JP2023104683A - 検出装置、検出方法、露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】互いに異なるマークを検出する複数の検出系を用いて、オーバーレイ精度の向上、且つ、高いスループットを達成するのに有利な技術を提供する。【解決手段】物体に設けられた複数のマークを検出する検出装置であって、前記物体を保持して回転可能なステージと、前記ステージに保持された前記物体に設けられた前記複数のマークのうち、互いに異なるマークを検出するように互いに離れて配置された複数の検出系と、前記ステージが第1回転角度で配置された第1状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの1つ以上の検出系で検出して第1検出値を得る第1処理と、前記ステージが前記第1回転角度とは異なる第2回転角度で配置された第2状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの2つ以上の検出系で検出して第2検出値を得る第2処理と、を行い、前記複数のマークのそれぞれについて、前記第1検出値と前記第2検出値との差分を求める処理部と、を有することを特徴とする検出装置を提供する。【選択図】図11
Description
本発明は、検出装置、検出方法、露光装置及び物品の製造方法に関する。
近年、半導体素子などの製造に用いられる露光装置においては、更なる微細化とともに、原版と基板との重ね合わせ精度(オーバーレイ精度)の高精度化が求められている。オーバーレイ精度には、通常、解像度の1/5程度が必要とされているため、半導体素子の微細化が進むにつれて、オーバーレイ精度の向上がますます重要となる。
オーバーレイ精度を向上させるために、例えば、位置検出系が検出する基板上のマーク(アライメントマーク)の数を増加させる手法があるが、かかる手法では、マークの検出に要する時間(検出時間)が増加し、装置のスループットが低下してしまう。そこで、検出対象のマークの数の増加と検出時間の短縮とを両立させるために、複数の位置検出系を用いて、基板上の複数のマークを検出する技術が提案されている。なお、複数の位置検出系を用いながら高精度なマークの検出を実現するためには、各位置検出系の調整誤差を小さくする必要があり、基準となるマーク(基準マーク)を用いて各位置検出系のオフセットを算出する手法が提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、基準マークに対して、複数の位置検出系のそれぞれのオフセットを求めたとしても、ステージに対する基板の置き誤差によって各位置検出系に対するステージの回転量が異なるため、その影響でマークの検出精度が低下する可能性がある。これは、1つの位置検出系(単眼)で基板上のマークを検出する際のステージの姿勢と、複数の位置検出系(複眼)で基板上のマークを検出する際のステージの姿勢とが異なることで生じる誤差に起因する。また、同じ複眼を用いる場合でも、ステージに対する基板の置き誤差によってステージの回転量が異なるため、その影響でマークの検出精度が低下することになる。
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、互いに異なるマークを検出する複数の検出系を用いて、オーバーレイ精度の向上、且つ、高いスループットを達成するのに有利な技術を提供することを例示的目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての検出装置は、物体に設けられた複数のマークを検出する検出装置であって、前記物体を保持して回転可能なステージと、前記ステージに保持された前記物体に設けられた前記複数のマークのうち、互いに異なるマークを検出するように互いに離れて配置された複数の検出系と、前記ステージが第1回転角度で配置された第1状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの1つ以上の検出系で検出して第1検出値を得る第1処理と、前記ステージが前記第1回転角度とは異なる第2回転角度で配置された第2状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの2つ以上の検出系で検出して第2検出値を得る第2処理と、を行い、前記複数のマークのそれぞれについて、前記第1検出値と前記第2検出値との差分を求める処理部と、を有することを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、互いに異なるマークを検出する複数の検出系を用いて、オーバーレイ精度の向上、且つ、高いスループットを達成するのに有利な技術を提供することができる。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。更に、添付図面においては、同一もしくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の一側面としての露光装置100の構成を示す概略図である。露光装置100は、原版を介して基板を露光し、かかる基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置100は、原版1(レチクル又はマスク)を保持する原版ステージ2と、基板3を保持する基板ステージ4と、原版ステージ2に保持された原版1を照明する照明光学系5とを有する。また、露光装置100は、原版1のパターン(の像)を基板ステージ4に保持された基板3に投影する投影光学系6と、露光装置100の全体の動作を統括的に制御する制御部17とを有する。
図1は、本発明の一側面としての露光装置100の構成を示す概略図である。露光装置100は、原版を介して基板を露光し、かかる基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置100は、原版1(レチクル又はマスク)を保持する原版ステージ2と、基板3を保持する基板ステージ4と、原版ステージ2に保持された原版1を照明する照明光学系5とを有する。また、露光装置100は、原版1のパターン(の像)を基板ステージ4に保持された基板3に投影する投影光学系6と、露光装置100の全体の動作を統括的に制御する制御部17とを有する。
露光装置100は、本実施形態では、原版1と基板3とを走査方向に互いに同期走査しながら(即ち、ステップ・アンド・スキャン方式で)、原版1のパターンを基板3に転写する走査型露光装置(スキャナー)である。但し、露光装置100は、原版1を固定して(即ち、ステップ・アンド・リピート方式で)、原版1のパターンを基板3に転写する露光装置(ステッパー)であってもよい。
以下では、図1に示すように、投影光学系6の光軸と一致する方向(光軸方向)をZ方向、Z方向に垂直な平面内で原版1及び基板3の走査方向をY方向、Z方向及びY方向に垂直な方向(非走査方向)をX方向とする。また、X軸周り、Y軸周り及びZ軸周りのそれぞれの方向を、θX方向、θY方向及びθZ方向とする。
照明光学系5は、原版1、具体的には、原版上の所定の照明領域を、均一な照度分布の光(露光光)で照明する。露光光としては、例えば、超高圧水銀ランプのg線やi線、KrFエキシマレーザ、ArFエキシマレーザ、F2レーザなどが用いられる。また、より微細な半導体素子を製造するために、数nm~数百nmの極端紫外光(Extreme Ultra Violet:EUV光)を露光光として用いてもよい。
原版ステージ2は、原版1を保持し、投影光学系6の光軸に垂直な平面内、即ち、XY平面内で2次元移動可能に、且つ、θZ方向に回転可能に構成されている。原版ステージ2は、リニアモータなどの駆動機構(不図示)によって駆動される。
原版ステージ2には、ミラー7が設けられている。また、ミラー7に対向する位置には、レーザ干渉計9が設けられている。原版ステージ2(に保持された原版1)の2次元方向の位置及び回転角はレーザ干渉計9によってリアルタイムで計測され、かかる計測結果は制御部17に出力される。制御部17は、レーザ干渉計9の計測結果に基づいて駆動機構を制御し、原版ステージ2に保持された原版1を位置決めする。
投影光学系6は、複数の光学素子を含み、原版1のパターンを所定の投影倍率βで基板3に投影する。投影光学系6は、本実施形態では、例えば、1/4又は1/5の投影倍率βを有する縮小光学系である。
