JP2000028344A - 位置決めテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加減速時におけるテーブルの姿勢の変化を抑
止して、高速条件下であっても高精度の位置決めが行
え、外力や作動流体圧力が負荷された場合であっても、
案内レールの変形が抑止できる位置決めテーブルを提供
する。 【解決手段】 一対の平行な案内レール３３と、案内レ
ール３３の案内面に摺接面を介して保持され案内レール
３３に沿って移動するテーブル４１と、テーブル４１を
案内レール３３に沿って移動させる駆動手段とを具備し
た位置決めテーブルにおいて、テーブル４１の移動方向
に直交する断面内で、テーブル４１の重心位置Ｇと、駆
動手段の駆動力がテーブル４１に作用する作用中心位置
ｇとを一致させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、案内レールに沿っ
て移動自在に設けたテーブルを、移動方向任意の位置に
駆動して位置決めする位置決めテーブルに関し、例えば
半導体製造装置（露光装置、ボンダ等）用の位置決め手
段や、一般の加工機、組立機、検査機等の位置決め手段
に適用可能な位置決め技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体製造用の露光装置、ボンダ
等の精密加工装置、或いは精密な組立、検査等を行う装
置においては、その駆動手段として用いられる位置決め
テーブルに対して精密、且つ高速な位置決め機能が要求
される。この種の位置決めテーブルには、摺動面間に圧
力をかけた流体を吐出させ、摺動面同士を直接接触させ
ずに、駆動摩擦力を小さくさせる静圧軸受が用いられる
ことが多い。静圧軸受は、案内面全域に亘る作動流体の
平均効果により、高い真直精度が得られる。また、作動
流体のスクイーズ効果（流体封じ込め効果）により減衰
能（移動停止後におけるテーブルの動きを減衰させる能
力）が高く、且つ滑らかな動作が得られる。

【０００３】この静圧軸受を用いた従来の位置決めテー
ブルの一例を図１３〜図１５を参照して説明する。図１
３は位置決めテーブルの平面図で、図１４は図１３のＡ
−Ａ矢視図、図１５は図１３のＢ−Ｂ矢視図である。ベ
ース１には、一対の平行な案内レール３が固設されてい
る。案内レール３は、ベース１に固定された支持部５の
上部に、外側に突出するレール部７を有している。ま
た、一対の案内レール３上にはテーブル９が矢印方向に
移動自在に設けられており、このテーブル９は、上板９
ａと、この上板９ａ両端側から垂設された側板９ｂと、
側板９ｂ下端から案内レール３に向けて突出する水平板
９ｃとを有している。これら上板９ａ、側板９ｂ、水平
板９ｃの組立体は、コ字形状となってレール部７に外側
から嵌合し、静圧軸受を介して摺動する。即ち、テーブ
ル９は、上板９ａ、側板９ｂ、水平板９ｃと、レール部
７との間に介在する案内面作動流体１１を介して案内レ
ール３に支持されている。

【０００４】ベース１には、一対の案内レール３の内側
に、案内レール３に対して平行にボールねじシャフト１
３を設けている。このボールねじシャフト１３は、サポ
ート軸受台１５によって回転自在にベース１に支持され
ている。また、ベース１には、駆動軸１７ａが、ボール
ねじシャフト１３と同軸となるようにサーボモータ１７
を設けてある。また、サーボモータ１７の駆動軸１７ａ
は、カップリング１９を介してボールねじシャフト１３
に連結されている。そして、テーブル９には、ボールネ
ジナット２１を設けてある。ボールネジナット２１は、
ボールねじシャフト１３に螺合している。

【０００５】このように構成された従来の位置決めテー
ブル２３では、サーボモータ１７が駆動されることによ
りボールねじシャフト１３が回転し、ボールネジナット
２１がボールねじシャフト１３の長手方向に移動され
る。これにより、テーブル９が静圧軸受を介して極めて
小さな摩擦力で案内レール３に支持されつつ、案内レー
ル３に沿って移動する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の位置決めテーブルには、テーブルの重心位置ｇ
と、ボールねじシャフト１３、ボールネジナット２１等
からなる駆動手段の作用中心位置Ｇとに片寄り、即ち、
オフセットδｚがあった。図１６は従来の位置決めテー
ブルの各種構造例を示す断面図で、図１７は従来の位置
決めテーブルにおける加減速時のテーブルの姿勢を示す
平面図である。図１６(a),(b)に示す構造例において
は、上下方向（Ｚ方向）にオフセットδｚがあり、図１
６(c)に示す構造例においては、左右方向（Ｙ方向）及
び上下方向（Ｚ方向）にオフセットδｙ、δｚがある。

