JPS61209831A - 移動テ−ブル装置 - Google Patents

移動テ−ブル装置

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Publication number
JPS61209831A
JPS61209831A JP4908785A JP4908785A JPS61209831A JP S61209831 A JPS61209831 A JP S61209831A JP 4908785 A JP4908785 A JP 4908785A JP 4908785 A JP4908785 A JP 4908785A JP S61209831 A JPS61209831 A JP S61209831A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide
movable
movable guide
operating device
parallel
Prior art date
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Pending
Application number
JP4908785A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiichi Tsutsui
敬一 筒井
Yoshihito Koshiba
小柴　美仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP4908785A priority Critical patent/JPS61209831A/ja
Publication of JPS61209831A publication Critical patent/JPS61209831A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716—Stages
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、例えば光学測定機器、半導体製造装置、精密
工作機械等に使用する移動テーブル装置に関する。
〈発明の概要〉 本発明は定盤上へ駆動装置を平行して配設し、その間に
、テーブルを支持した可動ガイドを架設すると共に、可
動ガイドとテーブルとの間に、テーブルをガイドに沿っ
て移行させる作動装置を構成することにより、テーブル
の走り精度の向上および装置の小型化を実現するにある
。
〈従来の技術〉 従来この種移動テーブル装置は、第２図に示す如く、定
盤６上の４辺に固定した縦横固定ガイド６１ａ　、６１
ｂにそれぞれ可動体７ａ、７ｂを取付け、縦横互いに対
向する可動体７ａ、７ａおよび７ｂ、７ｂ間に高さを違
えて直交させた縦横可動ガイドＱａ、＄ｂを架設し、両
ガイド１３ａ　、　８ｂの交叉部にテーブル９をスライ
ド自在に係合支持している。斯るテーブル装置では、縦
横２本の可動ガイド８ａ、８ｂを要し、構造が複雑且つ
直角度の設定に高度な製作技術を要すと共に、特に、テ
ーブル９の重心位置が高く、これが動的走り精度の悪化
およびヨーイングの一因をなす等の問題を有す。。
〈発明の目的〉 本発明は、ステージの重心位置を下げて動的走り精度を
向上すると共に、部品点数の減少、全体の小型化を実現
することを目的とする。
〈発明の構成および効果〉 上記の目的を達成するため、本発明では、定盤上へ駆動
装置を平行して配設し、両可動体間に、テーブルを支持
した可動ガイドを架設し、テーブルと可動ガイドとの間
に、テーブルをガイドに沿って移行させる作動装置を構
成してなる。上記の構成によると、本発明では、駆動装
置および可動ガイドが半減し、部品点数の減少、組立て
作業を省力化できると共に、特に、テーブルの重心位置
の低下によって動的走り精度を向上し、ヨーイング発生
を抑え得る等の実用上の効果を奏する。
〈実施例の説明〉 図面は本発明に係る移動テーブル装置を示し、定盤１上
の対向辺に取付は固定した固定ガイド１１上に駆動装置
２．２を構成するリニアモータ２１，２１が平行して配
設され、両リニアモータ２１の可動体２２．２２には、
それぞれ固定ガイド１１および定盤１との対向面に空気
噴出口を開設した空気軸受２３を取付けて、両空気軸受
２３．２３間に可動ガイド３か架設され、この可動ガイ
ド３にテーブル４を支持すると共に、ガイド３とテーブ
ル４との間にテーブル４を移行させる作動装置５を設け
ている。
作動装置５は、前記可動ガイド３をリニアモータ５１に
てなすと共に、その可動体５２をテーブル４に取付けて
構成され、テーブル４には、定盤１および可動ガイド３
対向面に空気噴出口を有す空気軸受４１を取付けている
。尚、図示例の空気軸受２３および４１は、固定ガイド
１１と定盤１および可動ガイド３と定盤１にそれぞれ案
内、支持する例を示したが、実施に際しては、可動ガイ
ド３には固定ガイドｌｌｊこ、チー　　　□プル４には
可動ガイド３にそれぞれ案内支持する構造の空気軸受を
用いるも可く、更にまた、駆動装置２、作動装置５を構
成するリニアモータは、非接触で推力の得られるもので
あれば、種々構造、形状のリニアモータを選択実施する
は勿論である。
然して、駆動装置における可動体２２．２２の動作によ
り可動ガイド３はテーブル４と共に固定ガイド１１方向
に移行し、また、可動ガイド３に構成した作動装置５に
おける可動体５２の動作により、テーブル４は可動ガイ
ド３の軸身方向に移行し、従って、両回動体２２．５２
が作動することによってテーブル４は定盤１上の縦横任
意の目標位置に移行する。
本発明は上記の如く、定盤１上に平行配設した駆動装置
２の可動体２２．２２間に可動ガイド３を架設し、この
可動ガイド３にテーブル４を支持し、テーブル４と可動
ガイド３との間に作動装置５を設けて、テーブル４を可
動ガイド３方向に移行するようにしたから、従来の縦横
可動ガイドの交叉部にテーブルを支持した構造に比べ、
駆動装置および可動ガイドが半減し、以て部品点数の減
少により組立て作業の簡易化、全体の占有面積が少な（
小型、軽量化を実現し得ると共に、従来装置の如く、縦
横対をなすモーフ推力のアンバランスの問題が一挙に解
消する。しかも、テーブル４は、従来の縦横可動ガイド
の交叉部に支持した構成に比較して、重心が一段と氏下
して静的、動的走り精度が向上し、ヨーイングが抑えら
れ、以て、超精密位置決めを実現し得る等、構成簡易に
して実用上の顕著な効果を有す。
【図面の簡単な説明】
第１図は一部を破断した本発明に係る移動テーブル装置
の斜視図、第２図は従来の装置の斜視図、第３図は第２
図の一部拡大図である。 １・・・・・・定盤　　　　　２・・・・・・駆動装置
３・・・・・・可動ガイド　　４・・・・・・テーブル
５・・・・・・作動装置 テ２１ Ａ丈ホ０第４勧テーグ、Ｖ、装置（金井年見図≠３図 従ｊＡ９Ｘめチー７”）ν舎寥分４ 丁広大斜濤Ｌ　ｔ’２

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）定盤上に平行配備された駆動装置と、両駆動装置
    間に支持せられ駆動装置方向に往 復動する可動ガイドと、該可動ガイドに支 持されたテーブルと、テーブルと可動ガイ ドとの間に設けられテーブルをガイドに沿 つて移行させる作動装置とから成る移動テ ーブル装置。
  2. （２）駆動装置および作動装置はリニアモータである特
    許請求の範囲第１項記載の移動テ ーブル装置。
JP4908785A 1985-03-11 1985-03-11 移動テ−ブル装置 Pending JPS61209831A (ja)

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JP4908785A JPS61209831A (ja) 1985-03-11 1985-03-11 移動テ−ブル装置

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JP4908785A JPS61209831A (ja) 1985-03-11 1985-03-11 移動テ−ブル装置

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JPS61209831A true JPS61209831A (ja) 1986-09-18

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ID=12821311

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JP4908785A Pending JPS61209831A (ja) 1985-03-11 1985-03-11 移動テ−ブル装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0443831A2 (en) * 1990-02-21 1991-08-28 Canon Kabushiki Kaisha Motion guiding device
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