JP3312367B2 - 工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置 - Google Patents

工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置

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JP3312367B2
JP3312367B2 JP06549693A JP6549693A JP3312367B2 JP 3312367 B2 JP3312367 B2 JP 3312367B2 JP 06549693 A JP06549693 A JP 06549693A JP 6549693 A JP6549693 A JP 6549693A JP 3312367 B2 JP3312367 B2 JP 3312367B2
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Program-control systems
    • G05B19/02—Program-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia

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  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のための偏差
及び補正装置、特に工作機械のためのリアルタイム直線
偏差測定及び補正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工作機械は種々な製造工程に利用されて
おり、高度の精確さ，精度及び信頼性で、互いに垂直な
三つの空間軸を通して移動できなければならない。三次
元空間において、実社会で得られる工作機械の精確さ，
精度及び信頼性の程度は、その三つの軸が、互いに且つ
工作物に対して垂直且つ直線のままでなければならな
い。
【０００３】従来技術は、鋳物又は溶接構造の固定案内
面支持体を作って堅固な鋼材で補強されたコンクリート
基礎の上に設置することにより、相対的な軸の垂直性と
直線性を得て、維持してきた。これにより、工作機械往
復台が移動接触できる摺動Ｖ型案内面又はローラー案内
面を取付けた固定据付け構造体が得られる。出来るだけ
良好な垂直性と直線性を得て、案内面の調整を考慮する
ために、水平ウェッジ、敷板押し具及び据付けボルト等
の調整装置が機械台に組込まれた。これらの調整装置
は、レザー干渉計又はワイヤーマイクロメーターを使用
して、垂直性及び直線性を得るために据付け時に通常調
整された。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来技術
の調整装置では、始めにウェッジやジャッキを使用し
て、所望の大きさ、位置及び方向に正確に機械ベッド部
を移動して調整することは困難である。更に、時間が経
過すると、沈下，温度変化，切削力，偶発事故等の様々
な影響のために、初期調整の精度が低下する。従って、
この様々な影響のために、工作機械を定期的に再調整し
て、その垂直性と直線性を補正し維持することが必要で
ある。
【０００５】ＣＮＣ制御システムの出現により、ベッド
の誤差の補償が得られるようになり、それによって直線
誤差の一回マップが、得られたデータにより発生せしめ
られてコンピューターへ入力される。サーボシステムが
切削工具を補正して、発生したマップに従って所望の結
果を得るので、ベッドの誤差を考慮することができる。
これは機械が新しいと非常によく作用する。しかし、一
般に、時間の影響により、発生したベッドの誤差データ
と関連マップの効力が低下するので、新しいデータを得
るために、又新しいベッドの誤差マップを発生せしめる
ために、複雑な工程を繰り返さなければならない。
【０００６】従来技術の装置は多くの用途に対して良好
であるけれども、確実に正確であるためには、工作機械
は四次元空間を通して、即ち、リアルタイムで垂直性と
直線性を維持しなければならない。相互に調整可能なウ
ェッジ及びジャッキを有するＣＮＣ制御システムや固定
構造基礎のような従来装置は、工作機械がリアルタイム
