JPH0420152B2 - - Google Patents

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JPH0420152B2
JPH0420152B2 JP59205705A JP20570584A JPH0420152B2 JP H0420152 B2 JPH0420152 B2 JP H0420152B2 JP 59205705 A JP59205705 A JP 59205705A JP 20570584 A JP20570584 A JP 20570584A JP H0420152 B2 JPH0420152 B2 JP H0420152B2
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JP
Japan
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guided
guiding
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JP59205705A
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JPS6097290A (ja
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Kooberu Hansuuruudorufu
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication of JPH0420152B2 publication Critical patent/JPH0420152B2/ja
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • F16C29/02—Sliding-contact bearings
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

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  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 利用分野 本発明は運動可能な要素の固定又は運動のため
の装置を有する、ベース、案内要素、案内された
要素及び油圧又は空気圧軸受を備えた案内装置に
関する。
技術レベル 空気軸受を備えた案内装置は公知である。西独
国特許明細書1258671に剛固な案内面の空気軸受
が磁石によつて予圧される案内装置が記載されて
いる。
西独国特許公告公報2346693から機械案内が公
知であり、この案内では案内面は空気軸受の供給
のための別々に仕上げられた構成部分を備えてお
り、その際この構成部分は縦移動ができないよう
にされている。
西独国特許公告公報3023837は空気支承機械案
内を示し、その軸受は良好な運転特性、特に高い
負荷容量と良好な安定性を有するべきである。
これらの全ての提案には共通して案内されるべ
き要素例えば機械往復台の運動方向が始めから特
定されなければならないことである。後から方向
又は加工範囲を変更することはできない。
この特定は記載の種類の機械にとつて確かに意
味がありかつ充分であるが、例えば測定技術上の
課題のために必要とされるような機械では度々障
害がある、そのわけは、それによつて測定機械の
ための使用可能性が制限されるからである。
しかし寸法測定技術の分野では正に好適な測定
機をつくることができるために専門知識及び製造
精度上高コストが必要である。従つてそのような
機械の創造は使用者には高コストにつながるもの
である。
従つて測定機械はできる限り多面的に使用可能
であるべきである。特に測定機械でこのような構
造で使用される公知の案内装置は要求される多面
性と裏腹の関係にある、そのわけは案内装置は−
冒頭に述べたように−その運動方向及び測定範囲
が著しく制限されるからである。そのように一般
に測定平面のベースに対する相異なる距離におけ
る相異なる座標方向の運動が生じ、このことは測
定精度を損うか又は補正計算によつて消去されな
ければならない。
解決されるべき課題 本発明は案内装置で公知の欠点を回避し、かつ
多面的に使用可能で、高精度かつコスト安く製造
可能であり並びに小さい構造高さを有する案内装
置を創造することを課題とする。
課題の解決手段 本発明の課題は該ベース上に位置決めされて案
内される要素と、該ベース上に位置決めされる少
なくとも１つの案内要素と、これらの間で第１の
方向の相対的運動を容易にするために案内される
要素と案内要素との間に配置された少なくとも１
つの流体軸受と、案内される要素と案内要素のう
ちの選択された一方を選択的にベースに固定する
ための手段とから成り、案内される要素と案内要
素の他方は、選択された一方に関して第１の方向
に相対的に運動可能であり、案内される要素と案
内要素は固定手段が非作動状態になつた時に１つ
のユニツトとしてベース上を自由に運動可能であ
ることによつて解決される。
本発明の効果 本発明による案内装置の特別の利点は使用目的
の多面性、頑丈な構造、低い構造高さ、及び一平
面の各座標方向への運動可能性である。装置は剛
固な他の案内要素から自由である。
実施例及びその作用法 実施例によつて本発明を図面に基いて詳しく説
明する。
第１図に示された案内装置は著しく簡単化され
て表わされており、従つて本発明は明白かつ良好
に理解されるように説明されることができる。
図示しない機械ベツドの平面は案内装置のベー
ス１を形成し、ベース上には要素２及び３が公知
の空気軸受２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ−矢印によつ
て表わされている−によつて支持される。空気軸
受２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂが運転されると、要素
２及び３は平らなベース１上を自由に移動し、か
つ回動される。要素３の内方にはベース１に向つ
て開いた凹部４があり、凹部は同様に空気軸受２
ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈを介して要素３の凹部４中
に支持される要素２を収容する。要素２中の空気
軸受２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈの近くに要素３中に
