JP3327781B2 - 位置検出装置及びその検定方法と調整方法 - Google Patents
位置検出装置及びその検定方法と調整方法Info
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Description
の検定方法と調整方法に関するものであり、特に半導体
ICやLSIを製造する際に、レチクル面上のパターン
をウエハに投影する為の投影露光装置において、レチク
ルやウエハ等の物体の位置情報を該物体の像を観察する
ことによって高精度に検出し、該検出した位置情報に基
づいて物体の位置合わせを行う際に好適なものである。
ます速度を増しており、それに伴って微細加工技術の進
展も著しいものがある。特にその中心をなすレチクル面
上のパターンをウエハに投影する投影露光装置を用いた
光加工技術は1MDRAMを境にサブミクロンの領域に
及んでいる。
として投影露光装置に対して過去より行われてきた方法
に露光光の波長を固定して投影光学系のNAを大きくし
ていく手法や、露光波長をg線からi線、さらにはエキ
シマレ−ザの発振波長というようにより短波長化してい
く手法がある。また最近では位相シフトマスクや変形照
明等により、光露光による光加工の限界を広げる試みが
行われている。
置においてウエハとレチクルとを相対的に位置合わせす
るアライメントについても高精度化が必要とされてい
る。半導体素子製造用の投影露光装置は露光装置と同時
に位置検出装置としての機能も必要となっている。
装置におけるアライメント用の位置検出系の構成を示し
たものである。ウエハ4の表面内に図に示したように
x、y軸を取るが、投影露光装置の位置検出系はx及び
y方向が同様なので、ここではy方向の計測について説
明する。ここで位置検出光学系(位置検出系)とは光源
から検出に到るまでの全ての光学系を総称した名称とす
る。
した光は、ファイバ−12を通して照明光学系11に導
かれる。光は偏光ビ−ムスプリッタ10により紙面に垂
直なS偏光成分が反射され、λ/4板7を透過して円偏光
に変換される。その後、光は結像光学系6、5、ミラー
30、投影露光光学系1を介し、xyz方向に駆動可能
なステ−ジ2の上に置かれたウエハ4上に作成されたマ
−ク(アライメントマーク)31をケ−ラ−照明する。
マ−ク31からの反射光、あるいは散乱光は再び投影露
光光学系1、ミラー30、結像光学系5、6を通過した
後、λ/4板7を経て今度は紙面内成分であるP偏光に変
換される。P偏光に変換されたため、光は偏光ビ−ムス
プリッタ10を透過し、結像レンズ8によってCCDカ
メラ等の光電変換素子9上に前記マ−ク31の像を結像
する。該光電変換素子9で検出されたマーク像の信号は
画像処理されてマ−ク31の位置が高精度で検出され、
該検出値からステ−ジ2を駆動してウエハ4の位置合わ
せを行っている。
位置検出系では位置検出精度を低下させるいくつかの問
題点が存在している。
である。このような位置検出系ではアライメント用の光
源として、マーク像の検出時の露光を防ぐため非露光光
を用いている。投影露光光学系1は露光波長に対して諸
収差が最適化されているため、非露光光の波長では収差
が発生し、また製造誤差による影響もあって位置検出時
に計測誤差を発生させる要因となる。
ある。該照明法において照明をσ=0 で使用するのは、
光量や結像時における空間周波数のカットオフの問題が
あるため実用上困難で、一般には有限の大きさの発光面
を持った光源が用いられる。例えば実際にはレ−ザ−光
源からの光をファイバ−で照明系に導光したり、ランプ
そのものを光源として用いたりしている。
では光軸に対してある角度を持った照明光が存在する。
ケ−ラ−照明は検出面を一様に照明する手法であるが、
検出光学系の瞳面の分布である有効光源の一様性まで保
証するものではない。従って有効発光面の光強度分布が
マ−クの計測方向に対して対称でない場合、即ち検出面
に対する照明光の入射角分布が非対称な場合、観察され
るマーク像の光強度分布が対称に照明されたものと異な
り、計測誤差を発生させるという問題を生じる。
瞰図、図4(b)は該マ−クをx方向から見た断面図、