基板ステージ4は、チャックを介して基板3を保持するZステージと、Zステージを支持するXYステージと、XYステージを支持するベースとを含む。基板ステージ4は、リニアモータなどを含む駆動機構18によって駆動される。
基板ステージ4には、ミラー8が設けられている。
また、ミラー8に対向する位置には、基板ステージ4の位置を計測するためのレーザ干渉計10及び12が設けられている。基板ステージ4のX方向、Y方向及びθZ方向の位置はレーザ干渉計10によってリアルタイムで計測され、かかる計測結果は制御部17に出力される。また、基板ステージ4のZ方向の位置、θX方向及びθY方向の位置はレーザ干渉計12によってリアルタイムで計測され、かかる計測結果は制御部17に出力される。制御部17は、レーザ干渉計10及び12の計測結果に基づいて、駆動機構18を制御することで、基板ステージ4に保持された基板3を位置決めする。
また、ミラー8に対向する位置には、基板ステージ4の位置を計測するためのレーザ干渉計10及び12が設けられている。基板ステージ4のX方向、Y方向及びθZ方向の位置はレーザ干渉計10によってリアルタイムで計測され、かかる計測結果は制御部17に出力される。また、基板ステージ4のZ方向の位置、θX方向及びθY方向の位置はレーザ干渉計12によってリアルタイムで計測され、かかる計測結果は制御部17に出力される。制御部17は、レーザ干渉計10及び12の計測結果に基づいて、駆動機構18を制御することで、基板ステージ4に保持された基板3を位置決めする。
基板ステージ4には、基板ステージ4に保持された基板3の表面とほぼ同じ高さとなるように、ステージ基準プレート11が設けられている。図2は、基板ステージ4に設けられたステージ基準プレート11(11a、11b、11c)の詳細な構成を示す図である。ステージ基準プレート11は、基板ステージ4の1つのコーナーに設けられていてもよいし、基板ステージ4の複数のコーナーに設けられていてもよい。また、ステージ基準プレート11は、基板ステージ4の辺に沿って設けられていてもよい。本実施形態では、図2に示すように、基板ステージ4に対して、3つのステージ基準プレート11a、11b及び11cが設けられている。
ステージ基準プレート11には、図2に示すように、位置検出系42が検出する位置検出系用の基準マーク39と、原版アライメント検出系13又は14が検出する基準マーク38が設けられている。ステージ基準プレート11には、複数の基準マーク38や複数の基準マーク39が設けられていてもよい。また、基準マーク38と基準マーク39との位置関係(X方向及びY方向)は、所定の位置関係に設定されている(即ち、既知である)。なお、基準マーク38と基準マーク39とは、共通のマークであってもよい。
原版アライメント検出系13は、原版ステージ2の近傍に設けられている。原版アライメント検出系13は、原版ステージ2に保持された原版1に設けられた原版基準マーク(不図示)と、投影光学系6を介して基板ステージ上のステージ基準プレート11に設けられた基準マーク38とを検出する。原版アライメント検出系13は、基板3を実際に露光する際に用いられる光源と同一の光源を用いて、原版1に設けられた原版基準マークと、投影光学系6を介して基準マーク38とを検出する。具体的には、原版アライメント検出系13は、原版基準マーク及び基準マーク38(反射型マーク)からの反射光を撮像素子(例えば、CCDカメラなどの光電変換素子)で検出する。かかる撮像素子からの検出信号に基づいて、原版1と基板3との位置合わせ(アライメント)が行われる。この際、原版1に設けられた原版基準マークとステージ基準プレート11に設けられた基準マーク38との位置及びフォーカスを合わせることで、原版1と基板3との相対的な位置関係(X、Y、Z)を合わせることができる。
原版アライメント検出系14は、基板ステージ4に設けられている。原版アライメント検出系14は、透過型検出系であって、基準マーク38が透過型マークである場合に用いられる。原版アライメント検出系14は、基板3を実際に露光する際に用いられる光源と同一の光源を用いて、原版1に設けられた原版基準マークと、ステージ基準プレート11に設けられた基準マーク38とを検出する。具体的には、原版アライメント検出系14は、原版基準マーク及び基準マーク38を通過した透過光を光量センサで検出する。この際、基板ステージ4をX方向(又はY方向)及びZ方向に移動させながら、原版アライメント検出系14は、透過光の光量を検出する。これにより、原版1に設けられた原版基準マークとステージ基準プレート11に設けられた基準マーク38との位置及びフォーカスを合わせることができる。
このように、原版アライメント検出系13、或いは、原版アライメント検出系14のどちらの検出系を用いても、原版1と基板3との相対的な位置関係(X、Y、Z)を合わせることができる。
フォーカス検出系15は、基板3の表面に光を斜入射で投光する投光系と、基板3の表面で反射した光を受光する受光系とを含む。フォーカス検出系15は、基板3のZ方向(高さ方向)の位置を検出し、かかる検出結果を制御部17に出力する。制御部17は、フォーカス検出系15の検出結果に基づいて、駆動機構18を制御することで、基板ステージ4に保持された基板3のZ方向の位置及び傾斜角を調整する。
基板アライメント検出系16は、後述するように、照明系と受光系とをそれぞれが含む複数の位置検出系42で構成されている。照明系は、基板3に設けられたアライメントマーク19やステージ基準プレート11に設けられた基準マーク39を光で照明する。受光系は、基板3に設けられたアライメントマーク19やステージ基準プレート11に設けられた基準マーク39からの光(反射光)を受光する。基板アライメント検出系16は、アライメントマーク19や基準マーク39を検出し、その結果を制御部17に出力する。制御部17は、基板アライメント検出系16の検出結果に基づいて、基板ステージ4を駆動する駆動機構18を制御し、基板ステージ4に保持された基板3のX方向及びY方向の位置を調整する。
基板アライメント検出系の構成は、一般的には、オフアクシスアライメント(OA)検出系と、TTL(Through the Lens Alignment)検出系との2つに大別される。OA検出系は、投影光学系を介さずに、基板に設けられたアライメントマークを光学的に検出する。TTL検出系は、投影光学系を介して、露光光の波長とは異なる波長の光(非露光光)を用いて基板に設けられたアライメントマークを検出する。基板アライメント検出系16は、本実施形態では、OA検出系であるが、アライメントの検出方式を限定するものではない。例えば、基板アライメント検出系16がTTL検出系である場合には、投影光学系6を介して、基板3に設けられたアライメントマーク19を検出するが、基本的な構成は、OA検出系と同様である。
図3は、基板アライメント検出系16、詳細には、基板アライメント検出系16を構成する1つの位置検出系42の具体的な構成を示す概略図である。位置検出系42は、光源20と、第1コンデンサ光学系21と、波長フィルタ板22と、第2コンデンサ光学系23と、開口絞り板24と、第1照明系25と、第2照明系26と、偏光ビームスプリッタ27と、NA絞り28と、を含む。また、位置検出系42は、AFプリズム29と、λ/4板30と、対物レンズ31と、リレーレンズ32と、第1結像系33と、開口絞り34と、第2結像系35と、波長シフト差調整用光学部材36と、光電変換素子37と、を含む。
光源20は、本実施形態では、可視光(例えば、500nm以上700nm以下の波長の光)、青波長の光(例えば、450nm以上550nm以下の波長の光(青波長光))及び赤外光(例えば、700nm以上1500nm以下の波長の光)を射出する。光源20からの光は、第1コンデンサ光学系21、波長フィルタ板22及び第2コンデンサ光学系23を通過して、位置検出系42の瞳面(物体面に対する光学的なフーリエ変換面)に位置する開口絞り板24に到達する。
波長フィルタ板22には、光を通過させる波長帯が互いに異なる複数の波長フィルタが配置され、制御部17の制御下において、複数の波長フィルタから1つの波長フィルタが選択されて位置検出系42の光路に配置される。本実施形態では、波長フィルタ板22には、赤外光を通過させる波長フィルタと、可視光を通過させる波長フィルタと、青波長光を通過させる波長フィルタとが配置されている。波長フィルタ板22において、これらの波長フィルタを切り替えることによって、基板3に設けられたアライメントマーク19を照明する光の波長帯を選択することができる。また、波長フィルタ板22は、予め設けられた複数の波長フィルタの他に、新たな波長フィルタを追加することが可能な構成を有していてもよい。
