される。なお、回転移相子法については、例えば鶴田著,「光の鉛筆−光技術者のための応用光学」,株式会社新技術コミュニケーションズなどに詳しく記載されている。
実際には、ピンホール部材90(ひいてはピンホール90a;投影光学系PLの像面上の微小領域に対応)をウェハ面に沿って二次元的に移動させつつ、ウェハ面内の複数の位置における照明光の偏光状態を測定する。このとき、偏光測定装置9では、二次元的な検出面96aにおける光強度分布の変化を検出するので、この検出分布情報に基づいて照明光の瞳内における偏光状態の分布を測定することができる。こうして、偏光測定装置9を用いてウェハWに対する照明光の瞳内における偏光状態を測定し、照明光が瞳内において適切な偏光状態になっているか否かが判定される。
偏光測定装置9では、反射鏡92の偏光特性により光の偏光状態が変化してしまう場合がある。この場合、反射鏡92の偏光特性は予めわかっているので、所要の計算によって反射鏡92の偏光特性の偏光状態への影響に基づいて偏光測定装置9の測定結果を補正し、照明光の偏光状態を正確に測定することができる。また、反射鏡に限らず、レンズなどの他の光学部品に起因して偏光状態が変化してしまう場合でも同様に測定結果を補正し、照明光の偏光状態を正確に測定することができる。
前述したように、偏光測定装置9では、移相子としての1/4波長板94や偏光子としての偏光ビームスプリッター95のような偏光素子が用いられているが、エキシマレーザ光のような短波長光に対して設計通りの所望の光学特性(偏光特性)を有する偏光素子(94,95)を製造することは困難である。具体的に、移相子としての1/4波長板94の製造に際して、リターデーション量の誤差(実際のリターデーション量と設計上の所望のリターデーション量(90度)との差)や、結晶光学軸方向の誤差(実際の結晶光学軸方向と設計製作上の結晶光学軸方向との差)などが発生する。
一方、偏光子としての偏光ビームスプリッター95の製造に際して、透過軸方向の誤差(実際の透過軸方向と設計製作上の透過軸方向との差)や、透過軸方向に平行な方向に振動する直線偏光成分の透過率の誤差(当該平行直線偏光成分の実際の透過率と設計上の所望の透過率(100%)との差)や、透過軸方向に垂直な方向に振動する直線偏光成分の透過率の誤差(当該垂直直線偏光成分の実際の透過率と設計上の所望の透過率(0%)との差)などが発生する。
このように、移相子としての1/4波長板94や偏光子としての偏光ビームスプリッター95の製造に際して、光学特性の誤差(実際の光学特性と所望の光学特性との差)が不可避的に発生する。本発明者は、移相子や偏光子の光学特性の誤差が測定精度に及ぼす影響を解明すべく、理論式の展開およびデータ解析による熟考試作を重ね、要因となるパラメータを絞り、更にシミュレーションを鋭意行った結果、偏光子の姿勢に依存して測定誤差の発生量が変化することを発見した。以下、この点について説明する。
図5は、第1偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに検出面の一画素において検出される信号波形を示す図である。図5において、横軸は1/4波長板94の光軸廻りの回転角度位置(度)を示し、縦軸は光強度を示している。第1偏光状態の入射光は、そのストークスパラメータ比S1/S0=0.8,S2/S0=0,S3/S0=0であり、ひいては偏光度V=0.8である。すなわち、第1偏光状態の入射光は直線偏光である。
図5(a)は、偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を入射光の偏光方向(一般に入射光の楕円偏光の長軸方向)と直交する光軸廻りの角度位置に設定した状態、すなわち偏光ビームスプリッター95を消光位置に設定した状態で、1/4波長板94を光軸廻りに360度回転させたときに得られる光強度の変化を示している。
一方、図5(b)は、偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を入射光の偏光方向と平行な光軸廻りの角度位置に設定した状態、すなわち偏光ビームスプリッター95を透過位置に設定した状態で、1/4波長板94を光軸廻りに360度回転させたときに得られる光強度の変化を示している。図5を参照すると、偏光ビームスプリッター95を消光位置に設定した状態で計測される信号波形のオフセット(DC成分)の方が、偏光ビームスプリッター95を透過位置に設定した状態で計測される信号波形のオフセットよりもかなり小さいことがわかる。
図6は、第1偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに1/4波長板のリターデーション量の誤差に応じてストークスパラメータ比S1/S0の測定誤差が発生する様子を示す図である。図6において、横軸は1/4波長板94のリターデーション量(度)を示し、縦軸はストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示している。また、図6において、実線は偏光ビームスプリッター95が消光位置に設定された状態でのストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示し、破線は偏光ビームスプリッター95が透過位置に設定された状態でのストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示している。
