JP2006126069A - 走行装置、形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール310、320と、ガイドレール310、320に摺動可能に設けられたスライダ部711、712および2つのスライダ部711、712を連結する連結部720を有する走行体700と、推進力を付与する推進力付与手段500と、ガイドレール310、320間で配設されたスケール610およびスケール610に対する変位量を検出する検出ヘッド620を有する変位検出手段600と、を備える。連結部720は、スライダ部711、712を架橋する主ビーム721と、両端が主ビーム721においてスライダ部711、712に近接する位置に固定された補助ビーム722と、を備える。推進力付与手段500は主ビーム721に推進力を付与し、検出ヘッド620は補助ビーム722に設けられている。
【選択図】図1
Description
図5に、従来の走行装置を示す。
従来の走行装置110は、ベース部200と、ベース部200の上面において互いに平行に敷設されたガイドレール310、320と、ガイドレール310、320にガイド(案内)されてスライド走行する走行体400と、走行体400を駆動させる送り手段500と、走行体400の変位量を検出する変位検出手段600と、を備える。
走行体400は、それぞれのガイドレール310、320に跨乗するように配設されて各ガイドレール310、320をスライド移動する2つのスライダ部411、412と、2つのスライダ部411、412を架橋する連結部420と、を備える。
送り手段500は、二本のガイドレール310、320間の略中央においてガイドレール310、320と略平行に配設された送りねじ510と、送りねじ510を回転駆動するモータ520と、送りねじ510に螺合するとともに連結部420に取付固定されたナット部530と、を備える。
変位検出手段600は、二本のガイドレール310、320間の略中央においてガイドレール310、320と略平行にベース部200上に配設されたスケール610と、スケール610に対向した状態で連結部420の下面に取付固定されるとともにスケール610に対する変位量を検出するとともに検出ヘッド620と、を備える。
走行体400がスライド走行する際には、ガイドレール310、320とスライダ部411、412との間に摩擦力が生じるところ、送りねじ510がガイドレール310、320の中央に配置されて走行体400が連結部420の中央で推進力を得るので、図6(B)に示されるように連結部420にたわみが生じる。
すると、連結部420にたわみが生じる分、検出ヘッド620による走行体400の変位検出量に誤差が生じる。その結果、走行体400の位置を高精度に制御することが困難となるという問題が生じる。
ここで、スライダ部とガイドレールとの間に摩擦力が働くと、推進力が直に付与される主ビームにたわみが生じる場合がある。このときでも、主ビームとは別に設けられた補助ビームがたわむことはないので、補助ビームに設けられた検出ヘッドにより走行体の位置が正確に検出される。そして、例えば、このように正確に検出された走行体の位置に基づいて走行体の位置制御が高精度に行われる。
この構成において、モータの駆動力によって送りねじが回転駆動されると、送りねじに螺合したナット部が移動する。すると、ナット部と一体的に走行体が移動する。
この構成では、推進力が付与される主ビームにはたわみが生じる一方で、スライダ部とともに移動するフレームにはたわみ等が生じない。すなわち、前記フレームに設けられた検知部の座標は主ビームではなくスライダ部の位置に対応することとなるが、本発明では、主ビームとは別に補助ビームが設けられており、この補助ビームに設けられた検出ヘッドによりスライダ部の位置を検出できるので、検知部の位置を正確に検出できる。その結果、検知部により取得されるデータとそのときの検知部の座標値とを正確に対応させて、被測定物の形状、寸法を正確に測定することができる。
さらには、補助ビームに設けられた検出ヘッドによって検知部の位置を常に正確に検出できることから、走行体が走行中であっても検知部の位置を正確に検出することができる。すると、検知部で被測定物を検知するにあたって、走行体を静止させずに移動させながら連続的に被測定物の表面を検知した場合でも検知した座標を正確に特定できる。よって、検知部を走行体で連続的に移動させながらの連続検出が可能となり、その結果として測定時間が短縮されて、高精度かつ短時間の測定を実現できる。
(第1実施形態)
本発明の走行装置に係る第1実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。