図4(c)は観察される信号波形を示す。
分布と等価なので、検出面では該発光領域の強度に依存
した入射角度の強度分布を生じる。図4で32aをマ−
ク31に対して垂直に入射する光、32bと32cをそ
れぞれ垂直方向に対して角度が等しいが方向の異なる方
向からの入射光とし、段差構造を持ったマ−ク31を照
明して位置検出を行うケ−スを考える。図に示すように
斜方向から入射する光32bの照明光強度が、斜方向か
ら入射する光32cの照明光強度より弱いとすると、マ
−ク31を検出する場合、マ−クエッジ部の散乱光強度
に差が発生し正確な位置検出ができないという問題が発
生してくる。簡単のためマ−ク31の断面形状が完全に
対称と仮定すれば、マ−クエッジからの散乱光の干渉条
件の差は考慮しなくてよいが、このように理想的な場合
でも、光32cの方が光32bよりも強度が強ければマ
−クエッジ部での光の散乱の様子が異なり、得られるマ
−クの画像信号は図4(c)に見られるように非対称と
なる。即ち、マ−ク自体が対称であるにもかかわらず、
照明条件が非対称だと検出する画像信号の波形が歪んで
しまい、正確なマ−ク位置の検出が困難となる。勿論、
光32bと光32cの強度が等しければ対称性より、波
形は完全に対称な形となる。
の違いや、レジスト等の半導体製造工程の違いによって
も生じる。また、エッジの散乱特性は入射光の強度に比
例したり、反比例したりと千差万別な様相を示して信号
の非対称性の発生を複雑化させる。しかしながら、装置
自身としてはまず測定方向における照明光の入射角強度
の非対称性によるマ−クの計測誤差を取り除くのが重要
である。
置検出系の瞳面や像面に拡散板等のフィルタを配置し、
光強度分布及び角度分布の均一化を図っている。ところ
がこのように拡散板を用いると光強度の均一度に反比例
して物体面での光量の減少を引き起こし、半導体素子の
製造工程によってアライメントマ−クの検出が困難にな
る場合がある。本発明は上記の点及び幾つかの実験を通
して判明した事実を考慮し、投影露光光学系も含む位置
検出光学系の諸収差を除去するよう、該位置検出光学系
の照明条件を最適化し、位置検出精度の向上を図り、高
集積度の半導体素子を製造する際に好適な位置検出装置
及びその検定方法と調整方法の提供を目的とする。
検出装置の位置検出光学系の瞳面に当たる像面のフ−リ
エ変換面の一次元、あるいは二次元の光強度分布は、検
出対象物体のマ−クをケ−ラ−照明する光の角度特性に
対応する。そして該角度特性によって検出するべきマ−
クの画像信号は影響を受ける。投影露光光学系を含む位
置検出光学系が検出光に対して無収差の場合、検出され
る画像信号を対称にするためには、照明光の角度特性が
マ−クの中心に対して対称になるようにすればよい。つ
まり、瞳面での光強度分布を光軸に対して対称になるよ
うにすることが必要となる。なおここでの瞳面強度に要
求される対称性はマ−クの計測方向に関するものであ
る。
−クの画像信号が特に光強度分布の重心位置に依存して
顕著に変化することが確認された。投影露光光学系を含
む位置検出光学系自体に収差が存在する場合、これらの
影響によるマ−クの画像信号の非対称性は瞳面の光学重
心(光強度分布の重心位置)の調整によってキャンセル
できること、及びこの光学重心の変化に対して信号が敏
感に反応する構造のマ−クのあることも発明者によって
確認された。本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、位置検出光学系を光学重心の調整可能な照明系で構
成し、ある特定の画像信号を観察して照明条件を最適化
することで、マ−クの位置検出精度の向上を図ったこと
を特徴としている。次に具体的に各請求項の発明の構成
を示す。 請求項1の発明の位置検出装置は、波長λの光
を用いて被検物体を光電変換素子上に結像する位置検出
光学系と、前記位置検出光学系によりλ/8の奇数倍或
いはその近辺の段差を有する基準マークを前記光電変換
素子上に結像させた際に前記光電変換素子から得られる
画像信号を用いて前記位置検出光学系の収差に起因する
画像信号の非対称性を検定する手段とを有し、移動ステ