開口絞り板24には、照明σが互いに異なる複数の開口絞りが配置され、制御部17の制御下において、位置検出系42の光路に配置する開口絞りを切り替えることで、アライメントマーク19を照明する光の照明σを変更することができる。また、開口絞り板24は、予め設けられた複数の開口絞りの他に、新たな開口絞りを追加することが可能な構成を有していてもよい。
開口絞り板24に到達した光は、第1照明系25及び第2照明系26を介して、偏光ビームスプリッタ27に導かれる。偏光ビームスプリッタ27に導かれた光のうち紙面に垂直なS偏光は、偏光ビームスプリッタ27で反射され、NA絞り28、AFプリズム29及びλ/4板30を通過して円偏光に変換される。λ/4板30を通過した光(照明光)は、対物レンズ31を介して、基板3に設けられたアライメントマーク19を照明する。NA絞り28は、制御部17の制御下において、絞り量を変えることでNAを変更することができる。
アライメントマーク19からの反射光、回折光及び散乱光(検出光)は、対物レンズ31及びλ/4板30を通過して紙面に平行なP偏光に変換され、AFプリズム29及びNA絞り28を介して、偏光ビームスプリッタ27を透過する。偏光ビームスプリッタ27を透過した光は、リレーレンズ32、第1結像系33、開口絞り34、第2結像系35及び波長シフト差調整用光学部材36を介して、光電変換素子37(例えば、CCDイメージセンサなどの撮像素子)に到達する。光電変換素子37は、アライメントマーク19からの光を検出するが、かかる光の強度がある一定の閾値を超えるまで、蓄積時間を延ばすことが可能である。光電変換素子37の蓄積時間は、制御部17によって制御される。
露光装置100において、基板アライメント検出系16は、上述したように、図3に示す構成を、それぞれが有する複数の位置検出系42で構成されている。換言すれば、基板アライメント検出系16は、複数の位置検出系42からなる位置検出系群を構成する。本実施形態では、基板アライメント検出系16は、図4(a)及び図4(b)に示すように、互いに異なるアライメントマークを検出するように互いに離れて配置された3つの位置検出系42a、42b及び42cを含む。位置検出系42a、42b及び42cは、それぞれ、駆動部41a、41b及び41cを介して、ベースプレート40に保持されている。駆動部41a、41b及び41cは、それぞれ、位置検出系42a、42b及び42cを駆動して、ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cの位置を変更する。換言すれば、駆動部41a、41b及び41cは、ベースプレート40における位置検出系42a、42b及び42cの相対的な位置関係を変更する。
基板アライメント検出系16は、複数の位置検出系42で構成されているため、基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を同時に検出することが可能である。アライメントマーク19は、通常、基板上のショット領域の配列(ショットレイアウト)に応じた繰り返し周期で基板3に設けられている。基板3に設けられたアライメントマーク19の配列に関する情報は、露光装置100が備える記憶部、例えば、制御部17のメモリなどに格納(記憶)されている。
ここで、例えば、図4(a)を参照するに、制御部17の制御下において、アライメントマーク19の配列に関する情報、具体的には、アライメントマーク19a及び19bの間隔情報に基づいて、駆動部41cを介して、位置検出系42cをX方向に駆動する。そして、図4(b)に示すように、位置検出系42aの下にアライメントマーク19aを配置させ、位置検出系42cの下にアライメントマーク19bを配置させることで、アライメントマーク19a及び19bを同時に検出することが可能となる。なお、図4(a)及び図4(b)では、2つのアライメントマーク19a及び19bが基板3に設けられているが、更に多くのアライメントマーク19が基板3に設けられていてもよい。
図4(a)及び図4(b)に示すように、基板3には、複数のアライメントマーク19が設けられている。基板アライメント検出系16は、複数のアライメントマーク19を位置検出系42のそれぞれで検出することで、基板3の倍率、シフト及び回転などの各成分を求めることができる。特に、近年では、高精度なアライメントを実現して、オーバーレイ精度を向上させるために、数多くのアライメントマーク19を検出することが要求されている。
図5、図6、図7及び図8を参照して、1つの位置検出系42(単眼)による基板上のアライメントマーク19の検出について説明する。
図5及び図6は、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差なく載置された状態(基板3が回転しないで置かれた状態)において、位置検出系42aがアライメントマーク19a及び19bを検出するシーケンスを示している。図5及び図6では、説明を簡易にするために、基板3に設けられているアライメントマーク19の数を2つとしているが、3つ以上のアライメントマーク19が基板3に設けられていてもよい。まず、図5に示すように、位置検出系42aの下に基板上の左側のアライメントマーク19aが位置するように基板ステージ4を駆動させ、位置検出系42aでアライメントマーク19aを検出する。次に、図6に示すように、位置検出系42aの下に基板上の右側のアライメントマーク19bが位置するように基板ステージ4を矢印43の方向(X方向)に駆動させ、位置検出系42aでアライメントマーク19bを検出する。
図7及び図8は、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差を有して載置された状態(基板3が回転して置かれた状態)において、位置検出系42aがアライメントマーク19a及び19bを検出するシーケンスを示している。まず、図7に示すように、位置検出系42aの下に基板上の左側のアライメントマーク19aが位置するように基板ステージ4を駆動し、位置検出系42aでアライメントマーク19aを検出する。次に、図8に示すように、位置検出系42aの下に基板上の右側のアライメントマーク19bが位置するように基板ステージ4を矢印43の方向(X方向)及び矢印44の方向(Y方向)に駆動し、位置検出系42aでアライメントマーク19bを検出する。
図5乃至図8を参照するに、1つの位置検出系42aによる検出では、基板3が置き誤差を有しているか否かに関わらず、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動のみで、位置検出系42aの下にアライメントマーク19a及び19bを位置させることができる。従って、図5と図6とでは、或いは、図7と図8とでは、位置検出系42aに対する基板ステージ4が配置される回転角度が同じであるため、基板ステージ4のθZ制御(回転駆動)に起因する誤差は生じないことがわかる。このように、単眼で複数のアライメントマークを検出する際には、基板ステージ4が同じ回転角度で配置された状態となるため、基板ステージ4のθZ制御に起因する誤差を生じさせずに、アライメントマークを検出することができるというメリットがある。一方、各アライメントマークを検出する際に、基板ステージ4の駆動が必要となるため、アライメントマークの検出に時間を要し、スループットが低下するというデメリットもある。
以下では、2つの位置検出系42(複眼(2眼))による基板上のアライメントマーク19の同時検出について説明する。
図9は、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差なく載置された状態(基板3が回転しないで置かれた状態)において、位置検出系42a及び42cが、それぞれ、アライメントマーク19a及び19bを検出するシーケンスを示している。まず、位置検出系42aの下に基板上の左側のアライメントマーク19aが位置するように基板ステージ4を駆動する。次いで、位置検出系42cの下に基板上の右側のアライメントマーク19bが位置するように(アライメントマーク19bの上に位置検出系42cが位置するように)、駆動部41cを介して、位置検出系42cを駆動する。これにより、図9に示すように、位置検出系42aでアライメントマーク19aを、位置検出系42cでアライメントマーク19bを、同時に検出することが可能となる。従って、1つの位置検出系42aでアライメントマーク19a及び19bを検出する場合(図5及び図6)と比較して、基板ステージ4の矢印43の方向への駆動が不要となるため、アライメントマーク19a及び19bを短時間で検出することができる。なお、実際には、駆動部41cによる位置検出系42cの駆動は、基板3のショットレイアウトに応じて、位置検出系42aの下にアライメントマーク19aを位置させるための基板ステージ4の駆動を実施する前に実施される。換言すれば、アライメントマーク19aとアライメントマーク19bとの間隔に基づいて、位置検出系42aと位置検出系42cとの間隔が予め調整されている。
