DE2346633A1 - Fuehrung fuer relativ zueinander bewegbare maschinenteile - Google Patents

Fuehrung fuer relativ zueinander bewegbare maschinenteile

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DE2346633A1
DE2346633A1 DE19732346633 DE2346633A DE2346633A1 DE 2346633 A1 DE2346633 A1 DE 2346633A1 DE 19732346633 DE19732346633 DE 19732346633 DE 2346633 A DE2346633 A DE 2346633A DE 2346633 A1 DE2346633 A1 DE 2346633A1
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Fritz Richter
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Führung für relativ zueinander bewegbare Maschinenteile, insbesondere für einen auf oder an einem Bett, Gestell, einer Säule od. dgl. verschiebbaren Schlitten, Tisch oder Ständer einer Werkzeugmaschine oder einer Meßvorrichtung, bei der ein oder mehrere zur Aufnahme des beweglichen Maschinenteiles dienende Führungsflächenpaare als aerostatische Führung ausgebildet sind und einem solchen Führungsflächenpaar eine parallel zu diesem verlaufende Gegenführung zugeordnet ist, mittels derer eine die Führung belastende Vorspannkraft aufbringbar ist.
Bei einer aerostatischen Führung wird der zu führende bewegliche Maschinenteil von einer Luftschicht getragen,
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wobei zwischen den beiden einander zugeordneten Flächen eines Führungsflächenpaares ein Spalt besteht, dem ständig Druckluft zugeführt wird. Dies geschieht durch einzelne als Drosseln, Düsen od.dgl. ausgebildete Einströmöffnungen, die in der z.B. aus Kunststoff bestehenden Führungsfläche des einen Maschinenteiles, namentlich des beweglichen Maschinenteiles, jeweils mit Abstand voneinander angeordnet sind. Die gegenüberliegende Führungsfläche an dem anderen Maschinenteil ist meist eine Führungsbahn aus Stahl oder einem sonstigen Eisenwerkstoff.
Vom Prinzip her sind bei einer aerostatischen Führung bedeutsame Vorteile zu erwarten, so u.a. besonders ein fast völliges Fehlen von Reibung, was einer Verschleißfreiheit gleichkommt und nur eine geringe Leistung für die Vorschubbewegung des geführten Maschinenteiles erfordert. Andererseits ergeben sich bei der praktischen Verwirklichung einer aerostatischen Führung erhebliche Schwierigkeiten und Probleme, namentlich, wenn es sich bei den zu führenden Elementen um schwere Teile handelt und/oder hohe Genauigkeitsansprüche, ggfs. auch bei sich ändernden Belastungen, zu erfüllen sind. Dies trifft auch für Werkzeugmaschinen zu. Hier erscheinen die Schwierigkeiten so groß, daß es bisher als fraglich angesehen wird, überhaupt befriedigende und für die Praxis brauchbare Ergebnisse zu erzielen, z.B. bei größeren spanabhebenden Maschinen.
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Die Gegenführung ist bei den bekannten Schlittenführungen ebenso eine aerostatische Führung wie die Hauptführung und genau so ausgebildet wie diese. Die Bemühungen, auf diese Weise zu praktisch brauchbaren Ergebnissen zu kommen, haben bisher jedoch noch nicht zu dem erwarteten Erfolg geführt. Dies ist auch nicht durch den Einsatz von Regelsystemen gelungen, ganz -abgesehen davon, daß solche Systeme einen erheblichen Aufwand mit sich bringen.
Ziel der Erfindung ist es, eine aerostatische Führung der eingangs genannten Art zu schaffen, die hohen Anforderungen an das Betriebsverhalten und an die Genauigkeit genügen kann und die sich auch für schwere bewegliche Teile eignet, so u.a. besonders für spanabhebende Werkzeugmaschinen, namentlich numerisch gesteuerte Maschinen, beispielsweise Waagerecht-Bohr- und Fräswerke, Schleifmaschinen u.dgl. Dieses Ziel soll dabei in möglichst einfacher Weise und mit unkomplizierten Mitteln erreicht werden. Die Erfindung strebt bei alledem eine vorteilhafte und den Bedürfnissen der Praxis in besonderem Maße gerecht werdende Ausbildung der einzelnen zu der Führung gehörenden Elemente an.
