KR970062820A - 투영노광장치 - Google Patents

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Abstract

송광자유도가 높은 송광광학계를 구비한 투영노광장치를 개시한다. 송광광학계는, 소정 광원으로부터의광을 기판 스테이지의내부로 도입하기 위한 광도입계와, 광도입계를 통하여 기판 스테이지의 내부에 도입된 광을 소정영역에 조사하기 위한 광조사계를 구비하고 있다. 그리고, 광도입계와 광조사계는 기계적으로 분리되어 있고, 투영광학계에 대해 기판 스테이지가 특정한 위치에 있을 때에만 광도입계와 광조사계가 광학적으로 접속가능하다.

Description

투영노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 투영노광장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면.

Claims (30)

  1. 광원을 포함하는 조명광학계와; 상기 조명광학계로부터의 조명광의 광로중에 배치되어, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 지지하는 마스크 지지부재와; 상기 마스크로부터의 조명광을 토대로하여 상기 기판상에 상기 패턴상을 형성하는 투영광학계와; 상기 기판을 유지하고, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판을 위치정열하기 위해 적어도 소정 평면 내에세 이동 가능한 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지의 외부에 있는 소정광원과, 상기 소정광원으로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의내부로 안내할 수 있도록 구성되어진 광도입계, 및 그광도입계에 의해 상기 기판 스테이지 내부에 도입된 빛을 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치에 안내할 수 있도록 구성된 광조사계로 이루어지는 송광광학계;로 이루어지고, 상기 광도입계와 상기 광조사계는 기계적으로 분리되어 있고, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판 스테이지가 특정의 위치관계에 있을 경우에만, 상기 광도입계와 상기 광조사계가 광학적으로 접속 가능하도록, 상기 광도입계 및 상기 광조사계가 위치 결정되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 송광광학계는, 상기 소정광원으로부터의 빛을 상기 외부의 소정위치까지 안내하도록 위치 정열된 제1라이트 가이드 부재(member); 및 상기 제1라이트 가이드 부재의 사출단에서 사출된 빛을 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치까지 안내하도록 위치 정열된 제2라이트 가이드 부재(member);로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 투영노광장치는 상기 제1라이트 가이드 부재의 사출단과 상기 제2라이트 가이드 부재의 입사단과의 사이에 배치되어, 상기 제1라이트 가이드부재의 사출단과 상기 제2라이트 가이드부재의 입출단과를 광학적으로 접속하는 렌즈계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1라이트 가이드 부재의 사출단은, 상기 제2라이트 가이드 수단의 입사단에 근접하여 위치 정열되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 송광광학계는, 상기 소정광원으로부터의 빛을 상기 투영광학계와 상기 마스크와의 사이의 소정위치에 안내하도록 위치 정열된 제1라이트 가이드 부재(member); 및 상기 제1라이트 가이드 부재의 사출단에서 사출되어 상기 투영광학계를 거쳐 상기 기판 스테이지의 내부로 안내된 빛을 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치까지 안내하도록 위치 정열된 제2라이트 가이드 부재(member);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 투영노광장치는, 상기 제1라이트 가이드 부재의 사출단과 상기 투영광학계와의 사이의 광로, 및 상기 투영광학계와 상기 제2라이트 가이드부재의 입사단과의 사이의 광로중에서 선택된 적어도 한 쪽의 광로중에 배치되어, 상기 제1라이트 가이드부재의 사출단과 상기 제2라이트 가이드부재의 입사단과를 광학적으로 접속하는 렌즈계.
  7. 제1항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 기판 스테이지의 소정 투영시야를 갖고, 그 투영시야 내에 상기 기판 스테이지 위의 소정위치가 위치하는 상태일 때에, 상기 광도입계와 상기 광학조사계가 광학적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치에는 소정의 패턴영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 광도입계는, 상기 기판 스테이지의 상기 투영광학계측으로부터 상기 기판 스테이지 내의 상기 광조사계로 빛을 안내하는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  10. 광원을 포함하는 조명광학계와; 상기 조명광학계로부터의 조명광의 광로중에 배치되어, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 지지하는 마스크 지지 부재와; 상기 마스크로부터의 조명광을 기초로하여 상기 기판 위에 상기 패턴상을 형성하는 투영광학계와; 상기 기판을 유지하고, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판을 위치정열하기 위해 적어도 소정 평면내에서 이동가능한 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지의 내부로 안내된 상기 투영광학계로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의 외부로 안내할 수 있도록 구성된 광도출계, 및 그 광도출계에 의해 상기 기판 스테이지의외부로 안내된 빛을 수광할 수 있는 위치에 설치된 수광계로 이루어지는 수광광학계;로 이루어지고, 상기 광도출계와 상기 수광계와는 기계적으로 분리되어 있고, 상기 투영광학계에 대한 상기 기판 스테이지의위치관계에 맞춰, 상기 광도출계와 상기 수광계가 광학적으로 버속 가능하도록, 상기 광도출계 및 상기 수광계가 위치정열되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 광도출계와 상기 수광계와는, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판 스테이지가 특정의 위치관계에 있을 때에만, 상기 광도입계와 상기 광조사계가 광학적으로 접속 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 기판 스테이지의 소정의 투영시야를 갖고, 그 투영시야내에 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치가 위치하는 상태일 때에, 상기 광도출계와 상기 수광계가 광학적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 수광광학계는, 상기 기판 스테이지의 내부에 도입된 상기 투영광학계로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의 내부 또는 기판 스테이지의 외부 소정부위까지 안내하도록 위치 정열된 제3라이트 가이드 부재(member);및 상기 기판 스테이지의 외부 소정 부위에 위치 정열되어, 상기 제3라이트 가이드 부재의 사출단에서 사출된 빛을 수광하는 수광부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제3라이트 가이드 부재의 사출단과 상기 수광부의 수광면과의 사이에 배치되어, 상기 제3라이트 가이드부재의 사출단과 상기 수광면과를 광학적으로 접속하는 렌즈계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제3라이트 가이드 부재의 사출단은, 상기 수광부의 수광면에 근접하여 위치 정열되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  16. 