偏光測定装置9では、ストークスパラメータ比S1/S0以外に、ストークスパラメータ比S2/S0,S3/S0、および偏光度Vの測定値が得られる。しかしながら、後述するようにV偏光照明やH偏光照明などを行う露光装置の場合には、ストークスパラメータ比S1/S0を高精度で測定することが重要である。したがって、以下の説明では、特にストークスパラメータ比S1/S0の測定精度に着目する。
図6を参照すると、1/4波長板94のリターデーション量が90度で誤差がない場合、偏光ビームスプリッター95が消光位置に設定されていても透過位置に設定されていても(一般的には偏光ビームスプリッター95の回転角度位置に依存することなく)、ストークスパラメータ比S1/S0の測定値は正しく0.8であり測定誤差は発生しない。しかしながら、1/4波長板94にリターデーション誤差があると、ストークスパラメータ比S1/S0の値について測定誤差が発生する。
具体的には、1/4波長板94のリターデーション量の誤差が同じであっても、偏光ビームスプリッター95を消光位置に設定した状態よりも透過位置に設定した状態の方が、ストークスパラメータ比S1/S0の値について大きな測定誤差が発生する。換言すれば、1/4波長板94のリターデーション量の誤差が同じである場合、偏光ビームスプリッター95を透過位置に設定するよりも消光位置に設定する方が、ストークスパラメータ比S1/S0の値を高精度で測定することができる。
図7は、第2偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに検出面の一画素において検出される信号波形を示す図である。図7において、横軸は1/4波長板94の光軸廻りの回転角度位置(度)を示し、縦軸は光強度を示している。第2偏光状態の入射光は、そのストークスパラメータ比S1/S0=0.8,S2/S0=0.2,S3/S0=−0.2であり、ひいては偏光度V=0.849である。すなわち、第2偏光状態の入射光には、偏光方向の異なる直線偏光成分、円偏光成分、非偏光成分が混在する。
図7(a)および(b)は、偏光ビームスプリッター95を消光位置および透過位置に設定した状態で1/4波長板94を光軸廻りに360度回転させたときに得られる光強度の変化をそれぞれ示している。図7を参照すると、第2偏光状態の場合も第1偏光状態の場合と同様に、偏光ビームスプリッター95を消光位置よりも透過位置に設定した方が、計測される信号波形のオフセットが小さいことがわかる。
図8は、第2偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに1/4波長板のリターデーション量の誤差に応じてストークスパラメータ比S1/S0の測定誤差が発生する様子を示す図である。図8において、横軸は1/4波長板94のリターデーション量(度)を示し、縦軸はストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示している。図8を参照すると、第2偏光状態の場合も第1偏光状態の場合と同様に、1/4波長板94のリターデーション量の誤差が同じ場合、偏光ビームスプリッター95を透過位置よりも消光位置に設定する方が、ストークスパラメータ比S1/S0の値を高精度で測定することができることがわかる。
図9は、第2偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに1/4波長板の結晶光学軸方向の誤差に応じてストークスパラメータ比S1/S0の測定誤差が発生する様子を示す図である。図9において、横軸は1/4波長板94の結晶光学軸方向の誤差、すなわち角度ずれ量(度)を示し、縦軸はストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示している。図9を参照すると、1/4波長板94のリターデーション誤差の場合と同様に、1/4波長板94の結晶光学軸方向の誤差が同じ場合、偏光ビームスプリッター95を透過位置よりも消光位置に設定する方が、ストークスパラメータ比S1/S0の値を高精度で測定できることがわかる。
図10は、第2偏光状態の光が偏光測定装置に入射したときに偏光ビームスプリッターの透過軸方向の誤差に応じてストークスパラメータ比S1/S0の測定誤差が発生する様子を示す図である。図10において、横軸は偏光ビームスプリッター95の透過軸方向の誤差、すなわち角度ずれ量(度)を示し、縦軸はストークスパラメータ比S1/S0の測定値を示している。図10を参照すると、1/4波長板94のリターデーション量の誤差や結晶光学軸方向の誤差の場合と同様に、偏光ビームスプリッター95の透過軸方向の誤差が同じ場合、偏光ビームスプリッター95を透過位置よりも消光位置に設定する方が、ストークスパラメータ比S1/S0の値を高精度で測定できることがわかる。特に、偏光ビームスプリッター95を消光位置に設定する場合、偏光ビームスプリッター95に透過軸方向の誤差がある程度あっても、ストークスパラメータ比S1/S0の値の測定誤差がほとんど発生しないことがわかる。
