JPH044170Y2 - - Google Patents
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- JPH044170Y2 JPH044170Y2 JP16184086U JP16184086U JPH044170Y2 JP H044170 Y2 JPH044170 Y2 JP H044170Y2 JP 16184086 U JP16184086 U JP 16184086U JP 16184086 U JP16184086 U JP 16184086U JP H044170 Y2 JPH044170 Y2 JP H044170Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- moving means
- measuring
- movable body
- measuring machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
測定子をビームの長手方向に移動可能に装着し
たスライダに取付け、そのスライダの移動を利用
して測定子が関与する測定対象物の形状、寸法を
測る測定機の改良に関する。三次元測定機等に好
適である。
たスライダに取付け、そのスライダの移動を利用
して測定子が関与する測定対象物の形状、寸法を
測る測定機の改良に関する。三次元測定機等に好
適である。
測定子をビームの長手方向に移動可能に装着し
たスライダに取付け、そのスライダの移動を利用
して測定子が関与する測定対象物の形状、寸法を
測る測定機が広く普及している。二次元測定機、
三次元測定機、座標測定機等が例示される。
たスライダに取付け、そのスライダの移動を利用
して測定子が関与する測定対象物の形状、寸法を
測る測定機が広く普及している。二次元測定機、
三次元測定機、座標測定機等が例示される。
従来、かかる測定機は、例えば、三次元測定機
の場合、第３図、第４図に示すような構造であつ
た。すなわち、第４図において、測定対象物を載
置する定盤１とＹガイドレール２および定盤１上
をＹ軸方向に移動可能とされた一対のＹスライダ
３Ｒ，３Ｌと両Ｙスライダ３Ｒ，３Ｌに立設され
た一対の支柱４Ｒ，４Ｌと支柱４Ｒ，４Ｌの上端
側に渡架されたＸ軸方向に伸びるＸビーム１０
と、このビーム１０に長手方向に移動可能とされ
たＸスライダ１１とこのＸスライダ１１に取り付
けられたＺスピンドル６をＺ軸方向に移動可能に
支持するＺコラム５と、Ｚスピンドル６の先端側
に支持されたタツチ信号プローブ７（８が測定子
である）とＸスライダ１１の移動手段２０とから
三次元測定機が構成されていた。なお、Ｙスライ
ダの移動手段とＺスピンドルの移動手段は図示省
略した。
の場合、第３図、第４図に示すような構造であつ
た。すなわち、第４図において、測定対象物を載
置する定盤１とＹガイドレール２および定盤１上
をＹ軸方向に移動可能とされた一対のＹスライダ
３Ｒ，３Ｌと両Ｙスライダ３Ｒ，３Ｌに立設され
た一対の支柱４Ｒ，４Ｌと支柱４Ｒ，４Ｌの上端
側に渡架されたＸ軸方向に伸びるＸビーム１０
と、このビーム１０に長手方向に移動可能とされ
たＸスライダ１１とこのＸスライダ１１に取り付
けられたＺスピンドル６をＺ軸方向に移動可能に
支持するＺコラム５と、Ｚスピンドル６の先端側
に支持されたタツチ信号プローブ７（８が測定子
である）とＸスライダ１１の移動手段２０とから
三次元測定機が構成されていた。なお、Ｙスライ
ダの移動手段とＺスピンドルの移動手段は図示省
略した。
ここに、Ｘスライダ１１の移動手段２０は第３
図に示したように支柱４Ｒの上端側に取り付けた
モータ２１とこのモータ２１で回動される送りネ
ジ２５とこの送りネジ２５に螺合されかつ前記Ｘ
スライダ１１に連結された可動体２２とから構成
されていた。
図に示したように支柱４Ｒの上端側に取り付けた
モータ２１とこのモータ２１で回動される送りネ
ジ２５とこの送りネジ２５に螺合されかつ前記Ｘ
スライダ１１に連結された可動体２２とから構成
されていた。
従つて、モータ２１を回動することによつて駆
動手段２０は駆動され、Ｘスライダ１１はＸビー
ム１０上を移動される。なお、Ｘスライダ１１は