ージ上に設けられた、前記位置検出光学系の光軸方向に
移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上に前記基
準マークが設けられており、前記検定する手段は、前記
画像信号を前記基準マークを互いに180°回転した関
係にある2つの状態で得て、該2つの状態での画像信号
を用いて前記被対称性に関する評価値を計算し、該評価
値が所定の基準値から外れていた場合に、前記位置検出
光学系の照明系が前記被検物体を照明する照明光の入射
角度分布を調整する手段を有することを特徴としてい
る。請求項2の発明の位置検出装置は、波長λの光を用
いて被検物体を光電変換素子上に結像する位置検出光学
系と、前記位置検出光学系によりλ/8の奇数倍或いは
その近辺の段差を有する基準マークを前記光電変換素子
上に結像させた際に前記光電変換素子から得られる画像
信号を用いて前記位置検出光学系の収差に起因する画像
信号の非対称性を検定する手段とを有し、 移動ステージ
上に設けられた、前記位置検出光学系の光軸方向に移動
可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上に前記基準マ
ークが設けられており、前記検定する手段は、複数個の
位置検出光学系に関しての前記画素信号の非対称性を、
前記基準マークを共通に用いることによって検定し、該
検定手段の結果に基づいて、前記位置検出光学系の照明
系が前記被検物体を照明する照明光の入射角度分布を調
整する手段を有することを特徴としている。請求項3の
発明は請求項2の発明において前記検定を行う手段が、
前記画像信号の非対称性を前記共通の基準マークを用い
て検定するとき、前記基準マークを所定の角度回転して
用いることを特徴としている。請求項4の位置検出装置
の検定方法の発明は、位置検出光学系により波長λの光
を用いて被検物体を光電変換素子上に結像する工程と、
前記位置検出光学系によりλ/8の奇数倍或いはその近
辺の段差を有する基準マークを前記光電変換素子上に結
像させた際に前記光電変換素子から得られる画像信号を
用いて前記位置検出光学系の収差に起因する画像信号の
非対称性を検定する工程とを有し、移動ステージ上に設
けられた、前記位置検出光学系の光軸方向に移動可能で
且つ光軸回りに回転可能な機構の上に前記基準マークが
設けられており、前記検定する工程において、前記画像
信号を前記基準マークを互いに180°回転した関係に
ある2つの状態で得て、該2つの状態での画像信号を用
いて前記被対称性に関する評価値を計算し、前記評価値
が所定の基準値から外れていた場合に、前記位置検出光
学系の照明系が前記被検物体を照明する照明光の入射角
度分布を調整する工程を有することを特徴としている。
請求項5の位置検出装置の検定方法の発明は、位置検出
光学系により波長λの光を用いて被検物体を光電変換素
子上に結像する工程と、前記位置検出光学系によりλ/
8の奇数倍或いはその近辺の段差を有する基準マークを
前記光電変換素子上に結像させた際に前記光電変換素子
から得られる画像信号を用いて前記位置検出光学系の収
差に起因する画像信号の非対称性を検定する工程とを有
し、 移動ステージ上に設けられた、前記位置検出光学系
の光軸方向に移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構
の上に前記基準マークが設けられており、前記検定する
工程において、複数個の位置検出光学系に関しての前記
画素信号の非対称性を、前記基準マークを共通に用いる
ことによって検定し、該検定手段の結果に基づいて、前
記位置検出光学系の照明系が前記被検物体を照明する照
明光の入射角度分布を調整する工程を有することを特徴
としている。請求項6の位置検出装置の検定方法の発明
は、前記検定する工程において、前記画像信号の非対称
性を前記共通の基準マークを用いて検定するとき、前期
基準マークを所定の角度回転して用いることを特徴とし
ている。
体素子製造用の投影露光装置を示すものである。図中、
従来例と同一の構成要素には同じ記号が付されている。
