JP3040454B2 - 座標測定装置 - Google Patents

座標測定装置

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JP3040454B2
JP3040454B2 JP2295588A JP29558890A JP3040454B2 JP 3040454 B2 JP3040454 B2 JP 3040454B2 JP 2295588 A JP2295588 A JP 2295588A JP 29558890 A JP29558890 A JP 29558890A JP 3040454 B2 JP3040454 B2 JP 3040454B2
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クラウス・ヘルツオーク
カール―ヘルマン・ブライヤー
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カール・ツアイス―スチフツング
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、座標測定装置であって、測定しようとする
ワークピース及び、座標測定装置の有効な測定容積を拡
大する装置を受容するためのテーブルを備えている形式
のものに関する。
座標測定装置においては、機械のベッドを形成して測
定しようとするワークピースを支持するテーブルの面は
測定装置の水平方向、すなわちX方向及びY方向での有
効な測定範囲よりも著しく大きい。このことはテーブル
の表面が部分的に走行可能な例えば門形部材のための案
内面として用いられ、この部分が開放さたままでなけれ
ばならないことに基づいている。門形部材の走行方向で
は案内は走行距離よりも門形部材部材の足部の側方の少
なくともベース幅だけ長くなっている。門形部材のベー
ス幅は門形部材が高ければ高いほど形状安定性の理由か
ら大きくなっている。測定装置のテーブルの測定容積の
外側の部分は測定しようとすワークピースを緊定するた
めにも接触子交換装置を設置するためにも活用されな
い。このような部分は測定装置を高価なものにしかつ不
必要に大きくかつ重くしている。
門形タイプの座標測定装置の測定範囲を門形部材の走
行方向で拡大するために、トラバースが門形部材の足部
の両側を越えて突出しており、これによってトラバース
に配置された横スライダの案内が延長されている。この
ような測定装置は例えばドイツ連邦共和国特許第302445
5号公報に記載してある。
しかしながら前記手段は門形部材の走行方向での測定
範囲の拡大のために容易に使用されない。案内の延長は
花崗岩プレートの延長を意味するものである。案内路の
延長によっては門形部材の走行方向での位置の測定のた
めの測定ロッドが相応に長くなる。長い測定ロッドの製
作には著しく高い費用がかかる。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第3729433号公報に記
載の座標測定装置においては、凹所が加工成形され、そ
の結果測定容積を上回る高いワークピースが測定でき
る。この場合、ワークピースの、凹所から突出する部分
が測定され、次いでワークピースがクレーンを用いて持
ち上げられ、引っ繰り返され、再び凹所内に降ろされ、
別の側が測定される。このような測定方法は著しく繁雑
でかつ時間がかかる。このような手段いよっても測定範
囲の拡大は不可能である。
ドイツ連邦共和国特許第1798191号公報に記載の座標
測定装置は垂直方向で複数段に調節可能なテーブルを有
している。この座標測定装置においてはプローブヘッド
とテーブルの上面の最下位の位置との間の垂直方向の間
隔がZ方向、すなわち測定装置の垂直方向のプローブの
移動範囲での測定範囲に対して比較的大きく選ばれてい
る。従って比較的高いワークピースが測定され、かつ偏
平なワークピースにとってはテーブルが簡単に上方へ所
定の最小高さに調節される。測定範囲はしかしながら同
じく拡大されない。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第3527384号公報によ
り1次元的な長さ測定装置が公知であり、この場合には
測定スライダが間接的に第2のスライダ内に案内されて
おり、第2のスライダは同じ方向に運動可能に定置の機
械テーブルに案内されている。移動方向でのプローブの
位置を測定する測定ロッドが2つの発信ヘッドによって
プロービングされるようになっており、一方の発信ヘッ
ドが異なる位置でロック可能である。
このような手段を多座標測定装置に応用しようとする
場合には、精度の高い2倍の数の案内が設けられねばな
らない。門形測定装置においては著しく重い門形部材自
体が運動可能な第2のスライダに案内されねばならず、
このことは著しく高い費用を必要とする。
本発明の課題は座標測定装置を改善して、できるだけ
簡単な手段でかつ装置の寸法若しくは各案内方向での軸
線方向長さの過度な拡大なしに測定容積を拡大するよう
にすることである。
本発明の前記課題を解決すために本発明の構成では、
座標測定装置の有効な測定容積を拡大する装置がテーブ
ル上で規定された少なくとも2つの位置間を移動可能な
支持プレート及び前記異なる位置での支持プレートの位
置の測定のための手段を有している 本発明に基づく前記構成により、測定装置の測定容積
が1つの測定軸線で、門形測定装置において有利には門
形部材走行方向で支持プレートの移動範囲に相応する距
離にわたって拡大される。支持プレートが有利にはワー
クピースパレットであってよく、ワークピースパレット