Die Erfindung sieht vor, daß die Gegenführung eine an dem einen Maschinenteil angeordnete Bahn aufweist, auf der an dem anderen Maschinenteil angebrachte Rollen lau-
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fen, die unter der Wirkung einer sie an die Bahn andrückenden Federkraft stehen.
Es hat sich gezeigt, daß eine derart ausgebildete Führung, die außerordentlich einfach aufgebaut ist, hervorragende Ergebnisse bringt. Durch die elastisch abgestützten Rollen, wozu Federpakete mit verhältnismäßig großem Federweg verwendet werden können, läßt sich eine konstante Vorlast erreichen, die zu günstigen Bedingungen im aerostatischen Teil der Führung mit den einen Luftspalt zwischen sich einschließenden Führungsflächenpaaren führt. Dies ist ein überraschendes Ergebnis, das aus bekannten Bauarten aerostatischer Führungen nicht herleitbar war.
Die erfindungsgemäße Führung ist bereits in unbeaufschlagtem Zustand, d.h. bei abgesperrter Luftzufuhr, verspannt, so daß also die Führungsflächen des aerostatischen Führungsflächenpaares im Ruhezustand fest aneinander anliegen (was im übrigen eine erwünschte Lagesicherung des beweglichen Maschinenteiles in der betreffenden Position bewirkt). Der Spalt zwischen den Führungsflächen bildet sich erst mit dem Einschalten des Luftdruckes, ermöglicht durch die dabei eintretende geringe elastische Verformung der zur Gegenführung gehörendem Federelemente. Es läßt sich mit einer derart ausgebildeten Führung ein kleiner Luftspalt und eine sehr
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hohe Steifigkeit erzielen. Wie sich gezeigt hat, läuft bei der erfindungsgemäßen Führung der geführte Maschinenteil, z.B. ein Schlitten, exakt der vorgegebenen makrogeometrischen Form des festen Führungsteiles nach, wobei auch Unebenheiten der Führungsbahn vollständig ausgeglichen werden, ohne daß dabei nachteilige Änderungen im Luftspalt zwischen den beiden Führungsflächen des aerostatischen Führungsflächenpaares auftreten.
Eine günstige Ausbildung der Führung besteht darin, daß jeweils in Laufrichtung Abstand voneinander aufweisende Rollen in einem Block gelagert sind, der an einer ersten, seitlich von den Rollen gelegenen Stelle an dem beweglichen Maschinenteil in einer starren Abstützung anliegt und der sich an einer zweiten, seitlich von den Rollen gelegenen Stelle über eine Druckfeder an einem
mit dem Maschinenteil verbundenen Widerlager abstützt, wobei die starre Abstützung oder das Widerlager relativ zu dem Maschinenteil bzw. quer zu einer durch die Laufbahn für die Rollen gehenden Ebene einstellbar ist. Dies stellt eine sehr übersichtliche, leicht herzustellende und zu montierende Ausführung dar, die es gestattet, die Vorspannung in einer jeweils gewünschten Höhe schnell· und dabei genau einzustellen. Vorteilhaft enthält jeder Block zwei Rollen, so daß in Verbindung mit der starren Abstützung das Prinzip einer Dreipunkt auflage erfüllt ist.
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In weiterer Ausgestaltung sieht die Erfindung vor, daß das Widerlager durch den Kopf eines in den einen Maschinenteil eingeschraubten Bolzens gebildet ist. Dabei kann insbesondere die Druckfeder zwischen dem Kopf des Bolzens und dem Block angeordnet sein. Zweckmäßig wird als Druckfeder ein Tellerfederpaket vorgesehen. Dieses läßt sich beispielsweise in einer Ausnehmung des Blockes raumsparend und geschützt unterbringen.
Grundsätzlich wird die Ausbildung der Führung vorteilhaft so getroffen, daß mehrere einzelne Blöcke mit darin gelagerten Rollen über die Länge des beweglichen Maschinenteiles verteilt angeordnet sind. Je nach der Größe und dem Gewicht des zu führenden Maschinenteiles kann die Zahl der Blöcke, die zu einer Gegenführung gehören, in jedem Fall ohne Schwierigkeiten so gewählt werden, ■ daß das bestmögliche Ergebnis erreicht wird.
Bei einer Führung mit zwei als aerostatische Lagerung ausgebildeten Führungsflächenpaaren als Hauptführungen für einen beweglichen Maschinenteil sieht die Erfindung vor, daß an beiden parallel zu den Führungen verlaufenden Längsseiten des beweglichen Maschinenteiles wenigstens je zwei einzelne Blöcke mit darin gelagerten Rollen angeordnet sind.