おいても勿論空気軸受３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈが
設けられており、空気軸受は要素２を支持する。
空気軸受の数及び寸法は技術的要求により設定さ
れる。
要素３自体がＸ方向以外には動かされない場合
には要素２は高精度の精密軸受に基いて凹部４中
をＸ方向に動かされることができ、これに対して
他の方向へは動かされることができない。要素３
の内方には要素２が一方向において非常に正確に
案内されている。要素２及び３の各々では空気軸
受２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ及び又は３ａ，３ｂ，
３ｃ，３ｄが別々に遮断され、また過圧に切換え
られることができる。作業過程、特に測定のはじ
めに空気軸受２ａ〜３ｄが運転される。測定のた
めの出発点で要素２は遮断され又は過圧に切換え
られ、その空気軸受２ａ〜２ｄは停止されかつベ
ース１上に固着される。測定対象物は要素３上に
あり−要素３は往復台を形成する−そして非常に
精密な案内に沿つて−要素２によつて形成される
−移動可能である、そのわけは往復台３の空気軸
鵜及び凹部４の内方は遮断されていないからであ
る。
要素２又は３の停止によつて案内及び往復台が
形成される。これに対して要素３はベース１上に
停止されるので、要素２は凹部４の内方を正確に
移動し、かつＸ方向に正しく移動する。続いて要
素２が再びベース１上に停止することができ、要
素３は再び移動する。この方法で案内はステツプ
状に要素２によつてＸ方向に動かされることがで
きる。測定範囲はベース１の大きさによつてのみ
制限される。
第２図中の図示のために要素３の蓋３′が外さ
れている。そこには別の空気軸受が矢印及び円に
よつて表わされている。その他この図は第１図に
対する説明と同様である。
二つの相互に垂直の運動方向における案内のた
めの実施形態は第３図及び第４図に示されてい
る。平らなベース５上には要素６，７，８，９が
配設されており、そのうち前述の方法で要素７は
ベース５上に停止しており、それによつて案内を
形成する。往復台として有効な要素６はＹ方向に
おいて正確に移動可能でありかつ案内機能から外
されるＸ方向のための要素８及び９はＹ方向に移
動される。所望のＹ位置に達した後、要素８又は
９の一つ又は両方が沈下して停止する。それまで
の案内要素７の下での空気クツシヨンの発生によ
り案内要素は持ち上げられかつ往復台６によつて
Ｘ方向に精密に走行されることができる。
両要素８及び９は一方向における往復台要素６
のステツプ状運動が往復台要素６のその都度の沈
下なしに達成されるべき場合に設けられる。二つ
の要素８及び９は−ここに示すように−並んでし
かし重ねても配設されることができる。多重構造
は他の座標方向においても可能でありかつ場合に
よつては意味があることは勿論である。
符号による空気軸受の特徴は第３図及び第４図
においては省略される、そのわけは理解を良くす
るためには必要ないからである。
要素２，３，６，７，８，９間の相対運動は公
知の長さ測定システム（光電的、誘導的、磁気
的、干渉的、インクリメンタル、アプソリユート
等）によつて把握され、かつ公知の駆動装置例え
ば電動機、空気圧駆動装置、摩擦車伝動装置、ス
ピンドル駆動装置、巻掛伝動装置によつて制御さ
れることができる。測定データの固有の評価によ
つて進み量をステツプ毎に又は出発点に関して検
出することが可能である。
案内として使用される要素の停止は電磁石によ
つても行われることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は案内装置の断面図、第２図は案内装置
の平面図、第３図は他の案内装置の断面図、そし
て第４図は第３図による案内装置の平面図であ
る。 図中符号、５……ベース、６……要素、７……
要素。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ ベース上で使用する案内装置において、 該ベース上に位置決めされて案内されく要素
    と、該ベース上に位置決めされる少なくとも１つ
    の案内要素と、これらの間で第１の方向の相対的
    運動を容易にするために案内される要素と案内要
    素との間に配置された少なくとも１つの流体軸受
    と、案内される要素と案内要素のうちの選択され
    た一方を選択的にベースに固定するための手段と
    から成り、案内される要素と案内要素の他方は、
    選択された一方に関して第１の方向に相対的に運
    動可能であり、案内される要素と案内要素は固定
    手段が非作動状態になつた時に１つのユニツトと
    してベース上を自由に運動可能であることを特徴
    とする案内装置。 ２ 各々ベース１，５に固定された要素が案内要
    素２，７であり、かつ各移動可能な要素が案内さ
    れる要素３，６，８，９である、特許請求の範囲
    第１項記載の案内装置。 ３ 各運動方向のために複数の案内要素８，９が
    設けられている、特許請求の範囲第１項記載の案
    内装置。
JP59205705A 1983-10-04 1984-10-02 案内装置 Granted JPS6097290A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3336002A DE3336002C2 (de) 1983-10-04 1983-10-04 Führungsvorrichtung
DE3336002.2 1983-10-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6097290A JPS6097290A (ja) 1985-05-31
JPH0420152B2 true JPH0420152B2 (ja) 1992-03-31

Family

ID=6210912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59205705A Granted JPS6097290A (ja) 1983-10-04 1984-10-02 案内装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4615568A (ja)
EP (1) EP0140003B1 (ja)
JP (1) JPS6097290A (ja)
AT (1) ATE33291T1 (ja)
DE (2) DE3336002C2 (ja)

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