【０００７】このようなオフセットのある構造では、テ
ーブルの加速又は減速時に振れを生じることになる。例
えば、オフセットがＹ方向にある場合、図１７(a)に示
す加速時に駆動力ｆによりモーメントＭが生じ、テーブ
ルにヨーイングモーションが生じる。また、図１７(b)
に示す減速時には、制動力ｆによりモーメントＭが生じ
る。さらに、図示は省略するが、オフセットがＺ方向に
ある場合はＺ−Ｘ平面上でピッチングモーションが発生
する。これらのヨーイングモーションやピッチングモー
ションは、オフセット量が大きい程、顕著に現れる。そ
して、加減速度が大きい程、即ち、高速応答性が要求さ
れる程、顕著となる。

【０００８】また、このようなヨーイングモーションや
ピッチングモーションが存在すると、走り精度（真直
度）が低下すると共に、位置決め時の整定時間（テーブ
ルが完全停止するまでの時間）が長くなり、応答性が悪
くなる。

【０００９】また、図１６(c)に示すように、静圧案内
面１１の配置が非対称であると、加速時や減速時におけ
る案内面作動流体の粘性抵抗も非対称となり、ヨーイン
グモーションやピッチングモーションを助長する要因と
なっていた。

【００１０】更に、テーブルに外力が加わった場合や、
静圧案内面に作動流体圧力が加わった場合、案内レール
３が変形してテーブルの真直度が低下することになる。
即ち、図１８に示すように、案内レール３は、通常、レ
ール部７が複数のボルト２５によって等間隔で支持部５
に固定されている。このため、ボルト２５の固定位置
と、ボルト２５同士の中間位置とでは、レール部７の剛
性が異なるものとなる。また、案内レール３は有限長で
あるため、長手方向の中央位置と両端位置とでも剛性が
異なっている。このように、案内レール３の変形し易さ
を表すコンプライアンス値（剛性の逆数）が、案内レー
ル３の長手方向に対して変化して、テーブルの真直度を
悪化させる要因になっていた。

【００１１】以上のように、従来の位置決めテーブルに
あっては、加減速時におけるテーブルの姿勢に起因して
テーブル走り精度が低下すると共に、テーブルの整定時
間が長くなり、高速応答性が得られないといった問題が
あった。また、案内レールは、外力が負荷されたり、静
圧案内面に作動流体圧力が負荷されると変形し、これに
よって真直度が劣化するという問題があった。

【００１２】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、加減速時におけるテーブルの姿勢の変化を抑
止して、高速条件下であっても高精度の位置決めが行え
る位置決めテーブルを提供することを第１の目的として
いる。また、外力や作動流体圧力が負荷された場合であ
っても、案内レールの変形が抑止できる位置決めテーブ
ルを提供することを第２の目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明に係る位置決めテーブルは、一対の平行な案内レー
ルと、該案内レールの案内面に摺接面を介して保持され
該案内レールに沿って移動するテーブルと、該テーブル
を前記案内レールに沿って移動させる駆動手段とを具備
した位置決めテーブルにおいて、前記テーブルの移動方
向に直交する断面内で、前記テーブルの重心位置と、前
記駆動手段の駆動力が前記テーブルに作用する作用中心
位置とを一致させたことを特徴とする。

【００１４】この位置決めテーブルでは、テーブルを高
速で加速した場合であっても、テーブルの重心位置と作
用中心位置とのずれがないためにモーメントが生じず、
ヨーイングモーションやピッチングモーションが発生す
ることがない。これにより、テーブルの走り精度（真直
度）が向上し、整定時間の短い高速応答性を実現するこ
とが可能になる。

【００１５】そして、位置決めテーブルは、前記テーブ
ルが前記一対の案内レールの内側で保持されるように、
前記一対の案内レールを前記テーブルの外側に配置する
ことが好ましい。