図1は第1実施形態の全体斜視図であり、図2は走行体の進行方向から第1実施形態を見た正面図である。
第1実施形態の基本的構成は、背景技術で説明した走行装置の構成に同様であり、ベース部200と、走行体700と、ガイドレール310、320と、送り手段(推進力付与手段)500と、変位検出手段600と、を備える。
ここで、ベース部200、ガイドレール310、320、送り手段500および変位検出手段600は、背景技術(図5)で説明した構成に同様であるので同一要素には同一符号を付し、その説明を割愛する。なお、変位検出手段600の構成は特に限定されず、検出ヘッド620によってスケール610に対する相対変位量を検出できればよく、光学式、静電容量式あるいは磁気式の変位検出手段が例としてあげられる。
補助ビーム722は、図2に示されるように、送り手段500(具体的には送りねじ510およびナット部530)を間にして主ビーム721とは反対側に配設され、補助ビーム722の両端は、主ビーム721の下面側(ベース部200に対向する側)においてスライダ部711、712に近接する位置に取付固定されている。
すなわち、補助ビーム722は、主ビーム721の下面側において2つのスライダ部711、712のそれぞれに近接する位置にベース部200へ向けて垂下するように取付固定された取付軸部723、724と、主ビーム721と略平行に設けられ取付軸部723、724を繋ぐ梁部725と、を備えている。
梁部725は、その途中においてスケール610を跨ぐようにコ字状に折曲されている。
図3に、走行体700が静止している状態(図3(A))と、走行体700がスライド走行している状態(図3(B))と、を示す。
モータ520によって送りねじ510が回転駆動されると、送りねじ510に螺合したナット部530が移動する。すると、ガイドレール310、320にガイドされながらナット部530と一体的に走行体700がスライド移動される。
ガイドレール310、320とスライダ部711、712との間に摩擦が働くと、図3(B)に示されるように、主ビーム721にたわみが生じることがある。このとき、ナット部530が取付固定された主ビーム721にたわみが生じても、補助ビーム722にはたわみが生じない。
検出ヘッド620が補助ビーム722に取付固定されているところ、検出ヘッド620が走行体700とともに移動され、検出ヘッド620によってスケール610に対する相対移動量が検出される。すると、走行体700の変位量が検出される。
(1)走行体700が走行する際に主ビーム721がたわむことがあっても、主ビーム721とは別に設けられた補助ビーム722がたわむことはない。よって、走行体700(例えばスライダ部711、712)に対する検出ヘッド620の相対位置は走行状態であっても不変となる。その結果、検出ヘッド620により走行体700の位置を正確に検出することができ、例えば、走行体700の位置制御を高精度にすることができる。
よって、回転モーメントの発生を防止するために、走行体700を間にして両側にガイドレール310、320を配したり、走行体700(主ビーム721)の略中央に推進力を与えたりする構成を採用することができる。
さらには、ガイドレール310、320の間隔を広げて走行装置100を大型化してもよく、主ビーム721に付与する推進力を大きくして、走行体700の走行速度を高速化することもできる。例えば、ガイドレール310、320の間隔をおよそ2mにするなどの大型化が可能であり、また、移動速度を秒速200mmとする高速化も可能である。
主ビーム721の剛性を(多少は)低減させてもよいので材料コストを削減でき、このとき、主ビーム721をアルミ合金等の軽量材にすることで走行体700の高速化に資する。
そして、従来の走行装置の基本的構成を用いることができるので、新たな製造ラインを組み立てたり、新たな部品を製造したりするコストを抑制することができる。
次に、本発明の第2実施形態として走行装置を用いた形状測定装置について図4を参照して説明する。
図4は、形状測定装置としての画像測定システム800の構成を示す図である。
画像測定システム800は、画像測定機(形状測定機)810と、制御部820と、入力手段830と、出力手段840と、を備えている。
画像測定機810は、ベースとなる架台811と、架台811上に配設されワークWが載置される載物台812と、ワークWを撮像する撮像手段(検知部)815と、ワークWと撮像手段815とを三次元的に移動させる移動機構816と、を備える。
載物台812は、収納空間を有する基台部813と、基台部813の上面に配設された載物ガラス814と、を備えている。載物ガラス814の下面には図示しない透過照明などが設けられている。