こうして、本実施形態の偏光測定装置9では、偏光ビームスプリッター95をほぼ消光位置に設定した状態で、すなわち偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定した状態で、1/4波長板94を光軸廻りに回転させながら検出面96aにおける光強度分布の変化を検出することにより、移相子としての1/4波長板94や偏光子としての偏光ビームスプリッター95の光学特性に関する誤差の影響を抑えて、光の偏光状態(特にストークスパラメータ比S1/S0)を高精度で測定することができる。また、偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定しなくても、たとえば入射光の偏光方向と直交する方向を挟んだ所定の角度範囲内に設定することにより、移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて光の偏光状態の測定精度を高める効果を得ることができる。
以下、本実施形態の露光装置において偏光測定装置9を用いて偏光状態を測定する方法について具体的に説明する。本実施形態の露光装置では、たとえばマスクM上において縦方向に細長く延びるパターンが支配的である場合、いわゆるV偏光照明を行う。V偏光照明では、図11(a)に示すように、ビーム形状可変部4の作用により瞳面(マイクロフライアイレンズ5の後側焦点面、ひいては投影光学系PLの瞳面)に形成される光強度分布(瞳強度分布)の形状を例えば光軸AXを中心とした円形状に設定し、偏光状態可変部3の作用により円形状の瞳強度分布を通過する光束の偏光状態を、パターンの細長く延びる縦方向に偏光方向を有する縦偏光(V偏光)状態に設定する。
一方、たとえばマスクM上において横方向に細長く延びるパターンが支配的である場合、いわゆるH偏光照明を行う。H偏光照明では、図11(b)に示すように、ビーム形状可変部4の作用により瞳強度分布の形状を例えば光軸AXを中心とした円形状に設定し、偏光状態可変部3の作用により円形状の瞳強度分布を通過する光束の偏光状態を、パターンの細長く延びる横方向に偏光方向を有する横偏光(H偏光)状態に設定する。
したがって、本実施形態の偏光測定装置9では、V偏光照明時とH偏光照明時とで、偏光ビームスプリッター95の光軸廻りの角度位置を約90度切り換えて測定を行うことになる。すなわち、V偏光照明時には縦偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で、H偏光照明時には横偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で測定を行う。
また、たとえばマスクM上において縦方向に細長く延びるパターンと横方向に細長く延びるパターンとが混在する場合、いわゆるV/H偏光混在型の4極照明または輪帯照明を行う。V/H偏光混在型の4極照明では、図11(c)に示すように、ビーム形状可変部4の作用により瞳強度分布の形状を、例えば光軸AXを中心として十字状に対称配置された4つの円形状領域51〜54からなる4極状に設定する。そして、たとえば偏光状態可変部3と偏光変換素子(不図示)との協働作用により、縦方向に間隔を隔てた2つの円形状領域51,53を通過する光束の偏光状態を横偏光状態に設定し、横方向に間隔を隔てた2つの円形状領域52,54を通過する光束の偏光状態を縦偏光状態に設定する。
なお、偏光状態可変部3を経て入射する直線偏光をV/H偏光混在状態または後述の周方向偏光状態に変換するための偏光変換素子の構成および作用については、国際出願PCT/JP2005/000407などを参照することができる。一方、V/H偏光混在型の輪帯照明では、図11(d)に示すように、ビーム形状可変部4の作用により瞳強度分布の形状を、例えば光軸AXを中心とした輪帯状に設定する。そして、たとえば偏光状態可変部3と上述の偏光変換素子との協働作用により、縦方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域61,63を通過する光束の偏光状態を横偏光状態に設定し、横方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域62,64を通過する光束の偏光状態を縦偏光状態に設定する。
したがって、V/H偏光混在型の4極照明時または輪帯照明時には、偏光ビームスプリッター95の光軸廻りの角度位置を約90度切り換えて2回の測定を行うことになる。すなわち、縦偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で1回目の測定を行い、横偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で2回目の測定を行う。あるいは、縦偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向と横偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向とのほぼ中間方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で測定を1回だけ行っても、移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて光の偏光状態の測定精度を高める効果を得ることができる。