ウエハ4の表面内に図に示したようにx、y軸を取る
が、本実施形態の投影露光装置の位置検出光学系はx及
びy方向の計測は同等なので、y方向の計測についての
み説明する。
光光源で構成される光源13から出射した光はファイバ
−12を通して照明光学系11に入射する。光は偏光ビ
−ムスプリッタ10により紙面に垂直なS偏光成分が反
射され、λ/4板7を透過して円偏光に変換される。その
後、光は結像光学系6、5、ミラー30、投影露光光学
系1を介してxyz方向に駆動可能なステ−ジ2の上に
置かれたウエハ4上に作成されたマ−クあるいは調整用
の基準マ−ク14を照明する。マ−クからの反射光、あ
るいは散乱光は再び投影露光光学系1、ミラー30、結
像光学系5、6を通過した後、λ/4板7を経て今度は紙
面内成分であるP偏光に変換される。P偏光に変換され
たため、光は偏光ビ−ムスプリッタ10を透過し、結像
レンズ8によってCCDカメラ等の光電変換素子9上に
前記マ−クの像を結像させる。該光電変換素子9で検出
された信号は画像処理されてマ−クの位置が検出され、
該検出値からステ−ジ2を駆動してウエハ4の位置合わ
せを行っている。
4をステージ2上に設けたことを特徴としている。調整
用の基準マ−ク14は図9に示す構造を持ったメカニズ
ムの上に形成されている。即ち基準マ−ク14は第2基
板21の上に取り付けられているが、第2基板21はz
軸方向の調整が可能となるようにピエゾ素子等の歪電素
子22を介して第1基板23の上に設置されており、更
に第1基板23は回転軸24によって保持されている。
このような構造を持っているためピエゾ素子22の印加
電圧を制御することで基準マ−ク14のフォ−カスを調
整し、更に基準マ−ク14を所定の角度回転することが
可能となっている。特に基準マ−ク14を 180°回転さ
せて観察し、回転前の観察と比較して、基準マ−ク14
の構造自体の非対称性による影響を削除するようにして
いる。本実施形態では、調整用の基準マ−ク14のよう
な特別なマ−クを装置に設け、これによってウエハと関
係なく簡易に計測でき、且つ安定した調整基準を持つこ
とを可能としている。
準マ−ク14を設けたが、同じことは同様のマ−クを持
つウエハあるいはそれに類するマ−クを持つウエハを用
いて行うことも可能である。
計測方向を含む面内で光軸に関して対称ではあるが、検
出波長の光に対して投影露光光学系を含む位置検出光学
系が偏心コマ収差を持つ場合を例に考える。図6は本実
施形態で得られる検出信号の模式図である。図6(a)
は計測方向断面の段差形状を持ったマ−クと照明光4
1、及び偏心コマを考慮した散乱光42a、42bを示
す。図6(b)は図6(a)の状態での基準マ−クの画
像信号である。マ−クエッジ部からの検出光はマ−ク中
心に対して非対称な波形となる。ここで一方のエッジの
強度をa、もう一方のエッジの強度をb、マ−ク全体の
強度をcとして、評価値Eを、 E=(a−b)/c (1) とする。評価値Eは波形歪みを表すパラメ−タ−と考え
られる。このような定義の下、シリコン(Si)で矩形
段差構造を持つアライメントマ−クの段差の高さdを幾
つか変え、そのときの評価値Eを計測した結果を図7に
示す。図で横軸は検出光の HeNe レ−ザ−の波長λでmo
dulus を取った段差(高さ)d、縦軸は評価値Eであ
る。検討の結果、評価値Eは図7(a)に示すように周
期関数的に変化することが実験及びシミュレ−ションか
ら確認された。
含む位置検出光学系に収差がない状態で、図1に示した
ファイバ−12の端面(瞳面)が偏心した時の段差に対
する評価値Eを示したものである。実線は瞳面での光学
重心の偏心を計測方向に検出系のNAの 3% ずらした場
合の特性、破線は同様に 1.5% 偏心させた時の特性を示
す。縦軸、及び横軸は図7(a)と同じである。瞳面で
の光学重心の偏心量に応じて評価値Eが振幅を持って変
化していることが分かる。即ち位置検出光学系に収差が
存在しない場合は、瞳面の光学重心を光軸上に調整する
ことで、段差の高さに依存しない、つまり多数ある半導
体製造工程間でマ−クの構造に依存したオフセット(工
程間オフセット)の少ない位置検出光学系を達成するこ