移動機構816は、詳しくは図示しないが、門型フレーム(フレーム)730が外部に露出する状態で基台部813の収納空間に配設された走行装置100と、走行装置100の門型フレーム730にスライド可能に設けられたXスライダ(不図示)と、このXスライダ内を上下方向(Z方向)へ昇降可能に設けられたZスライダ(不図示)と、を備えている。Zスライダ(不図示)に撮像手段815が取り付けられている。
ここで、走行装置100は、第1実施形態で説明した構成であり、主ビーム721のたわみ等に関係なく補助ビーム722の真直が保たれることにより、走行体700の変位量が正確に検出される構成である。
入力手段830としてはキーボードなどが例示され、出力手段840としてはモニタやプリンタなどが例示される。
まず、載物ガラス814にワークWを載置する。モーションコントローラ821の動作制御により移動機構816が駆動され、撮像手段815がワークWの測定部位に応じて移動される。そして、撮像手段815によりワークWが撮像される。
このとき、門型フレーム730がスライダ部711、712に立設されているので、門型フレーム730に設けられた撮像手段815の座標(Y座標)は、推進力付与によりたわんでしまう主ビーム721ではなくスライダ部711、712の位置に対応することとなる。この点、本実施形態では、主ビーム721とは別に設けられた補助ビーム722に検出ヘッド620が設けられており、この補助ビーム722に設けられた検出ヘッド620によってスライダ部711、712の位置が常に正確に検出されることとなり、走行中に主ビーム721がたわんだ状態にあったとしても、スライダ部711、712の位置に対応する撮像手段815の位置が常に正確に検出される。
撮像手段815による画像データはホストコンピュータ822の解析部(不図示)によって解析されて、ワークWの形状、寸法が出力手段540により出力される。
(3)走行体700の位置を検出ヘッド620により正確に検出できることから走行体700の位置制御を高精度に行うことができる。したがって、撮像手段815の位置制御が正確となるので、画像データ(測定部位)と座標とを正確に対応させてワークWの形状、寸法を極めて正確に測定することができる。
特に、走行体700が移動中には推進力が付与されることにより主ビーム721がたわんでしまうが、スライダ部711、712の位置は補助ビーム722に設けられた検出ヘッド620により検出するので、走行中でも常に正確にスライダ部711、712の位置を検出することができ、すなわち、走行中でも撮像手段815の位置を正確に検出することができる。すると、撮像手段815でワークWを撮像するにあたって走行体700および撮像手段815を静止させずに、移動させながら連続的に撮像手段815で撮像しても撮像した座標を正確に特定可能となる。
よって、撮像手段815を走行装置100で連続的に移動させながらの連続撮像が可能となり、その結果として測定時間を短縮し、高精度かつ短時間の測定を実現することができる。
送りねじ510は、主ビーム721とベース部200との間に配設されている例を示したが、送りねじ510が主ビーム721を間にしてベース部200と反対側に配設されていてもよいことはもちろんである。
また、補助ビーム722は、送りねじ510とベース部200との間に配設される例を示したが、スケール610および検出ヘッド620の位置に応じて補助ビーム722の配設位置も適宜変更されるのはもちろんである。
補助ビーム722は主ビーム721の下面に取付固定されるとしたが、補助ビーム722の両端がそれぞれのスライダ部711、712に固定されていてもよいのはもちろんである。
また、補助ビーム722の両端が主ビーム721あるいはスライダ部711、712に取付固定されている例を示したが、補助ビーム722の一端が主ビーム721あるいはスライダ部に取付固定されて補助ビーム722が片持ち梁状に設けられていてもよい。
Claims (4)
- ベース部と、
前記ベース部の上面において所定間隔離隔して互いに略平行に配設された二本のガイドレールと、
二本の前記ガイドレールのそれぞれに摺動可能に設けられた2つのスライダ部、および、2つの前記スライダ部を連結する連結部を有する走行体と、
前記ガイドレールが案内する方向に前記走行体を変位させる推進力を前記連結部の略中央付近に付与する推進力付与手段と、
前記ベース部の上面において二本の前記ガイドレール間の略中央付近で前記ガイドレールと略平行に配設されたスケール、および、前記スケールに対向した状態で前記連結部に取付固定され当該スケールに対する相対変位量を検出する検出ヘッドを有する変位検出手段と、を備えた走行装置において、