で作動するにつれて生じる切削具／切削力，温度変化，
振動等の偏差を補正しない。このため、工作機械が作動
している間は、正確な垂直性と直線性が維持できない。
例えば、実際の垂直軌道とのベッド案内面の偏差は今ま
でリアルタイムでは補正できなかった。
【０００７】更に、従来技術装置は、数ミクロン台の直
線性を長い距離、例えば、ロール研削盤の場合のような
８乃至１２メーター以上に渡って維持しなければならな
い用途には有益でない。
【０００８】本発明は、その一形態において、工作機械
がその走行軌道に沿って作動中、基準直線が走査され、
工作機械が連続的に調整されてベッド案内面の偏差を補
正することにより、工作機械がその走行軌道に沿って正
確な直線状態に保持される、工作機械のためのリアルタ
イム直線偏差測定及び補正装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】加工物に作用す
る工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正
装置を以下に示す。この測定及び補正装置は、ベッド
と、ベッドに担持されていて、ベッド上で移動可能な可
動台と、可動台の直線移動の軸に平行であって、ベッド
に固定されている基準線を限定する手段とを含んでい
る。更に、本装置は、可動台に配置されていて可動台が
ベッド上を移動する際、上記基準線を限定する手段に対
して可動台を位置決めする手段と、可動台に配置されて
いる工具支持手段と、工具支持手段を調整する補正手段
とを含んでおり、これにより、制御手段が、上記位置決
め手段によって測定された可動台移動偏差に依存する上
記工具支持手段を自動的に補正する。
【００１０】リアルタイム直線偏差測定及び補正装置
は、基礎に静置されていて、可動工作機械可動台が載置
されているベッド案内面を有するベッドを含んでいる。
基準ワイヤーが、ベッド案内面に平行なベッドの長手方
向に水平に張られている。工作機械可動台に取付けられ
ている位置表示装置が、基準ワイヤーを読み取り、ベッ
ド案内面の偏差による可動台の偏差を決定する。工作機
械用コンピューター制御位置決めシステムがモニターに
使用され、工作機械の初期の位置と、基準ワイヤーを走
査する位置表示装置によって得られた入力データとに基
づき、リアルタイムで偏差を補正する。添付図面と共
に、本発明の実施例の以下の説明を参照すれば、本発明
の上記及び他の特徴と目的と、それらを得る方法とがよ
り明らかとなり、本発明自身が更によく理解されるであ
ろう。
【実施例】
【００１１】各図を通して類似部品には同一数字符号が
付されている。実施例は、この事実により本発明の優先
実施態様を、その一形態として示し、又説明する。そし
て、斯る実施例は如何なる態様にせよ発明の範囲を限定
するものと解釈されてはならない。
【００１２】図１に関連して、本図は、ベッド１４を支
える最上面１２を有する台１１の上にある工作機械構造
体１０を示している。ベッド１４は、ベッド１４を水平
面に維持する四つの水平支柱（図１では、１６及び１７
のみ図示してある）を含む。上記したように、水平支柱
をさまざまに、調節することによりベッド１４は、台１
１の最上面１２の水平度に係わりなく水平となる。
【００１３】ベッド１４は、断面が台形の縦方向にベッ
ド１４の全長まで延びる二つの平行レール１８及び１９
を有する。レール１８及び１９は、ベッド１４のどちら
か一方の側部に配置されレール１８の間に平らなベッド
テーブル２０の側壁を形成している。可動台２２は、ベ
ッド１４の縦方向を横切り、その下面にレール１８及び
１９の形状に一致する二つの台形のベッド方向溝を有し
ており可動台２２は、レール１８及び１９に沿って、い
ずれか一方に動くことが出来る。可動台２２はロール研
削盤４８（図２参照）を支えている平らな可動台２６を
その上面に定めている。
【００１４】ベッドテーブル２０の一方の端からもう一
方の端迄延びておりそして可動台２２の下部に位置して
いるのは、ワイヤー２８であり、ワイヤー２８は、ワイ
ヤーガイド対３０，３２及び３１，３３によって水平方
向に位置付けられている。たとえ他の直径が下記理由に
より使用されていようとも、ワイヤー２８は、好ましく
は直径は約０．１８ｍｍの非常に細く又は精巧なワイヤ