광원을 포함하는 조명광학계와; 상기 조명광학계로부터의 조명광의 광로중에 배치되어, 전사용 패턴이 형성된 마스크를 지지하는 마스크 지지부재와; 상기 마스크로부터의 조명광을 기초로하여 상기 기판 위에 상기 패턴상을 형성하는 투영광학계와; 상기 기판을 유지하고, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판을 위치 정열하기 위해 적어도 소정의 평면내에서 이동 가능한 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지의 외부에 있는 소정광원과, 그 소정광원으로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의내부로 안내할 수 있도록 구성된 광도입계와, 및 그 광고입계에 의해 상기 기판 스테이지의 내부에 도입된 빛을 상기 기판 스테이지 위이 소정위치로 안내할 수 있도록 구성된 광조사계로 이루어지는 송광광학계;로 이루어지고, 상기 광도입계와 상기 광조사계와는 기계적으로 분리되어 있고, 상기 투영광학계에 대한 상기 기판 스테이지의 위치 관계에 맞춰, 상기 광도입계와 상기 광조사계가 광학적으로 접속가능하도록, 상기 광도입계 및 상기 광조사계가 위치 정열되고; 상기 기판 스테이지의 내부로 이끌려진 상기 투영광학계로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의 외부로 안내할 수 있도록 구성된 광도출계 및 그 광고출계에 의해 상기 기판 스테이지의 외부로 안내된 빛을 수광할 수 있는 위치에 설치된 수광계로 이루어지는 수광광학계;로 이루어지고 상기 광도출계와 상기 수광계와는 기계적으로 분리되어 있고, 상기 투영광학계에 대한 상기 기판 스테이지의 위치관계에 맞춰, 상기 광도출계와 상기 수광계가 광학적으로 접속 가능하도록, 상기 광도출계 및 상기 수광계가 위치 정열되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성기판에 투영하는 투영노광장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 광도입계와 상기 광조사계와는, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판 스테이지가 특정한 위치관계에 있을때에만, 광학적으로 접속 가능하도록 위치 정열되어 있고; 상기 광도출계와 상기 수광계와는, 상기 투영광학계에 대해 상기 기판 스테이지가 상기 특정의 위치관계인 때에만, 광학적으로 접속 가능하도록 위치 정열되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 기판 스테이지의 소정의 투영시야를 갖고, 상기 특정의 위치관계는, 그 투영시야 내에 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치가 위치하는 상태인 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 기판 스테이지 위의 소정 위치에는 소정의 패턴영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 위이 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 광조사계는, 상기 소정의 패턴영역에 상기 광도입계로부터의 빛을 안내하고, 상기 광도입계는, 상기 투영광학계, 상기 마스크, 상기 투영광학계의순서로 진행하는 상기 소정 패턴으로부터의 빛을 받는 것을 특징으로 하느 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  21. 제17항에 있어서, 상기 광도입계에 있어 가장 상기 기판 스테이지 측의 광학부재와, 상기 수광계에 있어 가장 상기 기판 스테이지 측의 광학부재와는, 실질적으로 동일한 평면 내에 위치 결정되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  22. 제16항에 있어서, 상기 광도입계와 상기 수광계와의 적어도 한 쪽을 미동시키기 위한 미세조정기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  23. 제18항에 있어서, 상기 광도입계와 상기 수광계와의 적어도 한 쪽은, 상기 투영광학계의 시야와 실질적으로 같은 사이즈의 시야를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  24. 제16항에 있어서, 상기 송광광학계의 상기 광도입계와 상기 수광광학계의 상기 수광계와를 겸용하는 겸용광학계를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  25. 제16항에 있어서, 상기 송광광학계는, 상기 소정광원으로부터의 빛을 상기 외부의 소정위치까지 안내하도록 위치정열된 제4라이트 가이드 부재(member); 및 상기 제4라이트 가이드 부재의 사출단에서 사출된 빛을 상기 기판 스테이지위의 소정 위치까지 안내하도록 위치정열된 제5라이트 가이드 부재(member);로 이루어지고, 상기 수광광학계는, 상기 기판 스테이지의 내부에 도입되는 상기 투영광학계로부터의 빛을 상기 기판 스테이지의 내부 또는 상기 기판 스테이지의 외부 소정 위치가지 안내하도록 위치정열된 제6라이트 가이드 부재(member); 및 상기 기판 스테이지 외부의 소정위치에 위치정열되어, 상기 제6라이트 라이드부재의 사출단에서 사출된 빛을 수광하는 수광부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 제5라이트 가이드 부재와 상기 제6라이트 가이드 부재와는, 공통의 겸용 라이트 가이드 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  27. 제25항에 있어서, 상기 수광부의 수광면은, 상기 제4라이트 가이드부재를 통한 상기 광도출계로부터의 빛을 수광할 수 있도록 위치 정열되는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  28. 제16항에 있어서, 상기 광도입계는, 상기 기판 스테이지의 상기 투영광학계측으로부터 상기 기판 스테이지 내의 상기 광조사계로 광을 이끄는 것을 특징으로 하는 마스크 위의 전사용 패턴을 감광성 기판에 투영하는 투영노광장치.
  29. 제18항 기재의 투영노광장치를 이용하여 마스크 위에 형성되는 회로 패턴을 투영광학계를 통하여 감광성 기판 위에 전사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 기판 스테이지 위의 상기 소정 패턴에 대한 상기 마스크의 위치를 검출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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