Ｘビーム１０によつてエアベアリング支持されて
いるので円滑摺動される。すると、Ｚスピンドル
６に取りつけられたタツチ信号プローブ７がＸ軸
方向に移動され、測定子８が図示省略の測定対象
物の測定面に当接されることによつて当該測定面
の座標を図示省略の測定回路に取り込む。順次、
この操作を繰り返して得た複数の座標を処理して
測定対象物の形状や寸法を求めることができた。
なお、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の座標はＹスライダ３
Ｒ，３ＬおよびＺスピンドル６をそれぞれ移動さ
せることによつて取り込むことができる。
動手段２０は駆動され、Ｘスライダ１１はＸビー
ム１０上を移動される。なお、Ｘスライダ１１は
Ｘビーム１０によつてエアベアリング支持されて
いるので円滑摺動される。すると、Ｚスピンドル
６に取りつけられたタツチ信号プローブ７がＸ軸
方向に移動され、測定子８が図示省略の測定対象
物の測定面に当接されることによつて当該測定面
の座標を図示省略の測定回路に取り込む。順次、
この操作を繰り返して得た複数の座標を処理して
測定対象物の形状や寸法を求めることができた。
なお、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の座標はＹスライダ３
Ｒ，３ＬおよびＺスピンドル６をそれぞれ移動さ
せることによつて取り込むことができる。
しかしながら、上記従来の測定機、例示の三次
元測定機の場合には次のような問題点があつた。
元測定機の場合には次のような問題点があつた。
すなわち、可動体２２を介し送りネジ２５を回
動させてスライダ１１を移動させるので、スライ
ダ１１を正確かつ円滑に移動させるためにはＸビ
ーム１０に対するＸスライダ１１の精巧な摺動案
内、Ｘスライダ１１に対する可動体（ナツト部
材）２２の正確な姿勢による取付作業、送りネジ
２５とＸビーム１０との高い平行度及び送りネジ
２５自体の高い真直度等を確立しなければならず
製作、組立、調整に多くの労力を必要とする問題
があつた。また、これらを注意して完成させても
可動体２２と送りネジ２５、モータ２１のロータ
とステータ、送りネジ２５とのその軸受（支持体
１３）、さらには、例えばＸスライダ１１の移動
に伴うＸビーム１０の荷重位置変化による構造全
体の変形等から送りネジ２５に振れや傾きが生ず
るという実用上の問題があり、これらは１〜数μ
ｍの分解能を求められる三次元測定機等では無視
することのできない大きなものとなり所定測定精
度を到底保障することができないという事態を引
起こした。さらに振れ等が過大となるとＸスライ
ダ１１の移動困難乃至不能という最悪事態を招来
するおそれがあつた。さらに、これら問題は大型
機種になるほど大きな欠点となつてきた。
動させてスライダ１１を移動させるので、スライ
ダ１１を正確かつ円滑に移動させるためにはＸビ
ーム１０に対するＸスライダ１１の精巧な摺動案
内、Ｘスライダ１１に対する可動体（ナツト部
材）２２の正確な姿勢による取付作業、送りネジ
２５とＸビーム１０との高い平行度及び送りネジ
２５自体の高い真直度等を確立しなければならず
製作、組立、調整に多くの労力を必要とする問題
があつた。また、これらを注意して完成させても
可動体２２と送りネジ２５、モータ２１のロータ
とステータ、送りネジ２５とのその軸受（支持体
１３）、さらには、例えばＸスライダ１１の移動
に伴うＸビーム１０の荷重位置変化による構造全
体の変形等から送りネジ２５に振れや傾きが生ず
るという実用上の問題があり、これらは１〜数μ
ｍの分解能を求められる三次元測定機等では無視
することのできない大きなものとなり所定測定精
度を到底保障することができないという事態を引
起こした。さらに振れ等が過大となるとＸスライ
ダ１１の移動困難乃至不能という最悪事態を招来
するおそれがあつた。さらに、これら問題は大型
機種になるほど大きな欠点となつてきた。
本考案の目的は、測定子の円滑移動と高精度測
定を保障できる間接駆動型測定機を提供すること
を目的とする。
定を保障できる間接駆動型測定機を提供すること
を目的とする。
本考案は、移動手段とスライダとを動力を伝達
し機械的変形、振動等を遮断する伝達手段を介し