Bei solchen und in ähnlicher Weise ausgebildeten Führungen besteht der Vorteil, daß an jedem Block die Ein-
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Stellung der Vorspannung unabhängig von derjenigen bei den anderen Blöcken vorgenommen werden kann. Dadurch ist es auch möglich gemacht, unsymmetrische Belastungen, wiejsie sich beispielsweise durch die Form des zu führenden Maschinenteiles ergeben können, auszugleichen und durch unterschiedliche Einstellung der Vorspannung an einzelnen Blöcken den effektiven Angriffspunkt der resultierenden Belastungskraft so zu legen, wie es für die Ausführung der Bewegung am günstigsten ist, so namentlich in die Mitte der Gesamtanordnung.
In manchen Fällen, so besonders bei großen und schweren Maschinenteilen, kann es Schwierigkeiten bereiten oder einen unerwünscht großen Aufwand erfordern, die zur Versorgung der Luftaustrittsöffnungen mit Druckluft dienenden Luftleitungen durch Bohrungen in dem betreffenden Maschinenteil herzustellen.
Zur Lösung dieses Problems sieht die Erfindung vor, daß die Luftleitung ein mit Abzweigungen für die Luftaustrittsöffnungen versehenes Rohr ist, das in eine Nut des zugehörigen Maschinenteiles eingelegt ist.
Dies stellt eine vorteilhafte Ausführung dar, der auch unabhängig von den vorstehend erläuterten Merkmalen selbständige Bedeutung zukommt und die allgemein für aerostatische Führungen verwendbar ist. Die zur Aufnah-
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me des Rohres dienende Nut kann auch bei schweren Teilen ohne große Schwierigkeiten hergestellt werden, meist sogar im Rahmen der ohnehin erforderlichen Bearbeitung. Die Abzweigungen des Rohres sind zweckmäßig unmittelbar mit Düsen, Drosseln od.dgl. verbunden oder mit solchen versehen. Letztere können in die Abzweigungen des Rohres dicht eingesetzt oder mit denselben auch über eine Gewindeverbindung oder Verschraubung verbunden sein. Die gesamte Anordnung läßt sich außerhalb der Haschine fertigstellen und dann in das betreffende Maschinenteil einsetzen. Dabei wird zweckmäßig der Raum zwischen dem Rohr mit seinen Abzweigungen und den Wandungen der Nut mit einem Füllmaterial, namentlich einem Kunstharz, ausgefüllte
Die Erfindung wird nachstehend mit ihren Einzelheiten und Merkmalen anhand der Zeichnung weiter erläutert. Es zeigen;
Fig. 1 eine Schlittenführung in Stirnansicht im Betriebszustand mit übertrieben groß dargestelltem Luftspalt,
Fig. 2 eine Draufsicht zu Fig. 1,
Fig. 3 eine Führung in größerem Maßstab im Schnitt,
Fig. H einen Rollenbiock in Draufsicht bzw. im Schnitt nach, der Linie IY · IV in Fig. 3,
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Fig. 5 einen Ausschnitt aus einer Luftaustrittsöffnungen enthaltenden Führungsfläche in Draufsicht und
Fig. 6 ein zur Bildung einer Luftzuführung dienendes Eier ment.
In den Fig. 1 und 2 ist die Führung eines Schlittens 1 auf einem Bett 2 dargestellt. Dabei kann es sich z.B.. um einen den Ständer eines Waagerecht-Bohr- und Fräswerkes tragenden Schlitten handeln. Der untere Teil eines solchen Ständers 3 ist lediglich in Fig. 1 strichpunktiert angedeutet.
Der Schlitten 1 wird von zwei jeweils als aerostatische Führungen M- und 5 ausgebildeten Führungsflächenpaaren Ha, Hb und 5a, 5b getragen. Die am Bett 2 befindlichen Führungsflächen Ub, 5b bestehen aus dem Material des Bettes
selbst, so aus Gußeisen oder aus Stahl, je nachdem, ob das Bett eine Gußkonstruktion oder eine Schweißkonstruktion ist. Die ebene Form dieser Führungsflächen Hb, 5b ist z.B. durch Schleifen oder, wie es die erfindungsgemäße Führung nun auch ermöglicht, durch Feinfräsen erzeugt. Ein Härten der Führungsflächen ist nicht erforderlich.