図9では、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差なく載置された理想的な状態を想定している。但し、実際には、図10及び図11に示すように、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差を有して載置された状態(基板3が回転して置かれた状態)となることが多々ある。このため、容易には、複眼(例えば、位置検出系42a及び42c)で各アライメントマーク(例えば、アライメントマーク19a及び19b)を同時に検出することができない。
図10は、基板ステージ4に対して基板3が置き誤差を有して載置された状態(基板3が回転して置かれた状態)において、位置検出系42a及び42cが、それぞれ、アライメントマーク19a及び19bを検出するシーケンスを示している。図10では、アライメントマーク19aとアライメントマーク19bとの間隔(設計値)と、位置検出系42aと位置検出系42cとの間隔とが一致するように、駆動部41cを介して、位置検出系42cが予め駆動されている。
まず、図10に示すように、位置検出系42aの下に基板上の左側のアライメントマーク19aが位置するように基板ステージ4を駆動する。この際、基板ステージ4に対して基板3が回転しているため、アライメントマーク19a及び19bの間隔に応じて位置検出系42cを駆動するだけでは、位置検出系42cの下に基板上の右側のアライメントマーク19bを位置させることができない。従って、位置検出系42aでアライメントマーク19aを、位置検出系42cでアライメントマーク19bを、同時に検出することは不可能である。
そこで、図11に示すように、図10に示す状態から、基板ステージ4を矢印45の方向(θZ方向)に回転させる。これにより、位置検出系42aの下にアライメントマーク19aが位置した状態を維持しながら、位置検出系42cの下にアライメントマーク19bを位置させることができる。このように、位置検出系42a及び42cの下に、それぞれ、アライメントマーク19a及び19bが位置する状態とすることで、アライメントマーク19a及び19bを同時に検出することが可能となる。
上述したように、基板ステージ4に対して基板3が回転して置かれた際には、一般的には、基板ステージ4をθZ方向に回転させて、位置検出系42a及び42cのそれぞれでアライメントマーク19a及び19bを同時に検出している。但し、基板ステージ4をθZ方向に回転させた場合(図11)と、基板ステージ4をθZ方向に回転させていない場合(図5乃至図9)とでは、アライメントマーク19の検出結果が完全に一致しないという問題が生じてしまう。
基板ステージ4の位置は、上述したように、レーザ干渉計10及び11の計測結果に基づいて制御される。ここで、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動補正(図5乃至図9)に対して、基板ステージ4のθZ方向への駆動補正(図11)は難しく、同じ精度で補正することができない。これは、基板ステージ上のミラー8に対してレーザ干渉計10から光を照射し、ミラー8からの戻り光を検出することで、基板ステージ4の位置を制御しているが、X方向及びY方向の補正に対して、θZ方向の補正は、誤差が増えてしまうからである。
具体的には、図5乃至図9に示すように、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動補正のみであれば、基板ステージ4の位置によらず、レーザ干渉計10に対して、ミラー8からの戻り光が同じ位置に戻ってくるように、基板ステージ4を制御すればよい。この際に考えられる誤差としては、基板ステージ上のミラー8の形状やミラー8からレーザ干渉計10までの空気揺らぎなどが挙げられる。
一方、図11に示すように、基板ステージ4をθZ方向に回転駆動させると、基板ステージ4上のミラー8に対してレーザ干渉計10からの光が垂直に照射されないため、ミラー8からレーザ干渉計10に戻る光は大きくシフトする(ずれる)ことになる。基板ステージ4のθZ方向への回転をレーザ干渉計10で正確に計測して、基板ステージ4の位置を補正できればよいが、実際には、計測誤差やX方向のチルトの影響などによって、基板ステージ4の位置を正確に補正できずに、アッベ誤差が生じる。
このように、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動補正(図5乃至図9)に対して、基板ステージ4のθZ方向への駆動補正(図11)では、アッベ誤差が生じるため、X方向及びY方向への駆動補正と同じ精度で補正することは不可能である。また、基板ステージ4の座標(位置)に依存するアッベ誤差があることもわかっており、基板3のショット領域に応じて、アッベ誤差が変動するという問題もある。
更に、基板ステージ4に対する基板3の載置(配置)状態は、例えば、図10に示すように、位置検出系42aの下にアライメントマーク19aを位置させたとしても、1枚目の基板3と、2枚目以降の基板3とで異なることがある。2枚目以降の基板3を基板ステージ4に載置させた状態の一例を図12に示す。図12を参照するに、位置検出系42aの下にアライメントマーク19aを位置させると、図10に示す状態(載置状態)とは異なる傾向の回転(傾き)で基板3が載置されていることがわかる。基板ステージ4に対して基板3が図12に示す状態で載置された場合、位置検出系42a及び42cのそれぞれがアライメントマーク19a及び19bを同時に検出するためには、図11に示す状態とは異なる角度で基板ステージ4を回転させる必要がある。
例えば、図12に示すように、位置検出系42aの下に基板上の左側のアライメントマーク19aが位置するように基板ステージ4を駆動する。なお、位置検出系42cは、アライメントマーク19aとアライメントマーク19bとの間隔(設計値)と、位置検出系42aと位置検出系42cとの間隔とが一致するように、駆動部41cを介して予め駆動されているものとする。この場合、基板ステージ4に対して基板3が回転しているため、アライメントマーク19a及び19bの間隔に応じて位置検出系42cを駆動するだけでは、位置検出系42cの下に基板上の右側のアライメントマーク19bを位置させることができない。そこで、基板ステージ4に対して基板3が図12に示す状態で載置された場合には、図13に示すように、基板ステージ4を矢印46の方向(θZ方向)に回転させる。このように、位置検出系42a及び42cの下に、それぞれ、アライメントマーク19a及び19bが位置する状態とすることで、アライメントマーク19a及び19bを同時に検出することが可能となる。
図11及び図13を参照するに、位置検出系42a及び42cのそれぞれでアライメントマーク19a及び19cを同時に検出するためには、基板ステージ4に対する基板3の載置状態に応じて、基板ステージ4の回転方向や回転量が異なることがわかる。基板ステージ4の回転方向や回転量が異なれば、レーザ干渉計10及び12による基板ステージ4の駆動補正の誤差の影響も受けるため、2つの位置検出系42(複眼(2眼))による基板上のアライメントマーク19の同時検出における誤差要因となる。
そこで、本実施形態では、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差(シフトやθZ)に関わらず、複数の位置検出系42による基板上のアライメントマーク19の同時検出を常に高精度に行うための技術を提供する。これにより、複数の位置検出系42を用いながらも、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差の影響を受けずに、オーバーレイ精度の向上、且つ、高いスループットを達成することが可能となる。