【００１６】これにより、案内レールがテーブルの外側
に配置されるため、案内レール形状の制約が少なくな
り、設計自由度を高めることができ、その結果、高い剛
性の案内レールを容易に得ることができる。また、テー
ブル形状の制約も少なくすることができる。

【００１７】また、位置決めテーブルは、前記一対の案
内レールを一体に連結するものであってもよい。

【００１８】これにより、案内レールの剛性を向上させ
ることができ、テーブルの走り精度（真直度）をより高
めることができる。

【００１９】更に、位置決めテーブルは、前記駆動手段
が収容されるテーブルの内部空間上方に開口部を設け、
該開口部の上面に蓋体を着脱自在に取り付けるものであ
ってもよい。

【００２０】この位置決めテーブルでは、蓋体を脱着す
ることにより、テーブルの内部空間が開口されて駆動手
段の一部が露出可能となり、これら駆動手段の交換、保
守、精度調整作業等を容易にすることができる。

【００２１】また、位置決めテーブルは、前記テーブル
に取り付けられる付加ユニットに応じた重量のカウンタ
ーウェイトを着脱自在に備えるものであってもよい。

【００２２】この位置決めテーブルでは、任意の付加ユ
ニットを取り付けた場合であっても、その付加ユニット
の重量に応じたカウンターウエイトを装着することで、
テーブルの重心位置と駆動手段の作用中心位置とを常に
一致させるように調整することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る位置決めテー
ブルの好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図１は本発明に係る位置決めテーブルの第１実施形
態を示す平面図、図２は図１のＣ−Ｃ矢視図、図３は図
１のＤ−Ｄ矢視図、図４は図３の模式図である。

【００２４】ベース３１には、一対の平行な案内レール
３３が固設されている。案内レール３３は、支持部３５
の上部に、内側に突出するレール部３７を有している。
レール部３７は、ボルト３９によって支持部３５に固定
されている。

【００２５】一対の案内レール３３の内側には、この案
内レール３３に沿って移動可能なテーブル４１を設けて
ある。このテーブル４１は、図３に示すように、上板４
１ａと、この上板４１ａに対峙してレール部３７を下方
向から挟む底板４１ｂと、上板４１ａと底板４１ｂとを
連結する一対の連結板４１ｃとを有している。

【００２６】テーブル４１は、移動方向に直交する断面
における重心ｇに対して、上下左右が対称形状で形成さ
れている。テーブル４１は、両側が、上板４１ａの下
面、底板４１ｂの上面、連結板４１ｃの側面とに囲まれ
たコ字形の受け部４３を形成している。この受け部４３
とレール部３７とは、静圧軸受を介して摺動する。即
ち、テーブル４１は、上板４１ａ、底板４１ｂ、連結板
４１ｃと、レール部３７との間に介在した案内面作動流
体４５を介して荷重がレール部３７に支持される。案内
面作動流体４５としては、空気、油、水等が用いられ
る。

【００２７】本実施形態の位置決めテーブルにおいて
は、テーブル４１を駆動する駆動手段として、図3に示
すブラシレスＤＣリニアモータ４７を用いている。この
ブラシレスＤＣリニアモータの拡大図を図５に、また、
図６に図５のＥ−Ｅ矢視図を示した。ブラシレスＤＣリ
ニアモータ４７は、テーブル４１に内蔵される可動コイ
ル４９と、ベース３１側に固定される複数の永久磁石５
１とを要部に有し、可動コイル４９の極性を経時的に変
化させることで推進力を得るものである。

【００２８】このリニアモータ４７は、図１及び図3に
示すように、前記案内レール３３間の中央位置で、断面
コ字型の永久磁石保持レール５３を案内レール３３の長
手方向に設けており、この永久磁石保持レール５３の上
下対向面に永久磁石５１を固設している。この永久磁石
５１は、図６に示すように永久磁石保持レール５３の長
手方向に極性の異なるものを交互に配設してある。一
方、テーブル４１の底板４１ｂには図５に示す支持柱５
５を立設しており、支持柱５５の上端には水平方向に突
出する上述の可動コイル４９を固設している。そして、
可動コイル４９は、永久磁石保持レール５３の上下対向
面に固設された永久磁石５１の間隙に配置している。