がエアベアリングを介して座標測定装置のテーブルに載
設されていて、大きな力なしに手動で若しくは適当な駆
動装置によって異なる位置へ移動される。
駆動装置を設けてある場合には、駆動装置は座標測定
装置のテーブルの横に配置される。さらに有利には、駆
動装置が座標測定装置のテーブルの溝内に配置され、そ
の結果座標測定装置の測定容積が駆動装置によって妨げ
られない。
支持プレートの異なる位置でのワークピースのプロー
ビングによる測定点を座標測定値の考慮によって互いに
関連させるために、両方の位置での、すなわち移動の前
及び後での支持プレートの位置をワークピースの座標測
定のために必要な精度で知る必要がある。このことは支
持プレートに測定点を規定する複数の基準部材を取り付
けて、この基準部材を座標測定装置のプローブヘッドで
支持プローブの異なる位置においてプロービング可能に
することによって実施される。有利には、座標測定装置
のテーブルに付加的に複数のセンサが取り付けられてお
り、これらのセンサによって支持プレートが異なる位置
で測定される。移動過程間での支持プレートの位置を測
定するための測定時間が失われない。この代わりに簡単
にはセンサの信号がワークピースの測定点の算出に際し
座標測定装置のコンピュータによって共通のワークピー
ス・座標システム内で一緒に考慮される。
さらに、支持プレート自体を例えば座標測定装置のテ
ーブルの前記溝に沿って移動方向へ案内し、移動運動量
を別の測定ロッドで測定することも可能である。
支持プレートをモータで駆動する場合に特に有利に
は、門形部材及び支持プレートの走行速度が門形部材及
び支持プレートのパルスを逆向きに同じであるように選
ばれる。これによって門形部材走行方向への駆動装置に
よる引っ張りの際の装置テーブルの傾倒が完全に避けら
れ、ダイナミックな質量補償に基づき測定軸方向での高
い加速及び走行速度が可能である。
実施例 第1図及び第2図に示す座標測定装置は花崗岩プレー
トから成る定置のテーブル1を有しており、図示してな
い手段を介して振動防止して支承されていて、装置の機
械ベースを形成している。テーブル1の上面上を、両方
の脚部2,3及び横桁4から成る門形部材が走行可能であ
る。門形部材は横桁4に枢着された引っ張り棒9を用い
て駆動装置11を介して運動させられるようになってお
り、駆動装置は門形の支持部10の上端部に取り付けられ
ている。支持部10は両方の脚部で以てテーブル1の後方
の端面に取り付けられている。
横桁4には門形部材走行方向に対して直角に走行可能
に横スライダ5を配置してあり、横スライダは座標測定
装置の垂直に運動可能なプローブヘッド7及び該プロー
ブヘッドに取り付けられたクランピングアーム8を保持
している。
これまで述べた構造の座標測定装置自体は公知であ
る。公知の座標測定装置においては、花崗岩プレートの
上面が測定しようとするワークピースを支持するための
テーブルを形成している。この座標測定装置の利用可能
な測定容積は、ほぼ第2図に破線Aで示す範囲である。
この範囲は、明らかにテーブル1の長さよりも脚部2
の、門形部材の移動方向での案内ベースを形成する足部
2a(第2図)の長さだけ短くなっている。
本発明に基づき次に述べる付加的な手段が設けてあ
る: テーブル1の案内面として役立つ部分間に、門形部材
の内側寸法に合わせて幅を規定された支持プレート15を
門形部材走行方向へ移動可能に支承してある。支持プレ
ート15は4つのエアベアリング(21a,21b,21c,21d)を
介してテーブル1に支えられていて、摩擦なしに移動さ
せられる。テーブル1内には縦溝12がフライス加工によ
り形成されている。この縦溝内には空気圧式シリンダ13
が装着されており、空気圧式シリンダの引っ張り棒14が
支持プレート15の下側に取り付けられた結合部材20に係
合している。支持プレート15は空気圧式の駆動装置を用
いて実線及び破線で描かれた両方の位置へ門形部材の走
行方向に対して平行に移動させられる。
支持プレート15上においてはテーブル1を越えて前方
へ延長せしめられた部分でも、支持プレート15を順次に
異なる両方の位置へ移動させることによって測定でき
る。測定容積の、前記手段によって得られた付加的な部
分が一点鎖線Bで示してある。
両方の位置での支持プレート15の位置を正確に測定
し、かつ支持プレート15の位置座標を測定容積に関連し
た共通の座標システムへのワークピースの座標測定値の
供給に際して考慮するために、3つの基準点が設けられ
ている。このような基準点は例えば支持プレート15の上
面の3つの球22a,22b,22c若しくは球の中心点によって
形成されているが、幾何学的な別の部材、例えば円錐
体、トリプル球、孔を備えた円板などによって形成され
てよい。
3つの基準点の座標により支持プレート15の位置が常
に一義的に規定され、各移動運動の後に基準点のプロー
ビングによってワークピースの連行運動された部分の位
置も確認され、両方の部分が互いに計算的に接続され
る。
支持プレートの位置を各移動行程の後に座標測定装置
によって測定しないためには、移動範囲の両方の端部に
誘導プローブの形のそれぞれ3つの距離センサ16a,16b,
16c及び17a,17b,17cを設けてあり、これらの距離センサ
によって支持プレートの端面並びに側面の対応する平面
18a,18b,18c及び19a,19b,19cがプロービングされる。距
離センサの信号若しくは信号から得られた位置測定値が
座標測定装置のコンピュータに送られる。位置測定値は
各移動運動の後に直ちに修正値として移動させられた両