図14を参照して、本実実施形態における2つの位置検出系42によるアライメントマーク19の同時検出(検出方法)について説明する。2つの位置検出系42によるアライメントマーク19の同時検出は、制御部17が位置検出系42(基板アライメント検出系16)や基板ステージ4を統括的に制御することで行われる。従って、基板ステージ4、位置検出系42及び制御部17は、基板3に設けられたアライメントマーク19を検出する検出装置として機能する。
S47では、1枚目の基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの1つの位置検出系42(単眼)で検出し、各アライメントマーク19の検出値を得る処理(1枚目の基板に対する単眼アライメント)を行う。具体的には、図7及び図8に示すように、基板ステージ4に対して基板3が回転して置かれている際には、基板ステージ4をX方向及びY方向に駆動しながら、1つの位置検出系42aでアライメントマーク19a及び19bを検出する。ここでは、アライメントマーク19a及び19bのうちの一方のアライメントマーク(例えば、アライメントマーク19a)に対する検出値を検出値49とする。
このように、S47は、基板ステージ4が第1回転角度で配置された第1状態において、複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの1つ以上の検出系42で検出して第1検出値を得る第1処理に相当する。ここで、第1状態では、基板ステージ4の基板3を保持する保持面に平行な面内(XY面内)で基板ステージ4が、所定の基準回転角度(例えば、θZ方向においてX方向又はY方向に対して0度)である第1回転角度で配置された状態である。また、第1状態では、基板ステージ4上のミラー8に対してレーザ干渉計10からの光が垂直に照射されるように基板ステージ4が配置されるとよい。
S48では、1枚目の基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの2つの位置検出系42(複眼)で検出し、各アライメントマーク19の検出値を得る処理(1枚目の基板に対する複眼アライメント)を行う。具体的には、図11に示すように、基板ステージ4に対して基板3が回転して置かれている際には、基板ステージ4をθZ方向に回転させて、2つの位置検出系42a及び42cのそれぞれでアライメントマーク19a及び19bを同時検出する。ここでは、アライメントマーク19a及び19bのうちの一方のアライメントマーク(例えば、アライメントマーク19a)に対する検出値を検出値50とする。また、基板ステージ4の回転角度をθ45とする。
このように、S48は、基板ステージ4が第1回転角度とは異なる第2回転角度で配置された第2状態において、複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの2つ以上の位置検出系42で検出して第2検出値を得る第2処理に相当する。ここで、第2状態は、基板ステージ4の基板3を保持する保持面に平行な面内(XY面内)で基板ステージ4が第2回転角度で配置された状態である。また、第2状態では、複数の位置検出系42のうちの2つ以上の位置検出系42が、基板ステージ4に保持された基板3(第1物体)に設けられた複数のアライメントマーク19を検出できるように基板ステージ4が配置される。また、第2状態では、基板ステージ4の回転方向及び回転量の少なくとも一方が、第1状態とは異なる。
S47とS48とでは、基板ステージ4に対して基板3が同じ状態で保持(載置)されているため、各アライメントマーク19に対する検出値は、理想的には、同一の値となる。但し、実際には、基板ステージ4のθZ方向への駆動補正の誤差の影響があるため、S47とS48とで、各アライメントマークに対する検出値が同一の値とはならない。ここで、制御部17は、S47で得られた検出値49とS48で得られた検出値50との差分を検出値Δ51として求める。このように、制御部17は、第1検出値(検出値49)と第2検出値(検出値50)との差分を求める処理部として機能する。
S52では、2枚目の基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの2つの位置検出系42(複眼)で検出し、各アライメントマーク19の検出値を得る処理(2枚目の基板に対する複眼アライメント)を行う。具体的には、図13に示すように、基板ステージ4に対して基板3が回転して置かれている際には、基板ステージ4をθZ方向に回転させて、2つの位置検出系42a及び42cのそれぞれでアライメントマーク19a及び19bを同時検出する。ここでは、アライメントマーク19a及び19bのうちの一方のアライメントマーク(例えば、アライメントマーク19a)に対する検出値を検出値53とする。また、基板ステージ4の回転角度をθ46とする。
なお、S48とS52とでは、基本的には、基板ステージ4に対して基板3が異なる状態(回転)で保持(載置)されることになるため、アライメントマーク19a及び19bの同時検出に必要となる基板ステージ4のθZ方向の回転は異なる。換言すれば、S48とS52とでは、基板ステージ4の回転方向及び回転量の少なくとも一方が異なっている。ここで、S48における基板ステージ4の回転角度θ45とS52における基板ステージ4の回転角度θ46との回転差をθZ差分Δ54とする。
S80では、S52で得られた各アライメントマーク19の検出値を補正して補正値TV53を求める。S52で得られたアライメントマーク19aに対する検出値53には、S47で得られたアライメントマーク19aに対して、基板ステージ4のθZ方向への駆動補正の誤差の影響が含まれている。従って、S52で得られたアライメントマーク19aに対する検出値53から基板ステージ4のθZ方向への駆動補正の誤差の影響を取り除いて(即ち、検出値53を補正して)、補正値TV53を求める必要がある。具体的には、検出値53から、検出値Δ51と、θZ差分Δ54とθZ係数との積とを減算する(「検出値53-検出値Δ51-θZ差分Δ54×θZ係数」)ことによって、補正値TV53を求める。なお、θZ係数は、基板ステージ4が配置される回転角度によって発生する誤差量、即ち、基板ステージ4が配置される回転角度とアライメントマーク19の検出値に含まれる誤差量との関係を示す係数である。
このように、S80は、2枚目以降の基板3に対して、基板ステージ4が第3回転角度で配置された第3状態において、複数のアライメントマーク19を複数の位置検出系42のうちの2つ以上の位置検出系42で検出して第3検出値を得る第3処理に相当する。ここで、第3回転角度は、第2回転角度と異なる。また、第3状態は、基板ステージ4の基板3を保持する保持面に平行な面内(XY面内)で基板ステージ4が第3回転角度で配置された状態である。また、ここでは、第1処理(S47)及び第2処理(S47)を経ているため、第1検出値(検出値49)と第2検出値(検出値50)との差分が求められている。従って、1枚目の基板3(第1物体)の後に処理される2枚目以降の基板3(第2物体)に関しては、第1処理及び第2処理を行う必要はない。また、第3状態では、基板ステージ4の回転方向及び回転量の少なくとも一方が、第2状態とは異なる。また、第3状態では、複数の位置検出系42のうちの2つ以上の位置検出系42が、基板ステージ4に保持された2枚目以降の基板3(第2物体)に設けられた複数のアライメントマーク19を検出できるように基板ステージ4が配置される。
図15及び図16を参照して、θZ係数について詳細に説明する。まず、図15に示すように、基板ステージ4がθZ方向において所定の基準回転角度で配置された状態において、基板ステージ4に設けられたステージ基準プレート11の基準マークMKを位置検出系42a及び42cのそれぞれで同時検出する。ここでは、1つの基準マークMKに対する検出値を検出値56として、例えば、制御部17の記憶部などに記憶する。次に、図16に示すように、基板ステージ4がθZ方向に基準角度とは異なる回転角度θ58で配置された状態において、基板ステージ4に設けられたステージ基準プレート11の基準マークMKを位置検出系42a及び42cのそれぞれで同時検出する。ここでは、図15と同一の基準マークMKに対する検出値を検出値57として、例えば、制御部17の記憶部などに記憶する。
