JP6980562B2 - パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 - Google Patents
パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6980562B2 JP6980562B2 JP2018035313A JP2018035313A JP6980562B2 JP 6980562 B2 JP6980562 B2 JP 6980562B2 JP 2018035313 A JP2018035313 A JP 2018035313A JP 2018035313 A JP2018035313 A JP 2018035313A JP 6980562 B2 JP6980562 B2 JP 6980562B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- light
- optical system
- pattern forming
- forming apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70191—Optical correction elements, filters or phase plates for controlling intensity, wavelength, polarisation, phase or the like
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7073—Alignment marks and their environment
- G03F9/7084—Position of mark on substrate, i.e. position in (x, y, z) of mark, e.g. buried or resist covered mark, mark on rearside, at the substrate edge, in the circuit area, latent image mark, marks in plural levels
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70141—Illumination system adjustment, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of illumination system
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
上述の基板のアライメントマークの検出方法として、基板の表面側からマークを照明して検出する例を説明したが、本実施例では、基板の裏面側からマークを照明して検出する例を説明する。
シャッタユニット165は、図13で示すような構成としても良い。シャッタユニット165は、シャッタ165a、シャッタ165aに連結された可動部165b、可動部165bの移動をガイドするガイド部165cを含む。また、可動部165bの移動を規制するロック部材としてのプランジャ165dと、基板ステージ4と独立して設けられた固定部165eを含む。
シャッタユニット165は、図14で示すような構成としても良い。シャッタユニット165は、シャッタ165a、シャッタ165aに対して空気を供給(流入)するノズル165b、シャッタ165aの移動をガイドするガイド部165cを含む。また、シャッタ165aの移動を規制するロック部材としてのプランジャ165dを含む。
シャッタユニット165は、図15で示すような構成としても良い。シャッタユニット165は、シャッタ部材としてのバルーン165a、バルーン165aに対して空気を供給するノズル165bを含む。バルーン165aに空気を供給して、バルーンを膨らませることでシャッタユニット165を遮光状態とし、バルーン165aに対する空気供給量を減らしてバルーンを萎ませることでシャッタユニット165を透過状態とすることができる。
基板は基板310に限定されることなく、基板の裏面、つまり、チャック400による基板310の吸着面312に対向する表面にアライメントマークが形成されていてもよい。なお、その場合には、光学系160によりアライメントマークを照明する光はシリコン等の基板を透過する必要が無いので、赤外波長でなくとも良い。
次に、前述のリソグラフィ装置を利用した物品(半導体IC素子、液晶表示素子等)の製造方法を説明する。かかる物品は、前述のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程と、パターンが形成された基板を加工(現像、エッチングなど)する工程とを含む。本物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。または、前述のリソグラフィ装置は、高いスループットで経済性よく高品位なデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)などの物品を提供することができる。
Claims (20)
- 基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記基板上に前記パターンを形成するために前記基板上に第1光を照射する第1光学系と、
前記基板を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された基板に設けられたアライメントマークを、第2光学系を介して前記基板が保持される面側から検出するための第2光を照射する検出部と、
前記第1光学系が前記基板に前記第1光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第1光を遮光させて、前記検出部が前記第2光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第2光を透過させるユニットと、を有する
ことを特徴とするパターン形成装置。 - 前記ユニットは、前記第2光学系に照射される光を選択的に遮光するシャッタユニットであることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成装置。
- 前記シャッタユニットは、前記第2光学系に照射される前記第1光を遮光する遮光状態と、前記第2光学系に照射される前記第2光を透過する透過状態のいずれかの光透過状態となることを特徴とする請求項2に記載のパターン形成装置。
- 前記基板上にパターンを形成するための前記第1光を照射している間には、前記シャッタユニットは遮光状態であることを特徴とする請求項3に記載のパターン形成装置。
- 前記シャッタユニットは、移動可能なシャッタ部材を含み、
前記シャッタ部材が移動することにより、前記シャッタユニットの光透過状態は前記遮光状態と前記透過状態との間で変化することを特徴とする請求項3または4に記載のパターン形成装置。 - 前記シャッタ部材を移動させるための空気を供給するノズルをさらに有することを特徴とする請求項5に記載のパターン形成装置。
- 前記シャッタユニットは電磁石をさらに含み、
前記電磁石に対して通電を行うことで、磁性体である前記シャッタ部材を移動させることを特徴とする請求項5に記載のパターン形成装置。 - 前記シャッタ部材を移動させるためのバルーンと、
前記バルーンに対して空気を供給するノズルをさらに有し、
前記バルーンに供給する空気の量を制御することにより、前記シャッタ部材を移動させることを特徴とする請求項5に記載のパターン形成装置。 - 前記検出部は、像面に形成された前記アライメントマークの像を検出することで、前記アライメントマークの位置を取得することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のパターン形成装置。
- 前記検出部により前記アライメントマークの像が検出されている間には、前記ユニットは前記第2光学系に照射される光を透過することを特徴とする請求項9に記載のパターン形成装置。
- 前記第2光学系は、前記保持部に対する位置が固定されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のパターン形成装置。
- 移動可能なステージをさらに有し、
前記保持部は、前記ステージに対して着脱可能であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のパターン形成装置。 - 前記ユニットは、前記ステージ上に設けられていることを特徴とする請求項12に記載のパターン形成装置。
- 前記ユニットは、移動可能なシャッタ部材と該シャッタ部材に連結された可動部を有し、
前記可動部は、前記ステージの移動に伴って移動されることを特徴とする請求項12または13に記載のパターン形成装置。 - 前記可動部にはプランジャが設けられており、
前記可動部は、前記プランジャのロック状態が解除されることにより移動可能となることを特徴とする請求項14に記載のパターン形成装置。 - 前記第2光学系は、前記保持部の内部に固定して設けられていることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載のパターン形成装置。
- 前記第2光学系は、前記保持部の内部に固定して設けられているリレー光学系であることを特徴とする請求項16に記載のパターン形成装置。
- 基板上にパターンを形成するために前記基板上に第1光を照射する第1光学系と、
