JP6366261B2 - リソグラフィ装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (17)
- パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板の第1面に形成された第1マークと、前記第1面とは反対側の第2面に形成された第2マークとの重ね合わせずれ量を計測する計測部を有し、
前記計測部は、
前記基板を透過する光で前記第1面側から前記基板を照明し、前記第1面からの光により前記第1マークの像を形成し、前記第2面からの光により前記第2マークの像を形成する光学系と、
前記第1マークの像及び前記第2マークの像のそれぞれを検出するセンサと、
前記センサによって前記第1マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第1マーク検出情報と、前記センサによって前記第2マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第2マーク検出情報と、前記基板の前記第1面と前記第2面との間の距離とに基づいて、前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像の両方を検出可能な前記光学系の計測用フォーカス位置を決定し、前記計測用フォーカス位置で前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像を検出し、前記計測用フォーカス位置で検出された前記第1マークの像及び前記第2マークの像に基づいて、前記第1面における前記第1マークの位置及び前記第2面における前記第2マークの位置を求める処理を行う処理部と、
を含み、
前記第1マーク検出情報は、前記第1マークの像の第1コントラストを含み、
前記第2マーク検出情報は、前記第2マークの像の第2コントラストを含み、
前記処理部は、前記計測用フォーカス位置から前記基板の前記第2面までの距離と前記計測用フォーカス位置から前記基板の前記第1面までの距離との比が前記第1コントラストと前記第2コントラストとの比と一致するように、前記計測用フォーカス位置を決定することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記処理部は、前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像が同時に検出されるように、前記計測用フォーカス位置を前記基板の前記第1面と前記第2面との間の位置に決定することを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1マーク検出情報及び前記第2マーク検出情報は、マークの像に対応する検出信号の波形対称性及び波形傾きの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記処理部は、
前記光学系のデフォーカス特性に基づいて、前記計測用フォーカス位置で検出された前記第1マークの像の第1検出値及び前記第2マークの像の第2検出値のそれぞれに含まれるデフォーカスに起因する誤差を補正して第1補正値及び第2補正値を求め、
前記第1補正値及び前記第2補正値に基づいて、前記第1面における前記第1マークの位置及び前記第2面における前記第2マークの位置を求めることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記処理部は、
前記第1検出値から、前記デフォーカス特性と前記計測用フォーカス位置から前記基板の前記第1面までの距離との積を減算することで前記第1補正値を求め、
前記第2検出値から、前記デフォーカス特性を前記基板の屈折率で除算した値と前記計測用フォーカス位置から前記基板の前記第2面までの距離との積を減算することで前記第2補正値を求めることを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィ装置。 - 前記処理部は、前記第1コントラストと前記第2コントラストとの比が閾値よりも小さい場合に、前記基板の前記第2面の位置を前記計測用フォーカス位置として決定することを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記処理部は、前記第2コントラストが閾値よりも小さい場合に、前記基板の前記第2面の位置を前記計測用フォーカス位置として決定することを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記計測部は、前記基板の前記第1面と前記第2面との間の距離が予め定められた距離よりも小さい基板を計測することを特徴とする請求項6又は7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記予め定められた距離は、前記光学系の焦点深度の2倍の距離であることを特徴とする請求項8に記載のリソグラフィ装置。
- 前記計測部は、前記第2マークの線幅よりも線幅が大きい前記第1マークを計測することを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記処理部は、
前記基板の前記第1面と前記第2面との間の距離が前記光学系の焦点深度の2倍の距離未満である場合には、前記処理を行い、
前記基板の前記第1面と前記第2面との間の距離が前記光学系の焦点深度の2倍の距離以上である場合には、前記センサによって前記第1マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態において前記第1マークの像を検出し、当該第1マークの像に基づいて、前記第1面における前記第1マークの像の位置を求め、前記センサによって前記第2マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態において前記第2マークの像を検出し、当該第2マークの像に基づいて、前記第2面における前記第2マークの像の位置を求める処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板の第1面に形成された第1マークと、前記第1面とは反対側の第2面に形成された第2マークとの重ね合わせずれ量を計測する計測部を有し、
前記計測部は、
前記基板を透過する波長の光で前記基板を照明し、前記第1面からの光により前記第1マークの像を、前記第2面からの光により前記第2マークの像を形成する光学系と、
前記第1マークの像及び前記第2マークの像のそれぞれを検出するセンサと、
前記基板の前記第1面と前記第2面との間の距離に基づいて、前記光学系のフォーカス位置が前記基板の前記第1面と前記第2面との間に位置するフォーカス状態に前記光学系を位置決めし、当該フォーカス状態において前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像を検出する処理を行う処理部と、
を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記処理部は、前記光学系のフォーカス位置が前記基板の前記第1面と前記第2面との中間に位置するフォーカス状態において前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像を検出する処理を行うことを特徴とする請求項12に記載のリソグラフィ装置。
- 前記計測部は、金属で形成されている前記第2マークを計測することを特徴とする請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板の第1面に形成された第1マークと、前記第1面とは反対側の第2面に形成された第2マークとの重ね合わせずれ量を計測する計測部を有し、
前記計測部は、
前記基板を透過する光で前記第1面側から前記基板を照明し、前記第1面からの光により前記第1マークの像を形成し、前記第2面からの光により前記第2マークの像を形成する光学系と、
前記第1マークの像及び前記第2マークの像のそれぞれを検出するセンサと、
前記センサによって前記第1マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第1マーク検出情報と、前記センサによって前記第2マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第2マーク検出情報とに基づいて、前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像の両方を検出可能な前記光学系の計測用フォーカス位置を決定し、前記計測用フォーカス位置で前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像を検出し、前記計測用フォーカス位置で検出された前記第1マークの像及び前記第2マークの像に基づいて、前記第1面における前記第1マークの位置及び前記第2面における前記第2マークの位置を求める処理を行う処理部と、
を含み、
前記第1マーク検出情報は、前記第1マークの像の第1コントラストを含み、
前記第2マーク検出情報は、前記第2マークの像の第2コントラストを含み、
前記処理部は、前記第1コントラストと前記第2コントラストとの比が閾値よりも小さい場合に、前記基板の前記第2面の位置を前記計測用フォーカス位置として決定することを特徴とするリソグラフィ装置。 - パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板の第1面に形成された第1マークと、前記第1面とは反対側の第2面に形成された第2マークとの重ね合わせずれ量を計測する計測部を有し、
前記計測部は、
前記基板を透過する光で前記第1面側から前記基板を照明し、前記第1面からの光により前記第1マークの像を形成し、前記第2面からの光により前記第2マークの像を形成する光学系と、
前記第1マークの像及び前記第2マークの像のそれぞれを検出するセンサと、
前記センサによって前記第1マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第1マーク検出情報と、前記センサによって前記第2マークの像を検出可能な前記光学系のフォーカス状態で取得された第2マーク検出情報とに基づいて、前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像の両方を検出可能な前記光学系の計測用フォーカス位置を決定し、前記計測用フォーカス位置で前記センサによって前記第1マークの像及び前記第2マークの像を検出し、前記計測用フォーカス位置で検出された前記第1マークの像及び前記第2マークの像に基づいて、前記第1面における前記第1マークの位置及び前記第2面における前記第2マークの位置を求める処理を行う処理部と、
を含み、
前記第2マーク検出情報は、前記第2マークの像の第2コントラストを含み、
前記処理部は、前記第2コントラストが閾値よりも小さい場合に、前記基板の前記第2面の位置を前記計測用フォーカス位置として決定することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項1乃至16のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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