基板ステージ4をθZ方向に回転角度θ58で回転させたことに起因する検出値の差分は、検出値57-検出値56で表される。従って、基板ステージ4の回転状態によって発生する誤差量であるθZ係数は、(検出値57-検出値56)/θ58で求められる。このように、基板ステージ4の回転角度を変更しながら、基板ステージ4に設けられた基準マークMKを複数の位置検出系42で検出して得られる検出値に基づいて、θZ係数を予め取得する。
本実施形態では、説明を簡略化するために、図15と図16とで、同一の基準マークMKを検出することでθZ係数を取得する例を示しているが、これに限定されるものではない。例えば、基板ステージ4をθZ方向に大きく回転させ、異なる基準マークを検出することでθZ係数を取得してもよい。ステージ基準プレート11に設けられた基準マークの座標(位置)は既知である。従って、異なる基準マークを検出する場合には、検出値の差分から、それぞれの基準マークの座標の設計値の差を減算して、基板ステージ4の回転角度で割ることで、θZ係数を取得することが可能である。基板ステージ4を大きく回転させて異なる基準マークを検出することで、検出再現性に対して検出値の差分が大きくなるため、より高い精度のθZ係数を取得することが可能となる。
また、本実施形態では、説明を簡略化するために、基板ステージ4が異なる2つの回転角度で配置されるものとし、それぞれの回転角度で得られる検出値の差分から線形でθZ係数を求めているが、これに限定されるものではない。例えば、基板ステージ4が配置される回転角度を3つ以上とし、基板ステージ4がそれぞれの回転角度で配置された状態で得られる検出値(の値)から近似式でθZ係数を求めてもよい。
θZ係数は、ステージ基準プレート11(基準マーク)を用いて取得するため、基板3をアライメントや露光するよりも前の段階で一度取得すればよい。具体的には、装置の調整段階でθZ係数を事前に取得すれば、装置の調整状態に変動がない限り、θZ係数を改めて取得する必要はなく、継続して用いることが可能である。
また、本実施形態では、ステージ基準プレート11に設けられた基準マークMKを検出して得られる検出値からθZ係数を取得しているが、基板3に設けられたアライメントマーク19を検出して得られる検出値からθZ係数を取得してもよい。
本実施形態では、2つの位置検出系42(複眼)によるアライメントマーク19の同時検出について説明した。但し、実際には、図5乃至図9に示すように、基板ステージ4をθZ方向に回転させずに、1つの位置検出系42(単眼)でアライメントマーク19を検出する場合もある。この際、アライメントマーク19に対する検出値は、複眼や単眼に関わらず、同一の値であることが好ましい。複眼と単眼とで、アライメントマーク19に対する検出値が異なる値になる場合、同一のショットレイアウトであっても、アライメントマーク19の検出に用いる位置検出系42の組み合わせによって、検出値の管理が必要となるため、管理が煩雑となる。本実施形態(図14)では、複眼や単眼とで、アライメントマーク19に対する検出値を一致させることができるため、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差の影響を受けずに、アライメントマーク19を検出することが可能である。従って、本実施形態によれば、アッベ誤差が抑制され、複眼や単眼に関わらず、アライメントマーク19を高精度に検出することが可能となる。
ベースプレート40に対して位置検出系42a、42b及び42cを取り付ける際には、一般的に、取り付け誤差が生じる。このような取り付け誤差のうち、X方向に関する取り付け誤差は、駆動部41a、41b及び41cによって、位置検出系42a、42b及び42cをX方向に駆動して、それらの位置関係を調整することで低減することができる。一方、例えば、図17に示すように、位置検出系42aと位置検出系42cとの間のY方向に関する取り付け誤差θ59については、駆動部41a及び41cによる位置検出系42a及び42cの駆動では低減することができない。従って、理想的には、位置検出系42aと位置検出系42cとの間のY方向に関する取り付け誤差がないことが好ましい。但し、実際には、ショットレイアウトに応じて、位置検出系42aと位置検出系42cとの間隔の調整が必要となるため、位置検出系42a及び42cのX方向への駆動によって、Y方向に関する取り付け誤差が変動してしまう。
本実施形態では、位置検出系42a及び42cのX方向の位置に応じたY方向に関する取り付け誤差(誤差量)を管理する必要がない。具体的には、位置検出系42aと位置検出系42cとの間のY方向に関する取り付け誤差θ59を、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差によって発生する誤差量(θZ誤差)に加算することで対応が可能である。例えば、図13では、位置検出系42aと位置検出系42cとの間にY方向に関する取り付け誤差がないことを前提として、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差の影響を低減するために、基板ステージ4をθZ方向に回転させている。ここで、位置検出系42aと位置検出系42cとの間に、図17に示すように、Y方向に関する取り付け誤差θ59がある場合には、基板ステージ4をθZ方向に回転角度θ46+θ59で回転させればよい。このように、本実施形態によれば、位置検出系42a及び42cのX方向の位置に応じたY方向に関する取り付け誤差に関わらず、基板ステージ4のθZ方向への回転で補正が可能である。
また、本実施形態では、位置検出系42aと位置検出系42cとの組み合わせ(複眼)を例に説明したが、例えば、位置検出系42aと位置検出系42bとの組み合わせ(複眼)にも適用可能である。図17に示すように、位置検出系42aと位置検出系42bとの間のY方向に関する取り付け誤差をθ60とする。また、位置検出系42aと位置検出系42bとの間にY方向に関する取り付け誤差がないことを前提として、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差の影響を低減するために、基板ステージ4をθZ方向に回転角度θ46で回転させるものとする。この場合、基板ステージ4をθZ方向に回転角度θ46+θ60で回転させればよい。このように、本実施形態によれば、位置検出系42a及び42bのX方向の位置に応じたY方向に関する取り付け誤差に関わらず、基板ステージ4のθZ方向への回転で補正が可能である。
図17に示すように、ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cのY方向に関する取り付け誤差によって、θZ誤差がそれぞれ異なる。ショットレイアウトに応じて、位置検出系42a及び42bでアライメントマーク19を同時検出する場合もあれば、位置検出系42b及び42cでアライメントマーク19を同時検出する場合もある。
例えば、図18は、基板3に設けられたアライメントマーク19を簡易的に示しており、X方向に4列、Y方向に3行、合計で12個のアライメントマーク19が設けられているものとする。列L62及びL63のそれぞれのアライメントマーク19を位置検出系42a及び42bで同時検出し、列L64及びL65のそれぞれのアライメントマーク19を位置検出系42b及び42cで同時検出する場合を考える。ここで、図17に示すように、位置検出系42aと位置検出系42bとの間のY方向に関する取り付け誤差をθ60とし、位置検出系42bと位置検出系42cとの間のY方向に関する取り付け誤差をθ61とする。この場合、列L62及びL63のそれぞれのアライメントマーク19を位置検出系42a及び42bで同時検出する際には、図19に示すように、基板3が回転角度θ60で回転するように、基板ステージ4をθZ方向に回転させる必要がある。また、列L64及びL65のそれぞれのアライメントマーク19を位置検出系42b及び42cで同時検出する際には、図20に示すように、基板3が回転角度θ61で回転するように、基板ステージ4をθZ方向に回転させる必要がある。
このように、基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を検出する際には、図19及び図20に示すように、基板ステージ4を異なる回転角度で配置させることになる。従って、1つの基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を検出している間に、基板ステージ4が配置される回転角度(姿勢)が変わるため、異なるアッベ誤差が発生することになる。また、図18を参照するに、行L66、L67及びL68のそれぞれのアライメントマーク19を検出する際にも、それらのY座標が異なるため、Y方向の位置に依存して、θZ方向に回転するアッベ誤差も発生する。これらに起因して、アッベ係数からの基板ステージ4の姿勢の補正では、アライメントマーク19の高精度な検出を実現するのは困難である。一方、本実施形態(図14)によれば、単眼アライメントを基準として、複眼アライメントでの検出値の差分を管理することで、位置検出系42の取り付け誤差に関わらず、アライメントマーク19の高精度な検出が可能となる。