方の位置での測定しようとするワークピースの座標測定
値に加算される。
距離センサはテーブル1の平面内で支持プレート15の
位置を検出する。支持プレート15の移動に際し平面に対
する位置変動若しくは傾倒が生じる限りにおいては、こ
のような偏差は再現可能である。それというのは位置変
動はテーブル1の表面の形状に関連しており、かつテー
ブル1が長時間にわたって十分に形状安定であるからで
ある。従って、支持プレート15の位置は3つの球22a,22
b,22cのプロービングによって支持プレートの両方の位
置で一回測定されるだけでよい。このような測定過程に
際し同時に距離センサ16a,16b,16c及び17a,17b,17cが規
定される。支持プレート15に引き続く各移動に応じて支
持プレートの位置が距離センサ16a,16b,16c及び17a,17
b,17cの規定データ及び指示値に基づき座標測定装置の
コンピュータによって算出される。
前述の装置は測定装置の測定容積を拡大するためにの
み役立つのではなく、測定装置への装着を容易にするた
め、若しくはコンピュータ制御可能なプローブ交換のた
めの大きなマガジンを測定装置の測定範囲へ走入させる
ためにも有利に用いられる。
第3図から第5図に示した第2の実施例は同じく門形
の座標測定装置である。
テーブル1上で門形部材の走行方向へ移動可能な支持
プレート115はスピンドル125を用いて駆動モータ113に
よって駆動されるようになっている。駆動モータ113と
スピンドル125とはカップリング114を介して連結されて
いる。スピンドル125はスピンドルナット123を介して支
持プレート115に連結されている。支持プレート115は互
いに緊定された2対のエアベアリング119a,119b,119c,1
19dを用いて移動方向に案内されており、エアベアリン
グは支持プレート115の下側に中心に配置された保持部1
22a,122bを介して支持プレート115に結合されていてか
つ溝112の内側に接している。従って溝112の内側の範囲
は門形部材走行方向での支持プレート115のための案内
として役立つ。
支持プレート115の移動の移動量は寸法ロッド126を用
いて測定されるようになっており、寸法ロッドは溝112
の内側の上部に取り付けられていて、第5図に破線で示
した読み取りヘッド127によってプロービングされるよ
うになっており、読み取りヘッドは一方の保持部122b内
に組み込まれている。支持プレート115上にはワークピ
ース116が載っている。
座標測定装置の門形部材は引っ張り棒9を介して例え
ば摩擦車伝動装置を用いて駆動装置111によって走行さ
せられる。門形部材の走行方向への移動を測定する寸法
ロッドは第3図から第5図には示してない。
両方の駆動装置、支持部材115の駆動モータ113及び門
形部材の駆動装置111は共通に制御装置103によって制御
される。制御装置103内に含まれるマイクロプロセッサ
のフイルム品がプログラミングされ、支持プレート及び
門形部材が測定過程に関連してすべての走行運動に際し
同時に逆方向に速度V×1及びV×2で駆動され、この
場合式が で表され、この場合mpが門形部材の駆動装置111によっ
て運動させられる質量、及びmtが平均的なワークピース
にあてはまる割合を含めて支持プレートの、駆動装置11
3によって運動させられる質量であり、すなわち運動さ
せられる両方の部分のパルスm×Vが逆向きに同じであ
る。
このようにして、テーブル1が門形部材走行方向での
測定運動中に交番負荷を生ぜしめるようなことはない。
さらに駆動装置の加速段階で生じて反作用として門形部
材及び支持プレートの運動質量に伝達される傾倒モーメ
ントが著しく補償される。従って、テーブル1を支える
振動減衰装置128a,128b,128c,128dが著しく負荷される
ことはなく、エアダンパとして構成される。さらに測定
装置の振動する時間が短い。さらに門形部材の高い走行
速度及び加速度が可能であり、これにより測定速度も高
められる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであって、第1図は座
標測定装置の第1実施例の垂直平面に沿った断面図、第
2図は第1図のII−II線に沿った断面図、第3図は座標
測定装置の第2実施例の垂直平面に沿った断面図、第4
図は第3図のIV−IV線に沿った断面図、及び第5図は第
3図の実施例の後方から見た端面図である。 1……テーブル、2……脚部、2a……足部、3……脚
部、4……横桁、5……横スライダ、7……プローブヘ
ッド、8……クランピングアーム、9……引っ張り棒、
10……支持部、11……駆動装置、12……縦溝、13……空
気圧式シリンダ、14……引っ張り棒、15……支持プレー
ト、16a,16b及び16c……距離センサ、17a,17b及び17c…
…距離センサ、20……結合部材、21a,21b,21c及び21d…
…エアベアリング、103……制御装置、111……駆動装
置、112……溝、113……駆動モータ、114……カップリ
ング、115……支持プレート、116……ワークピース、11
9a,119b,119c及び119d……エアベアリング、122a及び12
2b……保持部、123……スピンドルナット、125……スピ
ンドル、126……寸法ロッド、127……読み取りヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−265519(JP,A) 特開 昭61−213624(JP,A) 特開 昭63−27710(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 21/00 - 21/30