【００２９】上記駆動手段の構成により、可動コイル４
９に駆動電流を印加することで、ベース３１側に固設し
た永久磁石５１との間に磁力が発生し、この磁力によっ
てテーブル４１が案内レール３３の長手方向に駆動され
る。この際、ベース３１側に設けたレーザ反射鏡５７を
介して供給されたレーザ光を、テーブル４１側に設けた
ミラー５９にて反射させ、その反射光をインターフェロ
メータ６１にて取り込むことでテーブル４１の正確な位
置検出が行われる。

【００３０】この位置決めテーブルにおいては、ブラシ
レスＤＣリニアモータ４７の駆動力がテーブル４１に作
用する作用中心位置Ｇ、即ち、この例では可動コイル４
９の中心位置が、テーブル４１の重心位置と一致してい
る。また、静圧軸受もテーブル４１の重心位置ｇに対し
て対称な構造となっている。

【００３１】このように構成される位置決めテーブル６
３は、テーブル４１の各部材の比重や幾何学形状により
求まる静的な重心位置ｇ、又は静的な重心位置に加えて
テーブルの摺動摩擦等の動的な因子を考慮して求まる動
的な重心位置ｇに、駆動手段の駆動力が作用する作用中
心位置Ｇを一致させている。尚、本実施形態において
は、テーブルの断面形状が重心位置ｇに対して対称形状
となっているため、静的な重心位置と動的な重心位置と
は一致している。

【００３２】このため、テーブル４１を高速で加速した
場合であっても、重心位置ｇと作用中心位置Ｇとのずれ
がないためモーメントが生じることはなく、ヨーイング
モーションやピッチングモーションが発生しない。この
結果、テーブル４１の走り精度（真直度）を向上するこ
とができると共に、整定時間（テーブルが完全停止する
までの時間）の極めて短い高速応答性を実現することが
できる。

【００３３】ここにおいて、図１６(a),(b)に示すよう
に、テーブルの内部に案内レールを設けた構成において
は、テーブルの左右方向の対称性を確保することは比較
的容易であるが、上下方向の対称性を確保することが困
難となる。このため、テーブルの重心位置と駆動手段の
中心位置とに上下方向のオフセットが生じることにな
る。その点、本実施形態による位置決めテーブル６３に
おいては、案内レール３３をテーブル４１の外側に配置
する構造であるため、テーブル４１を上下方向及び左右
方向の双方に対して容易に対称性を確保することができ
る。

【００３４】また、案内レール３３をテーブル４１の外
側に配置しているため、静圧軸受の部品交換、保守、精
度調整をテーブル４１を取り外すことなく簡便にして行
うことができる。

【００３５】尚、上述の実施形態では、駆動手段として
ブラシレスＤＣリニアモータ４７を用いた場合を説明し
たが、駆動手段として例えばサーボモータ及びボールね
じを使用するものであってもよい。この場合において
も、ボールねじシャフトの軸心と、テーブル４１の重心
位置とを一致させることで上記同様の効果を奏すること
ができる。また、その他の駆動手段に対しても、駆動力
の作用中心位置とテーブルの重心位置とを一致させるこ
とで同様の効果を奏することができる。

【００３６】次に、本発明に係る位置決めテーブルの第
２実施形態を説明する。以下の実施形態においては、図
１〜図６に示した部材と同一の部材には同一の符号を付
し、重複する説明は省略するものとする。図７に本実施
形態の位置決めテーブルの断面図を示した。本実施形態
においては、案内レールの剛性をより高めた構成として
いる。

【００３７】即ち、図７に示す位置決めテーブルは、レ
ール部３７を幅広にしてレール部材そのものの剛性を高
くしたり、支持部７１を幅広にしたり断面を台形状にし
たりして、支持部７１の支持強度を大きく確保してい
る。また、レール部３７は、複数列のボルト３９によっ
て支持部７１に固定してもよい。これにより、テーブル
４１と摺動する案内レール３３の剛性を大幅に向上させ
ている。この結果、テーブル４１に加わる外力や、静圧
案内面に加わる作動流体面圧による案内レール３３の変
形は極めて小さくなり、テーブル４１の真直度の低下を
防止することができる。