連結し前記従来問題点を除去しようとするもので
ある。
し機械的変形、振動等を遮断する伝達手段を介し
連結し前記従来問題点を除去しようとするもので
ある。
これがため、測定子をビームの長手方向に移動
可能に装着したスライダに取付け、そのスライダ
の移動を利用して測定子が関与する測定対象物の
形状、寸法を測る測定機において、可動体を前記
ビームの長手方向に往復移動させる移動手段と、
前記ビームの長手方向に離隔配設された一対の回
動体と両回動体に渡設された無端状のベルト部材
とからなる伝達手段とから形成された駆動装置を
備え、前記スライダと可動体とを対向する位置で
前記ベルト部材に連結し前記伝達手段を介し前記
移動手段で前記スライダを間接駆動できるよう構
成し前記目的を達成するのである。
可能に装着したスライダに取付け、そのスライダ
の移動を利用して測定子が関与する測定対象物の
形状、寸法を測る測定機において、可動体を前記
ビームの長手方向に往復移動させる移動手段と、
前記ビームの長手方向に離隔配設された一対の回
動体と両回動体に渡設された無端状のベルト部材
とからなる伝達手段とから形成された駆動装置を
備え、前記スライダと可動体とを対向する位置で
前記ベルト部材に連結し前記伝達手段を介し前記
移動手段で前記スライダを間接駆動できるよう構
成し前記目的を達成するのである。
したがつて、この考案に掛かる測定機は、伝達
手段のベルトにスライダと移動手段の可動体とを
連結しているので、移動手段の変形、振れ等はそ
のベルトの可撓性を利用して吸収され、動力以外
の振れ等はスライダに伝達されない。したがつ
て、スライダに支持された測定子は円滑移動され
その姿勢を一定に維持できるので高精度測定を保
障できる。
手段のベルトにスライダと移動手段の可動体とを
連結しているので、移動手段の変形、振れ等はそ
のベルトの可撓性を利用して吸収され、動力以外
の振れ等はスライダに伝達されない。したがつ
て、スライダに支持された測定子は円滑移動され
その姿勢を一定に維持できるので高精度測定を保
障できる。
本考案に係る間接型測定機の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。
参照して詳細に説明する。
なお、この実施例における測定機は前出第４図
に示した従来三次元測定機と同様な三次元測定機
である。従つて、それと同一部分については同一
の符号を付するとともに説明を簡略または省略す
る。
に示した従来三次元測定機と同様な三次元測定機
である。従つて、それと同一部分については同一
の符号を付するとともに説明を簡略または省略す
る。
この実施例の駆動装置は移動手段２０と伝達手
段３０とから構成されている。
段３０とから構成されている。
移動手段２０は第１図に示したように支柱４Ｒ
の上端側に取付けたモータ２１とこのモータ２１
で回動される送りネジ２５とこの送りネジ２５に
螺合されたナツト部材から形成した可動体２２と
送りネジ２５と平行で可動体２２を摺動案内する
ガイドロツド２８とから構成されている。ここで
可動体２２はＸスライダ１１に連結されず後記の
ベルト３３に直結される。したがつて、可動体２
２の廻止めとしてガイドロツド２８が設けられて
いるのである。
の上端側に取付けたモータ２１とこのモータ２１
で回動される送りネジ２５とこの送りネジ２５に
螺合されたナツト部材から形成した可動体２２と
送りネジ２５と平行で可動体２２を摺動案内する
ガイドロツド２８とから構成されている。ここで
可動体２２はＸスライダ１１に連結されず後記の
ベルト３３に直結される。したがつて、可動体２
２の廻止めとしてガイドロツド２８が設けられて
いるのである。
伝達手段３０は、動力を伝達する一方で移動手
段２０の振動等をＸスライダ１１に伝えないよう
にするもので支柱４Ｒ，４Ｌの上端側にそれぞれ
取付けられた支持台１３，１３に回動自在に設け
られた一対の回動体であるプーリ３２，３４に渡
設された無端状の可撓性あるベルト部材としての
ベルト３３とから構成され、このベルト３３は、
対応する位置３３ＡでＸスライダ１１に係止片１
２を介し連結され、位置３３Ｂで可動体２２に連
結されている。
段２０の振動等をＸスライダ１１に伝えないよう