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有していることを特徴とする座標測定装置。
  2. 【請求項2】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、支持プレート(15;115)がエアベア
    リング(21)を介してテーブル(1)に支えられている
    ことを特徴とする座標測定装置。
  3. 【請求項3】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、異なる位置への支持プレート(15;11
    5)の移動運動のための駆動装置(13;113)が設けられ
    ていることを特徴とする座標測定装置。
  4. 【請求項4】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、異なる位置への支持プレート(15;11
    5)の移動運動のための駆動装置(13;113)を設けてあ
    り、駆動装置(13;113)がテーブル(1)の溝(12;11
    2)内に配置されていることを特徴とする座標測定装
    置。
  5. 【請求項5】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、支持プレート(15)に測定点を規定
    する複数の基準部材(22a,22b)を配置してあり、基準
    部材が支持プレート(15)の異なる位置で座標測定装置
    の走査ヘッド(8)によって走査されるようになってい
    ることを特徴とする座標測定装置。
  6. 【請求項6】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、座標測定装置のテーブル(1)に複
    数のセンサ(16a,16b,16c,17a,17b,17c)が取り付けら
    れており、これらのセンサによって支持プレート(15)
    が前記異なる位置で測定されるようになっており、セン
    サの信号が座標測定装置のコンピュータに送られるよう
    になっていることを特徴とする座標測定装置。
  7. 【請求項7】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、座標測定装置が定置のテーブル
    (1)上を走行可能な門形部材(2,3,4)を有してお
    り、支持プレート(15;115)が門形部材走行方向で移動
    可能であることを特徴とする座標測定装置。
  8. 【請求項8】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、支持プレート(115)の移動を連続的
    に測定するための手段(寸法ロッド126)が設けられて
    いることを特徴とする座標測定装置。
  9. 【請求項9】座標測定装置であって、テーブル(1)を
    備えており、該テーブルが、測定しようとするワークピ
    ース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動可
    能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を保
    持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測定
    装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している形
    式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を拡
    大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ機
    構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位置
    間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動可
    能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での支
    持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;12
    6)を有しており、異なる位置への支持プレート(15;11
    5)の移動運動のための駆動装置(13;113)が設けられ
    ており、駆動装置(13;113)がテーブル(1)の溝(1
    2;112)内に配置されており、支持プレートが溝(112)
    内に案内されていることを特徴とする座標測定装置。
  10. 【請求項10】座標測定装置であって、テーブル(1)
    を備えており、該テーブルが、測定しようとするワーク
    ピース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動
    可能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を
    保持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測
    定装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している