さらに、たとえばマスクM上において縦方向に細長く延びるパターンと横方向に細長く延びるパターンと斜め方向に細長く延びるパターンとが混在する場合、いわゆる周方向偏光状態で輪帯照明を行う。周方向偏光輪帯照明では、図11(e)に示すように、ビーム形状可変部4の作用により瞳強度分布の形状を、例えば光軸AXを中心とした輪帯状に設定する。そして、たとえば偏光状態可変部3と上述の偏光変換素子との協働作用により、縦方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域71,75を通過する光束の偏光状態を横偏光状態に設定し、横方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域73,77を通過する光束の偏光状態を縦偏光状態に設定し、+45度方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域74,78を通過する光束の偏光状態を−45度偏光状態に設定し、−45度方向に間隔を隔てた2つの円弧状領域72,76を通過する光束の偏光状態を+45度偏光状態に設定する。
したがって、周方向偏光輪帯照明時には、偏光ビームスプリッター95の光軸廻りの角度位置を約90度づつ切り換えて4回の測定を行うことになる。すなわち、たとえば偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を縦偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定した状態で1回目の測定を行い、+45度偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定した状態で2回目の測定を行い、横偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定した状態で3回目の測定を行い、−45度偏光状態の入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定した状態で4回目の測定を行う。
あるいは、たとえば縦偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向と+45度偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向とのほぼ中間方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で1回目の測定を行い、横偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向と−45度偏光状態の入射光の偏光方向と直交する方向とのほぼ中間方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で2回目の測定を行っても、移相子や偏光子の光学特性に関する誤差の影響を抑えて光の偏光状態の測定精度を高める効果を得ることができる。
上述のように入射光の偏光方向がある程度わかっている場合には、入射光の設計上の偏光方向に応じて偏光ビームスプリッター95の姿勢を設定した状態で測定を行えば良い。一方、入射光の偏光方向が不明な場合には、実際に測定した入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定することが好ましい。この場合、入射光の設計上の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を設定した状態で入射光の偏光方向のラフ測定を行い、このラフ測定により得られた入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に偏光ビームスプリッター95の透過軸方向を再設定した状態で入射光の偏光状態を高精度で測定する。偏光ビームスプリッター95の設定は、手動で行っても、駆動部97を介して行ってもよい。
以上のように、本実施形態の偏光測定装置9では、移相子(1/4波長板94)や偏光子(偏光ビームスプリッター95)の光学特性に関する誤差の影響を抑えて、光の偏光状態を高精度で測定することができる。したがって、本実施形態の露光装置では、光の偏光状態を高精度で測定する偏光測定装置9を用いて、所望の偏光状態の光でマスクMおよびウェハ(感光性基板)Wを照明し、適切な照明条件のもとで良好な露光を行うことができる。
すなわち、本実施形態では、偏光測定装置9を用いてウェハWに対する照明光(ひいてはマスクMに対する照明光)の偏光状態を測定し、照明光が適切な偏光状態になっているかどうかを判定することができる。ウェハWへの照明光が適切な偏光状態になっていなければ、たとえば偏光状態可変部3における適切な光学調整により所望の偏光状態を実現することができる。その結果、所望の偏光状態の光でウェハWを照明し、適切な照明条件のもとで良好な露光を行うことができる。