【００３８】このように、本実施形態の位置決めテーブ
ルにおいては、テーブル４１の外側に案内レール３３を
配置する構成であるため、案内レールの設計自由度が高
く、任意の形状に設定することができ、案内レールの剛
性を容易に高めることができる。

【００３９】次に、本発明に係る位置決めテーブルの第
３実施形態を説明する。図８に本実施形態の位置決めテ
ーブルの断面図を示した。本実施形態においては案内レ
ールを一体構造としており、左右の支持部７５を一体の
門型に形成している。このように、支持部７５を一体に
した位置決めテーブルによれば、案内レールの相対位置
をより確実に位置決めすることができ、これによって
も、案内レールの変位を抑制して、真直度の低下を防止
することができる。この門型の支持部７５は、特にベー
ス３１が薄い場合に有効であり、ベース３１を補強する
目的として用いることができる。尚、この門型の支持部
７５は、案内レールの長手方向に作業の支障とならない
部分に形成する。また、使用目的に影響がなければ長手
方向の全面に形成してもよい。

【００４０】次に、本発明に係る位置決めテーブルの第
４実施形態を説明する。図９に本実施形態の位置決めテ
ーブルの断面図を示した。本実施形態においては、テー
ブルの上板の一部を開口可能にした構成としている。本
実施形態の位置決めテーブルは、テーブル４１の上板４
１ａ中央部に開口部８１を形成することで、テーブル４
１の内部空間８３を上方に開口可能に形成している。ま
た、開口部８１の上面には、この内部空間８３を塞ぐ蓋
体８が着脱自在に設けられている。尚、開口部８３を形
成することによる重量の減少分は蓋体８５に持たせてお
り、上下方向の重心位置のずれを生じさせることはな
い。そのため、テーブル４１の重心位置ｇと駆動手段に
よる駆動力の作用中心位置Ｇとは一致している。この蓋
体８５は、ワーク取付台、工具台、測定子台等として兼
用できるようになっている。

【００４１】このように本実施形態の位置決めテーブル
にあっては、蓋体８５を脱着することにより内部空間８
３を上方に開放できるので、可動コイル４９、又はボー
ルねじ等が露出され、これら駆動手段の交換、保守、精
度調整作業を容易にすることができる。

【００４２】次に、本発明に係る位置決めテーブルの第
５実施形態を説明する。図１０に本実施形態の位置決め
テーブルの断面図を示した。本実施形態においては、テ
ーブルの上面に付加ユニットを搭載した構成としてい
る。本実施形態による位置決めテーブルは、テーブル４
１の蓋体８５の上部に付加ユニット９１が着脱自在に取
り付けられている。付加ユニット９１としては、例えば
ワーク及びワーク取付台、工具及び工具台、測定子及び
測定子台等が挙げられるが、この他にも種々の部材を取
り付けることができる。

【００４３】また、この位置決めテーブルは、上下方向
の重心位置を駆動手段の作用中心位置に一致させるため
に、一対の案内レール３３間のベース３１上に、案内レ
ール３３長手方向に沿って凹溝９３を形成すると共に、
テーブル４１の底板４１ｂの下面には、この凹溝９３に
対応してカウンターウエイト９５が着脱自在に取り付け
られている。このカウンターウエイト９５は、付加ユニ
ット９１の重量に相当する各種のものが交換自在に揃え
られている。従って、任意の付加ユニット９１を取り付
けた場合であっても、その付加ユニット９１の重量に応
じたカウンターウエイト９５を底板４１ｂに装着するこ
とで、テーブル４１の重心位置ｇと駆動手段の作用中心
位置Ｇとを常に一致させることができる。

【００４４】次に、本発明に係る位置決めテーブルの第
６実施形態を説明する。図１１に本実施形態の位置決め
テーブルの断面図を示した。本実施形態においては、案
内レールにリニアガイドを用いた構成としている。本実
施形態による位置決めテーブルは、上述の各実施形態に
おける静圧軸受に代えて周知構造のリニアガイドを用い
てテーブル４１を案内レール３３に支持している。即
ち、ベース３１に固設した一対の支持部１０１の対向面
には、レール部１０３を突設する一方、テーブル４１の
両側にはレール部１０３に嵌合する断面コ字型のベアリ
ング部１０５を設けている。