Die den Führungsflächen Hb, 5b des Bettes 2 zugewandten Führungsflächen Ha, 5a am Schlitten 1 sind durch die Unterseiten von Kunststoffplatten 6 gebildet, die z.B.
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durch Kleben an unteren Auflageflächen des Schlittens 1 befestigt sind. Wie·insbesondere Fig. 5 zeigt, sind in jeder der Führungsflächen M-a, 5a durch eingesetzte Düsen, od.dgl. gebildete Luftaustrittsöffnungen 7 im Abstand voneinander angeordnet. Diesen Luftaustrittsöffnungen 7 wird beim Betrieb der Maschine durch Bohrungen oder Kanäle 8, die im Schlitten 1 vorgesehen sind (Fig. 1), Druckluft von einer nicht besonders dargestellten Druckluftquelle aus, z.B. von einem Rotatxonskompressor, über eine flexible Leitung 9 zugeführt. Letztere ist mit einem am Schlitten 1 vorgesehenen Anschluß 10 verbunden und kann allen Schlittenbewegungen ungehindert folgen.
Jedem aerostatischen Führungsflächenpaar 4, 5 ist eine Gegenführung 11, 12 zugeordnet. Diese weist jeweils eine parallel zu der am Bett 2 befindlichen Führungsfläche Ub, 5b gerichtete Bahn 11a, 12a auf, die durch die Unterseite eines seitlich vorstehenden, leistenförmigen Ansatzes Ik bzw. 15 des Bettes 2 gebildet wird und auf der Rollen 13 laufen.
Jede Rolle 13 ist auf einer von einem Block 16 gehaltenen Achse 17 gelagert. Der Block hat an einer ersten, seitlich von der Rolle 13 gelegenen Stelle eine feste Abstützung 18 an einem nach unten gerichteten Teil des Schlittens 1 und stützt sich an einer zweiten, ebenfalls seitlich von der Rolle 13 gelegenen Stelle über eine Fe-
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der 19 am Kopf eines in den Schlitten 1 eingeschraubten Bolzens 20 ab. Die Rolle 13 wird dadurch mit einer vorgebbaren Kraft an die Bahn 11a bzw. 12a angedrückt und bewirkt damit eine Vorspannung der aerostatischen Führung ^ bzw. 5. Diese Vorspannung kann durch Drehen des Bolzens 20 in der einen oder anderen Richtung vergrößert oder verkleinert werden. Sie läßt sich damit so einstellen, wie es der Bedarfsfall erfordert. Darüber hinaus kann eine eingebaute Feder aber auch schnell und ohne großen Aufwand gegen eine Feder anderer Steifigkeit ausgewechselt werden, wenn dies z.B. bei einem Umbau der Maschine notwendig sein sollte. In Fig. 1 ist die Führung im Betriebszustand dargestellt, wobei der Luftspalt L der Deutlichkeit halber übertrieben groß eingezeichnet ist.
Wie Fig. 2 teils schematisch veranschaulicht, sind an jeder Längsseite la, Ib des Schlittens 1 über dessen Länge verteilt mehrere zu den Gegenführungen 11, 12 gehörende Vorspannrollen 13 angeordnet. Dabei kann die Vorspannung an den einzelnen Rollen auch unterschiedlich eingestellt werden, um beispielsweise eine unsymmetrische Belastung des Schlittens 1 auszugleichen, wie sie beispielsweise durch eine außermittige Anordnung des Ständers 3 (Fig.l) auf dem Schlitten 1 oder durch einen einseitig an dem Ständer angebrachten weiteren Maschinenteil hervorgeru fen werden kann.
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in den Fig. 3 und 4 ist eine besonders günstige Ausbildung einer Führung im einzelnen gezeigt, wobei es sich beispielsweise auch um eine Tisch- oder Schlittenführung der in Fig. 1 und 2 gezeigten Art oder aber auch um eine Führung für einen anderen Einsatzfall handeln kann.
Der aerostatische Teil 24 der Führung weist auch hier eine ebene Führungsfläche 24b an einem feststehenden Maschinenteil 22 und eine dieser zugeordnete, an dem beweglichen Maschinenteil 21 befindliche, namentlich durch eine Platte 26 aus Kunststoff gebildete Führungsfläche 24a mit Luftaustrxttsöffnungen 27 auf, wobei die letzteren ähnlich wie die öffnungen 7 in Fig. 5 über die Länge der Führungsfläche verteilt angeordnet sein können.