前記基板を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された基板に設けられたアライメントマークを、第2光学系を介して前記基板が保持される面側から検出するための第2光を照射する検出部と、
前記第2光学系に照射される光を遮光させ、透過させるユニットと、を有するパターン形成装置におけるアライメントマークの検出方法であって、
前記第1光学系が前記基板に前記第1光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第1光を遮光させて、前記検出部が前記第2光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第2光を透過させるように前記ユニットの光透過状態を制御するステップと、
前記第2光学系を介して像面に形成された前記アライメントマークの像を検出するステップを含むことを特徴とするアライメントマークの検出方法。 - 基板上にパターンを形成するために前記基板上に第1光を照射する第1光学系と、
前記基板を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された基板に設けられたアライメントマークを、第2光学系を介して前記基板が保持される面側から検出するための第2光を照射する検出部と、
前記第2光学系に照射される光を遮光させ、透過させるユニットと、を有するパターン形成装置におけるパターン形成方法であって、
前記第1光学系が前記基板に前記第1光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第1光を遮光させて、前記検出部が前記第2光を照射している間は前記第2光学系に照射される前記第2光を透過させるように前記ユニットの光透過状態を制御するステップと、
前記基板に向けて前記第1光を照射することで前記基板上にパターンを形成するステップを含むことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1乃至17のいずれか1項に記載のパターン形成装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
パターンが形成された基板を加工することによって物品を製造する工程とを有することを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035313A JP6980562B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 |
EP19158824.3A EP3534213B1 (en) | 2018-02-28 | 2019-02-22 | Pattern forming apparatus, alignment mark detection method, and pattern forming method |
TW108106232A TWI722389B (zh) | 2018-02-28 | 2019-02-25 | 圖案形成裝置、對齊標記檢測方法和圖案形成方法 |
US16/284,751 US10948829B2 (en) | 2018-02-28 | 2019-02-25 | Pattern forming apparatus, alignment mark detection method, and pattern forming method |
CN201910135137.0A CN110209017B (zh) | 2018-02-28 | 2019-02-25 | 图案形成装置、对齐标记检测方法和图案形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035313A JP6980562B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019148782A JP2019148782A (ja) | 2019-09-05 |
JP2019148782A5 JP2019148782A5 (ja) | 2021-04-01 |
JP6980562B2 true JP6980562B2 (ja) | 2021-12-15 |
Family
ID=65529529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018035313A Active JP6980562B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10948829B2 (ja) |
EP (1) | EP3534213B1 (ja) |
JP (1) | JP6980562B2 (ja) |
CN (1) | CN110209017B (ja) |
TW (1) | TWI722389B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6207671B1 (ja) * | 2016-06-01 | 2017-10-04 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置、基板配置方法及び物品の製造方法 |
SG11201911798UA (en) * | 2019-08-23 | 2021-04-29 | Ev Group E Thallner Gmbh | Method and device for the alignment of substrates |
US11270950B2 (en) | 2019-09-27 | 2022-03-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus and method for forming alignment marks |
KR102421290B1 (ko) * | 2019-09-27 | 2022-07-15 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 정렬 마크를 형성하기 위한 장치 및 방법 |
TW202139347A (zh) * | 2020-03-04 | 2021-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 反應器系統、對準夾具、及對準方法 |
CN114117988A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | 长鑫存储技术有限公司 | 标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备 |
JP7476057B2 (ja) * | 2020-09-11 | 2024-04-30 | キオクシア株式会社 | 欠陥検査装置 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970062820A (ko) * | 1996-02-28 | 1997-09-12 | 고노 시게오 | 투영노광장치 |
KR100525067B1 (ko) * | 1997-01-20 | 2005-12-21 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치의 광학 특성 측정 방법, 노광 장치의 동작 방법 및 투영 노광 장치 |
IL132432A0 (en) * | 1997-04-18 | 2001-03-19 | Nikon Corp | An exposure apparatus exposure method using the same and method of manufacture of circuit device |
US20020041377A1 (en) * | 2000-04-25 | 2002-04-11 | Nikon Corporation | Aerial image measurement method and unit, optical properties measurement method and unit, adjustment method of projection optical system, exposure method and apparatus, making method of exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP2002170209A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-14 | Tdk Corp | 薄膜ヒートシンクおよびその製造方法 |
US6768539B2 (en) | 2001-01-15 | 2004-07-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
US7113258B2 (en) * | 2001-01-15 | 2006-09-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
US6525805B2 (en) * | 2001-05-14 | 2003-02-25 | Ultratech Stepper, Inc. | Backside alignment system and method |
US7292339B2 (en) * | 2004-07-09 | 2007-11-06 | Asml Netherlands B.V. | Alignment method and apparatus, lithographic apparatus, device manufacturing method, and alignment tool |