本実施形態の偏光測定装置9は、たとえば露光装置のウェハステージの側方に取り付け可能に設けられる。また、ウェハステージ内に偏光測定装置9を設けても良いし、ウェハステージとは別体に設けられてウェハ面内で移動可能な計測用ステージに偏光測定装置9を設けても良い。なお、このような計測用ステージには、投影光学系PLを介して形成されたスリットマークの空間像を検出して投影光学系PLの収差やフォーカス位置を検出する空間像検出器や、アライメント検出系の基準マーク、斜入射AF(オートフォーカス)系の基準反射面、投影光学系PLの射出瞳に形成される光源像の形状や強度分布を計測する照明σ分布計測器、投影光学系PLの波面収差を計測する波面収差計測器などが典型的に設けられる。
また、上述の実施形態の偏光測定装置9を露光装置に着脱可能に設けるには、たとえば特開2002−71514号公報において波面収差測定装置を露光装置に着脱可能に設ける場合と同じ機械的構成を利用することができる。また、本実施形態の偏光測定装置9を特開2002−71514号公報に開示の波面収差測定装置と一体化することもできる。また、上述の実施形態では、偏光状態可変部3を照明系中に設けているが、この偏光状態可変部3を投影系中に設けることも可能である。
なお、上述の実施形態では、偏光測定装置9のピンホール部材90をウェハWの位置またはその近傍に位置決めしている。しかしながら、これに限定されることなく、偏光測定装置9のピンホール部材90をマスクWの位置またはその近傍に位置決めし、マスクMに対する照明光の偏光状態を測定することもできる。また、たとえば照明視野絞りとしてのマスクブラインド7の位置またはその近傍に偏光測定装置9のピンホール部材90を位置決めし、マスクMの共役位置またはその近傍における照明光の偏光状態を測定することもできる。
さらに、図12に示すように、偏光測定装置9のピンホール部材90をマスクWの位置またはその近傍に位置決めし、ピンホール部材90とコリメートレンズ91との間に投影光学系PLが介在するような変形例も可能である。図12の変形例では、ピンホール部材90のピンホール90aおよび投影光学系PLを介した光に基づいて、ウェハWに対する照明光(ひいてはマスクMに対する照明光)の偏光状態を測定することができる。
上述の実施形態にかかる露光装置では、照明光学装置によってマスク(レチクル)を照明し(照明工程)、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板に露光する(露光工程)ことにより、マイクロデバイス(半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等)を製造することができる。以下、上述の実施形態の露光装置を用いて感光性基板としてのウェハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図13のフローチャートを参照して説明する。
先ず、図13のステップ301において、1ロットのウェハ上に金属膜が蒸着される。次のステップ302において、その1ロットのウェハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップ303において、上述の実施形態の露光装置を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系を介して、その1ロットのウェハ上の各ショット領域に順次露光転写される。その後、ステップ304において、その1ロットのウェハ上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップ305において、その1ロットのウェハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウェハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
また、上述の実施形態の露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図14のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。図14において、パターン形成工程401では、上述の実施形態の露光装置を用いてマスクのパターンを感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に転写露光する、所謂光リソグラフィー工程が実行される。この光リソグラフィー工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルター形成工程402へ移行する。