Auf der Bahn 31a der insgesamt mit der Ziffer 31 bezeichneten Gegenführung laufen Rollen 33, von denen jeweils zwei in einer Ausnehmung 35 eines Blockes 36 angeordnet und dabei mittels nicht besonders dargestellter Wälzlager auf im Block an ihren beiden Enden gehaltenen Achsen 37 gelagert sind. An seinem den Rollen 3 3 abgewandten Ende hat der Block 36 eine mit der Ziffer 38 bezeichnete feste Abstützung an der Unterseite eines abwärts gerichteten Teiles des beweglichen Maschinenteiles 21. Die Abstützung enthält dabei eine ringförmige
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Zwischenlage 38a aus Stahl oder einem anderen geeigneten festen Werkstoff. Zur Sicherung der Lage des Blockes 36 ist außerdem ein fest in den Block eingesetzter Stift vorgesehen, der mit geringem Spiel in eine Bohrung 34a des Maschinenteiles 21 eingreift und ein Drehen des Blök· kes 36 verhindern kann.
Der Block 36 ist an einer zwischen der Abstützung 38 und den Rollen 33 gelegenen Stelle mit einer mittleren Bohrung 41 versehen, durch die ein in eine Gewindebohrung 42 des Maschinenteiles 21 eingeschraubter Bolzen 40 hindurchgeht. Zwischen dem als Widerlager dienenden Kopf 40a des Bolzens 40 und dem Grund einer im Block 36 vorgesehenen Ausnehmung 43 ist ein Tellerfederpaket 39 angeordnet. Das durch den Kopf 40a des Bolzens 40 gebildete W-Lderlager ist somit durch Drehen des Bolzens in der einen oder anderen Richtung relativ zu der Unterseite des Maschinenteiles 21 bzw. zu einer durch die Laufbahn 31a für die Rollen 33 gehenden Ebene in der Höhe verstellbar, wodurch die Kraft, mit der die Rollen 33 gegen die Bahn 31a gedrückt werden, und damit die Vorspannkraft der gesamten Führung je nach den Erfordernissen eingestellt werden kann. In Fig. 3 ist die Führung in ihrem Ruhezustand gezeigt, wobei also kein Luftspalt vorhanden ist, sondern die Führungsflächen 24a und 24b aneinander anliegen.
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Durch die Anordnung des Bolzens 40 in der Nähe der Rollen 33 ergibt sich ein günstiger Hebearm für die Aufbringung der Vorspannkraft mit Bezug auf die starre Abstützung 38. Außerdem ist durch die letztere in Verbindung mit der Anordnung der beiden Rollen 33 das Prinzip einer günstigen Dreipunktauflage gegeben, wie durch die in Fig. 4 strichpunktiert eingezeichnete Dreieckslinie 44 angedeutet ist.
Sowohl bei der Ausführung nach den Fig. 1 und 2 als auch derjenigen nach Fig. 3 kann der bewegliche Maschinenteil zusätzlich durch eine oder mehrere weitere Führungen, namentlich solche, die in anderen Richtungen wirksam sind, beispielsweise eine Querführung, geführt sein. Eine sol-
ehe weitere Führung kann ebenfalls eine gemäß der Erfindung ausgebildete aerostatische Führung oder aber auch eine in anderer Weise ausgebildete Führung sein.
In den Fig. 3 und 6 ist eine besonders zweckmäßige Ausführung der Luftzuleitung zu den Luftaustrittsöffnungen 27 dargestellt. Die Luftleitung in dem beweglichen Maschinenteil 21 wird dabei durch ein Rohr 28 aus Metall oder Kunststoff gebildet, das in eine Nut 23 des Maschinenteiles 21 eingelegt ist und von dem stutzenartige Ansätze 28a ausgehen, in die die Luftaustrittsöffnungen 27 bildende Düsen 25 dicht eingesetzt sind. Dies kann z.B. durch. Einpressen und/oder Einkleben erfolgen. Ab-
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weichend von der Darstellung kann auch eine Gewinde- oder Schraubverbindung vorgesehen sein. Der Raum zwischen dem Rohr 28 mit den Stutzen 28a und den Wandungen der Nut ist mit einem Kunstharz 29 ausgefüllt} insbesondere ausgegossen.
Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten bzw. in der Zeichnung dargestellten Merkmale sollen, sofern der bekannte Stand der Technik es zuläßt, für sich allein oder auch in Kombinationen als unter die Erfindung fallend angesehen werden.
Patentansprüche;
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Claims (12)

23^6633 Λ Patentansprüche
1. !Führung für relativ zueinander bewegbare Maschinenteile,
insbesondere für einen auf oder an einem Bett, Gestell, einer Säule od.dgl. verschiebbaren Schlitten, Tisch oder Ständer einer Werkzeugmaschine oder einer Meßvorrichtung, bei der ein oder mehrere zur Aufnahme des beweglichen Maschinenteiles dienende Führungsflächenpaare als aerostatische Führung ausgebildet sind und einem solchen Führungsflächenpaar eine parallel zu diesem verlaufende Gegenführung zugeordnet ist, mittels derer eine die Führung belastende Vorspannkraft aufbringbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenführung (11, 12; 31) eine an dem einen Maschinenteil (2; 22) angeordnete Bahn (Ha, 12a; 31a) aufweist, auf der an dem anderen Maschinenteil (1; 21) angebrachte Rollen (13; 33) laufen, die unter der Wirkung einer sie an die Bahn (Ha, 12a; 31a) andrückenden Federkraft stehen.
2. Führung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils in Laufrichtung Abstand voneinander aufweisende Rollen (33) in einem Block (36) gelagert sind, der an einer ersten, seitlich von den Rollen (33) gelegenen Stelle an dem beweglichen Maschinenteil (21) eine starre Abstützung C38) hat und der sich, an einer zweiten, seit-
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lieh von den Rollen (33) gelegenen Stelle über eine Druckfeder C39) an einem mit dem Maschinenteil (21) verbundenen Widerlager (40a) abstützt, wobei die starre Abstützung (38) oder das Widerlager (UOa) relativ zu dem Maschinenteil (21) einstellbar ist.
3. Führung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerlager durch den Kopf (40a) eines in den Maschinenteil (21) eingeschraubten Bolzens (40) gebildet ist.
4. Führung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckfeder (39) zwischen dem Kopf (40a) des Bolzens (40) und dem Block (36) angeordnet ist.
5. Führung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckfeder ein Tellerfederpaket (39) ist.
6. Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere einzelne Blöcke (16; 36) mit darin gelagerten Rollen (13; 33) über die Länge des beweglichen Maschinenteiles (1; 21) verteilt angeordnet sind.
7. Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 mit zwei als aerostatische Lagerung ausgebildeten Führungsflächenpaaren als Hauptführungen für einen beweglichen Maschi-
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nenteil, dadurch gekennzeichnet, daß an beiden parallel zu den Führungen (4·, 5) verlaufenden Längsseiten (la, Ib) des beweglichen Maschinenteiles Cl) wenigstens je zwei einzelne Blöcke (16; 36) mit darin gelagerten Rollen (13; 33) vorgesehen sind.
8. Führung für relativ zueinander bewegbare Maschinenteile, insbesondere für einen auf oder anjeinem Bett, Gestell, einer Säule od.dgl. verschiebbaren Schlitten, Tisch oder Ständer einer Werkzeugmaschine oder einer Meßvorrichtung, bei der ein oder mehrere zur Aufnahme des beweglichen Maschinenteiles dienende Führungsflächenpaare als aerostatische Führung ausgebildet sind, wobei in einer Führungsfläche Luftaustrittsöffnungen vorgesehen sind, die an eine in dem mit dieser Führungsfläche verbundenen Maschinenteil verlaufende Luftleitung angeschlossen sind, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Luftleitung ein mit Abzweigungen (28a) für die Luftaustrittsöffnungen (27) versehenes Rohr (28) ist, das in eine Nut (23) des zugehörigen Maschinenteiles (21) eingelegt ist.
9. Führung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzweigungen C28a) des Rohres (28) unmittelbar mit Düsen (25) od.dgl. verbunden sind.
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10. Führung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die DUsen (25) od.dgl. in die Abzweigungen (28a) dicht eingesetzt sind.
11. Führung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (25) od.dgl. mit den Abzweigungen (2 8a) durch eine Verschraubung verbunden sind.
12. Führung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum zwischen dem Rohr (28) mit dessen Abzweigungen (2 8a) und den Wandungen der Nut (23) mit einem Füllmaterial (29) ausgefüllt ist.
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