とができる。
正弦波状の特性を持っている。従って投影露光光学系を
含む位置検出光学系に偏心コマ成分がある場合、偏心コ
マによるマ−クに基づく画像信号の波形歪みを打ち消す
方向に光学重心を調整することで、理想的な場合と同様
に段差の高さに影響されない位置検出光学系を達成する
ことができる。また図7(a),(b)より段差がλ/
8、または 3λ/8近辺の段差を持つマ−クを用いること
で敏感に、且つ効率よく光学重心の調整を行うことがで
きることも分かった。実際の調整ではSiウエハを使っ
て矩形段差マ−クを作成すると、段差量dの制御が容易
であるため都合が良い。しかしながらその他の材質を用
いてこれに類似するマ−ク、つまり矩形段差構造を持
ち、検出光に対してエッジ部のみ干渉現象を持つような
マ−クを用いても同様の効果が達成できる。また、図7
で示した様に段差に対する評価値は周期的に変化するの
で、λ/8,3/8λに限定されず、1/8λの奇数倍の段差を
用いることで、同様の効果が得られることは、このグラ
フからも容易に推測できる。
ートである。調整はこれまで説明したように段差がλ/
8、または λ/8近辺の段差を持つウエハを用いても行う
ことができるが、ここでは図1に従って、調整用の基準
マ−ク14を用いた場合について説明する。
初期状態においてピエゾ22を用いてフォ−カス位置に
駆動して、該基準マ−ク14の画像デ−タの取り込みを
行う。この状態での計測を添字 nを付けて表す事とし、
得られた画像デ−タのエッジ信号の高さをan、bn 、信
号の全体強度をcn とすると、 (1)式より評価値Enを
計算することができる。
により 180°回転し、再びピエゾ22によりフォ−カス
駆動を行って画像デ−タを取り込む。この状態での計測
を添字rを付けて表す事とし、得られた画像デ−タのエ
ッジ信号の高さをar、br、信号の全体強度をcrとすれ
ば、(1)式より評価値Enを計算することができる。その
後、2つの評価値を平均化して E0=(En+Er)/2 (2) を最終評価値とする。評価値E0が所定の判断基準Eth
よりも小さければ、検出光学系の調整が十分になされて
いることになり通常のアライメント・ル−チンを続ける
ことができる。なお、判断基準Ethは位置検出光学系ご
とに、発生する工程間オフセットが許容範囲となるよう
な判断基準値として予め設定されている。評価値E0が
条件(2)を満足しない場合は評価値E0に関する情報をC
RT等の表示手段に表示する。この場合は位置検出光学
系の調整が不十分であるため評価値E0の値が判断基準
Eth以下になるまで光学重心の最適化が繰り返し行われ
る。
の回転しない画像と、180 °回転した画像を用いること
で、使用する基準マ−ク14が保有する非対称性による
オフセットの影響を除去している。従って基準マ−ク1
4の段差構造がマ−ク中心に対して完全に対称なことが
予め分かっている場合は 180°回転して計測するという
操作を割愛することができる。また 180°の回転により
発生するオフセット量が予め分かっている場合も、回転
操作を割愛し、代わりに該オフセット量を評価値En に
反映させて最終評価値E0 を求めることができる。
のy方向の計測の調整について述べてきたが、最終的な
位置合わせは二次元的になされねばならない。その場
合、前記y方向と直交するx方向、即ち図1のx方向に
ついての調整も同様に行うことができる。即ちx方向に
ついては調整用の基準マ−ク14を90°、 270°と回転
させ、y方向と同様に互いに 180°異なる2つの状態に
して計測を行えば、一つの調整用マ−ク14でx、y両
方向を賄うことができる。一つのマ−クを用いると省ス
ペ−スとなると同時に、マ−ク自体が2つの方向で共通
となるため、オフセットの管理上からも実用的に価値が
大きい。
ある。本実施形態は半導体素子製造用の投影露光装置等
の位置検出装置によって光学重心の最適化を自動的に行
う補正システムを備えたことを特徴としている。図2に
おいても前に説明したものと同一の部材については同一
の符号が付されている。本実施形態の最も特徴となって
いる部分は位置検出光学系の照明部の構成で、その他は