ーである。一例として、ピアノ高音部ワイヤーで、サイ
ズは３／０でイリノイ州のレーク・ズーリックにあるシ
ャッフ・ピアノ・サプライ社で製造したワイヤーを使用
して差し支えない。
【００１５】ワイヤー２８は、全長に対してのたわみを
防ぐか又は著しく減少させるのに充分である、張りに耐
え得るべきであり、研削されるロールが８〜１２ｍのロ
ール研削に充分に適用できるワイヤーであらねばならな
い。ワイヤー２８は、縦方向にベッドテーブル２０を越
えて延び両端が充分に重い錘３４及び３５のいずれか一
方に延びる。そして、重力により、錘の合計重力がワイ
ヤー２８がワイヤーを直線に保ち、たわみがないような
ワイヤー２８に掛かる張力を出すことが出来る。
【００１６】上記にように、水平方向に延びたワイヤー
２８は、レール１８及び１９と可動台２２から影響を受
けない水平面に完全に真っ直ぐな基準線として使用され
る。更に基準として、水平方向に延びたワイヤー２８は
本発明の１ケースとしてたわみを除去する重力の方向に
垂直である限り使用出来る。
【００１７】ワイヤー２８は、直線の可動台通路又は加
工物の回転軸３６（図２参照）に正確に平行であるベッ
ドテーブル２０に初めに合わせてある事が必須条件であ
り、又レールに於いて逸脱しているため真の加工物の平
行から可動台の行程の偏差は検知され下記に述べる如く
補正される。レール１８及び１９は初めに建造されるか
合わされるので、それ等は加工物の回転軸３６に平行で
ある。
【００１８】ワイヤー２８をリアルタイムの基準線とし
て使用する為に基準表示装置（ＲＩＤ）３８は可動台２
２に取り付けられているので、ＲＩＤ３８は可動台２２
がレール１８及び１９に沿って動くにつれてそれと共に
動く。ＲＩＤ３８は、ワイヤー２８に合わせて位置付け
られるのでそれは、可動台２２に関連してワイヤー位置
を探知又は読み取れる。
【００１９】ＲＩＤ３８は、スキャンヘッド即ち表面４
０とリード／探知ヘッド即ち表面４２を含みスキャンヘ
ッド４０からの放射をこれらの探知／リードヘッド４２
により探知／読み取る。従って、ＲＩＤ３８のスキャニ
ング及び読み取り区域内のワイヤー２８の位置は、ワイ
ヤー２８の周囲のスキャンヘッド放射がリードヘッド４
２によって読み取れる間はワイヤー２８がリードヘッド
４２により読み取られるべきスキャンヘッド放射を阻止
するので、ＲＩＤ３８との関連で知り得る。
【００２０】ＲＩＤ３８は、可動台２２に取り付けられ
ているので、可動台２２との関連でワイヤー２８の位置
も知ることが出来る。この方法で、可動台２２は、レー
ル１８及び１９に沿って動くので、スキャンヘッド４０
からの放射を探知する結果リードヘッド４２より発せら
れた信号は、この信号の解読又は表示をおこなうためシ
グナルプロセッサ４６にリード４４を通じて伝達され
る。解読された或いは表示された信号は、リードヘッド
４２に沿ってワイヤー２８の位置を示すので、可動台２
２がレール１８及び１９に沿って動くにつれ、リードヘ
ッド４２に関連するワイヤー２８の位置の変化は、オペ
レーターに表示される。
【００２１】本発明の働きのより詳細な説明は、ロール
研削盤の使用との関係で以下に説明される。本発明は、
可動台移動に対して横切る方向の工具の補正を必要とす
る適用の如何なるタイプの工具にも使用されることは、
評価されるべきである。
【００２２】他のＲＩＤは使用されるが、本発明の優先
実施態様に於いて使用され、知られているＲＩＤは、ア
メリカ・キーエンス株式会社によって製造されたキーエ
ンスレーザースキャンマイクロメーターである。キーエ
ンスレーザースキャンマイクロメーターはそのスキャン
ヘッド４０とレーザー感知リードヘッド４２用の半導体
レーザー（６７０ｎｍ）を使用している。キーエンスレ
ーザースキャンマイクロメーターの場合は、スキャンヘ
ッド４０よりの放射はリードヘッド４２に当たるレーザ
ー放射であり、リードヘッド４２、即ちレーザー放射に
沿っている場所を示すシグナルを発生しているレーザー
放射によって当たらないリードヘッド４２のこれらのポ
イントは信号を発生しない。そしてワイヤー２８の位置
は、シグナルプロセッサ４６により、解読するシグナル
を通してそのリードヘッド４２に沿って、キーエンスマ
イクロメーターによって読み取られる。もし、ワイヤー
