JP2012009023A - エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニア・エンコーダ23は、移動式往復台25の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ23−1、23−1’と、移動式往復台25の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ23−2、23−2’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ23が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのLトラック、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。
【選択図】図2
Description
これらリニア・エンコーダが、移動式往復台の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダと、移動式往復台の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダとで構成され、リニア・エンコーダが、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのLトラック(Ltrack)、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック(Ttrack)を有するスケールに沿って移動されることを特徴とする。
同じ参照符号は、図面全体を通じて同じ構造的要素を指す。
22 リニア・モータ
23 リニア・エンコーダ
23−1、23−1’ 側面リニア・エンコーダ
23−2、23−2’ 側面リニア・エンコーダ[原文のままであるが、下面リニア・エンコーダのはずである]
24 エア・ベアリングおよび真空パッド
25 移動式往復台
26 棒鋼
27 プリロードされた磁石
41 基準マーク
42 Lトラック
43 Tトラック
70 プリロードされた真空エア・ベアリング
Claims (6)
- エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムであって、花崗岩またはアルミニウム製の高品質の基部(21)と、
移動式往復台を移動させるために同じ送り軸方向に平行するように配置および駆動される2個のリニア・モータ(22)と、
位置誤差を補償するために各前記リニア・モータの位置値を検出し、前記位置値をフィードバックとして与えるリニア・エンコーダ(23)と、
基部(21)の表面を基準として用いて移動し、前記移動式往復台が移動できるように所定の接触力/張力/圧縮力を圧縮空気の力として付与するエア・ベアリングおよび真空パッド(24)と、
前記基部に置いた器材を固定し、または荷重を移動させる移動式往復台(25)と、磁石のプリロード力を引き起こすための棒鋼(26)と、
モーメントの外力に耐えることができるように高程度の剛性を形成するために前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)と逆方向に磁力をもたらすプリロードされた磁石(27)と
で構成され、
前記リニア・エンコーダ(23)が、前記移動式往復台(25)の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ(23−1、23−1’)と、前記移動式往復台(25)の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ(23−2、23−2’)とで構成され、
前記リニア・エンコーダ(23)が、基準マーク(41)、垂直位置誤差を補償するためのLトラック(42)、および水平位置の誤差を補償するためのTトラック(43)を有するスケールに沿って移動する、誤差補償システム。 - 前記移動式往復台(25)の左右側面に付着した前記一対の側面リニア・エンコーダ(23−1、23−1’)の中から前記側面リニア・エンコーダ(23−1、23−1’)の1つが、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック(43)についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エア・ベアリング(70)の空気圧が、前記スケールの前記水平位置に応じるために調整され、前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)のプリロード圧が調整されることによって前記移動式往復台(25)の真直度誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。
- 前記移動式往復台(25)の左右側面に付着した前記側面リニア・エンコーダ(23−1、23−1’)が、前記スケールに沿って移動するとき、Lトラック(42)についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの垂直位置を補償するために与えられ、プリロードされた真空エア・ベアリング(70)の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるためにそれぞれ調整され、前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)のプリロード圧が調整され、一方で同時に前記リニア・モータ(22)が制御されることによって前記移動式往復台(25)のヨー誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。
- 前記移動式往復台(25)の両端の下部に付着した前記下面リニア・エンコーダ(23−2、23−2’)が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック(43)についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、プリロードされた真空エア・ベアリング(70)の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために同時に調整され、前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)のプリロード圧が調整されることによって、前記移動式往復台(25)の平面度誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。
- 前記移動式往復台(25)の両端の下部に付着した前記下面リニア・エンコーダ(23−2、23−2’)が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック(43)についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、前記下面リニア・エンコーダ(23−2、23−2’)の各誤差値に関するフィードバックが与えられ、各プリロードされた真空エア・ベアリング(70)の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために調整され、前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)のプリロード圧が調整されることによって前記移動式往復台(25)のピッチ誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。
- 前記移動式往復台(25)の左右側面に付着した前記側面リニア・エンコーダ(23−1、23−1’)の一対が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック(43)についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エア・ベアリング(70)の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために調整され、前記エア・ベアリングおよび真空パッド(24)のプリロード圧が調整されることによって、前記移動式往復台(25)のロール誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。
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