図1と同じなのでここでは照明部に着目して説明を行
う。
の光は照明系レンズ15を通過した後、ファイバ−端面
(瞳面)の像を照明系11内で少なくとも1度結像す
る。該結像位置には検出系のσが1以下となる開口1
6、またはそれと同等な空間フィルタが配置される。照
明系レンズ15はファイバ−端面を開口16の位置に開
口部の大きさより十分大きい大きさで結像させるため、
開口16の位置を照明系の光軸に対して直交する方向に
動かすことで光学重心を調整でき、最適な位置検出系を
達成している。
価値E0 をもとに演算処理装置17で開口16の最適移
動量を算出して行っている。該算出値に従い基板54上
に設けたピエゾ素子等の駆動装置53を使って開口16
を駆動し、自動で且つ容易に高精度な位置検出光学系の
調整を行っている。
期メンテナンス時や、装置に不具合が発生した時に行う
とよい。評価値E0 の計測値が判断基準Ethより大きけ
れば、自動補正のクロ−ズト・ル−プ・シ−ケンスに入
り、小さければ前述のとうり通常のアライメント・ル−
チンに入る。
ある。これまでの実施形態では位置検出光学系として、
投影露光光学系を介して位置検出する所謂 TTLオフアク
シス系について説明してきたが、図8は投影露光光学系
を介さない単純なオフアクシスの位置検出光学系に本発
明を適用した場合を示している。図中これまでの説明図
で用いたものと同じ構成要素については同じ符号を付し
てある。光源13から出射した光は位置検出光学系50
に導光され、ウエハまたは調整用の基準マ−ク14を照
明する。調整用の基準マ−ク14はステ−ジ2上に載せ
られており、図9に示す構造を持っていることは他の実
施形態と同様である。基準マ−ク14からの反射光はC
CDカメラ等の光電変換素子9上に結像されて、電気信
号に変換される。該電気信号から得られた情報より演算
処理装置17が評価値E0 の値を計算し、判断基準Eth
と比較する。照明系の光学重心の位置を調整するか否か
を決定する以降の手順は先の2つの実施形態1,2と同
一である。
クを観察する所謂 TTRオンアクシス位置検出系について
も、実施形態1〜3と同様の機能及び手段を持つこと
で、検出光学系の調整状態をチェックし、位置検出精度
の向上を図ることができる。
体素子製造用の投影露光装置のような位置検出装置にお
ける位置検出光学系を光学重心の調整可能な照明系で構
成し、ある特定の画像信号を観察して照明条件を最適化
することで、マ−クの位置検出精度の向上を可能として
いる。また本発明では特定の画像信号を得るためにステ
−ジ上に所定の条件を持つ調整用の基準マ−クを配置す
ることにより、位置検出光学系の調整状態を自動で簡単
に評価することを可能とした。調整が不良な場合には位
置検出光学系内の照明系の開口部の位置を光軸と直交す
る方向に動かして検出光学系の光学重心の最適化を行
い、各種誤差成分をキヤンセルできるため、工程間オフ
セットの少ない位置検出装置を実現して、位置検出精度
の向上を図っている。
を示す図
差量と評価量との関係を示す図
成図
−ジ 3 ウエハチヤック材 4 ウエハ 5 検出光学系 6 検出光学系 7 λ/4板 8 結像光学系 9 光電変換素子 10 偏光ビ−ム
スプリッタ 11 照明光学系 12 ファイバ
− 13 光源 14 調整用基
準マ−ク 15 照明系レンズ 16 開口 17 演算処理装置 21 第一基板 22 歪電素子 23 第二基板 24 回転軸 30 ミラ− 31 アライメ
ントマ−ク 32 照明光 34 マ−ク中
心 41 照明光 42 エッジ散
乱光 50 位置検出光学系 51 レチクル 52 露光照明系 53 駆動装置 54 駆動基板
Claims (6)
- 【請求項1】 波長λの光を用いて被検物体を光電変換
素子上に結像する位置検出光学系と、前記位置検出光学
系によりλ/8の奇数倍或いはその近辺の段差を有する
基準マークを前記光電変換素子上に結像させた際に前記
光電変換素子から得られる画像信号を用いて前記位置検
出光学系の収差に起因する画像信号の非対称性を検定す
る手段とを有し、 移動ステージ上に設けられた、前記位置検出光学系の光