２８がＲＩＤ３８の以内で動けば、リードヘッドセンサ
ーが、リードヘッド４２に沿って異なる部品に当たる放
射を通じて位置の移動を信号で伝える。
【００２３】図２において、平らな可動台２６の上面に
支持されハウジング５０を有するロール研削盤４８が示
されている。ロール研削盤４８は後述するように、平ら
な可動台２６の上面において可動台の移動方向と直交す
る方向に移動しうる。ロール５６に予め決められた輪郭
形状５４を研削するための回転可能な研削輪５２は、例
えばハウジング５０に設けられた図示していない軸受に
支持されている軸５３において回転可能である。ハウジ
ング５０はこの研削輪５２と共に、予め決められた望み
のロールの輪郭形状に応じ、またエラー補正を行うため
に、ロール５６に対し可動台の移動方向と直交する方向
に進退できる。
【００２４】この実施例では、ロール研削盤４８を動か
すために平らな可動台２６の上面にサーボ駆動システム
５８が設けられている。このサーボ駆動システム５８は
電機子６２を有する正逆転可能な駆動モーター６０と、
モーター６０により駆動され且つモーターから突出しハ
ウジング５０に取り付けられているブロック６３に連結
されたスクリューギア６１と、モーター速度と速度方向
を測定するためのタコメーター６４から成っている。ブ
ロック６３はハウジング５０即ちロール研削盤と一体で
あり、その移動によりハウジング５０即ちロール研削盤
を平らな可動台２６の上面において同じように動かすよ
うになっている。ブロック６３及びハウジング、即ちロ
ール研削盤は、このようにしてサーボ駆動システム５８
により動かされる。正逆転可能なモーター６０はスクリ
ューギア６１と通常の方法で噛み合う図示していないイ
ンターナルギアを有しており、モーター６０の一方向へ
の回転によりスクリューギア６１を回転させブロック６
３を外方向へ動かし、またモーター６０の反対方向への
回転によりスクリューギア６１を回転させブロック６３
を内方向へ動かす。スクリューギア６１はハウジング５
０のブロック６３にしっかりと連結されているのでハウ
ジング５０はスクリューギアの回転方向に応じて動く。
ハウジング５０はまた基準点に対するハウジングの位
置、即ち研削ホイール５２の位置の指示信号を発生する
電子的位置帰還目盛６６を有している。位置帰還目盛６
６は平らな可動台２６の上面に対するロール研削盤４８
の位置表示器である。
【００２５】本発明の補正装置は、図２に図式的に示さ
れたような制御構造体若しくは機能的に同じ制御構造体
をもった図示していないマイクロプロサッセ若しくはコ
ンピュータによって自動的に制御することができる。制
御構造体は、基本的にはサーボ駆動制御ブロック７２に
リード７０によって接続された位置制御ブロック６８か
ら成っている。位置制御ブロック６８はコンピュータソ
フトウエアとすることも出来るし、また必要な場合には
入力インタフェースをもったディスクリートハードウエ
アのコンポーネントとすることもできる。サーボ駆動制
御ブロック７２もまたコンピュータソフトウエア若しく
はハードウエアコンポーネントとすることができる。位
置制御ブロック６８は、シグナルプロセッサ４６からリ
ード７４を経て直線偏差信号を受け、またコンピュータ
ソフトウエアなどによる特別な適用によりリード７６を
経て入力された所望の部分（ロール）の輪郭形状位置コ
マンドを受ける。この装置においてシグナルプロセッサ
４６の位置は厳密を要さない。この装置の作動を妨げな
い位置であればよい。シグナルプロセッサ４６は図２に
おいてはベッド１４の側部に置かれ、図１においては可
動台２２の平らな可動台２６の上面の上に置かれてい
る。
【００２６】差動増幅器（若しくは同等のソフトウエ
ア）７８はリード７４及び７６からの二つの信号を比較
し、それらの入力の差を直線性修正位置コマンド信号と
してリード８０を経て出力する。リード８０からの直線
性修正位置コマンド信号と、リード８２を通った位置帰
還目盛６６からの実際の研削盤の位置信号は差動増幅器
（若しくは同等のソフトウエア）８４によって比較され
位置エラー信号を発生する。この信号は、リード７０を
経てサーボ駆動制御ブロック７２に入力される前に処理
するため、比例積分装置（ＰＩＤ）８６に供給される。
【００２７】位置制御ブロック６８において予め定めら
れた特定部分の輪郭形状位置は、ＰＩＤにより発せられ