にするもので支柱４Ｒ，４Ｌの上端側にそれぞれ
取付けられた支持台１３，１３に回動自在に設け
られた一対の回動体であるプーリ３２，３４に渡
設された無端状の可撓性あるベルト部材としての
ベルト３３とから構成され、このベルト３３は、
対応する位置３３ＡでＸスライダ１１に係止片１
２を介し連結され、位置３３Ｂで可動体２２に連
結されている。
次に、この実施例の作用について説明する。
測定子８（第４図参照）をＸ軸方向に移動させ
て測定対象物（図示省略）の測定面に当接させる
には、移動手段２０のモータ２１を駆動して行
う。モータ２１を駆動すれば送りネジ２５に螺合
されたナツト部材からなる可動体２２を例えば第
２図に示したように図で左方向に移動することが
できる。すると無端状のベルト３３は両プーリ３
２，３４間で回動されるからＸスライダ１１を図
で右方向に移動させることができる。
て測定対象物（図示省略）の測定面に当接させる
には、移動手段２０のモータ２１を駆動して行
う。モータ２１を駆動すれば送りネジ２５に螺合
されたナツト部材からなる可動体２２を例えば第
２図に示したように図で左方向に移動することが
できる。すると無端状のベルト３３は両プーリ３
２，３４間で回動されるからＸスライダ１１を図
で右方向に移動させることができる。
このようにして、上記測定面に当接された瞬間
の測定子８の移動変位量から当該測定面のＸ座標
を図示省略の測定回路で読み取る。Ｘ軸方向につ
いてこの手順を繰り返す。なお、Ｙ軸方向はＹス
ライダ３Ｒ，３Ｌの移動によつて、Ｚ軸方向はＺ
スピンドル６の昇降によつて読み取られ、単独に
または上記Ｘ軸方向と同時に各座標（Ｘ，Ｙおよ
びＺ）を所定の幾何学的演算等をすることによつ
て測定対象物の寸法や形状を測定できる。
の測定子８の移動変位量から当該測定面のＸ座標
を図示省略の測定回路で読み取る。Ｘ軸方向につ
いてこの手順を繰り返す。なお、Ｙ軸方向はＹス
ライダ３Ｒ，３Ｌの移動によつて、Ｚ軸方向はＺ
スピンドル６の昇降によつて読み取られ、単独に
または上記Ｘ軸方向と同時に各座標（Ｘ，Ｙおよ
びＺ）を所定の幾何学的演算等をすることによつ
て測定対象物の寸法や形状を測定できる。
したがつて、この実施例によれば、駆動装置は
移動手段２０とＸスライダ１１に動力を伝達する
とともに移動手段２０の振動等を吸収する伝達手
段３０とから構成されているので、Ｘスライダ１
１は間接駆動され移動手段２０の振動等はＸスラ
イダ１１つまり測定子８に伝わらない。したがつ
て測定子８の姿勢変化が生じないから高精度測定
を保障することができる。
移動手段２０とＸスライダ１１に動力を伝達する
とともに移動手段２０の振動等を吸収する伝達手
段３０とから構成されているので、Ｘスライダ１
１は間接駆動され移動手段２０の振動等はＸスラ
イダ１１つまり測定子８に伝わらない。したがつ
て測定子８の姿勢変化が生じないから高精度測定
を保障することができる。
また、移動手段２０のベルト３３は可撓性を有
するから上記の如く振動等を遮断する他、例えば
送りネジ２５がＸビーム１０と完全平行でなくと
もＸスライダ１１を円滑移動させることができ
る。このことは、駆動装置の設計、製作、組立の
自由度を飛躍的に向上させ経済的な測定機を確立
させるという効果をも奏することができる。
するから上記の如く振動等を遮断する他、例えば
送りネジ２５がＸビーム１０と完全平行でなくと
もＸスライダ１１を円滑移動させることができ
る。このことは、駆動装置の設計、製作、組立の
自由度を飛躍的に向上させ経済的な測定機を確立
させるという効果をも奏することができる。
なお、以上の実施例においては、移動手段２０
をモータ２１駆動の送りネジ２５方式とされたが
これに限定されずエアシリンダ等によるものであ
つても本考案は適用される。また、伝達手段３０
のベルト３３は可撓性を利用して移動手段２０の
振動等をＸスライダ１１に伝えないようにして動
力を伝達できればよいから、本考案におけるベル
ト部材とはベルト３３の他のワイヤー、ロープ、
チエーン等を含むものとする。
をモータ２１駆動の送りネジ２５方式とされたが
これに限定されずエアシリンダ等によるものであ
つても本考案は適用される。また、伝達手段３０
のベルト３３は可撓性を利用して移動手段２０の