軸方向に移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上
に前記基準マークが設けられており、 前記検定する手段は、前記画像信号を前記基準マークを
互いに180°回転した関係にある2つの状態で得て、
該2つの状態での画像信号を用いて前記被対称性に関す
る評価値を計算し、 該評価値が所定の基準値から外れていた場合に、前記位
置検出光学系の照明系が前記被検物体を照明する照明光
の入射角度分布を調整する手段を有することを特徴とす
る位置検出装置。 - 【請求項2】 波長λの光を用いて被検物体を光電変換
素子上に結像する位置検出光学系と、前記位置検出光学
系によりλ/8の奇数倍或いはその近辺の段差を有する
基準マークを前記光電変換素子上に結像させた際に前記
光電変換素子から得られる画像信号を用いて前記位置検
出光学系の収差に起因する画像信号の非対称性を検定す
る手段とを有し、 移動ステージ上に設けられた、前記位置検出光学系の光
軸方向に移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上
に前記基準マークが設けられており、 前記検定する手段は、複数個の位置検出光学系に関して
の前記画素信号の非対称性を、前記基準マークを共通に
用いることによって検定し、 該検定手段の結果に基づいて、前記位置検出光学系の照
明系が前記被検物体を照明する照明光の入射角度分布を
調整する手段を有することを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項3】 前記検定を行う手段が、前記画像信号の
非対称性を前記共通の基準マークを用いて検定すると
き、前記基準マークを所定の角度回転して用いることを
特徴とする請求項2記載の位置検出装置。 - 【請求項4】 位置検出光学系により波長λの光を用い
て被検物体を光電変換素子上に結像する工程と、 前記位置検出光学系によりλ/8の奇数倍或いはその近
辺の段差を有する基準マークを前記光電変換素子上に結
像させた際に前記光電変換素子から得られる画像信号を
用いて前記位置検出光学系の収差に起因する画像信号の
非対称性を検定する工程とを有し、 移動ステージ上に設けられた、前記位置検出光学系の光
軸方向に移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上
に前記基準マークが設けられており、 前記検定する工程において、前記画像信号を前記基準マ
ークを互いに180°回転した関係にある2つの状態で
得て、該2つの状態での画像信号を用いて前記被対称性
に関する評価値を計算し、 前記評価値が所定の基準値から外れていた場合に、前記
位置検出光学系の照明系が前記被検物体を照明する照明
光の入射角度分布を調整する工程を有することを特徴と
する位置検出装置の検定方法。 - 【請求項5】 位置検出光学系により波長λの光を用い
て被検物体を光電変換素子上に結像する工程と、 前記位置検出光学系によりλ/8の奇数倍或いはその近
辺の段差を有する基準マークを前記光電変換素子上に結
像させた際に前記光電変換素子から得られる画像信号を
用いて前記位置検出光学系の収差に起因する画像信号の
非対称性を検定する工程とを有し、 移動ステージ上に設けられた、前記位置検出光学系の光
軸方向に移動可能で且つ光軸回りに回転可能な機構の上
に前記基準マークが設けられており、 前記検定する工程において、複数個の位置検出光学系に
関しての前記画素信号の非対称性を、前記基準マークを
共通に用いることによって検定し、 該検定手段の結果に基づいて、前記位置検出光学系の照
明系が前記被検物体を照明する照明光の入射角度分布を
調整する工程を有することを特徴とする位置検出装置の
検定方法。 - 【請求項6】 前記検定する工程において、前記画像信
号の非対称性を前記共通の基準マークを用いて検定する
とき、前期基準マークを所定の角度回転して 用いること
を特徴とする請求項5記載の位置検出装置の検定方法。
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