次に、カラーフィルター形成工程402では、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列されたり、またはR、G、Bの3本のストライプのフィルターの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルターを形成する。そして、カラーフィルター形成工程402の後に、セル組み立て工程403が実行される。セル組み立て工程403では、パターン形成工程401にて得られた所定パターンを有する基板、およびカラーフィルター形成工程402にて得られたカラーフィルター等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。
セル組み立て工程403では、例えば、パターン形成工程401にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルター形成工程402にて得られたカラーフィルターとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。その後、モジュール組み立て工程404にて、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
なお、上述の実施形態では、光源としてKrFエキシマレーザ光源またはArFエキシマレーザ光源を用いているが、これに限定されることなく、たとえばF2レーザ光源のように偏光度を有する光を供給する他の適当な光源に対して本発明を適用することもできる。また、上述の実施形態にかかる偏光測定装置では、露光装置の投影光学系の像面に設置されるウェハに対する照明光の偏光状態を測定している。しかしながら、これに限定されることなく、一般に照明光学系の被照射面に入射する照明光の偏光状態を測定する偏光測定装置に対して本発明を適用することができることは明らかである。
また、上述の実施形態において、投影光学系と感光性基板との間の光路中を1.1よりも大きな屈折率を有する媒体(典型的には液体)で満たす手法、所謂液浸法を適用しても良い。この場合、投影光学系と感光性基板との間の光路中に液体を満たす手法としては、国際公開番号WO99/49504号公報に開示されているような局所的に液体を満たす手法や、特開平6−124873号公報に開示されているような露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる手法や、特開平10−303114号公報に開示されているようなステージ上に所定深さの液体槽を形成し、その中に基板を保持する手法などを採用することができる。
なお、液体としては、露光光に対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系や基板表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なものを用いることが好ましく、たとえばKrFエキシマレーザ光やArFエキシマレーザ光を露光光とする場合には、液体として純水、脱イオン水を用いることができる。また、露光光としてF2レーザ光を用いる場合は、液体としてはF2レーザ光を透過可能な例えばフッ素系オイルや過フッ化ポリエーテル(PFPE)等のフッ素系の液体を用いればよい。液浸型の投影光学系を用いる露光装置では開口数が非常に大きくなり、光の偏光状態の測定および調整に対してさらに高い精度が要求されるため、本発明の適用が特に望ましい。
1 光源
2 ビーム送光系
3 偏光状態可変部(偏光設定部)
4 ビーム形状可変部
5 マイクロフライアイレンズ(フライアイレンズ)
6 コンデンサー光学系
7 マスクブラインド(照明視野絞り)
8 結像光学系
9 偏光測定装置
10 光量検出部
11 制御部
31 1/2波長板
32 偏光解消素子
32a 水晶プリズム
32b 石英プリズム
90 ピンホール部材
90a ピンホール
94 1/4波長板(移相子)
95 偏光ビームスプリッター(偏光子)
96 二次元CCD
97 駆動部
98 測定部
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
2 ビーム送光系
3 偏光状態可変部(偏光設定部)
4 ビーム形状可変部
5 マイクロフライアイレンズ(フライアイレンズ)
6 コンデンサー光学系
7 マスクブラインド(照明視野絞り)
8 結像光学系
9 偏光測定装置
10 光量検出部
11 制御部
31 1/2波長板
32 偏光解消素子
32a 水晶プリズム
32b 石英プリズム
90 ピンホール部材
90a ピンホール
94 1/4波長板(移相子)
95 偏光ビームスプリッター(偏光子)
96 二次元CCD
97 駆動部
98 測定部
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
Claims (18)
- 光の偏光状態を測定する偏光測定装置において、
光軸廻りに回転可能に設けられて入射光の偏光状態を変化させるための移相子と、
所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子と、
前記移相子の光軸廻りの回転角度を変化させるための駆動部と、
前記移相子および前記偏光子を介した光を検出するための光検出器と、
前記光検出器の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定部とを備え、