このように、本実施形態では、1枚目の基板3に対して、単眼アライメント及び複眼アライメントを行い、それらの検出値の差分を求め、かかる差分を、2枚目以降の基板3に対する複眼アライメントの補正に用いている。また、基板ステージ4に対する2枚目以降の基板3の置き誤差は、基板ステージ4に対する1枚目の基板3の置き誤差と異なるため、本実施形態では、基板ステージ4が配置される回転角度に起因する誤差も補正する。これにより、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差(シフトやθZ)に関わらず、複数の位置検出系42による基板上のアライメントマーク19の同時検出を常に高精度に行うことが可能となる。従って、複数の位置検出系42を用いながらも、基板ステージ4に対する基板3の置き誤差の影響を受けずに、オーバーレイ精度の向上、且つ、高いスループットを達成することができる。
なお、1枚目の基板3に対する、単眼アライメントで得られた検出値と複眼アライメントで得られた検出値との差分である検出値Δ51は、2枚目以降の基板3に対して継続して用いることが可能であるが、適当なタイミングで更新してもよい。
例えば、露光装置100では、通常、25枚の基板を1つのロットとして、ロットの先頭の基板で装置のキャリブレーションを行う(ロット単位での管理を行う)。従って、検出値Δ51を更新するタイミングとして、ロットを変更するタイミングが考えられる。換言すれば、基板3を処理する単位となるロットの変更に応じて、検出値Δ51を更新するとよい。また、検出値Δ51を更新するタイミングとしては、基板3に設けられた複数のマークのレイアウトを変更するタイミングや予め定められた時間(一定時間)が経過したタイミングなども考えられる。また、本実施形態では、1つのアライメントマークに対する単眼アライメントと複眼アライメントとの間の検出値の差分(検出値Δ51)を取得するものとして説明したが、これに限定されるものではない。基板3の全体、即ち、複数のアライメントマークのそれぞれに対する単眼アライメントと複眼アライメントとの間の検出値の差分を取得してもよい。
また、本実施形態では、位置検出系42a及び42c(の組み合わせ)で基板3に設けられた2つのアライメントマーク19a及び19bを同時検出する場合について説明したが、位置検出系の組み合わせを限定するものではない。例えば、位置検出系42a及び42bでアライメントマーク19a及び19bを同時検出してもよいし、位置検出系42b及び42cでアライメントマーク19a及び19bを同時検出してもよい。また、位置検出系42a、42b及び42c(3眼)で基板3に設けられた3つのアライメントマーク19を同時検出してもよい。
また、駆動部41a、41b及び41cは、それぞれ、位置検出系42a、42b及び42cをX方向のみに駆動するものとして説明したが、位置検出系42a、42b及び42cをX方向、Y方向及びZ方向の全てに駆動してもよい。この場合、駆動部41a、41b及び41cによる位置検出系42a、42b及び42cの駆動では取り切れない成分を、基板ステージ4の駆動(回転)で補正すればよい。
また、本実施形態では、図11及び図13に示すように、基板ステージ4をθZ方向に回転させることで、位置検出系42a及び42cのそれぞれがアライメントマーク19a及び19bを同時検出する場合を例に説明した。但し、複数の位置検出系42のそれぞれが、個別に、アライメントマーク19を視野(検出領域)の中心に追い込むことで、アライメントマーク19を検出してもよい。
<第2実施形態>
本実施形態では、ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差への適用について説明する。ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差は、駆動部41a、41b及び41cによる位置検出系42a、42b及び42cの駆動では低減することができない。このような場合、基板ステージ4の基板3を保持する保持面に平行な面内(XY面内)における1つの軸(Y軸)を中心として基板ステージ4を回転させる。具体的には、基板ステージ4をθY方向に回転(チルト)させることで、位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差を補正する必要がある。従って、図11に示すように、基板ステージ4をθZ方向に回転させて2つの位置検出系42でアライメントマーク19を同時検出する際に、Z方向に関する取り付け誤差がある場合には、基板ステージ4をθY方向にも回転させる必要がある。これにより、アッベ誤差が発生するため、従来の手法では、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動補正と同じ精度で補正することができない。
本実施形態では、ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差への適用について説明する。ベースプレート40に対する位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差は、駆動部41a、41b及び41cによる位置検出系42a、42b及び42cの駆動では低減することができない。このような場合、基板ステージ4の基板3を保持する保持面に平行な面内(XY面内)における1つの軸(Y軸)を中心として基板ステージ4を回転させる。具体的には、基板ステージ4をθY方向に回転(チルト)させることで、位置検出系42a、42b及び42cのZ方向に関する取り付け誤差を補正する必要がある。従って、図11に示すように、基板ステージ4をθZ方向に回転させて2つの位置検出系42でアライメントマーク19を同時検出する際に、Z方向に関する取り付け誤差がある場合には、基板ステージ4をθY方向にも回転させる必要がある。これにより、アッベ誤差が発生するため、従来の手法では、基板ステージ4のX方向及びY方向への駆動補正と同じ精度で補正することができない。
図21に示すように、ベースプレート40に対して位置検出系42a、42b及び42cがZ方向にずれて取り付けられ、それぞれのフォーカスがずれている場合を考える。この場合、位置検出系42a及び42b(2眼)でアライメントマーク19を同時検出するためには、基板ステージ4を矢印69の方向(θY方向)に回転(チルト)させる必要がある。これにより、位置検出系42a及び42bのそれぞれのフォーカスを基板3の表面に一致させることができるため、アライメントマーク19を同時検出することが可能となる。なお、位置検出系42b及び42c(2眼)でアライメントマーク19を同時検出する場合には、図22に示すように、基板ステージ4を矢印70の方向(θY方向)に回転(チルト)させればよい。
このように、基板3に設けられた複数のアライメントマーク19を位置検出系42a、42b及び42cを用いて同時検出する際には、基板ステージ4を、θZ方向だけではなく、θY方向にも回転させる必要がある。
<第3実施形態>
