JP5036429B2 - 位置検出装置、露光装置、デバイス製造方法及び調整方法 - Google Patents
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Description
10 照明装置
12 光源
14 照明光学系
20 レチクル
25 レチクルステージ
27 ミラー
29 レーザ干渉計
30 投影光学系
40 ウエハ
45 ウエハステージ
47 ミラー
49a及び49b レーザ干渉計
50 ステージ基準プレート
52 レチクルアライメント検出系用基準マーク
54 ウエハアライメント検出系用基準マーク
60 フォーカス検出系
70及び75 レチクルアライメント検出系
80 ウエハアライメント検出系
801 照明光源
802 リレー光学系
803 開口絞り
804 照明系
805 偏光ビームスプリッター
806 λ/4位相板
807 対物レンズ
808 リレーレンズ
809 第1の結像光学系
810 光学部材
811 第2の結像光学系
812 光電変換素子
813 波長選択機構
814乃至817 駆動部
90 制御部
Claims (12)
- レチクルを介して基板を露光する露光装置に用いられ、前記レチクルの位置及び前記基板の位置の少なくとも一方を検出する位置検出装置であって、
位置を変更可能な光学部材を含む光学系と、
前記光学系を介して前記レチクルの位置及び前記基板の位置の少なくとも一方を検出するためのマークからの光を受光して検出信号を出力する光電変換素子と、
前記検出信号の波形の対称性を表す値、及び、前記光学系の光軸方向の前記マークの位置と前記検出信号の波形の中心位置との関係を表す直線の傾きの値が許容値を満たす状態となるように、前記光学部材の位置を調整する制御部とを有し、
前記制御部は、前記光学部材の複数の位置と前記対称性を表す値との関係を示す波形対称性の情報を予め有していることを特徴とする位置検出装置。 - 前記制御部は、前記対称性を表す値が許容値となる前記光学部材の位置と前記直線の傾きの値が許容値となる前記光学部材の位置との間に前記光学部材が位置するように調整することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記制御部は、前記対称性を表す値が許容値となる前記光学部材の位置と前記直線の傾きの値が許容値となる前記光学部材の位置との中間の位置に前記光学部材が位置するように調整することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記制御部は、前記対称性を表す値及び前記直線の傾きの値の各々に重み付けした重み付け量に基づいて、前記光学部材の位置を調整することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記光学部材は、前記マークを照明するための光を射出する光源を含むことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記光学部材は、前記光学系の瞳面に配置された開口絞りを含み、
前記光学系の光軸に垂直な方向における前記開口絞りの位置が変更可能であることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記光学部材は、前記マークを照明する光学系内に配置され、
前記対称性を表す値及び前記直線の傾きの値が許容値を満たす状態となるように前記マークを照明する光学系の光軸ずれを調整することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記マークを照明する光学系の光軸ずれ量と前記対称性を表す値との関係を示す波形対称性の情報を記憶する記憶部を有し、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された波形対称性の情報を用いて前記光学部材の位置を調整することを特徴とする請求項7に記載の位置検出装置。 - レチクルを介して基板を露光する露光装置であって、
請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の位置検出装置を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。 - 位置を変更可能な光学部材を含む光学系を備え、被検物体の位置を検出する位置検出装置の調整方法であって、
前記被検物体の位置を検出するためのマークの前記光学系の光軸方向の位置を変えて、前記光学系を介して前記マークからの光を受光して検出信号を検出するステップと、
前記検出信号の波形の対称性を表す値、及び、前記光学系の光軸方向の前記マークの位置と前記検出信号の波形の中心位置との関係を表す直線の傾きの値が許容値を満たす状態となるように、前記光学部材の位置を調整するステップとを有することを特徴とする調整方法。 - 被検物体の位置を検出する位置検出装置であって、
位置を変更可能な光学部材を含む光学系と、
前記光学系を介して前記被検物体の位置を検出するためのマークからの光を受光して検出信号を出力する光電変換素子と、
前記検出信号の波形の対称性を表す値、及び、前記光学系の光軸方向の前記マークの位置と前記検出信号の波形の中心位置との関係を表す直線の傾きの値が許容値を満たす状態となるように、前記光学部材の位置を調整する制御部とを有することを特徴とする位置検出装置。
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