【００４５】

【実施例】次に、図９に示す位置決めテーブルを製作
し、テーブルを移動させて位置決め制御を行った動作結
果について説明する。 ・位置決めテーブルは、テーブル及び案内レールを、ア
ルミナセラミックによって製作した。 ・案内面には、空気静圧軸受を用いた。 ・駆動手段には、ブラシレスＤＣリニアモータを用い
た。

【００４６】テーブル動作及びその測定方法は、テーブ
ルを１０ｎｍ、２ｎｍ、０．５ｎｍの三種類の設定距離
で０．３秒間隔毎にステップ駆動し、そのときのテーブ
ル停止位置をレーザ測定系により測定した。その結果を
図１２に示す。

【００４７】図１２(a)は１０ｎｍのステップ駆動結果
で、図１２(b)は２ｎｍのステップ駆動結果、図１２(c)
は０．５ｎｍのステップ駆動結果を示している。各図か
ら分かるように、レーザ測定系からのノイズ成分が含ま
れているものの、０．５ｎｍのステップ駆動も十分に可
能であることが実証できた。この結果は、従来の移動精
度と比較して一桁以上も向上している。

【００４８】また、フィードフォワード制御を採用して
最大加速度５ｍ／ｓ² 、最大速度３００ｍｍ／ｓ、位置
決め距離６０ｍｍのPoint-to-Point駆動においても、位
置偏差が±５ｎｍとなる整定時間０．３４秒を実現でき
た。これにより、複雑な制御が要求されるフィードバッ
ク制御を採用することなく、単純なフィードフォワード
制御によっても高精度且つ高速な位置決めが行えること
が実証された。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の位置決め
テーブルは、テーブルの重心位置に駆動手段の作用中心
位置を一致させた構造とすることにより、加減速時のテ
ーブルの姿勢が安定し、精密且つ高速な位置決めを達成
することができる。また、案内レールがテーブルの外側
に配置されるため、案内レール構造の設計自由度が向上
し、案内レールの支持剛性や、走り精度（真直度）を簡
単な構成で高めることができる。そして、案内面や駆動
手段に対するメンテナンス性が向上し、部品交換、保
守、精度調整等の作業が容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る位置決めテーブル
の平面図である。

【図２】図１のＣ−Ｃ矢視図である。

【図３】図１のＤ−Ｄ矢視図である。

【図４】図３の模式図である。

【図５】図３に示すブラシレスＤＣリニアモータの拡大
図である。

【図６】図５のＥ−Ｅ矢視図である。

【図７】本発明の第２実施形態に係る案内レールの構造
を示す断面図である。

【図８】本発明の第３実施形態に係る案内レールの構造
を示す断面図である。

【図９】本発明の第４実施形態に係る蓋体が設けられた
テーブルの構造を示す断面図である。

【図１０】本発明の第５実施形態に係る付加ユニットが
搭載されたテーブルの構造示す断面図である。

【図１１】本発明の第６実施形態に係るリニアガイドを
用いた案内レール及びテーブルの構造を示す断面図であ
る。

【図１２】実施例に係る位置決めテーブルのステップ応
答の測定結果を示したグラフである。

【図１３】従来の位置決めテーブルの平面図である。

【図１４】図１３のＡ−Ａ矢視図である。

【図１５】図１３のＢ−Ｂ矢視図である。

【図１６】従来の位置決めテーブルの各種構造を示す断
面図である。

【図１７】従来の位置決めテーブルの加減速時における
テーブル姿勢を示した説明図である。

【図１８】案内レールのコンプライアンスの分布を示す
説明図である。

【符号の説明】

３３ 案内レール ４１ テーブル ４７ ブラシレスＤＣリニアモータ（駆動手段） ６３ 位置決めテーブル ｇ 重心位置 Ｇ 作用中心位置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の平行な案内レールと、該案内レー
   ルの案内面に摺接面を介して保持され該案内レールに沿
   って移動するテーブルと、該テーブルを前記案内レール
   に沿って移動させる駆動手段とを具備した位置決めテー
   ブルにおいて、 前記テーブルの移動方向に直交する断面内で、前記テー
   ブルの重心位置と、前記駆動手段の駆動力が前記テーブ
   ルに作用する作用中心位置とを一致させたことを特徴と
   する位置決めテーブル。