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、液晶表示素子、半導体素子、フラットパネルディスプレイ、MEMSなどの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、上述した露光装置100を用いて感光剤が塗布された基板を露光する工程と、露光された感光剤を現像する工程とを含む。また、現像された感光剤のパターンをマスクとして基板に対してエッチング工程やイオン注入工程などを行い、基板上に回路パターンが形成される。これらの露光、現像、エッチングなどの工程を繰り返して、基板上に複数の層からなる回路パターンを形成する。後工程で、回路パターンが形成された基板に対してダイシング(加工)を行い、チップのマウンティング、ボンディング、検査工程を行う。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、レジスト剥離など)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、液晶表示素子、半導体素子、フラットパネルディスプレイ、MEMSなどの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、上述した露光装置100を用いて感光剤が塗布された基板を露光する工程と、露光された感光剤を現像する工程とを含む。また、現像された感光剤のパターンをマスクとして基板に対してエッチング工程やイオン注入工程などを行い、基板上に回路パターンが形成される。これらの露光、現像、エッチングなどの工程を繰り返して、基板上に複数の層からなる回路パターンを形成する。後工程で、回路パターンが形成された基板に対してダイシング(加工)を行い、チップのマウンティング、ボンディング、検査工程を行う。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、レジスト剥離など)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
100:露光装置 3:基板 4:基板ステージ 16:基板アライメント検出系 42:位置検出系 17:制御部
Claims (14)
- 物体に設けられた複数のマークを検出する検出装置であって、
前記物体を保持して回転可能なステージと、
前記ステージに保持された前記物体に設けられた前記複数のマークのうち、互いに異なるマークを検出するように互いに離れて配置された複数の検出系と、
前記ステージが第1回転角度で配置された第1状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの1つ以上の検出系で検出して第1検出値を得る第1処理と、前記ステージが前記第1回転角度とは異なる第2回転角度で配置された第2状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの2つ以上の検出系で検出して第2検出値を得る第2処理と、を行い、前記複数のマークのそれぞれについて、前記第1検出値と前記第2検出値との差分を求める処理部と、
を有することを特徴とする検出装置。 - 前記処理部は、
第1物体に対して、前記第1処理及び前記第2処理を行うことで前記差分を求め、
前記第1物体の後に処理される第2物体に対して、前記ステージが前記第2回転角度とは異なる第3回転角度で配置された第3状態において、前記第2物体に設けられた複数のマークを前記複数の検出系のうちの2つ以上の検出系で検出して第3検出値を得る第3処理を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出装置。 - 前記第2状態と前記第3状態とでは、前記ステージの回転方向及び回転量の少なくとも一方が異なっていることを特徴とする請求項2に記載の検出装置。
- 前記処理部は、前記差分と、前記第2回転角度と前記第3回転角度との回転差と、前記ステージの回転角度と前記マークの検出値に含まれる誤差量との関係を示す係数とを用いて、前記第3検出値を補正して補正値を求めることを特徴とする請求項3に記載の検出装置。
- 前記処理部は、前記第3検出値から、前記差分と、前記回転差と前記係数との積とを減算することで前記補正値を求めることを特徴とする請求項4に記載の検出装置。
- 前記処理部は、前記ステージの回転角度を変更しながら、前記ステージに設けられた基準マークを前記複数の検出系で検出して得られる検出値に基づいて、前記係数を予め取得することを特徴とする請求項4又は5に記載の検出装置。
- 前記処理部は、前記物体を処理する単位となるロットの変更に応じて、前記第1処理及び前記第2処理を行って前記差分を更新することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の検出装置。
- 前記処理部は、前記物体に設けられた複数のマークのレイアウトの変更に応じて、前記第1処理及び前記第2処理を行って前記差分を更新することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の検出装置。
- 前記処理部は、予め定められた時間の経過に応じて、前記第1処理及び前記第2処理を行って前記差分を更新することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の検出装置。
- 前記第2状態は、前記ステージの前記物体を保持する保持面に平行な面内で前記ステージを回転させた状態であることを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の検出装置。
- 前記第2状態は、前記ステージの前記物体を保持する保持面に平行な面内における1つの軸を中心として前記ステージを回転させた状態であることを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の検出装置。
- 物体を保持して回転可能なステージと、前記ステージに保持された前記物体に設けられた複数のマークのうち、互いに異なるマークを検出するように互いに離れて配置された複数の検出系とを有する検出装置を用いて、前記複数のマークを検出する検出方法であって、
前記ステージが第1回転角度で配置された第1状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの1つ以上の検出系で検出して第1検出値を得る工程と、
前記ステージが前記第1回転角度とは異なる第2回転角度で配置された第2状態において、前記複数のマークを前記複数の検出系のうちの2つ以上の検出系で検出して第2検出値を得る工程と、
前記第1検出値と前記第2検出値との差分を求める工程と、
を有することを特徴とする検出方法。 - 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を物体として前記基板に設けられた複数のマークを検出する請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の検出装置を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
現像された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (3)
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---|---|---|---|
JP2022005821A JP2023104683A (ja) | 2022-01-18 | 2022-01-18 | 検出装置、検出方法、露光装置及び物品の製造方法 |
KR1020220178930A KR20230111579A (ko) | 2022-01-18 | 2022-12-20 | 검출장치, 검출방법, 노광장치 및 물품의 제조방법 |
US18/154,163 US20230229095A1 (en) | 2022-01-18 | 2023-01-13 | Detection apparatus, detection method, exposure apparatus and article manufacturing method |
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JP2022005821A JP2023104683A (ja) | 2022-01-18 | 2022-01-18 | 検出装置、検出方法、露光装置及び物品の製造方法 |
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JP2022005821A Pending JP2023104683A (ja) | 2022-01-18 | 2022-01-18 | 検出装置、検出方法、露光装置及び物品の製造方法 |
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2022
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2023
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