JP2009053210A - ステージ装置及び半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ステージ装置1は、開口部3aを有する定盤3と、該定盤3の開口部3aに設けられるY軸シャフトモータ5と、該Y軸シャフトモータ5と平行に設けられる2つのY軸ガイドレール12Aと、該Y軸ガイドレール12Aに案内されながらY軸シャフトモータ5の駆動により定盤3に対して可動であり、凹部4bを有するY軸ステージ4と、該Y軸ステージ4の側部に設けられるX軸シャフトモータ6と、該X軸シャフトモータ6と平行に設けられる2つのX軸ガイドレール15Aと、該X軸ガイドレール15Aに案内されながらX軸シャフトモータ6の駆動によりY軸ステージ4に対して可動に設けられたX軸ステージ7と、を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 下軸ベースと、
該下軸ベースに設けられる下軸リニアモータと、
該下軸リニアモータと平行に前記下軸ベースに設けられる下軸ガイドレールと、
該下軸ガイドレールに案内されながら前記下軸リニアモータの駆動により前記下軸ベースに対して可動である上軸ベースと、
該上軸ベースの側部に設けられる上軸リニアモータと、
該上軸リニアモータと平行に前記上軸ベースに設けられる上軸ガイドレールと、
該上軸ガイドレールに案内されながら前記上軸リニアモータの駆動により前記上軸ベースに対して可動に設けられたトップテーブルと、
を備えることを特徴とするステージ装置。 - 前記下軸ベースは、凹部又は中空部を有しており、
前記下軸リニアモータは、前記凹部又は中空部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記上軸リニアモータと前記下軸リニアモータとが、シャフト型モータであることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 前記下軸ガイドレールは2つであり、前記下軸リニアモータを挟んで両側に配置されることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のステージ装置。
- 前記上軸リニアモータはシャフト型モータであり、
前記上軸リニアモータのシャフトは、前記上軸ベースの側部の両端に設けられたシャフト支持部により両端支持されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のステージ装置。 - 前記上軸ベースは、凹部又は中空部を有していることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のステージ装置。
- 前記上軸ガイドレールは、
前記上軸ベースの凹部又は中空部以外の位置に設けられていることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載のステージ装置。 - 前記トップテーブルの移動により生じる反力を処理する第1の反力処理ユニットを備えたことを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載のステージ装置。
- 前記上軸ベースの移動により生じる反力を処理する第2の反力処理ユニットを備えたことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載のステージ装置。
- 請求項1〜9の何れか1項に記載のステージ装置を備えたことを特徴とする半導体検査装置。
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