    形式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を
    拡大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ
    機構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位
    置間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動
    可能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での
    支持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;1
    26)を有しており、座標測定装置が定置のテーブル
    (1)上を走行可能な門形部材(2,3,4)を有してお
    り、支持プレート(15;115)が門形部材走行方向で移動
    可能であり、座標測定装置が制御装置(103)を有して
    おり、制御装置が支持プレート(115)及び門形部材
    (2)の駆動装置に接続されており、支持プレート及び
    門形部材が同時に一緒にしかしながら互いに逆方向に移
    動させられるようになっていることを特徴とする座標測
    定装置。
  11. 【請求項11】座標測定装置であって、テーブル(1)
    を備えており、該テーブルが、測定しようとするワーク
    ピース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動
    可能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を
    保持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測
    定装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している
    形式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を
    拡大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ
    機構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位
    置間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動
    可能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での
    支持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;1
    26)を有しており、座標測定装置が定置のテーブル
    (1)上を走行可能な門形部材(2,3,4)を有してお
    り、支持プレート(15;115)が門形部材走行方向で移動
    可能であり、座標測定装置が制御装置(103)を有して
    おり、制御装置が支持プレート(115)及び門形部材
    (2)の駆動装置に接続されており、支持プレート及び
    門形部材が同時に一緒にしかしながら互いに逆方向に移
    動させられるようになっており、移動速度(V×1,V
    ×2)の量が門形部材(2)及び支持プレート(115)
    の運動させられる部分のパルスをほぼ同じにするように
    規定されていることを特徴とする座標測定装置。
  12. 【請求項12】座標測定装置であって、テーブル(1)
    を備えており、該テーブルが、測定しようとするワーク
    ピース、前記テーブルに対して3つの座標軸方向に運動
    可能でかつ座標測定装置のクランピングアーム(8)を
    保持する測定スライダ機構(2,3,4,5,7)及び、座標測
    定装置の有効な測定容積を拡大する装置を受容している
    形式のものにおいて、座標測定装置の有効な測定容積を
    拡大する装置が、テーブル(1)上で前記測定スライダ
    機構の1つの運動方向で規定された少なくとも2つの位
    置間を該測定スライダ機構の運動に対して付加的に移動
    可能な支持プレート(15;115)及び前記異なる位置での
    支持プレートの位置の測定のための手段(16/17;8/22;1
    26)を有しており、座標測定装置が定置のテーブル
    (1)上を走行可能な門形部材(2,3,4)を有してお
    り、支持プレート(15;115)が門形部材走行方向で移動
    可能でり、座標測定装置が制御装置(103)を有してお
    り、制御装置が支持プレート(115)及び門形部材
    (2)の駆動装置に接続されており、支持プレート及び
    門形部材が同時に一緒にしかしながら互いに逆方向に移
    動させられるようになっており、移動速度(V×1,V
    ×2)の量が門形部材(2)及び支持プレート(115)
    の運動させられる部分のパルスをほぼ同じにするように
    規定されており、支持プレート上に載せられたワークピ
    ース(116)の質量が支持プレートの移動速度
    (V×2)の規定の際に考慮されるようになっているこ
    とを特徴とする座標測定装置。
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