前記偏光子の透過軸方向は、前記入射光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されていることを特徴とする偏光測定装置。 - 前記偏光子の透過軸方向は、前記入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。
- 前記移相子は、互いに直交する方向に偏光方向を有する2つの直線偏光の間に所定の位相差を付与するための波長板を有することを特徴とする請求項1または2に記載の偏光測定装置。
- 前記波長板は、1/4波長板であることを特徴とする請求項3に記載の偏光測定装置。
- 前記偏光子は、所定の直線偏光成分だけを選択的に透過させるための直線偏光子を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の偏光測定装置。
- 前記偏光測定装置は、照明光学系の被照射面に入射する照明光の偏光状態を測定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の偏光測定装置。
- 前記偏光測定装置は、前記被照射面内の複数の位置における前記照明光の偏光状態を測定することを特徴とする請求項6に記載の偏光測定装置。
- 前記光検出器は、前記照明光学系の瞳内における前記照明光の偏光状態の分布を測定するために所定の位置に設定された二次元的な検出面を有することを特徴とする請求項6または7に記載の偏光測定装置。
- 光の偏光状態を測定する偏光測定方法において、
光軸廻りに回転可能で且つ入射光の偏光状態を変化させるための移相子と所定の偏光成分を選択的に透過させるための偏光子とを介した光を検出する光検出工程と、
前記光検出工程の検出結果に基づいて光の偏光状態を測定する測定工程とを含み、
前記光検出工程では、前記入射光の偏光状態に応じて、前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの所定の角度範囲内に設定することを特徴とする偏光測定方法。 - 前記光検出工程では、前記入射光の偏光方向とほぼ直交する方向に前記偏光子の透過軸方向を設定することを特徴とする請求項9に記載の偏光測定方法。
- 前記光検出工程では、前記入射光の設計上の偏光方向とほぼ直交する方向に前記偏光子の透過軸方向を設定することを特徴とする請求項10に記載の偏光測定方法。
- 前記入射光の設計上の偏光方向とほぼ直交する方向に前記偏光子の透過軸方向を設定した状態で前記入射光の偏光方向を測定する第1測定工程をさらに含み、
前記光検出工程では、前記第1測定工程で測定された前記入射光の偏光方向に応じて前記偏光子の透過軸方向を再設定することを特徴とする請求項10に記載の偏光測定方法。 - マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光装置において、
前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定するための請求項1乃至8のいずれか1項に記載の偏光測定装置を備えていることを特徴とする露光装置。 - 光源と前記マスクとの間の光路中に配置されて前記マスクに達する光の偏光状態を所定の偏光状態に設定するための偏光設定部をさらに備え、
前記偏光子の透過軸方向は、前記偏光設定部により設定された光の偏光状態に応じて、光軸廻りの所定の角度範囲内に設定されていることを特徴とする請求項13に記載の露光装置。 - マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光方法において、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の偏光測定装置を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法。 - マスクに形成されたパターンを感光性基板に露光する露光方法において、
請求項9乃至12のいずれか1項に記載の偏光測定方法を用いて、前記マスクおよび前記感光性基板のうちの少なくとも一方に対する照明光の偏光状態を測定する偏光測定工程を含むことを特徴とする露光方法。 - 前記マスクに達する光の偏光状態を所定の偏光状態に設定する偏光設定工程をさらに含み、
前記光検出工程では、前記偏光設定工程により設定された光の偏光状態に応じて、前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの所定の角度範囲内に設定することを特徴とする請求項16に記載の露光方法。 - 前記光検出工程は、前記マスクを照明する照明光学系の瞳内の第1領域を通過する光束の第1偏光状態に応じて前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの第1角度位置に設定した状態で光を検出する第1光検出工程と、前記瞳内の第2領域を通過する光束の第2偏光状態に応じて前記偏光子の透過軸方向を光軸廻りの第2角度位置に設定した状態で光を検出する第2光検出工程とを含むことを特徴とする請求項16または17に記載の露光方法。
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