前記連結部は、2つの前記スライダ部を架橋する主ビームと、両端が前記主ビームにおいて前記スライダ部に近接する位置あるいは前記スライダ部に取付固定されて前記主ビームに並設された補助ビームと、を備え、
前記推進力付与手段は、主ビームに前記推進力を付与し、
前記検出ヘッドは、前記補助ビームに設けられている
ことを特徴とする走行装置。 - ベース部と、
前記ベース部の上面において所定間隔離隔して互いに略平行に配設された二本のガイドレールと、
二本の前記ガイドレールのそれぞれに摺動可能に設けられた2つのスライダ部、および、2つの前記スライダ部を連結する連結部を有する走行体と、
前記ガイドレールが案内する方向に前記走行体を変位させる推進力を前記連結部の略中央付近に付与する推進力付与手段と、
前記ベース部の上面において二本の前記ガイドレール間の略中央付近で前記ガイドレールと略平行に配設されたスケール、および、前記スケールに対向した状態で前記連結部に取付固定され当該スケールに対する相対変位量を検出する検出ヘッドを有する変位検出手段と、を備えた走行装置において、
前記連結部は、2つの前記スライダ部を架橋する主ビームと、一端が前記主ビームにおいて前記スライダ部に近接する位置あるいは前記スライダ部に取付固定され他端が前記スケール近傍に位置する補助ビームと、を備え、
前記推進力付与手段は、主ビームに前記推進力を付与し、
前記検出ヘッドは、前記補助ビームの前記他端に設けられている
ことを特徴とする走行装置。 - 請求項1または請求項2に記載の走行装置において、
前記推進力付与手段は、二本の前記ガイドレール間の略中央において前記ガイドレールと略平行に配設された送りねじと、
前記送りねじを回転駆動するモータと、
前記主ビームの略中央付近に設けられ前記送りねじに螺合するナット部と、を備える
ことを特徴とする走行装置。 - 被測定物の表面を検知する検知部と、
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の走行装置を有し前記被測定物と前記検知部とを相対移動させる移動機構と、
前記検知部からのデータに基づいて前記被測定物の形状あるいは寸法を解析する解析部と、を備える
ことを特徴とする形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004316380A JP2006126069A (ja) | 2004-10-29 | 2004-10-29 | 走行装置、形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006126069A true JP2006126069A (ja) | 2006-05-18 |
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ID=36720947
Family Applications (1)
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JP2004316380A Pending JP2006126069A (ja) | 2004-10-29 | 2004-10-29 | 走行装置、形状測定装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006126069A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101865669A (zh) * | 2009-04-14 | 2010-10-20 | 株式会社三丰 | 同步移动装置和图像测量设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6420568U (ja) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | ||
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JPH11143545A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決め装置 |
JP2000028344A (ja) * | 1998-07-13 | 2000-01-28 | Nippon Seiko Kk | 位置決めテーブル |
-
2004
- 2004-10-29 JP JP2004316380A patent/JP2006126069A/ja active Pending
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