た偏差信号と照合され、研削輪５２の実際の位置と比較
される直線性修正位置信号を発生する。位置エラー信号
は速度信号としてサーボ制御ブロック７２に送られ、差
動増幅器（若しくは同等のソフトウエア）８８により、
タコメーター６４により測定されリード９０を経た速度
帰還信号と比較される。速度信号はＰＩＤ９２に供給さ
れ、そこで速度信号は未処理のトルクコマンド信号に変
換される。リード９４は電流ループ９６に未処理のトル
クコマンド信号を入力する。電流ループ９６からモータ
出力信号がリード９８を経て電機子６２に送られる。電
機子６２はモーター６０を制御し、ハウジング５０及び
研削輪５２を動かすことによってロールの輪郭形状５４
に作用させる。モータ出力信号は電機子６２にモータ駆
動方向及び／又は方向変換速度を指示する。ロール研削
盤４８はこのようにリアルタイムで補正される。
【００２８】ロール５６上の輪郭形状５４を研削し、リ
アルタイムで配列ミスを補正する本発明の作用を図２及
び図３により以下に説明する。加工物のタイプにより、
所望の初期の特定のロール形状が、ロールの輪郭形状に
対する研削輪５２の初期位置を決定するためにコンピュ
ータ位置制御ブロックに入力される。可動台２２がベッ
ドレール１８，１９に沿って図３で符号１００を付した
方向に移動するとき研削輪５２はロール５６から若干離
れて移動する。図３は、上述したように加工物の回転軸
に平行なワイヤー基準軌道１０６に整列しない左右のベ
ッドレールの軌道１０２，１０４が描かれている。もし
可動台２２が左右のベッドレールの軌道の通りに移動し
たとすると、ロールは左右のベッドレールによって定め
られた形状に一致した形状となるであろう。偏差値１０
８は一般には数ミクロンのオーダーであるが、このよう
な値はロールが適用によっては受け入れることができ
ず、これらの小さな偏差値はロール研削の間に、或いは
他の工作機械を用いて補正される必要がある。
【００２９】ＲＩＤ３８は、上述のように基準ワイヤー
２８の位置を監視して、シグナルプロセッサ４６により
解読され且つ翻訳される信号を発生する。この信号は位
置制御ブロック６８の差動増幅器７８へ送られる。電子
信号処理装置即ちシグナルプロセッサ４６から受信され
た信号が、図２に所望の部分の輪郭形状位置コマンドと
して表記した直線位置を意味する所定の初期信号と異な
る場合は、位置制御ブロック６８は直線度の補正された
位置コマンドを生成する。このコマンドは、ハウジング
５０に取付けられた位置帰還目盛６６からリード線８２
を介して、工作機械４８及び研摩輪５２の実際の位置と
比較される。補正が必要な場合には、リード線７０を介
してサーボ制御ブロック７２へ位置エラー速度コマンド
が送られる。この位置エラー速度コマンドは、リード線
９０を経てタコメーター６４によりモーター６０の実際
の速度と比較されて、リード線９８を介してモーター６
０と可動台２６の上面に対するハウジング５０又は工作
機械の位置を調節するため、電機子６２へ送られる。
【００３０】このようにして、本発明の偏差測定及び補
正装置は、可動台２２の移動中に遭遇する偏差を測定し
て、工作機械の実時間作動中、ハウジングと研摩輪を調
節することにより偏差を補正する。
【００３１】本発明は好適実施例について記述された
が、ここに開示された精神及び範囲内において更に修正
は可能である。従って、本出願は、その一般的な原理を
利用して、発明の如何なる変形，使用又は改作をもカバ
ーするよう意図されている。更に、本出願は、本発明が
関係し且つ特許請求の範囲内にある公知又は慣用の技術
習慣の範囲内に帰着するような本開示からの離脱形態を
もカバーするよう意図されている。
【００３２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ベッドレ
ールの偏差による可動台の偏差が作動中実時間で監視さ
れ補正され得るという利点がある。更に本発明の装置に
よれば、偏差が２〜３ミクロンのオーダーで検出される
という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】工作機械の可動台とベッド上に組込まれた実時
間直線度偏差測定及び補正装置の斜視図である。
【図２】制御論理の概略表示を含む、工作機械としての
ロール研摩機と共に使用される実時間直線度偏差測定及
び補正装置の斜視図である。
【図３】直線基準と偏差したベッドレールとに対する可
動台の補正状態を示す線図である。
【符号の説明】
１０ 工作機械構造体 １１ 台 １２ 最上面 １４ ベッド １６，１７ 水平支柱 １８，１９ ベッドレール ２０ ベッドテーブル ２２ 可動台 ２４，２５ ベッドロール溝 ２６ 可動台 ２８ ワイヤー ３０，３１，３２，３３ ワイヤーガイド対 ３４，３５ 錘 ３６ 軸 ３８ 基準表示装置 ４０ スキャンヘッド ４２ リードヘッド ４４ リード ４６ シグナルプロセッサ ４８ ロール研削盤 ５０ ハウジング ５２ 研削輪 ５３ 軸 ５４ 予め決められた輪郭形状 ５６ ロール ５８ サーボ駆動システム ６０ 駆動モーター ６１ スクリューギア ６２ 電機子 ６３ ブロック ６４ タコメーター ６６ 電子的位置帰還目盛 ６８ 位置制御ブロック ７０，７４，７６，８０，８２，９０，９４ リード ７２ サーボ駆動制御ブロック ７８ 差動増幅器 ８６ 比例積分装置 ９２ ＰＩＤ ９６ 電流ループ １０２，１０４ ベッドレールの軌道 １０６ ワイヤー基準軌道 １０８ 偏差値
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス、ジエー、ドイル アメリカ合衆国、ウイスコンシン州 54986、ウイネコン、キヤプテンズ コ ート 200 (56)参考文献 特開 平５−308044（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−4150（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−233065（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 15/00 - 15/28 B23Q 17/00 - 23/00

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベッドと、該ベッド上を直線運動するよ
    うに該ベッドにより支持されていてその上面上を工作機
    械が移動し得るように支持する可動台と、該可動台の直
    線運動軸に平行で前記ベッドに固定された基準線を限定
    する手段と、前記可動台の直線運動中前記基準線に対す
    る前記可動台の位置を測定する手段と、前記可動台の前
    記直線運動からの偏差に応じて前記可動台に対し工作機
    械を制御可能に動かす補正手段とを含む、加工物に作用
    する工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補
    正装置。
  2. 【請求項２】 前記補正手段は前記可動台の移動方向に
    対し横向き方向へ前記工作機械を制御可能に移動させる
    ようになっている、請求項１に記載の装置。
  3. 【請求項３】 前記可動台の位置を測定する手段はレー
    ザーマイクロメーターである、請求項１に記載の装置。
  4. 【請求項４】 前記可動台の位置を測定する手段は前記
    可動台上に設置されている請求項１に記載の装置。
  5. 【請求項５】 基準線を限定する前記手段はワイヤーで
    ある、請求項１に記載の装置。
  6. 【請求項６】 前記ワイヤーを真直ぐにするための緊張
    手段を更に含んでいる、請求項５に記載の装置。
  7. 【請求項７】 前記ワイヤーは前記ベッドを越えて延び
    ている端部を有し、且つ前記緊張手段は重力による張力
    を創生するため前記端部に取付けられた錘を含んでい
    る、請求項６に記載の装置。
  8. 【請求項８】 前記工作機械はロール研摩機である、請
    求項１に記載の装置。
  9. 【請求項９】 前記可動台の位置を測定する手段は、前
    記基準線に対する前記可動台の位置を示す信号を発生す
    るように作動し得る、請求項１に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 前記補正手段は、前記直線運動に対し
    て横向き方向へ工作機械を動かすため該工作機械に取付
    けられていて且つサーボ速度信号を発生させる手段を含
    むサーボ手段と、所定の部分輪郭形状位置コマンド信号
    と前記可動台の位置信号とを比較して直線度の補正され
    た位置信号を作る第一の手段と、前記可動台に対する工
    作機械の位置を表示して該工作機械の位置表示信号を発
    する手段と、工作機械の位置表示信号と前記直線度の補
    正された位置信号とを比較して位置エラー速度信号を作
    る第二の手段と、前記サーボ速度信号と前記位置エラー
    速度信号とを比較して駆動信号を発する第三の手段とを
    含んでいて、前記サーボ手段は前記駆動信号に応答し、
    それによって工作機械が前記サーボ手段により動かされ
    る、請求項９に記載の装置。
  11. 【請求項１１】 前記サーボ手段は、モーターと、該モ
    ーターの回転運動を工作機械の横向き方向への運動に転
    換するため前記モーターと前記工作機械に連動せしめら
    れたギア手段と、前記駆動信号を受取って前記モーター
    を制御するため前記モーターに連結された電機子とを含
    んでいる、請求項１０に記載の装置。
  12. 【請求項１２】 ベッドと、該ベッド上を直線運動する
    ように該ベッドにより支持されていてその上面上を工作
    機械が移動し得るように支持する可動台と、該可動台の
    直線運動軸に平行で前記ベッドに固定された基準線を限
    定する手段と、前記可動台の直線運動中前記基準線に対
    する前記可動台の位置を測定するため前記可動台上に設
    置された手段と、前記可動台の前記直線運動からの偏差
    に応じて前記可動台の移動方向に対し横向き方向へ前記
    工作機械を前記可動台に対して制御可能に動かす補正手
    段とを含む、加工物に作用する工作機械のためのリアル
    タイム直線偏差測定及び補正装置。
  13. 【請求項１３】 前記測定手段はレーザーマイクロメー
    ターである、請求項１２に記載の装置。
  14. 【請求項１４】 基準線を限定する前記手段はワイヤー
    である、請求項１２に記載の装置。
  15. 【請求項１５】 前記ワイヤーを真直ぐにするための緊
    張手段を更に含んでいる、請求項１４に記載の装置。
  16. 【請求項１６】 前記ワイヤーは前記ベッドを越えて延
    びている端部を有し、且つ前記緊張手段は重力による張
    力を創生するため前記端部に取付けられた錘を含んでい
    る、請求項１５に記載の装置。
  17. 【請求項１７】 前記工作機械はロール研摩機である、
    請求項１２に記載の装置。
  18. 【請求項１８】 前記可動台の位置を測定する手段は、
    前記基準線に対する前記可動台の位置を示す信号を発生
    するように作動し得る、請求項１２に記載の装置。
  19. 【請求項１９】 前記補正手段は、前記直線運動に対し
    て横向き方向へ工作機械を動かすため該工作機械に取付
    けられていて且つサーボ速度信号を発生させる手段を含
    むサーボ手段と、所定の部分輪郭形状位置コマンド信号
    と前記可動台の位置信号とを比較して直線度の補正され
    た位置信号を作る第一の手段と、前記可動台に対する工
    作機械の位置を表示して該工作機械の位置表示信号を発
    する手段と、工作機械の位置表示信号と前記直線度の補
    正された位置信号とを比較して位置エラー速度信号を作
    る第二の手段と、前記サーボ速度信号と前記位置エラー
    速度信号とを比較して駆動信号を発する第三の手段とを
    含んでいて、前記サーボ手段は前記駆動信号に応答し、
    それによって工作機械が前記サーボ手段により動かされ
    る、請求項１８に記載の装置。
  20. 【請求項２０】 前記サーボ手段は、モーターと、該モ
    ーターの回転運動を工作機械の横向き方向への運動に転
    換するため前記モーターと前記工作機械に連動せしめら
    れたギア手段と、前記駆動信号を受取って前記モーター
    を制御するため前記モーターに連結された電機子とを含
    んでいる、請求項１９に記載の装置。
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