JP5172556B2 - 同期移動装置および画像測定装置 - Google Patents
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Description
このような画像測定装置では、従来、送りねじ軸およびナット部材を有する送りねじ機構を備えて、ナット部材に固定されたスライダが送りねじ軸の軸方向に進退移動可能に設けられている。送りねじ機構を用いる場合、送りねじ軸の回転に伴って発生する送りねじ軸の振れ運動(振れ)が、スライダに伝わらないように、スライダをナット部材に直接固定せずに、振れ運動を吸収するフローティングユニットを介してスライダをナット部材に固定したものが用いられている。フローティングユニットによって送りねじ機構の振れ運動が吸収されるので、スライダの位置精度に与える振れ運動の影響が少なくなる。
一方、照明手段は、スライダの移動方向に平行な方向に移動可能に設けられている。スライダが移動した際に、照明手段が撮像手段に追従するように、従来、スライダと照明手段とをワイヤで連結したものが用いられている。
この構成において、送りねじ機構により可動部を移動させると、接続部材を介して連結装置の第2の部材に接続された追従部が可動部に追従して移動する。この際、送りねじ軸の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)が、連結装置の中間部材で吸収されるので、連結装置の第1の部材へ伝わらずにすむ。さらに、追従部は、接続部材で連結装置の第2の部材に接続されているので、追従部自体の移動によって発生する摺動抵抗が、第2の部材に伝わったとしても、振れ運動と同様に中間部材によって摺動抵抗が吸収される。これにより、摺動抵抗が第1の部材へ伝わらずにすむ。従って、送りねじ軸の振れ運動および追従部の摺動抵抗による可動部の位置精度への影響を同時に抑えることができ、可動部の位置精度を向上させることができる。
図1は、本実施形態の画像測定装置1の全体斜視図である。図2は、図1における画像測定装置1の架台2および載物部3の図示を省略し、光学装置4の移動機構5と、照明手段6との位置関係を示す斜視図である。
載物部3の詳しい構造は図示しないが、載物部3は駆動機構によってY軸方向に駆動される本体フレームと、本体フレーム上に固定された載物ガラス31とを備えている。被測定物はこの載物ガラス31に載置される。
Xスライダ53は、X軸ビーム52の一対の側面521,522および上面523の3面を覆う略コ字状に形成され、これらの3面に対して空気軸受で支持され、X軸方向に移動可能に設けられている。
図3は、ボールねじ機構54を拡大して示す部分斜視図である。図4は、図3の分解図であり、図5は、ボールねじ機構54の断面図である。
図3〜図5に示すように、フローティングユニット7は、Xスライダ53の内方に当該Xスライダ53と一体で形成された取付部532に4本のボルト74(図4)で固定された第1の部材71と、ナット部材542に4本のボルト75で固定され中央部に送りねじ軸541が挿通された第2の部材72と、第1の部材71および第2の部材72に介在して設けられ、かつ、送りねじ軸541の軸線に対して直交する面内での送りねじ軸541の振れ運動を吸収する中間部材73とを有する三重構造として構成されている。
図5に示すように、第1の部材71を固定するXスライダ53の取付部532は、第1の部材71に対して送りねじ軸541の軸方向に並んで設けられ、内部にナット部材542を収納する収納空間533が形成されている。そして、ナット部材542は、第2の部材72に対して軸方向に並んで設けられ、この第2の部材72の端部に形成されたフランジ部722に連結されている。
(1)図3に示すボールねじ機構54によってXスライダ53に設けられた光学装置4(図2)を移動させると、フローティングユニット7の第2の部材72にワイヤ83によって接続された追従スライダ82(図2)がXスライダ53に追従して移動する。これによって、光学装置のX軸方向の位置に応じて追従スライダ82に設けられた照明手段6が被測定物を透過照明できる。この際、送りねじ軸541の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)が、フローティングユニット7の中間部材73で吸収されるので、振れ運動がフローティングユニット7の第1の部材71へ伝わらずにすむ。さらに、追従スライダ82は、フローティングユニット7の第2の部材72にワイヤ83によって接続されているので、ガイド81に対する追従スライダ82の摺動抵抗が、第2の部材72に伝わったとしても、前述の振れ運動と同様に中間部材73によって摺動抵抗が吸収されるので、第1の部材71へ伝わらずにすむ。従って、送りねじ軸541の振れ運動および追従スライダ82の摺動抵抗によるXスライダ53の位置精度への影響を同時に抑えることができ、Xスライダ53の位置精度を向上させることができ、測定精度の向上を図ることができる。
例えば、前記実施形態では、送りねじ機構としてはボールねじ機構を例示したが、送りねじ軸およびナット部材によってXスライダを移動させる送りねじ機構であればボールねじ機構以外でもよい。
また、前記実施形態ではワイヤを第2の部材に接続するためにワイヤ固定部材を用いた場合を説明したが、これに限られず、他の方法によってワイヤを第2の部材に接続してもよい。
従って、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
2…架台(装置本体)
3…載物部
4…光学装置(撮像手段)
5…移動機構
6…照明手段
7…フローティングユニット(連結装置)
53…Xスライダ(可動部)
71…第1の部材
72…第2の部材
73…中間部材
82…追従スライダ(追従部)
83…ワイヤ(接続部材)
541…送りねじ軸
542…ナット部材。
Claims (4)
- 装置本体と、
この装置本体に移動可能に設けられた可動部と、
前記装置本体に回転自在に支持され、回転動作によって前記可動部を移動させる送りねじ軸と、
前記送りねじ軸に螺合されたナット部材と、
前記可動部および前記ナット部材を連結する連結装置と、
前記装置本体に移動可能に設けられる追従部と、を備え、前記送りねじ軸の回転によって前記可動部を移動させた際に、前記追従部を前記可動部に同期して移動させる同期移動装置であって、
前記連結装置は、
前記可動部に固定された第1の部材と、
前記ナット部材に固定された第2の部材と、
前記第1の部材および前記第2の部材に介在して設けられ、かつ、前記送りねじ軸の軸線に対して直交する面内での当該送りねじ軸の振れ運動を吸収する中間部材と、
を有して構成され、
前記追従部は、前記第2の部材に接続部材を介して接続されている
ことを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1に記載の同期移動装置において、
前記接続部材はワイヤであることを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の同期移動装置において、
前記追従部は、前記可動部の移動方向と平行に移動し、かつ、前記可動部から当該可動部の移動方向に直交する方向の延長上に位置する状態を維持しながら移動する
ことを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の同期移動装置と、
前記可動部と前記追従部との間に設けられ、被測定物が載置される載物部と、
前記可動部に設けられ、前記被測定物を撮像する撮像手段と、
前記追従部に設けられ、前記被測定物を透過照明する照明手段と、
前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させる移動機構と、を備え、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記被測定物の形状あるいは寸法を測定することを特徴とする画像測定装置。
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Family Applications (1)
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