振動等をＸスライダ１１に伝えないようにして動
力を伝達できればよいから、本考案におけるベル
ト部材とはベルト３３の他のワイヤー、ロープ、
チエーン等を含むものとする。
もとより、Ｘスライダ１１の駆動装置について
開示したがＹスライダ３Ｒ，Ｚスピンドル６の駆
動装置においても、さらに三次元測定機に限定さ
れず二次元測定機においても本考案は適用され
る。
開示したがＹスライダ３Ｒ，Ｚスピンドル６の駆
動装置においても、さらに三次元測定機に限定さ
れず二次元測定機においても本考案は適用され
る。
本考案によれば、測定子の円滑移動と高精度測
定を保障できる間接駆動型測定機を提供すること
ができる。
定を保障できる間接駆動型測定機を提供すること
ができる。
第１図は本考案に係る間接駆動型測定機の一実
施例を示す要部斜視図、第２図は同じく動作説明
図、第３図、第４図は従来の測定機の駆動装置を
示し、第３図は要部斜視図および第４図は測定機
自体の全体構成図である。 ８……測定子、１０……Ｘビーム、１１……Ｘ
スライダ、２０……移動手段、２１……モータ、
２２……可動体、３０……伝達手段、３２，３４
……回動体としてのプーリ、３３……ベルト部材
であるベルト。
施例を示す要部斜視図、第２図は同じく動作説明
図、第３図、第４図は従来の測定機の駆動装置を
示し、第３図は要部斜視図および第４図は測定機
自体の全体構成図である。 ８……測定子、１０……Ｘビーム、１１……Ｘ
スライダ、２０……移動手段、２１……モータ、
２２……可動体、３０……伝達手段、３２，３４
……回動体としてのプーリ、３３……ベルト部材
であるベルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 測定子をビームの長手方向に移動可能に装着し
たスライダに取付け、そのスライダの移動を利用
して測定子が関与する測定対象物の形状、寸法を
測る測定機において、可動体を前記ビームの長手
方向に往復移動させる移動手段と、 前記ビームの長手方向に離隔配設された一対の
回動体と両回動体に渡設された無端状のベルト部
材とからなる伝達手段と、から形成された駆動装
置を備え、 前記スライダと可動体とを対向する位置で前記
ベルト部材に連結し前記伝達手段を介し前記移動
手段で前記スライダを間接駆動できるよう構成し
たことを特徴とする間接駆動型測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16184086U JPH044170Y2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16184086U JPH044170Y2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367814U JPS6367814U (ja) | 1988-05-07 |
| JPH044170Y2 true JPH044170Y2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=31088534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16184086U Expired JPH044170Y2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044170Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2505956A1 (en) * | 2011-03-29 | 2012-10-03 | Hexagon Technology Center GmbH | Coordinate measuring machine |
-
1986
- 1986-10-21 JP JP16184086U patent/JPH044170Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6367814U (ja) | 1988-05-07 |
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