JP4769448B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-09-07 | キヤノン株式会社 | 干渉計を備えた露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2006278960A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Canon Inc | 露光装置 |
US7751047B2 (en) * | 2005-08-02 | 2010-07-06 | Asml Netherlands B.V. | Alignment and alignment marks |
US7463337B2 (en) * | 2005-12-30 | 2008-12-09 | Asml Netherlands B.V. | Substrate table with windows, method of measuring a position of a substrate and a lithographic apparatus |
US7751067B1 (en) * | 2007-05-24 | 2010-07-06 | Ultratech, Inc. | Substrate-alignment using detector of substrate material |
JP5036429B2 (ja) * | 2007-07-09 | 2012-09-26 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、露光装置、デバイス製造方法及び調整方法 |
JP5063229B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2012-10-31 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US20090128792A1 (en) * | 2007-10-19 | 2009-05-21 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method |
NL1036308A1 (nl) * | 2007-12-19 | 2009-06-22 | Asml Netherlands Bv | Lithographic method. |
JP5406624B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2014-02-05 | キヤノン株式会社 | 検出装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
CN102540781B (zh) * | 2010-12-28 | 2015-09-30 | 上海微电子装备有限公司 | 一种背面对准装置及方法 |
JP2013214645A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Canon Inc | 光学装置、計測装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
WO2015029819A1 (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 株式会社村田製作所 | 露光装置 |
US10386737B2 (en) * | 2015-06-10 | 2019-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
JP6207671B1 (ja) * | 2016-06-01 | 2017-10-04 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置、基板配置方法及び物品の製造方法 |
JP7114277B2 (ja) * | 2018-03-07 | 2022-08-08 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置及び物品の製造方法 |
-
2018
- 2018-02-28 JP JP2018035313A patent/JP6980562B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-22 EP EP19158824.3A patent/EP3534213B1/en active Active
- 2019-02-25 TW TW108106232A patent/TWI722389B/zh active
- 2019-02-25 US US16/284,751 patent/US10948829B2/en active Active
- 2019-02-25 CN CN201910135137.0A patent/CN110209017B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190265595A1 (en) | 2019-08-29 |
JP2019148782A (ja) | 2019-09-05 |
EP3534213B1 (en) | 2022-11-30 |
EP3534213A1 (en) | 2019-09-04 |
US10948829B2 (en) | 2021-03-16 |
CN110209017B (zh) | 2021-06-29 |
CN110209017A (zh) | 2019-09-06 |
TW201937313A (zh) | 2019-09-16 |
TWI722389B (zh) | 2021-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6980562B2 (ja) | パターン形成装置、アライメントマークの検出方法及びパターン形成方法 | |
JP6207671B1 (ja) | パターン形成装置、基板配置方法及び物品の製造方法 | |
JP6347849B2 (ja) | センサシステム、基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置 | |
JP5743958B2 (ja) | 計測方法、露光方法および装置 | |
US20080165368A1 (en) | Position detection apparatus and exposure apparatus | |
JP2012033923A (ja) | 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP7114277B2 (ja) | パターン形成装置及び物品の製造方法 | |
US20010023918A1 (en) | Alignment apparatus, alignment method, exposure apparatus and exposure method | |
KR20040090734A (ko) | 리소그래피 장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP6541733B2 (ja) | 基板配置方法 | |
JP2002184665A (ja) | アライメント装置及びアライメント方法、露光装置 | |
JPH10189443A (ja) | 位置検出用マーク、マーク検出方法及びその装置並びに露光装置 | |
JP2005005444A (ja) | アライメント装置、露光装置、アライメント方法、露光方法及び位置情報検出方法 | |
JP2006030021A (ja) | 位置検出装置及び位置検出方法 | |
JPH11233424A (ja) | 投影光学装置、収差測定方法、及び投影方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP2009170663A (ja) | 投影光学ユニット、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | |
JP6061912B2 (ja) | 計測方法、露光方法および装置 | |
JP2007194479A (ja) | 光学特性計測装置及び方法、並びに露光装置及び方法 | |
JP2005197276A (ja) | 露光方法、露光装置及び該露光方法を用いた電子デバイスの製造方法 | |
JPH11214295A (ja) | 露光装置、露光条件決定方法及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP2009170664A (ja) | 面位置検出装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP2002043211A (ja) | アライメント装置及び露光装置 | |
JP2008131018A (ja) | 露光装置、物体搬送装置、及びマスク搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210210 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211117 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6980562 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |