JPH06320391A - 工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置 - Google Patents

工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置

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JPH06320391A
JPH06320391A JP5065496A JP6549693A JPH06320391A JP H06320391 A JPH06320391 A JP H06320391A JP 5065496 A JP5065496 A JP 5065496A JP 6549693 A JP6549693 A JP 6549693A JP H06320391 A JPH06320391 A JP H06320391A
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bed
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デール、イー、ヘルグレン
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    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia

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  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加工物に対する真の直線からのベッドレール
の偏差を自動的且つ連続的に補正することのできる、工
作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置
を提供する。 【構成】 加工物又は加工物の回転軸(36)に平行で
且つ工作機械(48)の補正方向に直交するワイヤー
(28)が直線度の基準として利用される。ワイヤー
は、工作機械の可動台(22)の移動方向に張られてい
て、重力により直線度を出すため、その両端には錘(3
4,35)が取付けられている。作業中リアルタイムで
可動台に対するワイヤーの位置を読み取るために、レー
ザーマイクロメーターのような位置表示装置がワイヤー
を取巻いて工作機械の可動台に取付けられている。可動
台上に支持された工作機械(48)に取付けられた電子
制御のサーボモーター(60)が、直線度基準ワイヤー
に対するベッドレール(18,19)の偏向によって生
じる可動台の片寄りを補正するため工作機械を自動的に
調節する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のための偏差
及び補正装置、特に工作機械のためのリアルタイム直線
偏差測定及び補正装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】工作機械は種々な製造工程に利用されて
おり、高度の精確さ,精度及び信頼性で、互いに垂直な
三つの空間軸を通して移動できなければならない。三次
元空間において、実社会で得られる工作機械の精確さ,
精度及び信頼性の程度は、その三つの軸が、互いに且つ
工作物に対して垂直且つ直線のままでなければならな
い。
【0003】従来技術は、鋳物又は溶接構造の固定案内
面支持体を作って堅固な鋼材で補強されたコンクリート
基礎の上に設置することにより、相対的な軸の垂直性と
直線性を得て、維持してきた。これにより、工作機械往
復台が移動接触できる摺動V型案内面又はローラー案内
面を取付けた固定据付け構造体が得られる。出来るだけ
良好な垂直性と直線性を得て、案内面の調整を考慮する
ために、水平ウェッジ、敷板押し具及び据付けボルト等
の調整装置が機械台に組込まれた。これらの調整装置
は、レザー干渉計又はワイヤーマイクロメーターを使用
して、垂直性及び直線性を得るために据付け時に通常調
整された。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来技術
の調整装置では、始めにウェッジやジャッキを使用し
て、所望の大きさ、位置及び方向に正確に機械ベッド部
を移動して調整することは困難である。更に、時間が経
過すると、沈下,温度変化,切削力,偶発事故等の様々
な影響のために、初期調整の精度が低下する。従って、
この様々な影響のために、工作機械を定期的に再調整し
て、その垂直性と直線性を補正し維持することが必要で
ある。
【0005】CNC制御システムの出現により、ベッド
の誤差の補償が得られるようになり、それによって直線
誤差の一回マップが、得られたデータにより発生せしめ
られてコンピューターへ入力される。サーボシステムが
切削工具を補正して、発生したマップに従って所望の結
果を得るので、ベッドの誤差を考慮することができる。
これは機械が新しいと非常によく作用する。しかし、一
般に、時間の影響により、発生したベッドの誤差データ
と関連マップの効力が低下するので、新しいデータを得
るために、又新しいベッドの誤差マップを発生せしめる
ために、複雑な工程を繰り返さなければならない。
【0006】従来技術の装置は多くの用途に対して良好
であるけれども、確実に精確であるためには、工作機械
は四次元空間を通して、即ち、リアルタイムで垂直性と
直線性を維持しなければならない。相互に調整可能なウ
ェッジ及びジャッキを有するCNC制御システムや固定
構造基礎のような従来装置は、工作機械がリアルタイム
で作動するにつれて生じる切削具/切削力,温度変化,
振動等の偏差を補正しない。このため、工作機械が作動
している間は、精確な垂直性と直線性が維持できない。
例えば、実際の垂直軌道とのベッド案内面の偏差は今ま
でリアルタイムでは補正できなかった。
【0007】更に、従来技術装置は、数ミクロン台の直
線性を長い距離、例えば、ロール研削盤の場合のような
8乃至12メーター以上に渡って維持しなければならな
い用途には有益でない。
【0008】本発明は、その一形態において、工作機械
がその走行軌道に沿って作動中、基準直線が走査され、
工作機械が連続的に調整されてベッド案内面の偏差を補
正することにより、工作機械がその走行軌道に沿って正
確な直線状態に保持される、工作機械のためのリアルタ
イム直線偏差測定及び補正装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用】加工物に作用す
る工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正
装置を以下に示す。この測定及び補正装置は、ベッド
と、ベッドに担持されていて、ベッド上で移動可能な可
動台と、可動台の直線移動の軸に平行であって、ベッド
に固定されている基準線を限定する手段とを含んでい
る。更に、本装置は、可動台に配置されていて可動台が
ベッド上を移動する際、上記基準線画成手段に対して可
動台を位置決めする手段と、可動台に配置されている工
具支持手段と、工具支持手段を調整する補正手段とを含
んでおり、これにより、制御手段が、上記位置決め手段
によって測定された可動台移動偏差に依存する上記工具
支持手段を自動的に補正する。
【0010】リアルタイム直線偏差測定及び補正装置
は、基礎に静置されていて、可動工作機械可動台が載置
されているベッド案内面を有するベッドを含んでいる。
基準ワイヤーが、ベッド案内面に平行なベッドの長手方
向に水平に張られている。工作機械可動台に取付けられ
ている位置表示装置が、基準ワイヤーを読み取り、ベッ
ド案内面の偏差による可動台の偏差を決定する。工作機
械用コンピューター制御位置決めシステムがモニターに
使用され、工作機械の初期の位置と、基準ワイヤーを走
査する位置表示装置によって得られた入力データとに基
づき、リアルタイムで偏差を補正する。添付図面と共
に、本発明の実施例の以下の説明を参照すれば、本発明
の上記及び他の特徴と目的と、それらを得る方法とがよ
り明らかとなり、本発明自身が更によく理解されるであ
ろう。
【実施例】
【0011】各図を通して類似部品には同一数字符号が
付されている。実施例は、この事実により本発明の優先
実施態様を、その一形態として示し、又説明する。そし
て、斯る実施例は如何なる態様にせよ発明の範囲を限定
するものと解釈されてはならない。
【0012】図1に関連して、本図は、ベッド14を支
える最上面12を有する台11の上にある工作機械構造
体10を示している。ベッド14は、ベッド14を水平
面に維持する四つの水平支柱(図1では、16及び17
のみ図示してある)を含む。上記したように、水平支柱
をさまざまに、調節することによりベッド14は、台1
1の最上面12の水平度に係わりなく水平となる。
【0013】ベッド14は、断面が台形の縦方向にベッ
ド14の全長まで延びる二つの平行レール18及び19
を有する。レール18及び19は、ベッド14のどちら
か一方の側部に配置されレール18の間に平らなベッド
テーブル20の側壁を形成している。可動台22は、ベ
ッド14の縦方向を横切り、その下面にレール18及び
19の形状に一致する二つの台形のベッド方向溝を有し
ており可動台22は、レール18及び19に沿って、い
ずれか一方に動くことが出来る。可動台22はロール研
削盤48(図2参照)を支えている平らな可動台26を
その上面に定めている。
【0014】ベッドテーブル20の一方の端からもう一
方の端迄延びておりそして可動台22の下部に位置して
いるのは、ワイヤー28であり、ワイヤー28は、ワイ
ヤーガイド対30,32及び31,33によって水平方
向に位置付けられている。たとえ他の直径が下記理由に
より使用されていようとも、ワイヤー28は、好ましく
は直径は約0.18mmの非常に細く又は精巧なワイヤ
ーである。一例として、ピアノ高音部ワイヤーで、サイ
ズは3/0でスイスのチューリッヒ湖にあるシャッフ・
ピアノ・サプライ社で製造したワイヤーを使用して差し
支えない。
【0015】ワイヤー28は、全長に対してのたわみを
防ぐか又は著しく減少させるのに充分である、張りに耐
え得るべきであり、研削されるロールが8〜12mのロ
ール研削に充分に適用できるワイヤーであらねばならな
い。ワイヤー28は、縦方向にベッドテーブル20を越
えて延び両端が充分に重い錘34及び35のいずれか一
方に延びる。そして、重力により、錘の合計重力がワイ
ヤー28がワイヤーを直線に保ち、たわみがないような
ワイヤー28に掛かる張力を出すことが出来る。
【0016】上記にように、水平方向に延びたワイヤー
28は、レール18及び19と可動台22から影響を受
けない水平面に完全に真っ直ぐな基準線として使用され
る。更に基準として、水平方向に延びたワイヤー28は
本発明の1ケースとしてたわみを除去する重力の方向に
垂直である限り使用出来る。
【0017】ワイヤー28は、直線の可動台通路又は加
工物の回転軸36(図2参照)に正確に平行であるベッ
ドテーブル20に初めに合わせてある事が必須条件であ
り、又レールに於いて逸脱しているため真の加工物の平
行から可動台の行程の偏差は検知され下記に述べる如く
補正される。レール18及び19は初めに建造されるか
合わされるので、それ等は加工物の回転軸36に平行で
ある。
【0018】ワイヤー28をリアルタイムの基準線とし
て使用する為に基準表示位置(RID)38は可動台2
2に取り付けられているので、RID38は可動台22
がレール18及び19に沿って動くにつれてそれと共に
動く。RID38は、ワイヤー28に合わせて位置付け
られるのでそれは、可動台22に関連してワイヤー位置
を探知又は読み取れる。
【0019】RID38は、スキャンヘッド或いは表面
40,読み取り又は探知ヘッド,リードヘッド42を含
みスキャンヘッド40からの放射をこれらの探知/読み
取り器により探知/読み取る。上記のようにRID38
のスキャニング及び読み取りの区域以内のワイヤー28
の位置は、ワイヤー28を取り巻くスキャンヘッド放射
がリードヘッド42によって読み取れる間はワイヤー2
8がリードヘッド42により読み取られるスキャンヘッ
ド放射を妨害するにつれ、RID38との関連で知り得
る。
【0020】RID38は、可動台22に取り付けられ
ているので、可動台22との関連でワイヤー28の位置
も知ることが出来る。この方法で、可動台22は、レー
ル18及び19に沿って動くので、スキャンヘッド40
からの放射を探知する結果リードヘッド42より発せら
れる信号は、発せられた信号解読又は表示に対して電子
信号処理装置或いは電子信号処理装置によるリード44
を通じて伝達される。解読された或いは表示された信号
は、リードヘッド42に沿ってワイヤー28の位置を示
すので、可動台22がレール18及び19に沿って動く
につれ、リードヘッド42に関連するワイヤー28の位
置の変化は、オペレーターに表示される。
【0021】本発明の働きのより詳細な説明は、ロール
研削盤の使用との関係で以下に説明される。本発明は、
可動台移動に対して横切る方向の工具の補正を必要とす
る適用の如何なるタイプの工具にも使用されることは、
評価されるべきである。
【0022】他のRIDは使用されるが、本発明の優先
実施態様に於いて使用され、知られているRIDは、ア
メリカ・キーエンス株式会社によって製造されたキーエ
ンスレーザースキャンマイクロメーターである。キーエ
ンスレーザースキャンマイクロメーターはそのスキャン
ヘッド40とレーザー感知リードヘッド42用の半導体
レーザー(670nm)を使用している。キーエンスレ
ーザースキャンマイクロメーターの場合は、スキャンヘ
ッド40よりの放射はリードヘッド42に当たるレーザ
ー放射であり、リードヘッド42、即ちレーザー放射に
沿っている場所を示すシグナルを発生しているレーザー
放射によって当たらないリードヘッド42のこれらのポ
イントは信号を発生しない。そしてワイヤー28の位置
は、シグナルプロセッサ46により、解読するシグナル
を通してそのリードヘッド42に沿って、キーエンスマ
イクロメーターによって読み取られる。もし、ワイヤー
28がRID38の以内で動けば、リードヘッドセンサ
ーが、リードヘッド42に沿って異なる部品に当たる放
射を通じて位置の移動を信号で伝える。
【0023】図2において、平らな可動台上面26に支
持されハウジング50を有するロール研削盤48が示さ
れている。ロール研削盤48は後述するように、平らな
可動台上面26において可動台の移動方向と直交する方
向に移動しうる。ロール56に予め決められた形状54
を研削するための回転可能な研削輪52は、例えばハウ
ジング50に設けられた図示していない軸受に支持され
ている軸53において回転可能である。ハウジング50
はこの研削輪52と共に、予め決められた望みのロール
形状に応じ、またエラー補正を行うために、ロール56
に対し可動台の移動方向と直交する方向に進退できる。
【0024】この実施例では、ロール研削盤48を動か
すために平らな可動台上面26にサーボ駆動システム5
8が設けられている。このサーボ駆動システム58は電
機子62を有する正逆転可能な駆動モーター60と、モ
ーター60により駆動され且つモーターから突出しハウ
ジング50に取り付けられているブロック63に連結さ
れたスクリューギア61と、モーター速度と速度方向を
測定するためのタコメーター64から成っている。ブロ
ック63はハウジング50即ちロール研削盤と一体であ
り、その移動によりハウジング50即ちロール研削盤を
平らな可動台上面26において同じように動かすように
なっている。ブロック63及びハウジング、即ちロール
研削盤は、このようにしてサーボ駆動システム58によ
り動かされる。正逆転可能なモーター60はスクリュー
ギア61と通常の方法で噛み合う図示していないインタ
ーナルギアを有しており、モーター60の一方向への回
転によりスクリューギア61を回転させブロック63を
外方向へ動かし、もたモーター60の反対方向への回転
によりスクリューギア61を回転させブロック63を内
方向へ動かす。スクリューギア61はハウジング50の
ブロック63にしっかりと連結されているのでハウジン
グ50はスクリューギアの回転方向に応じて動く。ハウ
ジング50はまた基準点に対するハウジングの位置、即
ち研削ホイール52の位置の指示信号を発生する電子的
位置帰還目盛66を有している離間目盛66は平らな可
動台上面26に対するロール研削盤48の位置表示器で
ある。
【0025】本発明の補正装置は、図2に図式的に示さ
れたような制御構造体若しくは機能的に同じ制御構造体
をもった図示していないマイクロプロサッセ若しくはコ
ンピュータによって自動的に制御することができる。制
御構造体は、基本的にはサーボ駆動制御ブロック72に
リード70によって接続された位置制御ブロック68か
ら成っている。位置制御ブロック68はコンピュータソ
フトウエアとすることも出来るし、また必要な場合には
入力インタフェースをもったディスクリートハードウエ
アのコンポーネントとすることもできる。サーボ駆動制
御ブロック72もまたコンピュータソフトウエア若しく
はハードウエアコンポーネントとすることができる。位
置制御ブロック68は、シグナルプロセッサ46からリ
ード74を経て直線偏差信号を受け、またコンピュータ
ソフトウエアなどによる特別な適用によりリード76を
経て入力された所望の部分(ロール)形状位置コマンド
を受ける。この装置においてシグナルプロセッサ46の
位置は厳密を要さない。この装置の作動を妨げない位置
であればよい。シグナルプロセッサ46は図2において
はベッド14の側部に置かれ、図1においては可動台2
2の平らな可動台上面26の上に置かれている。
【0026】差動増幅器(若しくは同等のソフトウエ
ア)78はリード74及び76からの二つの信号を比較
し、それらの入力の差を直線性修正位置コマンド信号と
してリード80を経て出力する。リード80からの直線
性修正位置コマンド信号と、リード82を通った位置帰
還目盛66からの実際の研削盤の位置信号は差動増幅器
(若しくは同等のソフトウエア)78によって比較され
位置エラー信号を発生する。この信号は、リード70を
経てサーボ駆動制御ブロック72に入力される前に処理
するため、比例積分装置(PID)86に供給される。
【0027】位置制御ブロック68において予め定めら
れた特定部分の形状位置は、PIDにより発せられた偏
差信号と照合され、研削輪57の実際の位置と比較され
る直線性修正位置信号を発生する。位置エラー信号は速
度信号としてサーボ制御ブロック72に送られ、差動増
幅器(若しくは同等のソフトウエア)88により、タコ
メーター64により測定されリード90を経た速度帰還
信号と比較される。速度信号はPID92に供給され、
そこで速度信号は未処理のトルクコマンド信号に変換さ
れる。リード94は電流ループ96に未処理のトルクコ
マンド信号を入力する。電流ループ96からモータ出力
信号がリード98を経て電機子62に送られる。電機子
62はモーター60を制御し、ハウジング50及び研削
輪52を動かすことによってロール形状54に作用させ
る。モータ出力信号は電機子62にモータ駆動方向及び
/又は方向変換速度を指示する。ロール研削盤48はこ
のようにリアルタイムで補正される。
【0028】ロール56上の形状54を研削し、リアル
タイムで配列ミスを補正する本発明の作用を図2及び図
3により以下に説明する。加工物のタイプにより、所望
の初期の特定のロール形状が、ロール形状に対する研削
輪52の初期位置を決定するためにコンピュータ位置制
御ブロックに入力される。可動台22がベッドレール1
8,19に沿って図3で符号100を付した方向に移動
するとき研削輪52はロール56から若干離れて移動す
る。図3は、上述したように加工物の回転軸に平行なワ
イヤー基準軌道106に整列しない左右のベッドレール
の軌道102,104が描かれている。もし可動台22
が左右のベッドレールの軌道の通りに移動したとする
と、ロールは左右のベッドレールによって定められた形
状に一致した形状となるであろう。偏差値108は一般
には数ミクロンのオーダーであるが、このような値はロ
ールが適用によっては受け入れることができず、これら
の小さな偏差値はロール研削の間に、或いは他の工作機
械を用いて補正される必要がある。
【0029】RID38は、上述のように基準ワイヤー
28の位置を監視して、電子信号処理装置46により解
読され且つ翻訳される信号を発生する。この信号は位置
制御ブロック68の差動増幅器78へ送られる。電子信
号処理装置46から受信された信号が、図2に所望の部
分側面位置コマンドとして表記した直線位置を意味する
所定の初期信号と異なる場合は、位置制御ブロック68
は直線度の補正された位置コマンドを生成する。このコ
マンドは、ハウジング50に取付けられた位置再生目盛
66からリード線82を介して、工作機械48及び研摩
輪52の実際の位置と比較される。補正が必要な場合に
は、リード線70を介してサーボ制御ブロック72へ位
置エラー速度コマンドが送られる。この位置エラー速度
コマンドは、リード線90を経てタコメーター64によ
りモーター60の実際の速度と比較されて、リード線9
8を介してモーター60と可動台上面26に対するハウ
ジング50又は工作機械の位置を調節するため、電機子
62へ送られる。
【0030】このようにして、本発明の偏差測定及び補
正装置は、可動台22の移動中に遭遇する偏差を測定し
て、工作機械の実時間作動中、ハウジングと研摩輪を調
節することにより偏差を補正する。
【0031】本発明は好適実施例について記述された
が、ここに開示された精神及び範囲内において更に修正
は可能である。従って、本出願は、その一般的な原理を
利用して、発明の如何なる変形,使用又は改作をもカバ
ーするよう意図されている。更に、本出願は、本発明が
関係し且つ特許請求の範囲内にある公知又は慣用の技術
習慣の範囲内に帰着するような本開示からの離脱形態を
もカバーするよう意図されている。
【0032】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ベッドレ
ールの偏差による可動台の偏差が作動中実時間で監視さ
れ補正され得るという利点がある。更に本発明の装置に
よれば、偏差が2〜3ミクロンのオーダーで検出される
という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】工作機械の可動台とベッド上に組込まれた実時
間直線度偏差測定及び補正装置の斜視図である。
【図2】制御論理の概略表示を含む、工作機械としての
ロール研摩機と共に使用される実時間直線度偏差測定及
び補正装置の斜視図である。
【図3】直線基準と偏差したベッドレールとに対する可
動台の補正状態を示す線図である。
【符号の説明】
10 工作機械構造体 11 台 12 最上面 14 ベッド 16,17 水平支柱 18,19 ベッドレール 20 ベッドテーブル 22 可動台 24,25 ベッドロール溝 26 可動台 28 ワイヤー 30,31,32,33 ワイヤーガイド対 34,35 錘 36 軸 38 基準表示装置 40 スキャンヘッド 42 リードヘッド 44 リード 46 シグナルプロセッサ 48 ロール研削盤 50 ハウジング 52 研削輪 53 軸 54 予め決められた形状 56 ロール 57 研削輪 58 サーボ駆動システム 60 駆動モーター 61 スクリューギア 62 電機子 63 ブロック 64 タコメーター 66 電子的位置帰還目盛 68 位置制御ブロック 70,74,76,80,82,90,94 リード 72 サーボ駆動制御ブロック 78 差動増幅器 86 比例積分装置 92 PID 96 電流ループ 102,104 ベッドレールの軌道 106 ワイヤー基準軌道 108 偏差値
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年4月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
フロントページの続き (72)発明者 トーマス、ジエー、ドイル アメリカ合衆国、ウイスコンシン州 54986、ウイネコン、キヤプテンズ コー ト 200

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ベッドと、該ベッド上を直線運動するよ
    うに該ベッドにより支持されていてその上面上を工作機
    械が移動し得るように支持する可動台と、該可動台の直
    線運動軸に平行で前記ベッドに固定された基準線を画成
    する手段と、前記可動台の直線運動中前記基準線に対す
    る前記可動台の位置を測定する手段と、前記可動台の前
    記直線運動からの偏差に応じて前記可動台に対し工作機
    械を制御可能に動かす補正手段とを含む、加工物に作用
    する工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補
    正装置。
  2. 【請求項2】 前記補正手段は前記可動台の移動方向に
    対し横向き方向へ前記工作機械を制御可能に移動させる
    ようになっている、請求項2に記載の装置。
  3. 【請求項3】 前記可動台の位置を測定する手段はレー
    ザーマイクロメーターである、請求項1に記載の装置。
  4. 【請求項4】 前記可動台の位置を測定する手段は前記
    可動台上に設置されている請求項1に記載の装置。
  5. 【請求項5】 基準線を画成する前記手段はワイヤーで
    ある、請求項1に記載の装置。
  6. 【請求項6】 前記ワイヤーを真直ぐにするための緊張
    手段を更に含んでいる、請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項7】 前記ワイヤーは前記ベッドを越えて延び
    ている端部を有し、且つ前記緊張手段は重力による張力
    を創生するため前記端部に取付けられた錘を含んでい
    る、請求項6に記載の装置。
  8. 【請求項8】 前記工作機械はロール研摩機である、請
    求項1に記載の装置。
  9. 【請求項9】 前記可動台の位置を測定する手段は、前
    記基準線に対する前記可動台の位置を示す信号を発生す
    るように作動し得る、請求項1に記載の装置。
  10. 【請求項10】 前記補正手段は、前記直線運動に対し
    て横向き方向へ工作機械を動かすため該工作機械に取付
    けられていて且つサーボ速度信号を発生させる手段を含
    むサーボ手段と、所定の部分輪郭位置信号と前記可動台
    の位置信号とを比較して直線度の補正された位置信号を
    作る第一の手段と、前記可動台に対する工作機械の位置
    を表示して該工作機械の位置表示信号を発する手段と、
    工作機械の位置表示信号と前記直線度の補正された位置
    信号とを比較して位置エラー速度信号を作る第二の手段
    と、前記サーボ速度信号と前記位置エラー速度信号とを
    比較して駆動信号を発する第三の手段とを含んでいて、
    前記サーボ手段は前記駆動信号に応答し、それによって
    工作機械が前記サーボ手段により動かされる、請求項9
    に記載の装置。
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